DE9419794U1 - Device for resilient support and vibration isolation - Google Patents
Device for resilient support and vibration isolationInfo
- Publication number
- DE9419794U1 DE9419794U1 DE9419794U DE9419794U DE9419794U1 DE 9419794 U1 DE9419794 U1 DE 9419794U1 DE 9419794 U DE9419794 U DE 9419794U DE 9419794 U DE9419794 U DE 9419794U DE 9419794 U1 DE9419794 U1 DE 9419794U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- air
- membrane
- line
- piston
- volume
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000002955 isolation Methods 0.000 title claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 10
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 2
- 240000006240 Linum usitatissimum Species 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
- F16F15/027—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means comprising control arrangements
- F16F15/0275—Control of stiffness
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Springs (AREA)
Description
Dipl.-Chem. Dr. Steffen ANDRAE "Dipl.-Chem. Dr. Steffen ANDRAE "
Dipl.-Phys. Dieter FLACHDipl.-Phys. Dieter FLACH
Dipl.-Ing. Dietmar HAUGDipl.-Ing. Dietmar HAUG
Dipl.-Chem. Dr. Richard KNEISSLDipl.-Chem. Dr. Richard KNEISSL
Balanstraße 55Balanstrasse 55
D-81541 MünchenD-81541 Munich
Akte: 1913File: 1913
Anmelder: BILZ Schwingungstechnik GmbHApplicant: BILZ Schwingungstechnik GmbH
Vorrichtung zur federnden Abstützung und zur SchwingungsisolierungDevice for spring support and vibration isolation
Die vorliegende Erfindung betrifft Vorrichtungen zur federnden Abstützung und zur Schwingungsisolierung insbesondere von Maschinen, optischen und elektronischen Geräten sowie Prüfständen, die ein Gehäuse mit einem Luftanschluß umfassen, das ein durch einen Kolben mit Druck beaufschlagbares Luftvolumen einschließt und das in mindestens zwei miteinander in Verbindung stehende Luftkammern unterteilt ist.The present invention relates to devices for resilient support and vibration isolation, in particular of machines, optical and electronic devices and test benches, which comprise a housing with an air connection, which encloses an air volume that can be pressurized by a piston and which is divided into at least two interconnected air chambers.
Derartige Vorrichtungen dienen dazu, das Fundament bzw. Maschinenersatzlasten von empfindlichen Meß- und Prüfmaschinen, Feinbearbeitungsmaschinen, optischen oder elektronischen Geräten bzw. von Fahrzeug-, Motor- und sonstigen Prüfständen bezüglich Schwingungen zu isolieren.Such devices are used to isolate the foundation or machine equivalent loads of sensitive measuring and testing machines, finishing machines, optical or electronic devices or vehicle, engine and other test benches with regard to vibrations.
Aus dem Stand der Technik sind Vorrichtungen bekannt, bei denen ein von einem Gehäuse umschlossenes Luftvolumen durch eine Zwischenplatte in eine untere und eine obere Luftkammer (Last-/Dämpfungsvolumen) unterteilt ist. Die beiden Luftkammern stehen über eine Bohrung in der Zwischenplatte miteinander in Verbindung. Die untere Luftkammer (Lastvolumen) ist durch eine flexible Membran begrenzt und durch einen Kolben mit DruckDevices are known from the prior art in which an air volume enclosed by a housing is divided by an intermediate plate into a lower and an upper air chamber (load/damping volume). The two air chambers are connected to each other via a hole in the intermediate plate. The lower air chamber (load volume) is limited by a flexible membrane and is pressurized by a piston.
beaufschlagbar. Der Kolben stützt sich auf dem Untergrund ab und das Luftvolumen ist oberhalb des Kolbens so zwischen dem abzustützenden Objekt und dem Kolben angeordnet, daß die Membran auf dem Kolben aufliegt. Sobald eine Kraft auf das Gehäuse aufgebracht wird, senkt sich das Gehäuse ab und der Kolben komprimiert das Lastvolumen. Dabei strömt Luft durch die Bohrung vom Lastvolumen in das Dämpfungsvolumen. Beim Be- und Entlüften bzw. beim Druckaufbau bzw. Druckabbau wird eine Luftströmung erzeugt, die Reibung verursacht. Infolge der Reibung tritt lehr'sehe Dämpfung auf.The piston rests on the ground and the air volume is arranged above the piston between the object to be supported and the piston so that the membrane rests on the piston. As soon as a force is applied to the housing, the housing lowers and the piston compresses the load volume. Air flows through the bore from the load volume into the damping volume. When venting and venting or when pressure is built up or reduced, an air flow is generated that causes friction. As a result of the friction, air damping occurs.
Eine solche Vorrichtung weist eine bestimmte Eigenfrequenz auf. Diese Eigenfrequenz ist abhängig von den Abmessungen der Bohrung zwischen Last/Dämpfungsvolumen und der aufgebrachten Last bzw. dem Druck sowie von der Höhe des Luftvolumens {Luftsäule oder Elementhöhe).Such a device has a certain natural frequency. This natural frequency depends on the dimensions of the bore between the load/damping volume and the applied load or pressure as well as on the height of the air volume (air column or element height).
Die aus dem Stand der Technik bekannte Vorrichtung hat den Nachteil, daß die Dämpfung infolge der konstanten Bohrungsabmessungen nicht veränderbar ist.The device known from the prior art has the disadvantage that the damping cannot be changed due to the constant bore dimensions.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur federnden Abstützung und zur Schwingungsisolierung insbesondere von Maschinen, optischen und elektronischen Geräten sowie Prüfständen zu schaffen, bei der die Dämpfung und/oder die Eigenfrequenz regulierbar ist.The object of the present invention is to create a device for resilient support and vibration isolation, in particular of machines, optical and electronic devices and test benches in which the damping and/or the natural frequency can be regulated.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung der eingangs geschilderten Art gelöst, die dadurch gekennzeichnet ist, daß die Luftkammern über eine Leitung miteinander in Verbindung stehen, die ein verstellbares Drosselventil umfaßt. Durch die erfindungsgemäße Ausbildung der Vorrichtung ist es möglich, die Vorrichtung z.B. bei der Installation vor Ort optimal einzustellen. Zudem ist eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung für unterschiedliche Maschinen einsetzbar. Über das verstellbare Drosselventil kann der Strömungsquerschnitt in der Verbindungsleitung zwischen den beiden Luftkammern jeweilsThis object is achieved by a device of the type described at the outset, which is characterized in that the air chambers are connected to one another via a line that includes an adjustable throttle valve. The inventive design of the device makes it possible to optimally adjust the device, for example during installation on site. In addition, a device according to the present invention can be used for different machines. The flow cross-section in the connecting line between the two air chambers can be adjusted via the adjustable throttle valve.
schnell an variable Bedürfnisse angepaßt werden.can be quickly adapted to changing needs.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen aufgeführt.Further advantageous embodiments of the invention are set out in the subclaims.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung beispielhaft erläutert.In the following, the invention is explained by way of example with reference to the accompanying drawing.
Die im Schnitt dargestellte erfindungsgemäße Vorrichtung umfaßt ein oberes Gehäuseteil 6 und ein unteres Gehäuseteil 11. Das untere Gehäuseteil 11 liegt auf einem geeigneten Untergrund 14 auf und bildet auf der vom Untergrund 14 abgewandten Seite einen Kolben 13, auf dem eine Rollmembran 12 aufliegt.The device according to the invention shown in section comprises an upper housing part 6 and a lower housing part 11. The lower housing part 11 rests on a suitable base 14 and forms on the side facing away from the base 14 a piston 13 on which a rolling membrane 12 rests.
Das obere Gehäuseteil 6 umfaßt einen mit seiner Öffnung zum Untergrund 14 gerichteten Topf 5, dessen Innenraum ein Luftvolumen definiert. Die Öffnung des Topfes 5 ist durch die Rollmembran 12 druckdicht verschlossen. Der äußere Rand der Rollmembran 12 wird durch ein Befestigungselement 15, das durch eine (nicht gezeigte) Schraubverbindung an dem zum Untergrund 14 gerichteten Rand der Topfes 5 befestigt ist, gegen besagten Rand des Topfes 5 gepreßt. Im Innenraum des Topfes 5 ist eine Zwischenplatte 7 angeordnet, die das Luftvolumen in zwei Luftkammern 3, 4 unterteilt, die auch als Lastvolumen 3 und als Dämpfungsvolumen 4 bezeichnet werden. Das Lastvolumen 3 und das Dämpfungsvolumen 4 stehen über eine Leitung 16 miteinander in Verbindung. Die Zwischenplatte 7 kann auch eine {nicht gezeigte) Durchgangsbohrung aufweisen.The upper housing part 6 comprises a pot 5 with its opening facing the base 14, the interior of which defines an air volume. The opening of the pot 5 is closed pressure-tight by the rolling membrane 12. The outer edge of the rolling membrane 12 is pressed against said edge of the pot 5 by a fastening element 15, which is fastened to the edge of the pot 5 facing the base 14 by a screw connection (not shown). An intermediate plate 7 is arranged in the interior of the pot 5, which divides the air volume into two air chambers 3, 4, which are also referred to as the load volume 3 and the damping volume 4. The load volume 3 and the damping volume 4 are connected to one another via a line 16. The intermediate plate 7 can also have a through hole (not shown).
In der Leitung 16 ist ein verstellbares Drosselventil 1 angeordnet. Außerdem ist der das Dämpfungsvolumen 4 umfassende Bereich des Topfes 5 mit einem Luftanschluß 2 ausgestattet. An dem oberen Gehäuseteil 6 und dem unteren Gehäuseteil 11 ist jeweils ein Vorsprung 8, 10 angebracht.An adjustable throttle valve 1 is arranged in the line 16. In addition, the area of the pot 5 that includes the damping volume 4 is equipped with an air connection 2. A projection 8, 10 is attached to the upper housing part 6 and the lower housing part 11.
Bei einer mechanisch-pneumatischen Niveauregelung ist zwischen den Vorsprüngen 8, 10 ein Ventil, z.B. ein mechanisch-pneuma-In a mechanical-pneumatic level control, a valve, e.g. a mechanical-pneumatic valve, is installed between the projections 8, 10.
• «·• «·
tisches Proportionalventil, angeordnet. Bei derartigen Ventilen wird das Niveau über einen Stößel ständig abgetastet. Die Position des Stößels wird auf ein Sitz- oder Schieberventil übertragen. Entsprechend der Schieberstellung wird die Vorrichtung über den Luftanschluß 2 mit Druck beaufschlagt oder der Innendruck wird abgebaut. Auf diese Weise ist es möglich das Niveau auf ± 1/100 mm genau zu halten.tic proportional valve. In such valves, the level is constantly sensed via a tappet. The position of the tappet is transmitted to a seat or slide valve. Depending on the slide position, the device is pressurized via air connection 2 or the internal pressure is reduced. In this way, it is possible to maintain the level to an accuracy of ± 1/100 mm.
Bei einer elektronisch-pneumatischen Niveauregegelung ist zwischen den Vorsprüngen 8, 10 ein Wegaufnehmer 9, z.B. ein Potentiometer, angeordnet. Der Wegaufnehmer 9 ist mit einer (nicht gezeigten) Regelung verbunden. Die Regelung besteht aus einem Prozeßrechner 19 und Proportionalventilen.In an electronic-pneumatic level control, a position sensor 9, e.g. a potentiometer, is arranged between the projections 8, 10. The position sensor 9 is connected to a control system (not shown). The control system consists of a process computer 19 and proportional valves.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist in der beiliegenden Zeichnung in der abgesenkten oder auch Transportstellung gezeigt, wobei das obere Gehäuseteil 6 mit dem Befestigungselement 15 auf dem unteren Gehäuseteil 11 aufliegt. Nach dem Aufbringen einer Last auf die vom Untergrund 14 abgewandte Oberfläche des Topfes 5 wird das obere Gehäuseteil 6 angehoben, indem durch den Luftanschluß 2 Luft in den Innenraum des Topfes 5 gepreßt wird. Die Dämpfung und Eigenfrequenz der Vorrichtung kann jederzeit über das verstellbare Drosselventil 1 reguliert werden.The device according to the invention is shown in the accompanying drawing in the lowered or transport position, with the upper housing part 6 resting on the lower housing part 11 with the fastening element 15. After a load is applied to the surface of the pot 5 facing away from the base 14, the upper housing part 6 is raised by forcing air into the interior of the pot 5 through the air connection 2. The damping and natural frequency of the device can be regulated at any time via the adjustable throttle valve 1.
Claims (7)
dadurch gekennz e i chne t,2. Device according to claim 1,
characterized,
dadurch gekennzeichnet,3. Device according to claim 2,
characterized,
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9419794U DE9419794U1 (en) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | Device for resilient support and vibration isolation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9419794U DE9419794U1 (en) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | Device for resilient support and vibration isolation |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE9419794U1 true DE9419794U1 (en) | 1995-02-02 |
Family
ID=6917232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE9419794U Expired - Lifetime DE9419794U1 (en) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | Device for resilient support and vibration isolation |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE9419794U1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014212748A1 (en) | 2014-07-01 | 2016-01-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Bearing assembly for a linear fluid bearing guide of a coordinate measuring machine and coordinate measuring machine |
-
1994
- 1994-12-09 DE DE9419794U patent/DE9419794U1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014212748A1 (en) | 2014-07-01 | 2016-01-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Bearing assembly for a linear fluid bearing guide of a coordinate measuring machine and coordinate measuring machine |
| WO2016001050A1 (en) | 2014-07-01 | 2016-01-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Bearing assembly for a linear fluid bearing guide of a coordinate measuring device and coordinate measuring device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE102005011856B3 (en) | Seat with horizontal suspension for vehicle has a vertical or pneumatic shock absorber of vertical system connected to that of the horizontal system | |
| DE102004059406B4 (en) | With a fluid-filled vibration damping device | |
| DE2029814A1 (en) | ||
| DE102006017275B4 (en) | Air spring, positioning module and positioning device | |
| DE3347274C2 (en) | Hydraulic vibration damper for elastic support bearings in motor vehicles | |
| CH695348A5 (en) | Washing machine has several height-adjustable feet for counter-balance level differences on base surface | |
| DE2643860A1 (en) | HYDRAULIC SYSTEM | |
| EP1657471A3 (en) | Method for damping the vibrations in a suspension system and such a suspension | |
| DE102004001322B4 (en) | Acoustic decoupled hydro bearing | |
| DE19853854A1 (en) | Foot valve has bypass valve with control hole and acting as excess pressure valve, and pressure damping valve | |
| DE3718630A1 (en) | METHOD AND DEVICE FOR INSULATING A TABLE TOP FROM MECHANICAL VIBRATIONS | |
| DE2515337A1 (en) | AIR-DAMPENED STORAGE FOR EQUIPMENT AND / OR VEHICLES | |
| DE1480465B2 (en) | CUSHIONING FOR VEHICLE SEATS | |
| WO2023088792A1 (en) | Vibration damper with a connection to a hydraulic system | |
| DE3405907A1 (en) | Bearing for the vibration-insulating support of a unit, which can vibrate, on a foundation | |
| DE3127932C2 (en) | Device for damping pressure fluctuations in a stock suspension fed to a paper machine | |
| DE9419794U1 (en) | Device for resilient support and vibration isolation | |
| DE102015113176A1 (en) | Horizontal vibration device for a vehicle seat | |
| DE4435271C1 (en) | Hydraulically damped vehicle engine mount | |
| DE202006003763U1 (en) | Article movement damping and avoiding device for e.g. table, has damping units at uprising side of articles, where units are designed as hydraulic or pneumatic cylinders, arranged at table/chair legs and are interconnected with each other | |
| DE2502627C3 (en) | Device for the active damping of the vibrations of vertically vibrating masses, e.g. in vehicles | |
| DE1049718B (en) | Filling regulators for air suspensions, in particular for motor vehicles | |
| DE3528781C2 (en) | ||
| DE890311C (en) | Support leg for seating on vehicles | |
| DE102004011896B4 (en) | Vibration insulator for machines has spring assembly constructed as air-spring with at least one air volume creating spring action, and elastomer component assembly encloses air-spring assembly on sides |