DE9321091U1 - Zentrifugale Reinigungsvorrichtung für Halbleiterscheibenträger - Google Patents

Description

Patentanwälte
Dr.-Ing. Negendank (-1973)

HAUCK GRAALFS WEHNERT DÖRING SIEMONS Hamburg München Düsseldorf

SEMITOOL, INC.

655 West Reserve Drive

Kalispell, MT 59901

U.S.A. M-9023

ZENTRIFUGALE REINIGUNGSVORRICHTUNG FÜR HALBLEITERSCHEIBENTRÄGER

Die Erfindung betrifft Reinigungsvorrichtungen zum Spülen und Trocknen von Trägern, die zum Halten und Bearbeiten von Halbleiterscheiben, Substraten, ebenen Displays und ähnlichen Gegenständen verwendet werden, für die eine sehr geringe Kontaminierung vorgeschrieben ist. Das Bearbeiten von Halbleiterscheiben und Substraten ist hinsichtlich der Kontaminierung sehr empfindlich. Dies trifft auch für Photomasken, ebenen Displays, Datendisks und anderen Gegenständen der Halbleitertechnik zu. Diese Gegenständen bedürfen extrem geringer Kontaminierungswerte. Auch winzige Fremdteilchen können beim Bearbeiten solcher Halbleitergegenstände Schäden hervorrufen. Es ist somit nötig, bei allen oder nahezu allen Produktionsschritten einen sehr hohen Reinheitsgrad einzuhalten.

Halbleiterscheiben, Substrate, Photomasken, ebene Displays und andere Halbleiterprodukte hoher Reinheit werden typischerweise in Chargen behandelt. Dies kann für den gesamten Herstellungsprozeß gelten, oder auch für einen oder mehrere Bearbeitungsvorgänge oder diesbezügliche Transportvorgänge. Beim chargenweisen Behandeln bedient man sich fast immer eines Trägers oder Träger, um die zu bearbeitenden dünnen scheibenförmigen Werkstücke zu halten.

Beim chargenweisen Bearbeiten von Halbleitersubstraten und Scheiben dient ein Halbleiterscheibenträger zum Halten einer Reihe solcher Gegenstände. Die Träger können unterschiedlich aufgebaut sein und werden genauer auch als Halbleiterscheibenschiffchen bezeichnet. In vielen Fällen besteht ein derartiges Schiffchen aus einem Polymer, z.B. Polypropylen oder Teflonfluorpolymer. Die Seiten und manchmal auch der Boden des Schiffchens haben Aufnahmeschlitze, die zum Einsetzen und Festhalten der Scheiben nebeneinander in Abständen ausgebildet sind, wobei die Stirnseiten der Scheiben nebeneinanderliegen. Typischerweise fluchten die Mittelachsen der Scheiben. Die Scheiben werden in das Schiffchen eingeschoben, etwa von der Seite her oder von oben und durch Herausziehen entfernt. Die Aufnahmeschlitze im Schiffchen sind flach, so daß die Scheibe nur an den Umfangskanten und längs eines dünnen Randstreifens erfaßt wird, der sich vom Umfang nach innen zu erstreckt.

Halbleiterscheibenträger können auch in Form eines Schutzgehäuses oder einer Schachtel vorgesehen sein, in der die Scheiben gehalten und gegen Kontaminierung während der Förderung in der Bearbeitungsanlage eingeschlossen sind. Scheibenträger dieses Typs bedienen sich häufig einer Bauweise, um ein Schiffchen mit komplementärer Form zu halten. Die komplementäre Eigenschaft des Scheibenträger-Schutzgehäuses und des Scheibenträgerschiffchens führt dazu, daß das Schiffchen und die getragenen Scheiben während des Transportes vollständig eingeschlossen und der Lage nach in allen Richtungen fixiert sind.

Bei der Herstellung der Scheibenträger muß auch gereinigt werden. Das Reinigen der scheibentragenden Gehäuse und Schiffchen ist schwierig, da sie typischerweise Schlitze, Nuten und Öffnungen besitzen, die schwer gründlich zu reinigen sind. Dies wird durch die extrem niedrige Kontaminierung erschwert, die für Gegenstände erforderlich ist, die

direkt oder indirekt beim Bearbeiten von Halbleiterscheiben-Gegenständen Verwendung finden. Staub, Metallpartikel, Öl und andere organische Chemikalien können an den Oberflächen der Gießformen oder anderer Werkzeuge zum Herstellen der Scheibenträger vorhanden sein. Ein gründliches Reinigen der Halbleiterscheibenträger auf die gewünschten extrem kleinen Kontaminierungswerte ist ebenfalls schwierig. So ist das Reinigen der Scheibenträger beim Bearbeiten von Halbleitern eine Aufgabe, die oft fast so schwer zu lösen ist wie den Gegenstand mechanisch zu formen.

So blieb bis zum Zeitpunkt der Erfindung das Reinigen von Scheibenträgern ein schwieriges und relativ kostspieliges Unterfangen. Die Erfindung zeichnet sich durch verschiedene Vorteile aus, die im folgenden erläutert oder in anderer Weise mitgeteilt werden.

Eine oder mehrere bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der Zeichnung erläutert. Die Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine Vorderansicht einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung;

Fig. 2 eine Rückansicht der Vorrichtung in Fig. 1;

Fig. 3 eine Ansicht der linken Seite der Vorrichtung in Fig. 1;

Fig. 4 eine Ansicht der rechten Seite der Vorrichtung in Fig. 1;

Fig. 5 eine Draufsicht auf die Vorrichtung der Fig. 1;

Fig. 6 eine Rückansicht der Vorrichtung der Fig. 1 mit zu Darstellungszwecken entfernten Teilen;

Fig. 7 eine weitere Rückansicht der Vorrichtung der Fig. 1 mit weiteren aus Darstellungsgründen entfernten Teilen;

Fig. 8 einen Längsschnitt bestimmter Teile der Vorrichtung der Fig. 1. mit der Bauweise des Rotors und des Antriebs;

Fig. 8A einen Längsschnitt eines Teils der Fig. 8 im einzelnen;

Fig. 8B einen Längsschnitt eines Teils der Fig. 8 in Einzelheiten;

Fig. 9 einen Schnitt längs der Linie 9-9 in Fig. 7;

Fig. 10 eine Draufsicht auf den isoliert dargestellten Rotor;

Fig. 11 eine Seitenansicht einer bevorzugten Scheibenträger-Stütz struktur für die Vorrichtung in Fig. 1 mit Darstellung der isolierten Rotoranordnung ;

Fig. 12 eine Draufsicht im Detail einer isolierten Darstellung einer bevorzugten Türkonstruktion für die Vorrichtung in Fig. 1 und

Fig. 13 eine Vorderansicht im Detail zur isolierten Darstellung der bevorzugten Türkonstruktion der Fig. 12.

Fig. 1 zeigt eine bevorzugte zentrifugale Reinigungsvorrichtung 20 für Halbleiterscheibenträger gemäß der Erfindung. Die Vorrichtung 20 hat eine Bearbeitungskammer oder ein Gefäß 21 und einen Rahmen 22. Der Rahmen 22 hat mehrere Rahmenteile 23, die senkrecht und waagrecht verlaufen und miteinander verbunden sind und so ein Gerüst für die Vorrichtung 20 bilden. Außentafeln 24 sind zwischen den Rahmenteilen lösbar befestigt. Wie dargestellt, eignen sich die Tafeln zum bequemen Entfernen und erneuten Befestigen, indem ein Tafelmontiersystem benutzt wird. Dieses System benutzt vorteilhafterweise Verriegelungen mit Riegeln 25, um die Tafeln zu verriegeln und zu lösen. Die Riegel 25 sind mechanisch mit Stiften (nicht dargestellt) verbunden, welche die Rahmenteile 23 an bestimmten Stellen erfassen. Die Tafeln können zeitweise entfernt werden, um die inneren

Teile zu warten. Rahmen 22 und Tafeln 24 bilden in Kombination die Außenseite der Reinigungsvorrichtung 20.

Die Vorrichtung 20 hat eine Vorderseite 26, eine Rückseite 27, eine rechte Seite 28, eine linke Seite 29, eine Oberseite 30 und eine Unterseite 31. Die Vorderseite 26 hat einen verschließbaren Einlaß bzw. eine erste Tür 33 zum Öffnen und Schließen einer ersten Öffnung bzw. eines Einlasses 34 in der Seitenwand der Kammer 21. Die Rückseite 27 hat einen verschließbaren Auslaß bzw. eine zweite Tür 35 zum Öffnen und Schließen einer zweiten Öffnung oder eines Auslasses 35, der ebenfalls in der Seitenwand der Kammer 21 ausgebildet ist. Die Fig. 1 und 2 zeigen die Türen 33 und 35 vollgeschlossen, wobei der Einlaß und Auslaß 34 und 36 geschlossen und im wesentlichen abgedichtet sind, um Leckage zu vermeiden.

Fig. 13 zeigt, daß die Türen 33 und 35 vorzugsweise von einem Türrahmen mit oberen und unteren Führungen 38 und 39 gehalten sind, die Führungen 38 und 39 sind vorteilhafterweise mit inneren und äußeren senkrechten Verbindungsstangen

41 und 40 verbunden. Die innere Verbindungsstange 41 hat Lagerverlängerungen 43, die in Lagerböcken 44 (Fig. 6) am Rahmen 22 abgestützt sind. Der Türrahmen für die Türen 33 und 35 wird hinter den benachbarten mittleren Tafeln 24a und 24b montiert. Die Ecken der Türen 33 und 35 sind mit Rollen

42 versehen, die an den Führungen 38 und 39 abrollen. Die Türen 32 und 34 werden vorzugsweise mit pneumatischen Zylindern 37 gegenüber dem Türrahmen betätigt. Der Türrahmen und die Türen sind einwärts gedreht, um an dem Umfangsflansch des Einlasses und Auslasses abzudichten. Dies erfolgt durch steuerbares Schwenken der Türrahmen unter Verwendung eines Türschwenk-Stellgliedes 45, das vorteilhafterweise ein pneumatischer Zylinder ist, der zwischen der äußeren senkrechten Stange 40 und einem benachbarten Rahmenteil 23 verläuft (in Fig. 12 gestrichelt dargestellt).

Die Tür wird wie folgt geöffnet: Das Schwenkstellglied 45 wird in ausgefahrener Lage gehalten, bis die Tür 33 vollständig bis zur äußeren senkrechten Stange 40 verschoben ist. Das Stellglied wird dann betätigt, um die Tür und die von der Tür und dem Türrahmen gebildete Stützanordnung einzuziehen. Zum Öffnen der Tür wird umgekehrt das Stellglied zuerst ausgefahren, um die Tür und die Stut&zgr;anordnung von der Kammer 21 weg nach außen zu schieben. Dann rollt die Tür auf die Führungen 38 und 39 und wird zur inneren senkrechten Stange 41 hin verschoben.

Der Boden 31 der Vorrichtung 20 ist vorteilhafterweise mit Rollen 48 versehen, die am Rahmen 22 nahe den Ecken befestigt sind. Die unteren Ecken der Vorrichtung 20 sind vorzugsweise mit aus- und einfahrbaren Feststellern 49 versehen. Die Feststeller haben einen oberen Teil 49a am Rahmenpunkt. Gegenüber dem oberen Teil ist ein unterer ausziehbarer Teil 49b verstellbar. Die Vorrichtung 20 kann so an Ort und Stelle gerollt werden, worauf die Feststeller ausgefahren werden, um das Gewicht der Vorrichtung von den Rollen 48 auf die Feststeller zu verlagern und damit die Stabilität zu erhöhen.

Fig. 1 zeigt drei Abschnitte 51 bis 53 der Vorrichtung 20, nämlich den ersten oberen Abschnitt 51, den mittleren oder zweiten Abschnitt 52 und den unteren oder dritten Abschnitt 53. Der obere erste Abschnitt 51 nimmt ein Behandlungssystem für primäres Trocknungsgas auf. Dieses System besitzt ein in Fig. 2 dargestelltes primäres Trockengasfilter 55. Das Filter 55 sitzt innerhalb der äußeren Teile der Trockengaskammer 57. Fig. 6 zeigt, daß die Kammer vorzugsweise einen Filterstopp 67 aufweist, der über das Innere der Kammer neben der Filteröffnung 58, aber nach innen beabstandet, reicht. Das Filter 45 wird in der Kammer eingesetzt und teilweise vom Filterstopp 67 gehalten. Zwei Verbindungsbügel 68 liegen vorteilhafterweise an den Seiten der Filteröffnung

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58 und unterstützen das Befestigen einer Außentafel, die auch dazu dient, die Außenseite des Filters zu stützen und das Filter in der eingesetzten Lage zu halten.

In einer typischen Installation liegt die Rückseite 27 der Vorrichtung in einem sauberen Raum oder in einer entsprechenden Umgebung mit geringer Kontaminierung. Luft wird aus dem sauberen Raum durch das Filter 55 angesaugt. Das Filter ist vorzugsweise vom HEPA-Typ oder ist ein anderes Filter, das in der Lage ist, sehr kleine Fremdstoffe mit hoher Effizienz zu entfernen. Das Filter 55 besitzt eine relativ große Fläche, um den Druckabfall zu minimieren, wenn es von Luft oder einem anderen Trockengas durchströmt wird. Dies ist hilfreich insofern, als das Bedürfnis für ein eigenes Trokkenluftgebläse in Wegfall gerät, das sonst die Kontaminierung erhöhen würde. So könnte das primäre Trockengas kontaminiert werden, wenn im Strömungsweg des Gases ein besonderes Trockengasgebläse vorgesehen wäre. Eine solche hypothetische Bauweise würde auch zur Kontaminierung der inneren Bearbeitungskammer 47 des Gefäßes 21 führen. Das primäre Trockengas strömt durch die Bearbeitungskammer und entfernt hieraus Feuchtigkeit. Ein angenommenes Gebläse und entsprechender Antriebsmotor zum Ausbilden einer Strömung von primärem Trockengas oder anderem Trockengas erzeugt ebenfalls eine erhebliche Kontaminierung innerhalb oder in Nachbarschaft der Reinigungsvorrichtung. Diese allgemeine Kontaminierung außerhalb des Gefäßes 21 veranlaßt nichtsdestoweniger Fremdstoffe zum Eintritt in die Bearbeitungskammer und verhindert so die sehr geringe Kontaminierung, die beim Bearbeiten von Halbleiterprodukten und anderen Scheibenprodukten erforderlich ist.

Fig. 6 zeigt, daß der obere Abschnitt 51 der Vorrichtung vorzugsweise eine Trockengasheizung 56 aufweist. Die Heizung 56 ist in einer primären Trockengaskammer 57 befestigt. Die Kammer 57 dient als Gehäuse und zum Durchleiten des Trocken-

gases. Luft oder ein anderes Trockengas strömt durch das Filter 55. Das Filter 55 ist in einer Einlaßöffnung 58 der Kammer befestigt, die im wesentlichen die gesamte Seite der Kammer einnimmt. Die gefilterte Luft in der Kammer strömt über die Heizung 56. Die Luft in der Kammer strömt auch durch eine mittlere Heizungsöffnung 61 nach unten, die durch den unteren Abschnitt 62 der Heizung reicht. Die Heizung hat auch einen oberen Abschnitt 59, der mit einem Deckel versehen ist, der Leitungsanschlüsse und Befestigungen für mehrere beabstandete parallele elektrische Widerstandsheizelemente 60 abdeckt, die im unteren Abschnitt der Heizung längs der zentralen Öffnung 61 befestigt sind. Jedes Heizelement 60 ist vorzugsweise mit mehreren Rippen versehen, die den Wärmeübergang zur Luft oder einem anderen primären durchströmenden Trockengas verbessern.

Die Luft strömt durch die zentrale Öffnung 61 nach unten und aus der Kammer durch eine Auslaßöffnung 63 in den zentralen Bodenteil der Kammer. Die Auslaßöffnung mündet in einem oberen Einlaß 65 der Reinigungskammer (Fig. 7). Durch die Öffnung 63 und den Einlaß 65 gelangt gefiltertes, beheiztes Trockengas aus der Kammer in die Reinigungskammer an einer Stelle, die im wesentlichen mit der Mittelachse der Reinigungskammer und der Drehachse und Längsachse des Rotors 77 fluchtet.

Die primäre Trockengaskammer 57 ist vorzugsweise mit einem statischen Elektroentstörgerät 66 versehen. Das Gerät 66 läßt sich unter verschiedenen handelsüblichen Geräten auswählen. Es besitzt vorzugsweise freiliegende Elektroden, die auf elektrische Potentiale aufgeladen werden und statische Elektrizität neutralisieren, die von der Strömung des Trokkengases durch die Kammer 57 und über dessen Flächen und die Heizung 56 herrühren. Die verwendeten Betriebsparameter lassen sich abhängig von den Umgebungsbedingungen und klimatischen Bedingungen verändern.

Fig. 6 zeigt, daß der mittlere oder zweite Abschnitt 52 den Reinigungsbehälter 21 aufweist. Der Reinigungsbehälter 21 wird am Rahmen 22 mit nicht gezeigten Befestigungsmitteln befestigt. Der Reinigungsbehälter 21 ist etwa zylindrisch mit halbkreisförmigen Seitenwänden 72. Die Seitenwand des Reinigungsbehälters wird mit zwei im wesentlichen flachen Feldern 53 an der Vorder- und Rückseite vervollständigt. Die erste bzw. eingangsseitige flache Seitenwand besitzt den Einlaß 34. Die ausgangsseitige oder zweite flache Seitenwand besitzt den Auslaß 36. Sowohl Einlaß wie Auslaß sind vorzugsweise mit Flanschen 74 versehen, die vergleichsweise dicker als die Seitenwände 7 3 sind, um den Behälter zu verstärken und Flächen vorzusehen, an denen die Türen 33 und abdichten können. Fig. 6 wurde durch Nichtdarstellung der Rotoranordnung 70 vereinfacht, die durch den Einlaß 74 sichtbar wäre. Einzelheiten des Rotors und anderer Innenteile des Reinigungsbehälters sind anhand der Fig. 7 erläutert.

Fig. 7 zeigt, daß der Reinigungsbehälter auch eine obere Wand 7 6 besitzt. Die obere Wand ist vorzugsweise schwach kegelförmig ausgebildet. Der obere Durchlaß 65 sitzt in der oberen Wand und dient zur Zuführung des primären Trockengases . Der Durchlaß 65 bildet so einen Einlaß für das primäre Trockengas aus dem Behälter 57 in die Reinigungskammer 47.

Der Reinigungsbehälter besitzt auch eine Unterseite aus mehreren zusammengesetzten Teilen. Fig. 8 zeigt Einzelheiten dieser bevorzugten Bauweise. Der erste Teil der Unterseite ist ein äußeres Bodenwandstück 77, das ringförmig ist und mit den unteren Kanten der Seitenwände 7 2 und 73 des Reinigungsbehälters verbunden ist. Der mittlere Teil der Bodenseite ist offen und liefert so eine Bauweise, die gegen die unvermeidlichen Schwingungen der rotierenden Anordnung und des Antriebs unempfindlich ist, die noch später im einzelnen

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beschrieben werden. Diese Bauweise bedient sich einer flexiblen Membran 78, die ringförmig sich von innen zur Innenkante des ringförmigen äußeren Bodenwandstücks 77 erstreckt. Die Außenkante der ringförmigen Membran 78 ist zwischen dem äußeren Bodenwandstück 77 und einem äußeren Membranhaltering 79 eingesetzt, der mit passenden Befestigungselementen daran befestigt ist. Die Innenkante der Membran 7 8 ist gegenüber der Außenkante erhöht und mit einer Antriebsbasisplatte 80 verbunden. Ein Haltering 81 für die Membraninnenkante ist mit Befestigungselementen unterhalb der Basisplatte 80 befestigt, um die Membran 7 8 einzufassen.

Die Reinigungskammer 47 ist höchst vorzugsweise mit einem falschen Boden bzw. einem bodenseitigen Einbau 85 versehen. Der Bodeneinbau ist der Größe nach so gewählt, daß ein Raum zwischen seinem Außenumfang und den Innenflächen der Seitenwände des Reinigungsbehälters vorgesehen ist. Dieser ringförmige Auslaß- und Abzugseinbauraum ermöglicht eine Strömung von Abgas und abziehenden Flüssigkeiten um die Außenseite des Einbaues herum nach unten. Der Einbau 85 besteht höchst vorzugsweise aus zwei Teilen, einem oberen oder ersten Ablenkteil 86 und einem unteren oder zweiten Ablenkteil 87. Das obere Ablenkteil ist flach und vorzugsweise leicht gewölbt, um auffallende Flüssigkeiten abzuführen. Das untere Ablenkteil 87 verläuft kegelstumpfförmig nach außen und ist mit der Umfangskante des oberen Ablenkteils 86 verbunden und stützt dieses ab. Der bodenseitige Einbau 85 wird an Bügeln 88 abgestützt, die von der unteren Bodenwand 77 nach oben reichen und mit dem unteren Ablenkteil 87 verbunden sind.

Der Reinigungsbehälter 21 ist vorzugsweise mit mindestens einem äußeren Sprühverteiler 90 versehen. Der äußere Sprühverteiler 90 ist unmittelbar mit den Seitenwänden 7 2 verbunden und mit äußeren Anschlüssen 91 an Flüssigkeitszuführungen 92 angeschlossen. Wie dargestellt, wird der Reini-

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gungsbehälter vorteilhafterweise mit vier äußeren Sprühverteiler 9 0 versehen, die in etwa gleichen Winkeln um die Mittelachse des Behälters beabstandet angeordnet sind. Die Sprühverteiler sind mit einer Reihe von Sprühdüsen 93 versehen. Die Sprühdüsen 93 sind nach innen gerichtet, um Wasser, ein Reinigungsmittel mit Wasser, Lösungen oder Mischungen oder andere Reinigungsflüssigkeiten nach innen und direkt auf die Mittelachse der Kammer zu sprühen.

Fig. 7 zeigt, daß der Reinigungsbehälter 21 auch vorzugsweise mit mindestens einem äußeren Trockengasverteiler 100 versehen ist. Der äußere Trockengasverteiler 100 ist ähnlich wie die Sprühverteiler 90 für die Reinigungsflüssigkeit aufgebaut und an der Seitenwand 72 des Reinigungsbehälters befestigt. Die Trockengasverteiler werden mit einem unter Druck gesetzten sekundären Trockengas über Anschlüsse 101 in der Seitenwand 72 versorgt. Die Anschlüsse 101 (Fig. 6) sind an Zuleitungen 102 für sekundäres Trockengas angeschlossen. Diese Leitungen werden mit sekundärem Trockengas versorgt, wie mit reiner trockener Luft oder Stickstoff. Die Trockengasverteiler besitzen Gasdüsen 103. Die Düsen 103 sind nach innen gerichtet, um Ströme von sekundärem Trockengas zu liefern, die auf die zu trocknenden Scheibenträger auftreffen. Wie dargestellt, sind vier äußere Verteiler 100 für sekundäres Trockengas etwa in gleichen Winkeln um den Reinigungsbehälter beabstandet angeordnet. Die Gasverteiler und Sprühverteiler sind vorteilhafterweise abwechselnd um den Durchmesser der kreisförmigen äußeren von den Verteilern 90 und 100 gebildeten Verteilerreihe angeordnet.

Die Fig. 7 und 9 zeigen auch, daß die Reinigungskammer 47 vorzugsweise mit mehreren inneren Flüssigkeits-Sprühverteilern 110 und inneren Sekundärtrockengas-Verteilern 120 versehen ist. Die Funktion der Verteiler 110 liegt darin, Reinigungsflüssigkeit oder Spülflüssigkeit(en) auf die am Rotor 70 gelagerten Halbleiterscheiben zu sprühen. Die inneren

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Sprühverteiler sind kreisförmig in etwa gleichmäßig beabstandeten Lagen befestigt, wie Fig. 9 zeigt. Die inneren Flüssigkeits-Sprühverteiler sind an dem bodenseitigen Einbau 85 befestigt und reichen nach oben in radialen Positionen/ die innerhalb des Käfigs 71 des Rotors 70 liegen. Die zu reinigenden und zu trocknenden Scheibenträger werden auf dem Rotorkäfig 71 in passender Weise befestigt, wie nach erläutert wird. Die inneren Flüssigkeits-Sprühverteiler 110 sind mit mehreren Düsen 113 versehen, die an den Verteilern in beabstandeten senkrechten Lagen befestigt sind. Die Düsen sind allgemein nach außen oder in radialer Richtung auf den Rotorkäfig zu gerichtet.

Fig. 9 zeigt eine Reihe innerer sekundärer Trockengasverteiler 120, zwischen denen jeweils innere Flüssigkeits-Sprühverteiler 110 angeordnet sind. Hier sind vier Verteiler etwa gleichwinklig um die Mittelachse der Reinigungskammer und die Drehachse des Rotors 70 angeordnet. Die Verteiler 120 haben mehrere senkrecht beabstandete Düsen 123 längs der aufrechtstehenden Verteiler. Die Düsen richten sekundäres Trockengas in divergierenden Strahlen nach außen auf den Rotorkäfig 71 zu und auf die darauf angeordneten Scheibenträger. Das Trockengas dient zum Abblasen und Evaporieren von Spül- oder Waschflüssigkeiten von der Oberfläche des Rotors und der zu reinigen Scheibenträger.

Die den Sprühverteilern 90 und 110 zugeführte Flüssigkeit und das den Verteilern 100 und 120 zugeführte sekundäre Trockengas werden vorzugsweise von einem automatischen Steuergerät (nicht dargestellt) gesteuert, von dem Magnetventile (nicht dargestellt) betrieben werden. Die Magnetventile steuern die Strömung der Druckluft oder eines anderen pneumatischen Steuergases oder eines anderen passenden Fluids. Das Steuergas wird den pneumatisch gesteuerten Magnetventilen steuerbar zugeführt, welche unmittelbar die Strömung der Reinigungsflüssigkeiten und des Trockengases zu

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den Verteilern 90 und 100 kontrollieren. Manuelle Zuführventile (nicht dargestellt) für Reinigungsfluid und sekundäres Trockengas sind parallel zu den pneumatisch gesteuerten Ventilen vorgesehen, um gegebenenfalls eine händische Bedienung zu ermöglichen.

Druckmesser 95 (s. Fig. 4) werden vorteilhafterweise benutzt, um eine Druckanzeige an den Sprüh- und Gasverteilern zu liefern. Zugehörige Druckregelventile 96 sind vorgesehen und ermöglichen eine händische Regelung der Drücke an den Verteilern.

Der Reinigungsbehälter 21 ist auch mit Mitteln zum Abziehen der Flüssigkeiten ausgestattet. Ferner sind Mittel zum Entfernen der Trockengase vorgesehen. Wie dargestellt, besitzt die Reinigungsvorrichtung 20 ein Untersystem 130 zum Abfluß von Flüssigkeit und Entfernen von Gas, das teilweise diese Funktionen vereint. Das Untersystem 130 weist eine Abflußkammer 131 auf. Die Abflußkammer 131 ist unterhalb der Bodenwand der Reinigungskammer befestigt. Das äußere Bodenwandstück 77 hat eine Abflußöffnung in die Abflußkammer. So fließt Flüssigkeit über die Bodenwand des Reinigungsbehälters und in die Abflußkammer. Gase strömen aus der Reinigungskammer durch die Abströmöffnung in die Abflußkammer 131. Der Boden der Abflußkammer ist schräg zu einem zentralen Trog und einer Flüssigkeitsabflußöffnung 134 hin geneigt. Eine Flüssigkeitsabflußleitung 133 ist an der Abflußöffnung 134 vorgesehen und führt die aus der Reinigungskammer abfließenden Flüssigkeiten zu einem Abflußrohr oder Gully.

Die Abflußkammer 131 hat auch einen Gasauslaß 135 zum Abziehen der Gase aus der Abflußkammer in eine Gasabflußleitung. Wie dargestellt, ist die Gasabflußleitung in Gestalt eines aufrechtstehenden Abströmkamins 136 ausgebildet. Der

Kamin 136 ist an ein Abströmsystem angeschlossen, um Gase und feuchte Dämpfe aus der Reinigungskammer abzuführen.

Fig. 7 zeigt Teile einer rotierenden Einrichtung mit dem Rotor 70 und daran befestigten Rotorkäfig 71. Der Rotor wird von einem Rotorgehäuse 140 aufrecht abgestützt. Das Rotorgehäuse 140 ist auf einer Basisplatte 80 befestigt. Die Basisplatte 80 ruht auf Befestigungen 23a, die sich allgemein von vorne nach hinten erstrecken. Die Befestigungen 23a bilden einen geschweißten Unterrahmen am Rahmen 22. Die Befestigung erfolgt vorteilhafterweise mit einem Ring 82, der an die Befestigungen 23a angeschraubt ist. Elastische Dämpferpuffer 83 liegen zwischen der Basisplatte und dem Ring 82. Die Bolzen 84 greifen durch Löcher in Scheiben 89, dem Ring 82, den Puffern 83 und der Basisplatte 80, um die Basisplatte am Rahmen derart zu befestigen, daß Schwingungen und Stöße aufgefangen werden.

Ein Antriebsmotor 150 sitzt unterhalb der Basisplatte 80 zum Antrieb der rotierenden Einrichtung. Der Motor 150 reicht nach unten in den dritten Abschnitt 53 der Reinigungsvorrichtung hinein. Der Motor 150 ist vorzugsweise ein bürstenloser Gleichstrommotor, um Kontaminierung durch kontaktierende elektrische Bürstenmotoren zu vermeiden. Der Motor ist mit Hilfe komplementärer konischer Richtringe 190 positioniert.

Die Fig. 8, 8A und 8B zeigen Schnitte des Rotors, des Rotorgehäuses und des Antriebes in Einzelheiten. Der Rotor 70 besitzt eine Welle 144. Die Welle 144 ist im Rotorgehäuse 140 drehbar gelagert. Das Rotorgehäuse besitzt ein oberes oder erstes Gehäuseteil 141 und ein unteres oder zweites Gehäuseteil 142. Beide Gehäuseteile sind mit Schrauben 143 miteinander verbunden. Das Rotorgehäuse 140 ist mit Schrauben 145 mit der Basisplatte 80 verbunden. Das untere Rotorgehäuse dient auch als Gehäuse für eine Bremse 155.

Die Fig. 8 und 8A zeigen, daß der Rotor 70 im oberen Rotorgehäuse 141 mit Hilfe eines oberen oder ersten Lagers 147 und eines unteren oder zweiten Lagers 148 drehbar gelagert ist. Das obere Lager ist vorteilhafterweise ein doppeltes Kugellager, dessen äußerer Laufring in einer Lagerhülse 157 des oberen Lagers sitzt. Die Lagerhülse 157 ist mit Schrauben 160 an dem oberen freien Ende des Gehäuseteils 141 befestigt. Die Lagerhülse 157 hält auch Lagerdichtungen 161 und 162 zum Abdichten der Lagerschmiermittelzone, um den Austritt von in den Lagern erzeugten Partikel zu verhindern. Die obere Dichtung 161 liegt zwischen dem Außenring des Lagers 147 und einem Haltering 165, der mit Schrauben 160 befestigt ist. Ein Schirm 166 ist zum Schutz der Dichtung

161 vorteilhafterweise vorgesehen. Die zweite Lagerdichtung

162 wird mit Hilfe zweier Federhalterringe 163 beidseitig gehalten. Auch wird ein Schirm 164 vorteilhafterweise verwendet .

Fig. 8A zeigt auch, daß das obere freie Ende der Rotorwelle 144 vorzugsweise mit einem Flansch 168 mit Bohrungen zur Aufnahme von Schrauben 169 versehen ist. Ein Spritzschirm oder eine Spritzkappe 170 ist zwischen dem Rotorrad 171 und dem Flansch 168 mit Schrauben 169 befestigt. Die Spritzkappe 170 und das Rotorrad 171 rotieren mit der Welle 144.

Die Fig. 8 und 8B zeigen die untere Lageranordnung für den Rotor. Das untere Lager 148 ist in der Lage, den größten Teil der vom Gewicht der rotierenden Anordnung herrührenden Schublast zu tragen. Hierzu passen selbstausrichtende Kugellager mit Kugelkontakt. Der innere Laufring des Lagers 148 wird mit Federhalterringen 173 an der Welle 144 gehalten. Ein Lagerschirm 174 ist über dem Lager 148 angebracht. Der Außenring des Lagers 148 liegt innerhalb einer Befestigungshülse 176 für das untere Rotorlager. Die Hülse 176 ist mit dem unteren nahen Ende des Rotorgehäusestücks 141 mit

Schrauben 177 verbunden. Die Hülse 176 trägt auch eine Wellendichtung 178 unter Verwendung eines Federhalteringes 179.

Der Antrieb weist vorzugsweise eine rotierende Bremse 155 auf. Die Bremse 155 liegt innerhalb des unteren oder zweiten Rotorgehäuseteils 142. Die Bremse besitzt einen rotierenden zylindrischen Teil 181, der an der Rotorwelle 144 und Motorausgangswelle 151 mit einem Keil 182 und zwei sich gegenüberstehenden Federhalteringen 187 befestigt ist. Der Außenumfang des rotierenden zylindrischen Bremsteils 181 wird von einer Reihe Bremsbelägen 183 erfaßt. Die Bremsbeläge 183 kleiden die Innenseite eines Zylinders aus, der als Bremsstellglied 184 dient. Das Bremsstellglied 184 ist elastisch verformbar und wird durch Zufuhr von Druckmittel in die innere Expansionskammer 185 aufgeblasen. Im aufgeblasenen Zustand bewegen sich die Beläge nach innen und erfassen die Außenseite der rotierenden Bremstrommel 181. Die rotierende Anordnung kann mit dem Bremssystem 155 gesteuert angehalten werden. Dies ist bedeutsam zum Verlangsamen der rotierenden Einrichtung und zum Anhalten in einer passenden Lage zum Laden und Ausladen der Scheibenträger. Die rotierende Anordnung wird freigegeben, indem der Druck in der Kammer 185 entlastet wird.

Die rotierende Anordnung besitzt auch ein Rotorrad 171, das am oberen freien Ende des auf der aufrechten Rotorwelle 144 befestigt ist. Das Rotorrad 171 hat einen Umfangsrand 192, der an einer Nabe 194 mit mehreren Speichen 193 befestigt ist. Die Abstände zwischen den Speichen sind offen, um die nach unten gerichtete Strömung des primären Trockengases aus dem Trockengaseinlaß 65 in den Innenraum des Rotorkäfigs 51 zu fördern.

Das Rotorrad trägt den Rotorkäfig 71. Der Rotorkäfig besitzt mehrere Umfangsringe 196. Der oberste Umfangsring ist vorteilhafterweise vom Umfangsring 192 des Rotorrades 171 ge-

bildet. Der Käfig hat auch mehrere verbindende Längsstreben 197 zwischen den Käfigringen 196. Verstärkungsstücke 198 liegen zwischen dem Rotorrad und dem Käfig, um zu verstärken und eine zusätzliche Schaufelfläche zum Bewegen des Trockengases beim Drehen des Rotors zu liefern.

Die Drehbewegung des Rotorrades und des Rotorkäfigs führt zu einer Zentrifugalwirkung des Trockengases und liefert dadurch eine Gasströmung. Die Trockengasströmung ist allgemein nach unten in das Innere des Käfigs gerichtet und dann nach außen auf die periphären Seitenwände des Reinigungsbehälters hin. Der bodenseitige Einbau 85 hat innen einen Abstand von den Seitenwänden des Reinigungsbehälters, läßt also einen Ringraum offen. Die Zentrifugalwirkung des Rotors führt so zu einer Strömung nach außen und unten im Sinne eines Abwaschens und tritt durch die Ringöffnung um den bodenseitigen Einbau aus. Unterhalb des Einbaues strömt das Gas über die Bodenwand des Reinigungsbehälters zur Abströmkammer 131. Diese Konstruktion dient zum Aufrechterhalten einer relativ gesteuerten TrockengasStrömung zum Abführen von Flüssigkeitsdämpfen aus der Reinigungskammer und hält Turbulenz und komplexe Gasströmungen nahe des Bodens der Kammer minimal, die sonst auftreten würden und die Partikelmengen der in der Reinigungsvorrichtung 20 gereinigten Scheibenträger in Frage stellen.

Die Fig. 9 bis 11 zeigen eine bevorzugte Bauweise für die Halter 200 der Scheibenträger für das Reinigen in der Vorrichtung 20. Es sind vier Halter 200 voneinander beabstandet in etwa gleichen Winkellagen am Rotorkäfig 71 vorgesehen. Die Halter bestehen aus einem oberen oder ersten Tragarm 201 und einem unteren oder zweiten Tragarm 202. Die Tragarme sind an den Rotorkäfigringen 196 mit Schrauben 203 befestigt. Die oberen Tragarme haben ein Hauptstück 205. An diesem sind äußere Haltenasen 206 und ein innerer Anschlag 207 befestigt, die beide vorteilhafterweise aus Nylon oder einem

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anderen Polymer hergestellt sind. Die unteren Tragarme 203 haben ein Hauptstück 210, das eine äußere Schwenkstange 211 und ein inneres Anschlagstück 212 trägt.

Die Halter für die Scheibenträger weisen ferner einen lösbaren Haltekorb 214 für die Scheibenträger auf. Die Körbe 214 haben einen umfangsseitigen Rahmen 215 und einen netzförmigen Korb 216. Die Körbe haben eine von dem umfangsseitxgen Rahmen definierte Öffnung, wobei sich der Korb nach außen erstreckt, um innen einen Speicherraum für Scheibenträger zu bilden. Die Scheibenträger werden längs der nach innen gerichteten Seite des Korbes 216 gehalten.

Die Halter sind mit Enden 217 und 218 zum Erfassen der Tragarme versehen. Das erste oder obere Ende 217 erfaßt den oberen oder ersten Tragarm 201. Das zweite oder untere Ende erfaßt den unteren oder zweiten Tragarm 202. Das erste Ende 217 hat einen Bügel 219, der etwa rechtwinklig zu der von dem Rahmen 215 gebildeten Ebene verläuft. Der Bügel 219 ist von der Korböffnung weg gerichtet bzw. nach oben, wenn der Korb beim Befestigen am Rotor flachgelegt ist. Der Bügel 219 wird aufgerichtet über die äußere Haltenase 206 und dann in die links in Fig. 11 dargestellte Lage gesenkt. Eine Haltenut 220 auf der Innenseite der Nase 206 hält den Bügel fest. Die Zentrifugalkraft drückt den Bügel in die Nut 220.

Das untere Ende 218 besitzt einen Bügel 222, der gekrümmt ist und drei verschiedene Abschnitte bildet. Der erste Abschnitt 223 liegt rechtwinklig zur Ebene der Korböffnung. Der erste Abschnitt verläuft in Längsrichtung des Korbendes und entgegengesetzt zur Richtung des ersten Bügels 219. Der zweite Abschnitt 224 des Bügels 222 verläuft parallel zur Ebene der Korböffnung und vom Korb hinweg. Der erste und zweite Abschnitt sind in einer Krümmung vereint, die auf einer gekrümmten, oberen Außenecke des unteren Anschlagstückes 212 aufliegt. Der Bügel 222 hat ferner einen dritten

Abschnitt, der ähnlich dem ersten Abschnitt 223 verläuft. Der zweite und dritte Abschnitt ist mit einer Krümmung vereint, die beim Montieren des Korbes auf der äußeren Schwenkstange 211 aufliegt und über diese rollt. Der rechts in Fig. 11 dargestellte Korb zeigt die Anfangsstellung. Der Korb wird dann nach oben geschwenkt bzw. gerollt und angehoben, so daß sich der Bügel 219 über die Nase 206 bewegen kann. Der Korb wird dann in die links in Fig. 11 dargestellte Einbaulage abgesenkt.

Die Reinigungsvorrichtung wird zum Reinigen von Halbleiterscheibenträger benutzt. Die Reinigung beginnt mit dem Einladen der Scheibenträger in die Körber 216. Die Einlaßtür 33 wird geöffnet und die beladenen Körbe werden durch den Einlaß 34 hindurch am Rotor festgelegt. Dies wird wiederholt, bis alle Trägerhalter beladen worden sind, vorzugsweise mit etwa gleicher Belastung. Dann wird die Einlaßtür mit dem Stellgliedzylinder 38 geschlossen. Das Schließen beinhaltet auch das Abdichten der Einlaßtür an der Einlaßöffnung 34.

Dann erfolgt das Reinigen der Scheibenträger, wobei der Rotor rotiert und die Scheibenträger mit Wasser, Lösemittel, Waschmittel oder anderen Wasch- und Reinigungsflüssigkeiten besprüht werden, die von den inneren und äußeren Flüssigkeits-Sprühverteilern 110 und 90 abgegeben werden. Die Reinigung mit Flüssigkeitssprühen und Rotieren erfolgt solange, bis alle Flächen der Scheibenträger ausreichend gereinigt sind. Das gleichzeitige Sprühen und Rotieren vermittelt eine unterschiedliche Sprührichtung der Flüssigkeit, um das Ablösen von Schmutz, Fett und anderen Rückständen von den Scheibenträgern zu verbessern.

Nach dem Behandeln der Träger mit den Reinigungsflüssigkeiten erfolgt vorteilhafterweise ein Trocknen. Beim Trocknen werden Trockengase in die Reinigungskammer eingeführt. Das primäre Trockengas wird durch die Kammer 57 eingeführt. Das

primäre Trockengas wird durch Filtern der Einlaßluft oder eines anderen primären Trockengases behandelt. Dann wird das primäre Trockengas auf eine bestimmte Temperatur, so im Bereich von 38 bis 150⁰C oder höher, erhitzt, abhängig von den Werkstoffen der Scheibenträger. Das primäre Trockengas wird auch behandelt, um statische Elektrizität mit dem Entstörgerät 66 abzuführen. Dann wird das gefilterte, erhitzte und von statischer Elektrizität befreite primäre Trockengas in die Reinigungskammer 47 eingeführt. Der Gasstrom erfolgt durch Rotieren des Rotors. Die zentrifugale Wirkung des Rotors saugt so primäres Trockengas durch das Filter, die Kammer und die Heizung in die Behandlungskammer und aus ihr heraus. Die Trockengasströmung dient zum Trocknen der Scheibenträger, die in der Reinigungskammer gedreht werden.

Die Scheibenträger werden auch vorzugsweise getrocknet, indem sekundäres Trockengas unter Druck durch die äußeren und inneren Trockengasverteiler 100 und 120 eingeführt wird. Das Trocknen wird durch das Ausströmen des Trockengases auf die Scheibenträger unterstützt, während diese Träger am Rotor gedreht werden. Das gleichzeitige Drehen und Anströmen mit Trockengas unterstützt das Exponieren der Zwischenräume der Scheibenträger hinsichtlich des Trocknens mit sekundärem Trockengas sowie auch des primären Trockengases. Das sekundäre Trockengas kann saubere trockene Luft sein, Stickstoff oder ein anderes Trockengas, das nur gering kontaminiert ist und einen geringen Dampfgehalt hat, um so die Trockenzeit zu verkürzen. Die Scheibenträger werden vom primären und sekundären Trockengas so lange behandelt, bis alle Flächen der Träger trocken sind.

Die Behandlung der Scheibenträger wird fortgesetzt, indem der Rotor angehalten und die Halter 200 schrittweise neben den Auslaß 36 verbracht werden. Ist der erste Halter neben dem Auslaß 36 angelangt, so wird vom Stellglied 37 die Auslaßtür 35 geöffnet. Der Halter wird dann aus dem Rotor ent-

fernt, indem der obere Bügel 219 über die Nase 206 gehoben wird und der Halter nach,unten in die Ladeposition verbrach wird, wie Fig. 11 auf der rechten Seite zeigt. Die Scheibenträger können dann entweder aus dem Korb entfernt werden oder der gesamte Halter kann entfernt und an passender Stelle ausgeladen werden.

Es ist ferner bemerkenswert, daß die Scheibenträger beim Laden aus einem vergleichsweise weniger sauberen Raum kommen, der manchmal als "Grey"-Raum bezeichnet wird. Die gereinigten Einheiten werden in einem sauberen Raum entladen, in dem die gereinigten Träger kaum kontaminiert werden können. So ist die Reinigungsvorrichtung vorzugsweise so untergebracht, daß die Einlaßtür sich in den "Grey"-Raum öffnet und die Auslaßtür in den sauberen Raum mündet.

Die Reinigungsvorrichtung läßt sich in bekannter Weise durch Schweißen, Bearbeiten und anderen Formungsvorgängen bauen. Der Reinigungsbehälter und andere Zuführleitungen für Gase und Flüssigkeiten bestehen vorzugsweise aus Edelstahl. Der Aufbau als solcher kann aus Stahl und anderen passenden Werkstoffen bestehen.

Die Erfindung ist zum Reinigen von Halbleiterscheibenträgern, Behältern zum Halten von Halbleiterscheibenträgern und ähnlichen Gegenständen nützlich, die sehr geringe Kontaminierungswerte erfordern.

Claims (55)

M-9023 SCHUTZANSPRÜCHE:

1. Zentrifugale Reinigungsvorrichtung für Scheibenträger,·

mit einem Rahmen, einem vom Rahmen getragenen Reinigungsbehälter, der eine Reinigungskammer bildet und ferner eine Einlaßöffnung und eine Auslaßöffnung aufweist, wobei die Einlaßöffnung in dem Reinigungsbehälter zum Einsetzen von Scheibenträgern in die Reinigungskammer durch die Öffnung hindurch ausgebildet ist und die Auslaßöffnung in dem Reinigungsbehälter zum Entfernen von Scheibenträgern aus der Reinigungskammer durch die Auslaßöffnung ausgebildet ist, mit einer Einlaßtür zum steuerbaren Öffnen und Schließen der Einlaßöffnung, einer Auslaßtür zum steuerbaren Öffnen und Schließen der Auslaßöffnung, einem in der Reinigungskammer drehbar angeordneten Rotor, mehreren mit dem Rotor verbundenen Scheibenträgerhaltern zum Halten der Scheibenträger beim zentrifugalen Reinigen, mit einem Rotorantrieb zum steuerbaren Drehen des Rotors, mindestens einem Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeit in der Reinigungskammer zum Besprühen der in den Scheibenträgerhaltern gehaltenen Scheibenträger mit Reinigungsflüssigkeit, mindestens einer Trockengaszufuhr zum Einführen von Trockengas in die Reinigungskammer zum Trocknen der Scheibenträger von Reinigungsflüssigkeit.

2. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der sich der Rotor von unteren Teilen der Reinigungskammer nach oben erstreckt.

3. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 und 2, bei der sich der Rotor innerhalb eines in der Reinigungskammer befestigten Rotortraggehäuses nach oben erstreckt.

4· Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 und 3, bei der der Rotor an seinen oberen Teilen ein Rotorrad und einen Rotorkäfig aufweist, der an dem Rotorrad befestigt ist und sich nach unten erstreckt, um mehrere Scheibenträgerhalter zu stützen.

5. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 und 4, bei der mindestens ein Sprühverteiler mindestens einen inneren Sprühverteiler aufweist, der sich in der Reinigungskammer zwischen dem Rotorkäfig und dem Rotortraggehäuse nach oben erstreckt.

6. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 und 4, bei der mehrere Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeit vorgesehen sind, die äußere Sprühverteiler aufweisen, die von außen her nach innen auf die in den Scheibenträgerhalter gehaltenen Scheibenträger sprühen und innere Sprühverteiler, die von innen her nach außen auf die in den Haltern gehaltenen Scheibenträger sprühen, wobei die inneren Sprühverteiler sich in der Reinigungskammer zwischen dem Rotorkäfig und dem Rotortraggehäuse nach oben erstrecken.

7. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Rotor sich von unteren Teilen der Behandlungskammer nach oben erstreckt und einen Rotorkäfig zum Abstützen mehrerer Scheibenträgerhalter aufweist.

8. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Rotor eine von unteren Teilen der Reinigungskammer nach oben erstreckende Rotorwelle aufweist, der Rotor ferner einen Rotorkäfig mit sich nach unten erstreckenden Teilen aufweist und der mindestens einen inneren Sprühverteiler aufweist, der sich in der Reinigungskammer zwischen dem Rotorkäfig und der Rotorwelle nach oben erstreckt.

9. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Rotor eine sich von unteren Teilen der Reinigungskammer nach oben erstreckende Rotorwelle aufweist, der Rotor einen Rotorkäfig mit nach unten reichenden Teilen aufweist, und bei der mehrere Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeit vorgesehen sind, die äußere Sprühverteiler aufweisen, die vom Rotorkäfig nach außen gerichtet sind, um von außen her nach innen auf in den Haltern gehaltene Scheibenträger zu sprühen und innere Sprühverteiler, die von innen her nach außen auf in den Haltern gehaltene Scheibenträger sprühen, wobei die inneren Sprühverteiler sich in der Reinigungskammer zwischen dem Rotorkäfig und der Rotorwelle nach oben erstrecken.

10. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, mit mindestens einem Trockengasfilter zum Ausfiltern von Fremdstoffen aus dem aus mindestens einer Trockengaszuführung der Reinigungskammer zugeführten Trockengas.

11. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 und 10, bei der mindestens eine Trockengasheizung zum Aufheizen des der Reinigungskammer durch mindestens eine Trockengaszuführung zugeführten Trockengases vorgesehen ist.

12. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, mit einer Trockengaskammer, mindestens einem Trockengasfilter-zum Ausfiltern von Fremdstoffen aus dem der Trockengaskammer zugeführten Trockengas, mindestens einer in der Trockengaskammer zum Aufheizen des gefilterten Trockengases angeordneten Trockengasheizung und wobei das gefilterte aufgeheizte Trockengas aus der Kammer durch mindestens eine Trockengaszuführung der Reinigungskammer zugeführt wird.

13. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der mindestens eine Trockengaszuführung etwa mit der Drehachse des Rotors fluchtet.

14. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der mehrere Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeiten vorgesehen sind.

15. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 und 14, bei der die Sprühverteiler äußere Sprühverteiler aufweisen, die von außen her nach innen auf die in den Haltern gehaltenen Scheibenträger sprühen und innere Sprühverteiler, die von innen her nach außen auf die in den Haltern gehaltenen Scheibenträger sprühen.

16. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 und 14, mit mehreren Trockengasverteilern zum Austritt von Trockengas auf die Scheibenträgerhalter und darin gehaltene Scheibenträger, um das Abtrocknen der Reinigungsflüssigkeit zu unterstützen.

17. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 und 15, ferner mit mehreren Trockengasverteilern zum Anblasen der Scheibenträgerhalter und darin gehaltener Scheibenträger mit Trockengas zum Unterstützen des Trocknens der Reinigungsflüssigkeit .

18. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, 15 und 17, bei der mehrere Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeit vorgesehen sind, von denen jeder mehrere Düsen aufweist.

19. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, 15 und 17, bei der die Trockengasverteiler äußere Gasverteiler zum Anblasen der in den Haltern gehaltenen Scheibenträger von außen her nach innen aufweisen und innere Gasverteiler zum Anblasen von in den Haltern gehaltenen Scheibenträger von innen her nach außen.

20. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, ferner mit einer zweiphasigen Abströmkammer zum Abziehen von Flüssig-

keit und Entfernen von Trockengas nahe dem Boden der Reinigungskammer .

21. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, ferner muit einem unteren Einbau, der vom Boden der Reinigungskammer beabstandet und daneben angeordnet ist.

22. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Einlaß- und Auslaßtür verschiebbar sind.

23. Zentrifugale Reinigungsvorrichtung für Scheibenträger mit einem Rahmen, einem am Rahmen getragenen Reinigungsbehälter, der eine Reinigungskammer bildet und ferner eine Einlaß- und Auslaßöffnung aufweist, wobei die Einlaßöffnung in dem Reinigungsbehälter zum das Einsetzen von Scheibenträgern in die Reinigungskammer durch die Öffnung hindurch ausgebildet ist und die Auslaßöffnung in dem Reinigungsbehälter zum Entfernen von Scheibenträgern aus der Reinigungskammer durch die Auslaßöffnung ausgebildet ist, mit einer Einlaßtür zum steuerbaren Öffnen und Schließen der Einlaßöffnung, einer Auslaßtür zum steuerbaren Öffnen und Schließen der Auslaßöffnung, ein ein in der Reinigungskammer drehbar gelagerten Rotor, mehreren Scheibenträgerhaltern am Rotor zum Halten von Scheibenträgern beim zentrifugalen Reinigen ,

mit einem Rotorantrieb zum steuerbaren Drehen des Rotors, mindestens einen Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeit in der Reinigungskammer zum Besprühen der in den Haltern gehaltenen Scheibenträger mit Reinigungsflüssigkeit, einem Flüssigkeitsabzug zum Entfernen von Reinigungsflüssigkeit aus der Reinigungskammer, mindestens einer Trockengaszufuhr zum Einführen von Trockengas in die Reinigungskammer zum Trocknen der Scheibenträger von Reinigungsflüssigkeit, mindestens einen Trockengasfilter zum Ausfiltern von Fremdstoffen aus dem Trockengas, das der Reinigungskammer durch mindestens eine Trockengaszufuhr zugeführt wird, mindestens einem Gas-

auslaß zum Entfernen von Trockengas aus der Reinigungskammer.

24. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, bei der sich der Rotor von unteren Teilen der Reinigungskammer nach oben erstreckt.

25. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23 und 24, bei der sich der der Rotor innerhalb eines in der Reinigungskammer befestigten Rotortraggehäuses nach oben erstreckt.

26. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23 und 25, bei der der Rotor an seinen oberen Teilen ein Rotorrad und einen Rotorkäfig aufweist, der an dem Rotorrad befestigt ist und sich nach unten erstreckt, um mehrere Scheibenträgerhalter zu stützen.

27. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23 und 26, bei der mindestens ein Sprühverteiler mindestens einen inneren Sprühverteiler aufweist, der sich in der Reinigungskammer zwischen dem Rotorkäfig und dem Rotortraggehäuse nach oben erstreckt.

28. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, 25 und 26, bei der mehrere Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeit vorgesehen sind, die äußere Sprühverteiler aufweisen, die von außen her nach innen auf die in den Scheibenträgerhalter gehaltenen Scheibenträger sprühen und innere Sprühverteiler, die von innen her nach außen auf die in den Haltern gehaltenen Scheibenträger sprühen, wobei die inneren Sprühverteiler sich in der Reinigungskammer zwischen dem Rotorkäfig und dem Rotortraggehäuse nach oben erstrecken.

29. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, bei der der Rotor sich von unteren Teilen der Reinigungskammer nach

oben erstreckt und einen Rotorkäfig zum Abstützen mehrerer Scheibenträgerhalter aufweist.

30. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, bei der der Rotor eine sich von unteren Teilen der Reinigungskammer nach oben erstreckende Rotorwelle aufweist, der Rotor ferner einen Rotorkäfig mit sich nach unten erstreckenden Teilen aufweist und der Sprühverteiler mindestens einen inneren Sprühverteiler aufweist, der sich in der Reinigungskammer zwischen dem Rotorkäfig und der Rotorwelle nach oben erstreckt.

31. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, bei der der Rotor eine sich von unteren Teilen der Reinigungskammer nach oben erstreckende Rotorwelle aufweist, der Rotor einen Rotorkäfig mit nach unten reichenden Teilen aufweist, und bei der mehrere Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeit vorgesehen sind, die äußere Sprühverteiler aufweisen, die vom Rotorkäfig nach außen gerichtet sind, um von außen her nach innen auf in den Haltern gehaltene Scheibenträger zu sprühen und innere Sprühverteiler, die von innen her nach außen auf in den Haltern gehaltene Scheibenträger sprühen, wobei die inneren Sprühverteiler sich in der Reinigungskammer zwischen dem Rotorkäfig und der Rotorwelle nach oben erstrecken.

32. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, bei der mindestens ein Trockengasfilter nach Anspruch 10 und eine Trockengasheizung nach Anspruch 11 vorgesehen sind.

33. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, mit einer Trockengaskammer, mindestens einem Trockengasfilter zum Ausfiltern von Fremdstoffen aus dem der Trockengaskammer zugeführten Trockengas, mindestens einer in der Trockengaskammer zum Aufheizen des gefilterten Trockengases angeordneten Trockengasheizung und wobei das gefilterte aufgeheizte

Trockengas aus der Kammer durch mindestens eine Trockengaszuführung der Reinigungskammer zugeführt wird.

34. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, bei der mindestens eine Trockengaszuführung etwa mit der Drehachse des Rotors fluchtet.

35. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, bei der mehrere Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeiten vorgesehen sind.

36. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, bei der die Sprühverteiler äußere Sprühverteiler aufweisen, die von außen her nach innen auf die in den Haltern gehaltenen Scheibenträger sprühen und innere Sprühverteiler, die von innen her nach außen auf die in den Haltern gehaltenen Scheibenträger sprühen.

37. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, mit mehreren Flüssigkeitssprühverteilern und mit mehreren Trockengasverteilern zum Anblasen der Scheibenträgerhalter und darin gehaltener Scheibenträger mit Trockengas, um das Abtrocknen der Reinigungsflüssigkeit zu unterstützen.

38. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23 und 36, ferner mit mehreren Trockengasverteilern zum Anblasen der Scheibenträgerhalter und darin gehaltener Scheibenträger mit Trockengas zum Unterstützen des Trocknens der Reinigungsflüssigkeit.

39. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, 36 und 38, bei der mehrere Sprühverteiler für Reinigungsflüssigkeit vorgesehen sind, von denen jede mehrere Düsen aufweist.

40. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, 36 und 38, bei der die Trockengasverteiler äußere Gasverteiler zum An-

blasen der in den Haltern gehaltenen Scheibenträger von außen her nach innen aufweisen und innere Gasverteiler zum Anblasen von in den Haltern gehaltenen Scheibenträger von innen her nach außen.

41. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, ferner mit einer zweiphasigen Abströmkammer zum Abziehen von Flüssigkeit und Entfernen von Trockengas nahe dem Boden der Reinigungskammer .

42. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, ferner mit einem unteren Einbau, der vom Boden der Reinigungskammer beabstandet und daneben angeordnet ist.

43. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 23, bei der die Einlaß- und Auslaßtür verschiebbar sind.

44. Zentrifugale Reinigungsvorrichtung für Scheibenträger

mit einem Rahmen, einem vom Rahmen getragenen Reinigungsbehälter, der eine Reinigungskammer bildet und ferner eine Einlaßöffnung und eine Auslaßöffnung aufweist, wobei die Einlaßöffnung in dem Reinigungsbehälter zum Einsetzen von Scheibenträgern in die Reinigungskammer durch die Öffnung hindurch ausgebildet ist und die Auslaßöffnung in dem Reinigungsbehälter zum Entfernen von Scheibenträgern aus der Behandlungskammer durch die Auslaßöffnung ausgebildet ist, mit einer Einlaßtür zum steuerbaren Öffnen und Schließen der Einlaßöffnung, einer Auslaßtür zum steuerbaren Öffnen und Schließen der Auslaßöffnung, mit einem in der Reinigungskammer aufrecht stehenden drehbar gelagerten Rotor, der eine Rotorwelle in der Reinigungskammer besitzt und der Rotor einen Rotorkäfig mit nach unten reichenden Teilen aufweist, mit mehreren am Rotorkäfig zum Halten von Scheibenträgern während der Zentrifugalreinigung befestigten Scheibenträgerhaltern,

mit einem Rotorantrieb zum steuerbaren Drehen des Rotors, mit mehreren in der Reinigungskammer befestigten Sprühverteilern für Reinigungsflüssigkeit zum Ansprühen von in den Haltern gehaltenen Scheibenträgern mit Reinigungsflüssigkeit , wobei die Flüssigkeitssprühverteiler äußere Sprühverteiler aufweisen, die von außen her nach innen auf in den Haltern gehaltene Scheibenträger sprühen und innere Sprühverteiler, die von innen her nach außen auf in den Haltern gehaltene Scheibenträger sprühen, wobei die inneren Sprühverteiler sich in der Reinigungskammer zwischen dem Rotorkäfig und der Rotorwelle nach oben erstrecken, mit einem Flüssigkeitsabzug zum Abströmen von Flüssigkeit aus der Reinigungskammer, mindestens einer Trockengaszuführung zum Zuführen von Trockengas in die Reinigungskammer, um Reinigungsflüssigkeit an den Scheibenträgern zu trocknen, mit mindestens einem Trockengasfilter zum Ausfiltern von Fremdstoffen aus dem in die Reinigungskammer durch mindestens eine Trockengaszufuhr zugeführten Trockengases und mindestens einem Gasauslaß zum Entfernen von Trockengas aus der Reinigungskammer.

45. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, bei der die Trockengaszufuhr so angeordnet ist, daß Trockengas aus dem Trockengasfilter den oberen Teilen des Rotors zugeführt wird.

46. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44 und 45, bei der das Trockengas den oberen Teilen des Rotors neben einem Rotorrad zugeführt wird, das die Rotorwelle und den Rotorkäfig verbindet, wobei das Rotorrad wenigstens teilweise offen ist, um den Eintritt von Trockengas beim Rotieren zu ermöglichen.

47. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, bei der sich der Rotor nach oben von unteren Teilen der Reinigungs-

kainmer in einem Rotortraggehäuse erstreckt, das in der Reinigungskammer befestigt ist.

48. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, bei der mindestens ein Trockengasfilter zum Ausfiltern von Fremdstoffen aus dem Trockengas vorgesehen ist, das der Reinigungskammer durch mindestens eine Trockengaszuführung zugeführt wird und mindestens eine Trockengasheizung zum Aufheizen von Trockengas vorgesehen ist, das der Reinigungskammer durch mindestens eine Trockengaszuführung zugeführt wird.

49. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, mit mindestens einer Trockengaskammer, mindestens einem Trockengasfilter zum Ausfiltern von Fremdstoffen aus dem der Trockengaskammer zugeführten Trockengas, mindestens einer in der Trockengaskammer zum Aufheizen des gefilterten Trockengases angeordneten Trockengasheizung und wobei das gefilterte aufgeheizte Trockengas aus der Kammer durch mindestens eine Trockengaszuführung der Reinigungskammer zugeführt wird.

50. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, bei der mindestens eine Trockengaszuführung etwa mit der Drehachse des Rotors fluchtet.

51. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, mit mehreren Trockengasverteilern zum Austritt von Trockengas auf die Scheibenträgerhalter und darin gehaltene Scheibenträger, um das Abtrocknen der Reinigungsflüssigkeit zu unterstützen.

52. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, bei der mehrere Trockengasverteiler vorgesehen sind, die Trockengas auf die Scheibenträgerhalter und darin enthaltene Scheibenträger blasen, um das Abtrocknen von Reinigungsflüssigkeit zu unterstützen, wobei mehrere Trockengasverteiler mit äußeren Gasverteilern zum Blasen von außen her nach innen auf

die in Haltern gehaltenen Scheibenträger und innere Gasverteiler zum Blasen von innen her nach außen auf in den Haltern gehaltene Scheibenträger vorgesehen sind.

53. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, ferner mit einer zweiphasigen Abströmkammer zum Abziehen von Flüssigkeit und Entfernen von Trockengas nahe dem Boden der Reinigungskammer .

54. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, ferner mit einem unteren Einbau, der vom Boden der Reinigungskammer beabstandet und daneben angeordnet ist.

55. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 44, bei der die Einlaß- und Auslaßtür verschiebbar ist.