DE9307263U1 - - Google Patents
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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ID=6893227
Family Applications (1)
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---|---|
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Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19605599C1 (de) * | 1996-02-15 | 1996-10-31 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zum Transport von Substraten |
DE19605598C1 (de) * | 1996-02-15 | 1996-10-31 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zum Greifen und Halten von Substraten |
DE19529537A1 (de) * | 1995-08-11 | 1997-02-13 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats |
DE19529945A1 (de) * | 1995-08-16 | 1997-02-20 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats |
DE19614596C1 (de) * | 1996-04-13 | 1997-05-22 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zum Transport von Substraten |
DE19549045C1 (de) * | 1995-12-28 | 1997-06-05 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten |
EP0858963A2 (de) * | 1997-02-13 | 1998-08-19 | Leybold Systems GmbH | Vorrichtung zum Halten eines flachen Substrats |
DE19821019A1 (de) * | 1998-05-11 | 1999-11-18 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten |
EP0963930A2 (de) | 1998-04-02 | 1999-12-15 | Leybold Systems GmbH | Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats |
DE19827124A1 (de) * | 1998-06-18 | 1999-12-23 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen |
DE10050412A1 (de) * | 2000-10-12 | 2002-04-25 | Multi Media Maschinery Gmbh | Vorrichtung zum Greifen und Halten von auf einem Substrathalter abgelegten Disketten |
WO2002074449A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Toda Citron Technologies, Inc. | Disk lubrication mechanism |
DE10236456A1 (de) * | 2002-08-08 | 2004-02-26 | Steag Hamatech Ag | Haltevorrichtung für Substrate in einer Vakuumkammer |
EP1536456A1 (de) * | 2003-11-28 | 2005-06-01 | Singulus Technologies AG | Trägeranordnung |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3803411A1 (de) * | 1988-02-05 | 1989-08-17 | Leybold Ag | Vorrichtung zur halterung von werkstuecken |
DE3047513C2 (ko) * | 1979-12-21 | 1990-03-29 | Varian Associates, Inc., Palo Alto, Calif., Us | |
EP0389820A1 (de) * | 1989-03-30 | 1990-10-03 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines Werkstücks in eine Vakuumkammer |
-
1993
- 1993-05-13 DE DE9307263U patent/DE9307263U1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3047513C2 (ko) * | 1979-12-21 | 1990-03-29 | Varian Associates, Inc., Palo Alto, Calif., Us | |
DE3803411A1 (de) * | 1988-02-05 | 1989-08-17 | Leybold Ag | Vorrichtung zur halterung von werkstuecken |
EP0389820A1 (de) * | 1989-03-30 | 1990-10-03 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines Werkstücks in eine Vakuumkammer |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19529537A1 (de) * | 1995-08-11 | 1997-02-13 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats |
EP0761839A1 (de) * | 1995-08-11 | 1997-03-12 | Balzers und Leybold Deutschland Holding Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats |
US5803521A (en) * | 1995-08-11 | 1998-09-08 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for gripping a flat substrate |
US5669652A (en) * | 1995-08-16 | 1997-09-23 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for gripping a flat substrate |
DE19529945A1 (de) * | 1995-08-16 | 1997-02-20 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats |
EP0761840A1 (de) * | 1995-08-16 | 1997-03-12 | Balzers und Leybold Deutschland Holding Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats |
US5807062A (en) * | 1995-12-28 | 1998-09-15 | Jenoptik Aktiengesellschaft | Arrangement for handling wafer-shaped objects |
DE19549045C1 (de) * | 1995-12-28 | 1997-06-05 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten |
EP0790331A1 (de) * | 1996-02-15 | 1997-08-20 | Singulus Technologies GmbH | Vorrichtung zum Greifen und Halten von Substraten |
EP0790330A1 (de) * | 1996-02-15 | 1997-08-20 | Singulus Technologies GmbH | Vorrichtung zum Transport von Substraten |
US5876082A (en) * | 1996-02-15 | 1999-03-02 | Singulus Technologies Gmbh | Device for gripping and holding substrates |
US5879121A (en) * | 1996-02-15 | 1999-03-09 | Singulus Technologies Gmbh | Substrate transporting apparatus |
DE19605599C1 (de) * | 1996-02-15 | 1996-10-31 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zum Transport von Substraten |
DE19605598C1 (de) * | 1996-02-15 | 1996-10-31 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zum Greifen und Halten von Substraten |
EP0801147A1 (de) * | 1996-04-13 | 1997-10-15 | Singulus Technologies GmbH | Vorrichtung zum Transport von Substraten |
US5913653A (en) * | 1996-04-13 | 1999-06-22 | Singulus Technologies Gmbh | Device for transporting substrates |
DE19614596C1 (de) * | 1996-04-13 | 1997-05-22 | Singulus Technologies Gmbh | Vorrichtung zum Transport von Substraten |
EP0858963A3 (de) * | 1997-02-13 | 1998-08-26 | Leybold Systems GmbH | Vorrichtung zum Halten eines flachen Substrats |
DE19705394A1 (de) * | 1997-02-13 | 1998-08-20 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung zum Halten eines flachen Substrats |
EP0858963A2 (de) * | 1997-02-13 | 1998-08-19 | Leybold Systems GmbH | Vorrichtung zum Halten eines flachen Substrats |
EP0963930A2 (de) | 1998-04-02 | 1999-12-15 | Leybold Systems GmbH | Vorrichtung zum Greifen und Halten eines flachen Substrats |
DE19821019A1 (de) * | 1998-05-11 | 1999-11-18 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten |
DE19827124A1 (de) * | 1998-06-18 | 1999-12-23 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen |
DE10050412A1 (de) * | 2000-10-12 | 2002-04-25 | Multi Media Maschinery Gmbh | Vorrichtung zum Greifen und Halten von auf einem Substrathalter abgelegten Disketten |
DE10050412B4 (de) * | 2000-10-12 | 2004-12-09 | Pfeiffer Vacuum Systems Gmbh | Vorrichtung zum Greifen und Halten von auf einem Substrathalter abgelegten Disketten |
WO2002074449A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Toda Citron Technologies, Inc. | Disk lubrication mechanism |
DE10236456A1 (de) * | 2002-08-08 | 2004-02-26 | Steag Hamatech Ag | Haltevorrichtung für Substrate in einer Vakuumkammer |
EP1536456A1 (de) * | 2003-11-28 | 2005-06-01 | Singulus Technologies AG | Trägeranordnung |