DE9303622U1 - Pumpensystem mit elektro-/magnetostriktivem Antrieb und elektrodynamischen Ein-/Auslaßventilen - Google Patents

Pumpensystem mit elektro-/magnetostriktivem Antrieb und elektrodynamischen Ein-/Auslaßventilen

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    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19912606A1 (de) * 1999-03-22 2000-12-14 Johannes Trabert Pumpeneinrichtung unter Anwendung eines elektrisch gesteuerten chemomechanischen Antriebs
CN113833634A (zh) * 2021-09-01 2021-12-24 北京航空航天大学 电磁驱动式mems微泵及该微泵的集成加工工艺

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DE19912606A1 (de) * 1999-03-22 2000-12-14 Johannes Trabert Pumpeneinrichtung unter Anwendung eines elektrisch gesteuerten chemomechanischen Antriebs
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