DE9216220U1 - Optischer Abtastkopf - Google Patents

Description

3539.2 - 1 - 27.11.1992

Optischer Abtastkopf

Die Erfindung betrifft einen optischen Abtastkopf gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Ein derartiger Abtastkopf ist in der DE-OS 40 19 450 beschrieben. Bei ihm ist die Optik unter Verwendung einer mindestens drei unabhängig erregte Spulen umfassenden Spulenanordnung frei schwebend gelagert. Auf diese Weise hat man zwar eine vollständig reibungsfreie Lagerung der Linse, andererseits ist die Stellungsmessung der Linse schwierig und die Betriebsschaltung für die Spulenanordnung ist kompliziert und aufwendig.

Mit bekannten optischen Abtastköpfen wird die auszumessende Werkstückoberfläche längs sehr eng benachbarter feiner Abtastlinien abgefahren, wozu Koordinatenantriebe verwendet werden, wie sie bei Meßmaschinen üblich sind. Dieses linienhafte Abfahren ist sehr zeitraubend. An und für sich könnte man nun mit einer rein magnetisch gelagerten Linse die Werkstückoberfläche insgesamt rascher abtasten, indem man bei jedem Punkt einer Abtastlinie durch transversales Verstellen der Optik auch seitlich benachbarte Bereiche der Werkstückoberfläche gleich mit abtastet und das Zusammensetzen des Gesamtbildes auf elektronische Weise bewerkstelligt. Dies bedingt bei einer magnetisch gelagerten Optik aber zusätzliche Schwierigkeiten, da dort ein seitliches Versetzen der Optik zwangsweise in Feldbereiche mit anderem Feldverlauf führt, so daß eine seitliche Versetzung nicht vollständig von einer axialen Bewegung entkoppelt ist, und um letztere wieder auszuregeln, benötigt man wieder zusätzliche Zeit.

35

JN32-010 - 2 -

3539.2 - 2 - 27.11.1992

Durch die vorliegende Erfindung soll daher ein optischer Abtastkopf für ein Gerät zum Ausmessen der Mikrokontur einer Werkstückoberfläche geschaffen werden, der bei mechanisch einfacher und zuverlässiger Lagerung der Optik in axialer Richtung und einer hierzu senkrechten Richtung ein Ausmessen der Mikrokontur längs beabstandeter Abtastlinien ermöglicht, wobei die Optik beim Abfahren einer Abtastlinie zusätzlich rasch in zur Hauptabtastrichtung senkrechter Richtung verstellt wird, um Nachbarbereiche der Abtastlinie mit zu erfassen.

Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch einen optischen Abtastkopf gemäß Anspruch 1.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in Unteransprüchen angegeben.

Baut man den zur transversalen Auslenkung der Optik dienenden Teil der Spulenanordnung aus zwei symmetrisch zur Längsmittelebene des Linsenhalters angeordneten symmetrischen. Spulen auf, wie im Anspruch 2 angegeben, so ist die seitliche Auslenkung der Optik im wesentlichen linear mit dem Unterschied der beiden Spulen-Speiseströme verknüpft.

":

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 3 ist im Hinblick auf mechanisch einfachen Aufbau des Abtastkopfes und im Hinblick auf eine einfache Erzeugung des senkrecht zur Werkstückoberfläche verlaufenden Magnetfeldes von Vorteil.

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 4 ist im Hinblick auf eine gute Feldführung und starke Wechselwirkung zwischen den beiden die Verlagerung des Linsenhalters bewerkstelligenden Magnetfelder von Vorteil.

.i

3539.2 - 3 - 27.11.1992

Gemäß Anspruch 5 erhält man eine präzise Führung der Optik in zur Abtastrichtung im wesentlichen senkrechter Richtung, nämlich auf kreisbogenförmigen Bahnen. 05

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 6 bringt eine reibungsfreie Lagerung der Optik.

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 7 ist im Hinblick auf kleine Masse des Parallelogrammgestänges bei guten Führungseigenschaften und im Hinblick auf geringe Luftdämpfung durch das Parallelogrammgestänge von Vorteil. Außerdem kann so das Parallelogrammgestänge gleichzeitig die Führung der Linse in beiden Führungsrichtungen übernehmen.

Mit der Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 8 erhält man zugleich eine elastische Vorspannung des Parallelogrammgestänges in eine zur Längsmittelebene des Linsenhalters symmetrische Ruhestellung.

Gemäß Anspruch 9 läßt sich die Ablenkung der Linse in der zweiten Führungsrichtung, also senkrecht zur Hauptabtastrichtung bewerkstelligen. Der Abtast-Spannungsgenerator kann Spannungen unterschiedlicher Form bereitstellen, z.B. mit Sinusverlauf oder symmetrischer Dreiecksform.

Bei einem Gerät gemäß Anspruch 10 hat man eine gut reproduzierbare exakte seitliche Auslenkung der Linse. 30

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 11 ist im Hinblick auf kompakten Aufbau des Abtastkopfes von Vorteil.

Mit der Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 12 wird

3539.2 - 4 - 27.11.1992

eine von Resonanzeffekten unbeeinträchtigte Steuerung der Bewegung des Linsenhalters in der zweiten Führungsrichtung erhalten.

5 Nachstehend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:

Figur 1: einen vertikalen Schnitt durch einen optischen Abtastkopf für ein Oberflächenmeßgerät in dessen

Längsmittelebene;

Figur 2: eine Aufsicht auf die Unterseite einer Optikeinheit des in Figur 1 gezeigten Abtastkopfes; 15

Figur 3: eine seitliche Ansicht der Befestigungsstelle

einer Linsenhalteplatte am Ende eines Führungsgestänges; und

Figur 4: ein schematisches Blockschaltbild des elektrischen Teiles des Abtastkopfes nach Figur 1.

In Figur 1 ist ein Abtastkopf 10 wiedergegeben, der zum Ausmessen der Mikrokontur einer Werkstückoberfläche 12 dient. Der gesamte Abtastkopf ist längs einer in Figur 1 von links nach rechts verlaufenden Hauptabtastlinie durch einen entsprechenden Koordinatenantrieb (nicht dargestellt) verfahrbar, der ein entsprechendes x-Lagesignal bereitstellt. Ein weiterer, ebenfalls- nicht dargestellter Koordinatenantrieb dient dazu, den Abtastkopf 10 nach Erreichen des Endes einer Abtastlinie in zur Zeichenebene von Figur 1 senkrechter Richtung auf die nächst benachbarte Abtastlinie zu stellen. Dieser Koordinatenantrieb stellt ein entsprechendes y-Signal bereit.

3539.2 - 5 - 27.11.1992

Zur Messung der Erhebung der Mikrokonturen ist eine senkrecht zur Werkstückoberfläche, also in z-Richtung, beweglich gelagerte Linse 14 mit kleiner Brennweite (etwa 5 mm) vorgesehen. Diese erhält über einen dielektrischen Umlenkspiegel 16, der eine nur für die Laser-Wellenlänge durchlässige Beschichtung aufweist, und über einen unter 45° zur Zeichenebene von Figur 1 angestellten halbdurchlässigen Spiegel 18 das von einem Halbleiter-Laser 19 erzeugte Meßlicht und fokussiert dieses auf den unter ihr liegenden Meßpunkt M der Werkstückoberfläche, der bei der gezeigten Stellung des Abtastkopfes 10 zufällig mit einer Referenzebene R zusammenfällt, welche zugleich die Brennebene der Linse 14 darstellt. Der beim Meßpunkt M erzeugte Lichtfleck ist sehr klein (Durchmesser ca. 1 &mgr;).

Das von der Werkstückoberfläche beim Meßpunkt M reflektierte Licht wird durch die Linse 14 wieder in einen Parallelstrahl umgesetzt und gelangt über den Umlenkspiegel 16, den halbdurchlässigen Spiegel 18 und eine astigmatische Feldlinse 20 auf einen Detektor 22. Dieser hat vier Detektorsegmente 24 bis 27, die symmetrisch zu der bei Brennpunktslage des Meßpunktes M erhaltenen Strahlachse liegen. Unter diesen. Bedingungen sind die vier Detektorsegmente 24 bis 27 gleich, stark beleuchtet. Brennpunktablagen des Meßpunktes M führen zu unsymmetrischer Beleuchtung von jeweils zwei benachbarten, der vier Detektorsegmente 24 bis 27 und einer' entsprechenden Differenz zwischen deren^;elektrischen AusgangsSignalen, , aus welcher sich auch das Vorzeichen der Brennpunktsablage, ergibt. , ■

Wie Figur 4 zeigt, sind die Detektorsegmente 24, 26 bzw. 25, 27 mit Multiplizierern 29, 31 verbunden, die ihrerseits die Eingänge eines Dxfferenzverstärkers 28 beaufschlagen. Das von diesem bereitgestellte Fehlersignal wird auf einen Regelkreis 30 gegeben, der eine Magnetspule 32 speist. Diese

3539.2 - 6 - 27.11.1992

ist Teil eines Magnetantriebes zum Verlagern der Linse in z-Richtung, der noch genauer beschrieben wird.

Die Linse 14 sitzt an der Unterseite einer Linsenplatte 5 34, die an zwei seitliche Lagerarmen 36, 3 8 angeformt sind. Deren hintere Enden sind durch einen Spulenträgerabschnitt 40 miteinander verbunden, der U-förmigen Querschnitt hat. In ihm findet die Magnetspule 32 Aufnahme, die aus zwei ineinander geschachtelten C-förmigen Wicklungshälften besteht, die durch Übergangsabschnitte mit kleinem Krümmungsradius verbunden sind, wie aus Figur 2 ersichtlich. Eine derartige C-Spule kann man durch entsprechendes Zusammendrücken einer Ringspule herstellen.

An die Lagerarme 36, 38 sind ferner zwei Wickelkörper 42, 44 angeformt, auf denen weitere Spulen 46, 48 vorgesehen sind. Wie aus den Figuren 1 und 2 ableitbar, erzeugt die Magnetspule 32 ein Magnetfeld mit zur Referenzebene R senkrechter Achse, während die Spulen 46, 48 Magnetfelder erzeugen, deren Achsen parallel zur Referenzebene R verlaufen.

Ein Kernteil 50 aus magnetxsierbarem oder magnetisiertem Material hat eine tiefe Nut 52, in welcher sich die Spulen 46, 48 unbehindert bewegen können. Um trotzdem einen möglichst kleinen magnetischen Spalt zu haben, erstreckt sich die eine (54) der Stirnplatten der Wickelkörper 42, 44 nur über einen Teilbereich der Spulen 46, 48, der bei allen in Betracht kommenden Bewegungen der Lagerarme 36, nicht in den Eisenkern 50 hinein bewegt wird. Wünscht man einen noch kleineren Spalt, kann man auch die zweite Stirnplatte der Wickelkörper entsprechend begrenzen.

Auf dem Spulentragerabschnxtt 40 sind ferner Kontakt-

3539.2 - 7 - 27.11.1992

stifte 56 vorgesehen, an denen die Enden der Spulen 32, 46 und 48 angebracht sind und welche über dünne flexible Leiter 58 mit feststehenden Kontaktstiften 60 verbunden sind, die von einer Grundplatte 62 getragen sind. Letztere hat auf ihrer Unterseite ferner Rippen 64, die den Eisenkern 50 halten.

An die Außenseiten der Lagerarme 36, 38 sind Vorsprünge 66 mit rechteckigem Querschnitt angeformt, die in Lager-Öffnungen 68 formschlüssig eingreifen, die in Lager-• plättchen 70 vorgesehen sind. An letztere ist oben und unten jeweils ein Lenker 72, 74 angeformt, und die freien Enden der letzteren sind an Befestigungsplättchen 76 angeformt, die z.B. durch eine Formschlußverbindung mit der Grundplatte 62 verbunden sind.

Jeder der beiden Lenker 72, 74 weist ein dem Lagerplättchen 7 0 benachbartes erstes Filmgelenk 78 sowie ein dem Befestigungsplättchen 76 benachbartes zweites FiImgelenk 80 auf. Wie aus der Zeichnung ersichtlich, haben die Filmgelenke 78, 80 jeweils einen Filmabschnitt gleichbleibender Dicke, sind also nicht als in Aufsicht dreieckige reine Filmscharniere ausgebildet.

Die jeweils zwei Lenker 72 und 74 bilden zusammen ein Parallelogrammgestänge, durch, welches die Linse 14 sowohl in einer ersten zur Referenzebene R senkrechten Richtung (z) als auch in einer zweiten zur Abtastrichtung senkrechten und zur Referenzebene R parallelen Richtung (y) beweglich geführt ist (Biegung um eine zur Filmgelenkebene senkrechte Achse bzw. übliche Scharnierfunktion der Filmgelenke) .

Um die IST-Stellung der Linse 14 in y-Richtung zu messen, ist ein mit der Innenseite eines der Lenker 74 zusammen-

3539.2 - 8 - 27.11.1992

arbeitender Stellungsgeber 82 vorgesehen. Er stellt ein entsprechendes Ausgangssignal dy bereit.

Die jeweils durch ein Lagerplättchen 70, einen Lenker 72, 5 und einen Lenker 74 und ein Befestigungsplättchen 7 6 gebildete Einheit ist aus elastisch verformbarem Kunststoff gespritzt, z.B. aus Polyäthylen. Die Filmgelenke 78, 80 haben eine vorgegebene Reststeifigkeit, wodurch der insgesamt mit 84 bezeichnete Linsenhalter, der durch die Linsenplatte 34, die Lagerarme 36, 38, den Spulenträgerabschnitt 40 und die Wickelkörper 42 und 44 gebildet ist, in eine mittige Ruhelage vorgespannt ist. Unter elastischer Verformung der Filmgelenke 78, 80 können ferner die Lagerplättchen 70 in vertikaler Richtung verstellt werden, so daß man zusätzlich eine in z-Richtung wirkende Parallelogrammführung durch die Lenkerpaare 72, 74 hat.

Zur Messung der vertikalen IST-Stellung der Linse 14 ist ein mit der Oberseite der Linsenplatte 34 zusammenarbeitender berührungsloser Stellungsgeber 86 vorgesehen, der ebenso wie der Stellungsgeber 82 z.B. nach dem Differentialtransformator-Prinzip oder nach einem optischen Prinzip arbeiten kann. Er stellt ein Signal dz bereit.

Beaufschlagt man die beiden Spulen 46, 48 mit einem vorgegebenen gleichen Strom und variiert man den Strom durch die Magnetspule 32, so werden die Spulen 46, 48 unterschiedlich weit in die Nut 52 des Eisenkernes 50 hineingezogen. Bei unsymmtrischer Erregung der Spulen 46, 48 in der einen oder anderen Richtung wird der Linsenhalter 84 in der einen oder anderen Richtung senkrecht zur Zeichenebene von Figur 1 in y-Richtung aus seiner Ruhelage ausgelenkt.

Figur 4 zeigt Schaltkreise zur entsprechenden Steuerung

3539.2 - 9-27.11.1992

der Spulen-Steuerströme.

Der obere, schon besprochene Teil von Figur 4 betrifft den zur Einregelung von Brennpunktsbedingungen dienenden in z-Richtung wirksamen Magnetantrieb.

Im mittleren Teil ist dargestellt, wie man eine sinusförmige transversale Auslenkung der Linse 14 realisieren kann. Die Spulen 46, 48 sind an einer gemeinsamen Klemme mit Erde verbunden und mit ihren anderen Klemmen jeweils über einen steuerbaren Widerstand 88, 90 mit einer Konstantstromquelle 92 verbunden.

Die Steuerklemme des Widerstandes 88 ist mit dem Ausgang eines Regelkreises 9 3 verbunden. Ein Eingang des letzeren ist mit dem Ausgang eine Ablenk-Spannungsgenerators 94 verbunden, der eine sinusförmige Spannung mit der gewünschten transversalen Linsen-Ablenkfrequenz bereitstellt. Alternativ kann man einen Spannungsgenerator verwenden, der eine Dreieckspannung mit linear ansteigenden und gleich stark linear abfallenden Flanken,erzeugt. . Der zweite Eingang des Regelkreises 9 3 ist mit dem Stellungsgeber 82 verbunden. Die Steuerklemme des Widerstandes 9 0 ist über einen Inverter 96 mit dem Ausgang des Regelkreises 93 verbunden.

Um eine Steuerung der Bewegung der Linse in y-Richtung gemäß der Ausgangsspannung des Ablenk-Spannungsgenerators 94 zu gewährleisten und hierbei Resonanzeffekte zu vermeiden, ist die Linsenführung in y-Richtung gedämpft. Dies kann auf verschiedene Weise erfolgen, z.B. durch über die Wahl eines Kunststoffmateriales für die Lenkerpaare 72, 74 und damit die Filmgelenke 78, 80, welches einen geeigneten Verlustwinkel aufweist, oder durch Vorsehen mit den Lenkern 5 oder dem Linsenhalter bewegter Fahnen zur Luftdämpfung

- 10 -

3539.2 - 10*-* 2711.1992

oder durch Vorsehen eine einstellbaren Wirbelstrombremse für die Lenkeranordnung oder den Linsenhalter.

Im unteren Teil von Figur 4 ist dargestellt, daß die Ausgangsspannungen der Stellungsgeber 82, 86 nach Digitalisierung durch D/A-Wandler 98, 100 zum Adressieren von Korrekturspeichern 102, 104 dienen, in denen zu den verschiedenen Stellungsgeber-Ausgangssignalen korrigierte Lagesignale abgelegt sind, die unter Berücksichtigung der Geometrie der Linsenaufhängung und der Charakteristik der Magnetantriebe berechnet oder experimentell ermittelt wurden. Die aus den Korrekturspeichern 102, 104 ausgelesenen korrigierten Linsen-Lagesignale dy und dz für die y-Koordinate und die z-Koordinate werden zusammen mit den über ein Kabel 10 6 von den Abtastkopf-Koordinatenantrieben bereitgestellten Lagekoordinaten x, &ggr; und &zgr; für den Abtastkopf auf einen Rechner 108 gegeben, der hieraus die Gesamtkoordinaten für den Meßpunkt M berechnet und in einem Massenspeicher 110 ablegt. Mach dem Ausmessen des gewünschten Bereiches der Werkstückoberfläche kann der Rechner 108 die Mikrokontur der Werkstückoberfläche in Form von Höhenlinien oder in anderer geeigneter Darstellung auf einem Ausgabegerät 112 darstellen und/oder die abgelegten Werte nach einem vorgegebenen Programm

auswerten. ■ . ,

Mit dem oben beschriebenen Abtastkopf wird die Werkstückoberfläche in Streifen ausgelesen, deren Breite jeweils die doppelte Schwingungsamplitude der Linse in y-Richtung beträgt. Da das transversale Verstellen der Linse 14 innerhalb dieses Streifens aufgrund der beschriebenen Linsenaufhängung und des beschriebenen Magnetantriebes für den Linsenhalter viel rascher durchgeführt werden kann als das Verstellen des schweren Abtastkopfes 10 mit einem trägen Spindel-Koordinatenantrieb, erhält man

- 11 -

3539.2 - 11 - 27.11.1992

insgesamt eine erhebliche Zeitersparnis beim Vermessen der Mikrokontur von Werkstückoberflächen.

Die oben beschriebenen funktionellen Teile des Abtastkopfes 10 sind mit Ausnahme des Rechners 108, des Massenspeichers 110 und des Ausgabegerätes 112 auf einer Tragstruktur 114 des Abtastkopfes angeordnet, die zusammen mit einem becherförmigen Deckel 116 ein abgesehen von einer Meßlichtöffnung 118 geschlossenes Gehäuse bildet.

Claims (12)

mm m · 9 · * • ■ &igr; • · I 3539.2 - 1 - 27.11.1992 Ansprüche

1. Optischer Abtastkopf für ein Gerät zum Ausmessen

der Mikrokontur einer Werkstückoberfläche (12), mit einem Gehäuse (114, 116), mit einer Lichtquelle (19), mit einer senkrecht und parallel zu einer Referenzfläche (R) beweglich gelagerten Linse (14) zum Abbilden der Lichtquelle (19) auf die Werkstückoberfläche (12), mit einer magnetischen Linsen-Antriebseinrichtung, die eine mehrere Spulen (32, 46, 48) umfassende Spulenanordnung und ein magnetisierbares oder permanentmagnetisches Kernteil (50) aufweist, mit einem lichtempfindlichen Detektor (22), auf welchen die Linse (14) das von der Werkstückoberfläche (12) reflektierte Licht abbildet und der ein der Brennpunktsablage des jeweils ausgeleuchteten Meßpunktes (M) der Werkstückoberfläche (12) zugeordnetes elektrisches Signal bereitstellt, mit einem auf die Spulenanordnung (32, 46,

48) arbeitenden Regelkreis (30), der in Abhängigkeit vom Ausgangssignal des Detektors (22) arbeitet und einen Speisestrom für die Spulenanordnung (32, 46, 48) so einstellt, daß der Brennpunkt der Linse (14) in den Meßpunkt (M) gelegt wird, und mit einer Meßeinrichtung (82, 86) zum Bestimmen der Ist-Stellung der Linse (14), dadurch gekennzeichnet, daß die Linse (14) an einem Linsenhalter (84) angebracht ist, der sowohl in einer ersten, zur Referenzfläche (R) senkrechten Richtung (z) als auch in einer zur ersten Führungsrichtung ,senkrechten und zur Referenzfläche (R) parallelen zweiten Führungsrichtung (y) geführt ist, und daß der Linsenhalter (84) mindestens eine erste Magnetspule (32) aufweist, die ein erstes Magnetfeld mit zur Referenzfläche (R) senkrechter Achse erzeugt, und mindestens eine weitere Spule (46, 48) trägt, die ein zweites Magnetfeld mit zur Referenzfläche (R)

UN32-011 - 2 -

3539.2 - 2 - 27.11.1992

paralleler Achse erzeugt, wobei das Kernteil (50) so angeordnet ist, daß es von dem ersten Magnetfeld und dem zweiten Magnetfeld gleichermaßen durchsetzt wird.

5

2. Abtastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei jeweils ein zur Referenzfläche (R) paralleles zweites Magnetfeld erzeugende Spulen (46, 48) symmetrisch zur Längsmittelebene des Linsenhalters (84) vorgesehen sind, welche beide in einer senkrecht zur Referenzfläche (R) verlaufenden Nut (52) des Kernteiles (50) frei bewegbar sind.

3. Abtastkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die das senkrecht zur Referenzfläche (R) verlaufende erste Magnetfeld erzeugende Magnetspule (32) symmetrisch zur Längsmittelebene des Linsenhalters (84) geformt ist.

4. Abtastkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Windungen der das erste Magnetfeld erzeugenden Magnetspule (32) jeweils die Form eines Outline-"C" haben, dessen parallel zueinander verlaufende C-förmige Begrenzungslinien über Verbindungsabschnitte mit kleinem Krümmungsradius zusammenhängen, und daß im Inneren dieser "C"-Magnetspule (32) das Kernteil (50) unter Spiel angeordnet ist.

5. Abtastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Führung des Linsenhalters

(84) über ein Parallelogrammgestänge (72, 74) erfolgt.

6. Abtastkopf nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lenker (72, 74) des Parallelogrammgestänges

und Befestigungsplättchen (76) zur- Befestigung an einem 5 Grundrahmen (62) sowie Lagerplättchen (70) zum Anbringen

3539.2

27.11.1992

des Linsenhalters (84) durch einstückige Kunststoffspritzteile gebildet sind, wobei die Gelenke des Parallelogrammgestänges als Filmgelenke (78, 80) ausgebildet sind.

7. Abtastkopf nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,

daß die beweglichen Seiten des Parallelogrammgestänges jeweils aus zwei übereinander liegenden identischen Lenkern (72, 74) gebildet sind.

8. Abtastkopf nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Kunststoff ein elastisch verformbarer Kunststoff ist und die Filmgelenke (78, 80) einen Abschnitt gleichbleibender Dicke aufweisen.

9. Abtastkopf nach einem der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die das zweite Magnetfeld erzeugenden Spulen (46, 48) gemäß dem Ausgangssignal eines Ablenk-Spannungsgenerators (94) erregt werden.

10. Abtastkopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,

daß die Erregung der das zweite Magnetfeld erzeugenden Spulen (46, 48) über einen Regelkreis (93) erfolgt, dessen Sollsignaleingang mit dem Ausgang des Ablenk-Spannungsgenerators (94) verbunden ist und dessen IstSignaleingang mit dem Ausgang eines Stellungsgebers, (82) verbunden ist, der ein der Stellung des Linsenhalters (84) in der zweiten Führungsrichtung (y) zugeordnetes Signal (dy) bereitstellt.

11. Abtastkopf nach Anspruch 10 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß der in der zweiten Führungsrichtung (y) arbeitende Stellungsgeber (82) an der Innenseite eines Lenkers (74) des Parallelogrammgestänges angreift.

12. Abtastkopf nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch 5 gekennzeichnet, daß der Linsenhalter (84) in der zweiten Führungsrichtung (y) gedämpft ist.