DE920264C - Anordnung fuer die Umschaltung mehrerer in einer Anlage vorhandener Ventile - Google Patents

Anordnung fuer die Umschaltung mehrerer in einer Anlage vorhandener Ventile

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DE920264C
DE920264C DES23167A DES0023167A DE920264C DE 920264 C DE920264 C DE 920264C DE S23167 A DES23167 A DE S23167A DE S0023167 A DES0023167 A DE S0023167A DE 920264 C DE920264 C DE 920264C
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DES23167A
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Arthur Mohr
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Multiple-Way Valves (AREA)
  • Lift Valve (AREA)

Description

  • Anordnung für die Umschaltung mehrerer in einer Anlage vorhandener Ventile Zusatz zum Patent 895356 In Vakuumanlagen oder auch sonstigen Anordnungen, bei denen betriebsmäßig eine Mehrzahl von Ventilen zur Steuerung des Stromes von flüssigen gas- oder dampfförmigen Medien zu betätigen ist, besteht das Bedürfnis dafür, die Steuerung so zu vereinheitlichen, daß man mit möglichst wenigen handbedienten Betätigungsorganen alle notwendigen Schaltungen durchführen kann. Das Patent 895 356 betrifft eine derartige Ventileinheit, bei der für die Umschaltung der einzelnen Wege vorzugsweise mehrere mit Trockendichtungen arbeitende Ventile dienen, die mit Hilfe einer durch einen Handgriff zu betätigenden Steuerstange über Nockenscheiben geöffnet und geschlossen werden können. Beim Ausfüh.rungsbeiispiel des Hauptpatentes ist für diese Ventilanordnung ein einheitliches Ventilgehäuse vorgesehen, in das alle bei dieser Anlage zu betätigenden Ventile eingebaut sind.
  • Gegenstand der Erfindung ist eine Anordnung für die Umschaltung mehrerer in einer Anlage vorhandener, vorzugsweise mit Trockendichtungen arbeitender Ventile, die mit Hilfe einer durch einen Handgriff zu betätigenden Steuerstange über Nockenscheiben geöffnet und geschlossen werden können. Erfindungsgemäß sind mehrere Ventilgehäuse baukastenartig zu einem die Einheit bildenden Ventilblock zusammengefaßt, dem die Steuervorrichtung für die Ventile zugeordnet ist. Durch diese Unterteilung des Ventilblockes in mehrere Gehäuse gelingt es, für die verschiedensten: Verwendungszwecke aus einheitlich aufgebauten einzelnen Ventilgehäusen in besonders einfacher und übersichtlicher Weise die jeweils notwendige Ventil kombination zusammenzustellen. Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß es durch die geeignete, bei der Erfindung verwendete Ausgestaltung der Ventilgehäuse möglich ist, auch nachträglich Erweiterungen der Anlage, die zusätzliche Ventile bedingen, mit leichten Mitteln an den Ventilblock anzufügen und in diese Steuereinheit einzubauen. Man kann die Erfindung bei allen Anlagen anwenden, in denen eine -Mehrzahl von Ventilen nach bestimmtem Plan geöffnet und geschlossen werden muß. Insbesondere eignet sich die Erfindung für Vakuumanlagen, beispielsweise Elektronenmikroskope, deren Betriebszustand oft zwischen Luft und Hochvakuum gewechselt werden muß und bei denen unter Umständen, durch Hinzufügen von zur Vorevakuierung von Fotomaterial od. dgl. dienenden Exsikkataren und durch die Notwendigkeit, eine Vorpumpe und eine oder mehrere Hochvakuumpumpen anwenden zu müssen, sich in Betrieb unter Umständen, recht verwickelte Schaltmanipulationen ergeben.
  • Man kann bei der Erfindung in die einzelnen Ventilgehäuse, die zu dem Block zusammengefügt werden, zwei oder gar mehr Ventile einbauen. Vorzugsweise jedoch wird man die Erfindung so ausgestalten, daß jedes Ventil des Blockes ein gesondertes, von den anderen lösbares Gehäuse besitzt. Das hat den Vorteil, daß man für größere Anlagen eine Mehrzahl von völlig gleichartig aufgebauten Ventilgehäusen, die je immer ein Ventil aufnehmen, anwenden kann. Für das bei der Erfindung wesentliche Zusammenfügen der Einzelventilgehäuse besitzen diese einzelnen Gehäuse je mindestens eine, vorzugsweise aber zwei einander gegenüberliegende Anlageflächen zum Anfügen eines benachbarten Ventilgehäuses. Mit einer derartigen Anlagefläche kommt man unter Umständen bei denjenigen Ventilgehäusen aus, die die Enden des Ventilblockes bilden. Diejenigen Gehäuse dagegen, welche für den Einbau in der Mitte des Blockes vorgesehen sind, besitzen bei der Erfindung vorzugsweise an zwei gegenüberliegenden Seiten die notwendigen Anlageflächen zum Anfügen des benachbarten Gehäuses.
  • Man kann die Anordnung nach der Erfindung so durchbilden, daß die einzelnen Ventilgehäuse voneinander völlig getrennt sind. Die jeweils zu schließenden bzw. zu öffnenden Leitungen müssen in diesem Falle alle in geeigneter Weise außen an den einzelnen Gehäusen des Ventilblockes angeschlossen «:erden. Eine besonders vorteilhafte und die Übersichtlichkeit der Anordnung wesentlich steigernde und die gesamte Konstruktion vereinfachende Anordnung ergibt sich jedoch dann, wenn man gemäß der weiteren Erfindung in den einander zugekehrten Wänden zweier benachbarter Ventilgehäusekammern Öffnungen vorsieht, wobei dann die Abdichtung des jeweils so gebildeten Verbindungskanals nach außen hin durch Zwischenfügen einer vorzugsweise elastischen Dichtung erfolgt. Man kann bei der Erfindung auch noch weitergehen und auch notwendige Verbindung zwischen nicht ummittelbar benachbarten Kammern des Blockes mit Hilfe von durch die dazwischenliegenden Ventilkammern hindurchgeführten, gegen diese abgeschlossenen inneren Leitungen herstellen,. Bei Anwendung dieser Konstruktionsprinzipien ergibt sich ein Ventilblock, der die notwendigen Verbindungen der einzelnen Ventilkammern untereinander größtenteils in seinem Innern enthalten kann, so daß nach außen hin an den Ventilblock jeweils nur diejenigen Leitungen anzuschließen sind, die beispielsweise zu den Pumpen, den Rezipienten, den Vorvakuumbehältern od. dgl. führen. Wenn es sich um umfangreiche Anlagen handelt, in denen viele Ventile zu steuern sind, kann man auch Ventilgehäuse in dem Block vorsehen, an die mehr als zwei benachbarte Ventilgehäuse angefügt werden können. Es gelingt auf diese Weise, auch die verwickeltsten, durch einen einheitlichen. Steuerapparat zu betätigenden Ventilanlagen zu einem verhältnismäßig wenig Raum benötigenden und übersichtlichen Block zusammenzufassen.
  • Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale werden in den folgenden Ausführungsbeispielen behandelt. In Fig. i ist zunächst ein schematisches Bild für die Vakuumleitungen einer Elektronenmikroskopanlage dargestellt. :.Mit M ist das Mikroskop, mit V die Vorvakuumpumpe, mit Q und L sind zwei in Reihe geschaltete Hochvakuumpumpen bezeichnet, und Bist ein der Pumpe L vorgeschalteter Vorvakuumbehälter. Der Anlage ist darüber hinaus noch ein Exsikkator E zugeordnet, der beispielsweise dazu dient, das in der Mikroskopanlage zu verwendende Fotomaterial vorzuevakuieren. Für die bei einer solchen Anlage notwendigen Vakuumschaltungen sind die mit i bis 8 bezeichneten Ventile erforderlich. Für den Betrieb der Anlage müssen folgende Ventileinstellungen in Betracht gezogen werden: Für die Vorvakuumpumpe TI z. Einschaltstellung: Ventils offen, Ventile 6 und 7 geschlossen, 2. Ausschaltstellung : Ventil 6 offen, Ventile 5 und 7 geschlossen, Für das Mikroskop 31 sind folgende einzelne Schaltstellungen vorgesehen: 3. Luft im Rohr: Ventil i und 4 offen, 2 und 3 geschlossen, 4. V orvakuum im Rohr: Ventil e offen, i, 3 und 4 geschlossen, 5. Hochvakuum: Ventile 3 und 4 offen, i und 2 geschlossen, 6. Absperrstellung: Ventile i und 4. geschlossen, 7. Anheizstellung: Ventil 4 offen, i, 2 und 3 geschlossen. Für denn Exsikkator sind weiterhin noch folgende Schaltstellungen vorgesehen: 8. Öffnungsstellung: Ventil 8 offen, 9. Schließstellung: Ventil 8 geschlossen, io. Einschaltstellung: Ventil 7 offen, 5 und 6 geschlossen, i i. Ausschaltstellung: Ventil 6 offen, 5 und 7 geschlossen. Man sieht schon aus dieser Übersicht, daß bei einer solchen Anlage eine sehr verwickelte Vakuumschaltung für den Betrieb notwendig ist. Mit der Erfindung gedingt es nun, diese Vakuumschaltungen in besonders einfacher Weise zu einer einheitlichen Steuerapparatur zusammenzufassen. Fig.2 zeigt zunächst schematisch die Anwendung der Erfindung für den in Fig. i dargestellten Schaltplan. Soweit die Einzelteile mit denen in Fig. i übereinstimmen, sind hier dieselben Bezugszeichen verwendet.
  • Das wesentliche Bauelement des Steuerapparates ist ein Ventilblock VB, der aus den Gehäusen der einzelnen Ventile i bis 7 zu einer Einheit zusammengefügt, vorzugsweise zusammengeschraubt ist. Die Ventile sind in diesem Falle schematisch als Tellerventile angedeutet. Die Ventilgehäuse der Hauptventile 3, 2, .4, 5 und 7 bestehen je aus zwei Kammern, die durch eine Zwischenwand i i gebildet sind. Eine in dieser Zwischenwand befindliche Verbindungsöffnung 12 ist mit der Ventilscheibe 13 verschließbar. Zur Betätigung der Ventilscheiben dienen Stößel 14, die von den Steuerwellen 15 und 16 her mit Hilfe der Handgriffe 17 und 18 über zugeordnete Nocken 2o nach dem gewünschten Plan geöffnet und geschlossen werden können. Wie die Figur erkennen läßt, sind notwendige Verbindungsleitungen zwischen einander benachbarten Kammern, beispielsweise zwischen 2 und 3, dadurch hergestellt, daß in den Gehäusewänden entsprechende Öffnungen i9 ausgespart sind. Beim Zusammensetzen der Einzelteile dieses Vakuumblockes wird dann an dieser Stelle ein entsprechender Dichtungsring vorgesehen. Auch die gegebenenfalls notwendige Verbindung zwischen zwei nicht benachbarten Kammern ist aus diesem schematischen Bild ersichtlich. So sind hier die beiden Kammern i2o und 121 und weitergehend noch die Kammer 23 der drei Ventile 5, 2 und 4 durch innere Leitungen 24 und 25 miteinander verbunden. Diese Art des Aufbaues ist erst beim Gegenstand der Erfindung möglich; mani mußte bisher derartige Verbindungen durch Anschließen von äußeren Verbindungsleitungen herstellen.
  • Die konstruktive Ausgestaltung der in Fig. 2 dargestellten Steuereinheit ist weiterhin in den Fig. 3 bis 9 in Zusammenstellungszeichnungen und Einzelansichten wiedergegeben. Fig.3 zeigt eine Seitenansicht des Ventilblockes für die Steuerung. Beide Steuerwellen 15 und 16 wirken über die Nockenscheiben 2o und die Schwinghebel 71 auf die den Ventilen zugeordneten Stößel 14.
  • Die Achslagerungen der beiden Steuerwellen ruhen in den mit den Ventilblockenden fest verschraubten Endplatten 22, 123. Die jeweilige Schalt-Stellung wird durch eine Rastscheibe 124 markiert. Zum Schutz der angeschlossenen Hochvakuumpumpenanordnung Q, L ist in bestimmter Schaltstellung eine Rückdrehsperre 125 vorgesehen. Mit Hilfe eines an der Hauptventilkammer 3 fest angebrachten Hohlflansches 26 wird der gesamte Ventilblock mit der Hochvakuumpumpe Q vakuumdicht zu einer Einheit verschraubt. Die Leitungen zu den Vakuumgefäßen und Vorpumpen werden von außen herangeführt. Fig.4 zeigt eine Ansicht der Anordnung in Richtung des in Fig. 3 dargestellten Pfeiles A. Aus diesen Figuren ist ersichtlich, wie die einzelnen Ventilgehäuse miteinander verschraubt sind. Zwischen den Ventilen 3 und 2 sind auch die Verbindungsöffnungen i9 und die zum Ventil 5 führende Verbindungsleitung 24 erkennbar. Um diese Leitungen nach außen hin vakuumdicht abzuschließen, werden die Dichtungsringe #l27, 28 an den Anlagestellen der benachbarten Gehäuse angewendet.
  • In Fig. 5 ist das Hauptvakuumventil 3 gesondert herausgezeichnet. Das Ventilgehäuse ist aus einfachen Blechteilen 29, 30, 26 zusammengesetzt. An den Stoßstellen sind diese Teile unter Schutzgas vakuumdicht miteinander verlötet. Das Ventil ist durch eine Zwischenwand 31 in zwei Kammern 32, 33 unterteilt. Die in der Wand 31 vorgesehene Ventilöffnung 3,4 wird mit der Scheibe 35 vakuumdicht verschlossen. An dieser Scheibe ist der Stößel 14 kraftschlüssig angelenkt. Wie Fig.6 zeigt, ist die Verbindung zwischen dem Stößel 14 und der Scheibe 35 derart durchgeführt, daß der Stößel der Scheibe in allen Richtungen genügend Bewegung läßt, sich beim Schließen auf den Ventilsitz einzustellen. Um dies zu erreichen, ist die Bohrung 36 am Ende des Stößels weiter als der zugeordnete Stift 37 an der Scheibe 35, und ebenso ist die Bohrung 38 im Stift 37 weiter gemacht als der Haltestift 39. Die Scheibe 35 ist mit einer elastischen Dichtung 40 versehen, die sich bei Schließen des Ventils dichtend gegen den Sitz in der Trennwand 31 legt. Der Stößel ist in einer Hülse 41 in der aus Fig. 5 ersichtlichen Weise gelagert. In die Hülse ist eine Feder 42 eingebaut, die die Scheibe 35 an den Sitz drückt und damit das Ventil schließt. Für den vakuumdichten Abschluß des Stößels sorgt die Gummidichtung 43.
  • Einen Querschnitt durch eines der einheitlich aufgebauten Nebenventile 5, 2, 4, 7 zeigt die Fig. 7. Soweit die Einzelteile mit denen in Fig.5 übereinstimmen, sind hier die gleichen Bezugszeichen verwendet. Mit 44 und 45 sind in diesem Falle die Anschlußflanschenden bezeichnet, mit denen dieses Ventilgehäuse mit dem jeweils benachbarten Gehäuse verschraubt werden kann. Sowohl bei den Hauptventilen nach Fig.5 wie bei dem Nebenventil nach Fig.7 ist auf der dem Stößel gegenüberliegenden Seite im Ventilgehäuse eine Öffnung 46 vorgesehen, durch die hindurch die Scheibe 35 mit dem Stößel ausgebaut werden kann. Bei den Ausführungsbeispielen sind die bisher behandelten einzelnen Ventilkammern aus einfachen Blech- und Drehteilen zusammengesetzt und an den Stoßstellen unter Schutzgas vakuumdicht verlötet. Es sind auch Ausführungsformen der Erfindung denkbar, bei denen die einzelnen Ventilgehäuse aus Güßkörpern bestehen, die dann ähnlich wie die dargestellten Körper miteinander zu dem einheitlichen Ventilblock verschraubt sind. Auch die Form der Einzelventilgehäuse kann verschieden gewählt werden. So kann man abweichend von der in den bisherigen Figuren dargestellten Ventilgehäuseform auch Ven. tilgehäu.se benutzen, die eine zylindrische Wand besitzen, welche vorzugsweise so orientiert ist, daß die Stößelachse mit der Achse dieser zylindrischen Wand zusammenfällt. Durch geeignete konstruktive -Mittel, wie beispielsweise angesetze Flansche oder abgeflachte Seitenteile, wird man bei derartigen Ausführungsformen für die -Möglichkeit der Zusammenfügung der einzelnen Gehäuse zum geschlossenen Block Sorge tragen.
  • Für Schaltungen, bei welchen geringere Durchgangsquerschnitte genügen, z. B. Lufteinlaßventile, kann man in den Ventilblock eine kleine zylindrische Ventilkammer einfügen, bei welcher erfindungsgernäß die beiden Kammerhälften durch eine eingeschobene elastische Dichtung gebildet werden und in welcher durch einen hinein- und herausschiebbaren Stößel das vakuumdichte Schließen bzw. Öffnen des Durchgangs bewirkt wird. Dieser Stößel ist dann ähnlich wie bei den anderen Ventilen nach außen durchgeführt und abgedichtet. Eine Ausführungsform für ein derartiges Ventil ist in Fig. 8 im Längsschnitt dargestellt. Mit seiner Anlagefläche 47 wird der hier dargestellte Ventilkörper 48 an geeigneter Stelle an den Ventilblock angesetzt. 49 ist eine Rille für die Einlage eines Dichtungsringes. Der Innenraum des Ventils enthält eine ringförmige Dichtung 5o, in die der Stößel 14 hinein- und herausbewegt werden kann. Die Verbindungsleitung von der Außenluft her geht über das Filter 5 i und den Kanal 52 zur Ventilkammer 53 und nach Zurückziehen des Stößels 14 über den Kanal 54 zur angeschlossenen Kammer. Mit 55 ist eine Dichtungsscheibe zur Abdichtung des Stößels nach außen bezeichnet, und 56 ist in diesem Falle eine Druckfeder, die hier den Stößel normalerweise in die öffnungsstellung des Ventils drückt.
  • Fig. 9 zeigt eine Ausführungsmöglichkeit der Erfindung für ein Umschaltventil, das geeignet ist, die beispielsweise zu einem Rezipienten führende Anschiußleitung 57 wahlweise mit dem Außenluftkanal 58 bzw. mit einer Pumpenleitung, beispielsweise einer Vorpumpenleitung 59, zu verbinden. In diesem Falle ist ein mit zwei Dichtungen 6o, 61 versehener Stößel 62 vorgesehen, der beispielsweise auch wieder mit Hilfe des in den vorgehenden Figurendargestellten Nockentriebs betätigt werden kann. In der dargestellten Schaltstellung ist die EZezipientenleitung 57 über die mittlere Kammer 63 des Ventils und den Kanal 58 mit der Außenluft verbunden. Wird der Stößel nach unten gedrückt, >o wird zunächst die Luftleitung 58 dadurch abgeschlossen, daß die elastische Dichtung 6o in die Dichtungsbuchse 64 einfährt. Im weiteren Verlauf der Abwärtsbewegung des Stößels gleitet dann die elastische Dichtung 6 1 vom unteren Ende 65 aus der Dichtungsbuchse heraus und gelangt in den Bereich 66, der ei:.ne weitere Bohrung hat, so daß nunmehr die Vorpumpenleitung 59 Verbindung mit dem Kanal 57 hat. Die in den Fig. 8 und 9 dargestellten Anordnungen sind auch von grundsätzlicher Bedeutung für andere Ventilanordnungen, können also auch unabhängig von einem im vorstehenden beschriebenen, aus Einzelgehäusen zu,sammengesetzen Ventilblock mit Vorteil angewendet werden.

Claims (15)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Anordnung für die Umschaltung mehrerer in einer Anlage vorhandener, vorzugsweise mit Trockendichtungen arbeitender Ventile, die mit Hilfe einer durch einen Handgriff zu betätigenden Steuerstange über Nockenscheiben geöffnet und geschlossen werden können, nach Patent 895 356, insbesondere für Vakuumanlagen, beispielsweise Elektronenmikroskope, deren Betriebszustand oft zwischen Luft und Hochvakuum gewechselt werden muß, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ventilgehäuse baukastenartig zu einem eine Einheit bildenden Ventilblock zusammengefaßt sind, dem die Steuervorrichtung für die Ventile zugeordnet ist.
  2. 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Ventil des Blockes ein gesondertes, von den anderen lösbares Gehäuse besitzt.
  3. 3. Anordnung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Ventilgehäuse je mindestens eine, vorzugsweise aber zwei einander gegenüberliegende Anlageflächen zum Anfügen eines benachbarten Ventilgehäuses besitzen.
  4. 4. Anordnung nach Anspruch i, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß einander zugekehrte Wände zweier benachbarter Ventilgehäusekamme.rn COffnungen besitzen und daß die Abdichtung des so gebildeten Verbindungskanals nach außen hin durch Zwischenfügen einer elastischen Dichtung erfolgt.
  5. 5. Anordnung nach Anspruch i- oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß notwendige Verbindungen zwischen nicht unmittelbar benachbarten Kammern des Blockes mit Hilfe von durch die dazwischenliegenden Ventilkammern hindurchgeführten, gegen diese abgeschlossenen inneren Leitungen hergestellt sind.
  6. 6. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß Ventilgehäuse in dem Block vorgesehen sind, an die mehr als zwei benachbarte Ventilgehäuse angefügt werden können.
  7. 7. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Ventilgehäuse durch eine Zwischenwand in zwei Kammern unterteilt sind und daß eine in dieser Zwischenwand befindliche Verbindungsöffnung mit einer unter Federdruck stehenden, mit elastischer Dichtung versehenen Scheibe verschließbar ist. B.
  8. Anordnung nach Anspruch 7-, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Scheibe ein vom Nockenscheibenantrieb aus betätigter Stößel wirkt, der so kraftschlüssig an die Scheibe angelenkt ist, daß er dieser in allen Richtungen genügend Bewegung läßt, sich beim Schließen auf den Ventilsitz einzustellen. g.
  9. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Ventilkammern aus einfachen Blechuni Drehteilen zusammengesetzt und. an den Stoßstellen unter Schutzgas vakuumdicht verlötet sind. io.
  10. Anordnung, insbesondere nach Anspruch i oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch die Verwendung von gegossenen Einzelventilgehäusen. i i.
  11. Anordnung, insbesondere nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß Ventile des Blockes, die kleine Durchgangsquerschnitte zu schalten haben, eine zylindrische Ventilkammer besitzen, deren Kammerhälften durch eine elastische ringförmige Dichtung voneinander abgeteilt sind, in welcher ein axial hinein- und herausbeweglicher Stößel das Schließen und öffnen des Ventils bewirkt.
  12. 12. Anordnung, insbesondere nach Anspruch i oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch ein Ventil mit einer zylindrischen Kammer, in welcher ein mit zwei elastischen; Dichtungen versehener Stößel hin und her verstellt werden kann, derart, daß ein an die Kammer anschließbare:r Rezipient wahlweise mit der Außenluft oder mit einer Vakuumpumpe verbindbar ist.
  13. 13. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß sich an verschiedenere Stellen der axialen Länge der Kammer zwei Öffnungen befinden, von denen die eine die Verbindung zur Außenluft und die andere die Verbindung zu dem Rezipienten bildet, während die Pumpleitung an der Stirnseite der Kammer angeschlossen ist. 1q..
  14. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Achslagerungen des für die Ventilsteuerung dienenden Kurvengetriebes in mit dem Ventilblock fest verschraubten Endplatten ruhen.
  15. 15. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden für mit einer Hochvakuumpumpe betriebene Anlagen, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilblock mit HäIfe eines an einer der Ventilkammern vorgesehenen Hohlflansches mit der Saugleitung der Hochvakuumpumpe zu einer Einheit fest verschraubt ist.
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