Die Erfindung betrifft ein elektronenoptisches
Abbildungsgerät, insbesondere ein Elektronenmikroskop, das mit einer Einrichtung zur Herstellung
von Elektnonenbeugungsbildern ausgerüstet ist. Bei den bekannten Elektronenmikroskopen dieser Art
zeigte sieh bei der Beobachtung von Beugungsbildern und mikroskopischen Bildern von mittels
einer Elektronensonde abgetasteten Objekten, daß sich die Sonde beim Einschalten der Abbildungslinsenspulen
verlagerte. Infolgedessen war nicht die Gewähr gegeben, daß das Beugungsbild und das
vergrößerte Bild des Objektes eindeutig von derselben Stelle des Objektes hergestellt wurden. Dieser
Nachteil wird erfindungsgemäß dadurch vermieden, daß den abbildenden Linsen, z. B. der Objektivspule
und der Projektivspule, Ersatzwiderstände zugeordnet sind, die für die Beobachtung· von Beugungsbildern
an Stelle der Linsen in den Stromkreis des Gerätes eingeschaltet werden. Die Erfindung beruht
nämlich ,auf der Erkenntnis, daß die Verlagerung der Elektroinansonde bei den bisher üblichen Anordnungen
durch den verschieden großen Spannungsabfall auf der Leitung zwischen Akkumulatorbatterien
und den Spulen des Elektronenmikroskops beruhte. Dieser verschieden große Spannungsabfall
läßt sich durch die Verwendung der erwähnten Ereatzwidersfände beseitigen, so daß also sowohl
bei der Schaltung für Beugungsaufnahrnen als auch bei der Schaltung zur Herstellung von Vergrößerungen
im Stromkreis des Gerätes an allen wesentlichen Teilen entsprechende Widerstandsverhältnisse
vorliegen und die Verlagerung der Sonde vermieden werden kann. Wenn für die Beobachtung von Beugungsbildem
eine oder mehrere Kondensorlinsen vor dem Objekt eingeschaltet sind, so wird man
gemäß der weiteren Erfindung die Spannungsquelle der Koindensiorlinse bei Beugungsaufnahmen zusätzlich
noch mit Blindwiderständen belasten, die den Widerstandswerten der abgeschalteten abbildenden
Linsen gleich sind. Beim Einschalten jeweils einer Abbildungslinse wird dann also diese Linse an
Stelle des zugehörigen Ersatzwiderstamdes für die Herstellung von vergrößerten Aufnahmen eingeschaltet.
Dabei ändert sich die Spannung an der Kondensorlinse oder den Kondensorlinsen nicht, so
daß -die Lage und die Intensität des Elektronenstrahles auf dem Objekt unverändert bleiben. Für die
Umschaltung des Gerätes von der einen auf die andere Betriebsweise kann .man beispielsweise hinter
einem Hauptschalter einen Serienumschalter anordnen, der jeweils eine oder mehrere Abbildungslinsen
auszuschalten und an deren Stelle die zugeordneten Ersatzwiderstände einzuschalten gestattet.
Die Zeichnung zeigt als Ausführungsbeispiel der Erfindung schematisch ein Schaltbild für die Linsenspulen
eines Elektronenmikroskops, das wahlweise für die Herstellung von Beugungsbildern und für
die Herstellung von vergrößerten Abbildungen ein und desselben Obj-ektbereiches eingerichtet ist.The invention relates to an electron optical system
Imaging device, in particular an electron microscope, with a device for producing
is equipped with electron diffraction images. In the known electron microscopes of this type
showed see in observing diffraction images and microscopic images of means
an electron probe scanned objects that the probe is when the imaging lens coils are switched on
relocated. As a result, there was no guarantee that the diffraction pattern and the
enlarged image of the object were clearly produced from the same point of the object. This
Disadvantage is avoided according to the invention that the imaging lenses, z. B. the lens coil
and the projection coil, equivalent resistances are assigned which are used for the observation of diffraction images
be switched on in place of the lenses in the electrical circuit of the device. The invention is based
namely, on the knowledge that the displacement of the Elektroinansonde with the previously usual arrangements
due to the different voltage drops on the line between accumulator batteries
and the coils of the electron microscope. This different size voltage drop
can be eliminated through the use of the above-mentioned conflicting events, so that both
in the circuit for diffraction recordings as well as in the circuit for the production of magnifications
Corresponding resistance ratios in the electrical circuit of the device at all essential parts
and the displacement of the probe can be avoided. If for the observation of diffraction patterns
one or more condenser lenses are switched on in front of the object, so one becomes
According to the further invention, the voltage source of the coindenser lens in addition to diffraction recordings
load with reactive resistances that map the resistance values of the switched off
Lenses are the same. When one imaging lens is switched on, this lens is then switched on
Position of the corresponding substitute resistor switched on for the production of enlarged images.
The voltage on the condenser lens or the condenser lenses does not change, see above
that the position and the intensity of the electron beam on the object remain unchanged. For the
Switching the device from one to the other mode of operation can be done, for example, behind
a main switch to arrange a series switch, each of which has one or more imaging lenses
and the assigned equivalent resistors can be switched on in their place.
As an exemplary embodiment of the invention, the drawing schematically shows a circuit diagram for the lens coils
an electron microscope, which can be used optionally for the production of diffraction images and for
the production of enlarged images of one and the same object area is set up.
Mit ι ist die Kondensorspule, mit 2 die Objektivspule
und mit 3 die Projektivspule des Gerätes bezeichnet. Die Spulen werden über einen Hauptschalter
4 aus der Spieisestromquelle gespeist. Mit 5 bis 8 sind Regler für den Spulenstrom bezeichnet.
Während bei der vergrößerten Abbildimg des Objektes die Linsenspulen 1 bis 3 in Betrieb sind,
werden zur Herstellung von Beugungsaufnahmen die Objektivspule 2 und die Projektivspule 3 abgeschaltet.
Um bei dieser Betriebsweise im Kondensorspulenkreis - keine Widerstandsvieränderungen zu
haben, werden die Ersatzwideirstände 9 und 10 eingeschaltet.
Für die Umschaltung dient der zweipolige Vierwiegeschalter n. Dieser Serienumschalter
kann so ausgebildet sein, daß er jeweils eine oder gleichzeitig beide Abbildungssputen ausschaltet und
dafür die entsprechenden Ersatzwiderstände einschaltet. With ι is the condenser coil, with 2 the lens coil
and 3 denotes the projective coil of the device. The coils are switched on via a main switch
4 fed from the electricity source. With 5 to 8 regulators for the coil current are designated.
While the lens coils 1 to 3 are in operation in the enlarged image of the object,
the objective coil 2 and the projection coil 3 are switched off to produce diffraction recordings.
In order to avoid four changes in resistance in this operating mode in the condenser coil circuit
have, the Ersatzwideirstands 9 and 10 are switched on.
The two-pole four-weight switch n is used for switching. This serial switch
can be designed so that it switches off one or both imaging spurs at the same time and
switches on the corresponding equivalent resistors for this.