DE910705C - Einrichtung bei elektronen- oder ionenoptischen Geraeten, insbesondere Elektronen- oder Protonen-Mikroskopen - Google Patents
Einrichtung bei elektronen- oder ionenoptischen Geraeten, insbesondere Elektronen- oder Protonen-MikroskopenInfo
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- DE910705C DE910705C DEK8638A DEK0008638A DE910705C DE 910705 C DE910705 C DE 910705C DE K8638 A DEK8638 A DE K8638A DE K0008638 A DEK0008638 A DE K0008638A DE 910705 C DE910705 C DE 910705C
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
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- H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
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Description
- Einrichtung bei elektronen- oder ionenoptischen Geräten, insbesondere Elektronen- oder Protonen-Mikroskopen Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung bei elektroncn- oder ionenoptischcn @Geräten, insbesondere Elektronen- oder Protonen-Mikroskopen.
- Bei, allen elektronen- und ionenoptischen Geräten treten an den den elektrischen Strom nicht ableitenden Stellen beim Auftreffen von Elektronen oder Ionen Rufladungen auf. Diese Rufladungen stören, wenn sie am zu untersuchenden Objekt im Elektronen- oder Protonen-Mikroskop entstehen, den Strahlengang. Auch auf Leuchtschirmen und Photoschichten treten Rufladungen auf, die das Bild unkontrollierbar verändern und durch die sich bildenden Entladungserscheinungen falsche Strukturen vortäuschen.
- Zur Vermeidung dieser Aufladeerscheinungen wird gemäß der Erfindung die Einrichtung so getroffen, daß zur Beseitigung der durch Elektronen-oder Ionenbeschuß auftretenden störenden Rufladungen in der Nachbarschaft des davon betroffenen Teiles im Vakuum ein zum -Glühen zu bringender Körper, z. B. ein Wolframdraht, angeordnet ist und derart zum Glühen .gebracht wird, daß die aus ihm austretenden Ladungsträger die störende Rufladung vernichten.
- Der erwähnte Körper, z. B. Wolframdraht, kann beispielsweise in der Nähe des zu untersuchenden Objektes oder in der Nähe des Leuchtschirmes oder in der Nähe der photographischen Schicht angebracht sein. Die aus dem Körper austretenden elektrischen Ladungen erreichen beispielsweise das durch die Elektronen' aufgeladene Objekt bzw. den Leuchtschirm oder die photographischen Schichten und vernichten die Aufladung. Das von dem glühenden .Körper ausgesandte Licht kann durch einen lichtundurchlässigen Schirm abgehalten werden.
Claims (1)
- PATENTANSPRÜCHE: i. Einrichtung bei .elektronen- oder ionenoptischen Geräten, insbesondere Elektronen-oder Protonen-Mikroskopen, :dadurch gekennzeichnet, daß zur Beseitigung der durch Elektr6nen- oder Ionenbeschuß auftretenden störenden Aufladungen in der Nachbarschaft des davon betroffenen Teiles im Vakuum ein zum Glühen zu bringender Körper; z. B. ein Wölframdraht, angeordnet ist und derart zum Glühen gebracht wird, daß die aus ihm austretenden Ladungsträger die störende Aufl.aduna vernichten. z. Einrichtung nach Anspruch i; dadurch gekennzeichnet, daß der Körper in der Nähe des zu untersuchenden Objektes angebracht ist. 3. Einrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper in der Nähe des Leuchtschirmes angebracht ist. 4. Einrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper in der Nähe der photographischen Schichten angebracht ist.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEK8638A DE910705C (de) | 1951-01-13 | 1951-01-13 | Einrichtung bei elektronen- oder ionenoptischen Geraeten, insbesondere Elektronen- oder Protonen-Mikroskopen |
| DES24162A DE914165C (de) | 1951-01-13 | 1951-07-28 | Elektronenmikroskop oder Elektronenbeugungsapparatur |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEK8638A DE910705C (de) | 1951-01-13 | 1951-01-13 | Einrichtung bei elektronen- oder ionenoptischen Geraeten, insbesondere Elektronen- oder Protonen-Mikroskopen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE910705C true DE910705C (de) | 1954-05-06 |
Family
ID=7212051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEK8638A Expired DE910705C (de) | 1951-01-13 | 1951-01-13 | Einrichtung bei elektronen- oder ionenoptischen Geraeten, insbesondere Elektronen- oder Protonen-Mikroskopen |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE910705C (de) |
-
1951
- 1951-01-13 DE DEK8638A patent/DE910705C/de not_active Expired
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