Anordnung zur Ermittlung der richtigen Belichtungszeit für photographische
Aufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten Im Hauptpatent ist eine Anordnung zur Ermittlung
iderrichtigen Belichtungszeit für photographische Aufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten
behandelt, wobei der Strom des auffallenden Elektronenstrahls beispielsweise über
einen Elektronenvervielfacher oder eine Verstärkerröhre einem Strommesser zugeführt
wird. Die Auffangelektrode; welche zu Messung des Stromes dient, ist beim Hauptpatent
mit dem unmittelbar hinter dem ProjAtiv angeordneten Belichtungsschirm kombiniert.
,Bei Änderungen der Endbildvergrößerung, beispielsweise durch Verstellen eines Revolverprojektivs,
ist die Messung des Elektronenstromes an ,dieser Stelle kein einwandfreies Kriterium
zur Ermittlung der richtigen Belichtungszeit.Arrangement for determining the correct exposure time for photographic
Recordings in corpuscular beam devices In the main patent is an arrangement for determination
the correct exposure time for photographic recordings in corpuscular beam apparatus
treated, the current of the incident electron beam, for example, about
an electron multiplier or an amplifier tube is fed to an ammeter
will. The collecting electrode; which is used to measure the current is in the main patent
combined with the exposure screen arranged directly behind the ProjAtiv.
, When changing the final image enlargement, for example by adjusting a revolver projector,
the measurement of the electron current is not a flawless criterion at this point
to determine the correct exposure time.
In Abänderung der im "Hauptpatent dargestellten Ausführungsform wird
erfindungsgemäß die zur Messung des Elektronenstromes dienende Auffangelektrode
in den Endbildleuchtschirm so eingebaut, daß sie von Strahlen getroffen wird, die
zur Erzeugung des Endbildes sauf der photographischen Platte beitragen. Hierdurch
werden nunmehr auch bei Veränderung der Vergrößerung in der letzten Abbildungsstufe
einwandfreie Messungen möglich, weil in jedem Falle gerade derjenige Strahlenanteil
bzw. ein Teil desjenigen Strählenanteils bei der
.Messung erfaßt
wird, der während der Belichtung auf .der photographischen Platte .das En-db;ild
erzeugt. Die Einrichtung zur Messung der Belichtungszeit kann auch dazu benutzt
werden, (die Objektbelastung anzuzeigen. Zu diesem Zweck kann das Anzeigeinstrument
der Meßeinrichtung zusätzlich entsprechend geeicht werden. Als Auffangelektrode
wird man mit Vorteil im mittleren Bereich des -7ndbildleuchtschirmes eine Platte
isoliert einlegen, die an der den Strahlen zugekehrten Seite mit Leuchtschirmmasse
bedeckt ist. Man kann die Erfindung bei Korpuskul.arstrahl,apparaten, insbesondere
Elektronenmikroskopen, beliebiger Bauart an-,vvenden, :die Einrichtungen zur Herstellung
von Innenaufnahmen besitzen.In modification of the embodiment shown in the "main patent
according to the invention, the collecting electrode serving to measure the electron flow
built into the end screen so that it is struck by rays which
contribute to the creation of the final image s on the photographic plate. Through this
are now also when changing the magnification in the last imaging level
flawless measurements possible because in each case precisely that radiation component
or a part of that beam portion in the
.Measurement recorded
which during the exposure on .the photographic plate .the end-db; ild
generated. The device for measuring the exposure time can also be used for this purpose
(to display the object load. For this purpose, the display instrument
the measuring device must also be calibrated accordingly. As a collecting electrode
it is advantageous to use a plate in the middle area of the -7nd screen
Insert insulated, on the side facing the rays with luminous screen earth
is covered. You can use the invention in body beam, apparatus, in particular
Electron microscopes, of any type, use: the manufacturing facilities
of indoor shots own.
Die Figur zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel der Erfindung.
In der Figur ist der untere Teil eines zweistufigen Elektronenmikroskops dargestellt.
Für die Aufnahmen des Endbildes auf der photographischen Platte P ist ein besonderer
magnetisch betätigter Verschluß vorgesehen. Dieser Verschluß ist unterhalb (des
Projektivs Pr an einer Stelle wirksam, an der das Elektronenstrahlbündel noch einen
sehr kleinen Querschnitt besitzt, und besteht aus einem oben umgebogenen Blechhebel
H, der im Drehpunkt A zwischen "Spitzen gelagert ist. Jenseits des Drehpunktes trägt
die Fortsetzung des Hebels .ein zylindrisches Weicheisenstück W, das in das Innere
einer eisenumschlossenen Magnetspule IT hineinragt. Bei Erregung des Magneten wird
das Eisenstück W angezogen, und der Hebel H sperrt mit seinem abgebogenen oberen
Rande den Strahl entgegen der Zugkraft der Feder F, die den Verschluß bei Abschalten
des Elektronenmagneten M wieder öffnet. !Für die Öffnung ist der stromlose Zustand
,gewählt, um bei der Belichtung jeglichen Einfluß des von Gleichstrom durchflossenen
Magneten auf den Strahl zu vermeiden. Dennoch kann der Magnet mit einem Metallzylinder
abgeschirmt sein, da unter Umständen der träge Abbau des ;Magnetfeldes bei Beginn
der Strahlfreigabe noch -Bildverschiebungen und damit verwaschene Konturen herbeiführen
könnte. Das eine Ende der Spulenwicklung liegt am Mikroskopgehäuse, das andere Ende
wird über einen Quetschfuß D in den Vakuumraum geführt. Zur Einstellung der Belichtungszeit
dient eine SchaltuhrSch. Da derlStrom während der Bestrahlungsdauer ausgeschaltet
sein muß, ist ein kleines Telegrafenrelais R zwischengelegt, das den Schaltsinn
umkehrt. Der Verschluß wird beim Bedienen des dem Endbil.dleuchtschirm K zugeordneten
Drehschliff automatisch mitbetätigt. Hierzu sind mit .denn Drehschiff zwei Felderkantakte
S( und S2 kombiniert, die beim Heben der Klappe K von Nockenscheiben betätigt werden.
Diese Schaltkontakte benötigen zusammen mit den Nockenscheiben einen so kleinen
Raum, daß sie bequem am Belichtungsschliff .angebracht werden können: Im Endbildleuchtschirm
K ist eine Platte E als Auffangelektrode für den bilderzeugenden Elektronenstrom
isoliert eingelegt. Der Strom wird über den Quetschfuß 0 einem Gleichstromverstärker
zugeführt. Um den Ausschlag des (Strommessers T auch bei sehr kleinen Strömen möglichst
groß zu machen, empfiehlt es sich, den Eingangswiderstand R1 so hoch zu wählen,
wie es der Isolationswiderstand der Verstärkerröhre erlaubt. Bei ausgeschalteter
Kathode wird das Instrument mit Hilfe des Vorspannungsreglers R2 auf Vollausschlag
eingestellt. Bei der Messung fließt der Bildstrom über Ri und erzeugt da einen 'Spannungsabfall,
der die negative Gittervorspannung erhöht. Die Verhälthisse können so gewählt werden,
daß bei völliger Dunkelheit des Leuchtschirmes ein maximaler Ausschlag von Zoo mA
abgelesen werden kann, während der Meßausschlag beim hellsten Elektronenbild fast
auf Null zurückgeht.The figure shows schematically an embodiment of the invention.
The figure shows the lower part of a two-stage electron microscope.
For the recordings of the final image on the photographic plate P is a special one
magnetically operated lock provided. This lock is below (des
Projective Pr effective at a point where the electron beam is still a
has a very small cross-section and consists of a sheet metal lever bent at the top
H, which is mounted in the pivot point A between "points. Beyond the pivot point carries
the continuation of the lever. a cylindrical piece of soft iron W that goes into the interior
an iron-enclosed magnet coil IT protrudes. When the magnet is energized,
the iron piece W tightened, and the lever H locks with its bent upper one
Edge the beam against the tensile force of the spring F, which closes the shutter when it is switched off
of the electron magnet M opens again. ! For the opening is the de-energized state
, chosen to avoid any influence of the direct current flowing through it during exposure
Avoid magnets on the beam. Still, the magnet can be made with a metal cylinder
be shielded, as there may be a slow breakdown of the magnetic field at the beginning
the beam release still cause image shifts and thus blurred contours
could. One end of the coil winding is on the microscope housing, the other end
is fed into the vacuum space via a pinch foot D. For setting the exposure time
a timer switch is used. Because the current is switched off during the irradiation period
must be, a small telegraph relay R is interposed, which the switching sense
reverses. The shutter is assigned to the Endbil.dleuchtschirm K when operating
Rotary grinding also activated automatically. For this purpose, there are two field contacts with the rotating ship
S (and S2 combined, which are operated by cam disks when the flap K is raised.
Together with the cam disks, these switching contacts require such a small one
Space that they can be conveniently attached to the exposure cut: In the end screen
K is a plate E as a collecting electrode for the image-forming electron stream
inlaid isolated. The current is fed to a direct current amplifier via the pinch foot 0
fed. Around the deflection of the (ammeter T, even with very small currents
To make it large, it is advisable to choose the input resistance R1 as high as
as the insulation resistance of the amplifier tube allows. When switched off
The cathode is set to full deflection with the aid of the bias regulator R2
set. During the measurement, the image current flows through Ri and creates a 'voltage drop,
which increases the negative grid bias. The ratios can be chosen so
that with complete darkness of the fluorescent screen a maximum deflection of Zoo mA
can be read, while the measurement deflection for the brightest electron image is almost
goes back to zero.
Bei der Herstellung der Aufnahme wird folgendermaßen verfahren: Der
Zeiger der Schaltuhr Sch wird auf den Wert der mit Hilfe der Meßeinrichtung E, J
ermittelten Belichtungszeit eingestellt. Dann wird der Leuchtschirm K aufgeklappt;
wobei durch die Nockenscheiben kurz nach Beginn der !Klappbewegung der Schalter
S1 geschlossen, der Strom der Magnetspule damit eingeschaltet und der Elektronenstrahl
gesperrt wird. Am Ende der Klappbewegung wird der Schalter S2 geschlossen. Damit
bekommt die (Schaltuhr Sch Strom, unterbricht mit Hilfe des Relais R den
Magnetstrom, öffnet damit .den Verschluß und schließt ihn nach Ablauf der eingestellten
Belichtungszeit wieder. Erst wenn der Leuchtschirm K beim anschließenden Herunterklappen
ganz aufliegt, öffnet sich zwangsläufig der Schalter sv und das Elektronenbild kann
auf dem Leuchtschirm weiter beobachtet werden. Durch diese (Abhängigkeit wird vermieden,
daß der Elektronenstrahl schon während der Klappbewegung wieder freigegeben wird.The procedure for taking the picture is as follows: The pointer of the timer Sch is set to the value of the exposure time determined with the aid of the measuring device E, J. Then the luminescent screen K is opened; shortly after the start of the folding movement, the switch S1 is closed by the cam disks, the current of the magnetic coil is switched on and the electron beam is blocked. At the end of the folding movement, switch S2 is closed. This gives the (timer Sch current, interrupts the magnetic current with the help of the relay R, opens the shutter and closes it again after the set exposure time has elapsed. Only when the fluorescent screen K is completely on when it is then folded down does the switch sv and inevitably open The electron image can still be observed on the luminescent screen. This dependency prevents the electron beam from being released again during the folding movement.