Bei Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen, sind Einrichtungen bekannt,
mit dienen das zu untersuchend© Objekt von außen her in den1 Vakuumraum des Geräteis ohne
Unterbrechung· des Vakuums eingeschleust werden kann. Das Objekt wird dabei an einem Träger, beispielsweise
einer Objektpatrone, befestigt, die mit Hilfe einer von außen bedienbaren, mechanischen
Transportvorrichtung in die Betriebslage übergeführt wird. Bei den bekannten Anordnungen dieser
Art wird der Objektträger, die Patrone, in der Betriebslage von den Teilen der Transportvorrichtung
gehalten1. Das hat den Nachteil, daß Erschütterungen, welche während der Beobachtung1 des
Objektes in dem Elektronenmikroskop auftreten, sich von dien Teilen der Transportvorrichtung auf
das Objekt selbst übertragen können·, so daß dieses gegenüber den Objaktivlinsenteilen; nicht
absolut festliegt. Nun ist aber eine wichtige Voraussetzung für Photoaufnahimen mit Elektronenmikroskopen
die, daß das Objekt bei der Belichtung der Platte sich in einer erschütterungsfreien
Lage befindet. Entsprechend den hohen Vergrößerungen, bis 40 ooofach, 'machen sich schon
sehr kleine, durch Erschütterungen hervorgerufene Relativbewegungen des Objektes gegenüber dem
Objektiv in einem Verwackeln des Endbildes bemerkbalr.In Korpuskularstrahlapparaten, for example electron microscopes, devices are known to serve to the examining © object from the outside into the vacuum space 1 of the Geräteis without interruption · the vacuum can be introduced. The object is attached to a carrier, for example an object cartridge, which is brought into the operating position with the aid of a mechanical transport device that can be operated from the outside. In the known arrangements of this type, the slide, the cartridge, is held in the operating position by the parts of the transport device 1 . This has the disadvantage that vibrations which occur during the observation 1 of the object in the electron microscope can be transmitted from the parts of the transport device to the object itself, so that the latter is opposite to the objective lens parts; is not absolutely fixed. But an important prerequisite for taking photos with electron microscopes is that the object is in a vibration-free position when the plate is exposed. Corresponding to the high magnifications, up to 40,000 times, even very small movements of the object relative to the objective caused by vibrations become noticeable in a blurring of the final image.
Die Erfindung betrifft eine Schleuse für Korpuskularstrahlapparate,
insbesondere Elektronenmikroskope, bei der ein Objekthalter, z. B. Objektpatrone,
mit Hilfe einer durch äußere Antriebe verstellbaren Transportvorrichtung einzuschleusen
und in die Betriebslage, zu bringen ist. Erfindungsgemäß ist der Objekthalter von dem zum Einschleusen
und Verstellen dienenden Antriebe nach
Erreichen der Betriebslage lösbar. Auf diese WeiseThe invention relates to a lock for corpuscular jet apparatus,
in particular electron microscopes in which an object holder, e.g. B. Object cartridge,
with the help of a transport device adjustable by external drives
and is to be brought into the operating position. According to the invention, the object holder is from the one for transferring
and adjusting serving drives
Reaching the operating position can be solved. In this way
ίο wird also nunmehr erreicht, daß bei der Photoaufnahme
die Teile der Transportvorrichtung keinerlei Erschütterungen mehr auf den Objekthalter übertragen
können. Man wird den Objekthalter in der Betriebslage in einem Träger festhalten, der durch
geeignete Mittel fest mit einem Teil der Ofojektivlinse
verbunden ist. Der Träger kann beispielsweise am Objektivpolscbuh befestigt sein. Man kann den
Objekthialter in der Betriebslage auch in einem
relativ zum Strahl durch äußeren Antrieb verstellbaren Träger lagern, der federnd gegen einen Teil
des Objektivs gedrückt wird:. Der äußere Antrieb wird dabei vorzugsweise so durchgebildet, daß mit
seiner Hilfe nur eine Querbewegung des Objektes gegenüber dem Strahl möglich ist, die dazu dient,
einen bestimmtem Bildäuisschnitt des· Objektes auszusuchen.
Bei Anwendung einer Objektpatrone wird man den die Objektblende aufnehmenden Teil
der Patronenhülse durch eine Kupplung verbinden, die bei Verstellung der Hülse in Richtung auf das
Objektiv hin mit Hilfe geeigneter Anschläge gelöst wird. Besonders geeignet! für diesen Zweck ist eine
in der Längsrichtung mehrfach geschlitzte, nach innen oder außen federnde Patronenhülse, die
den Objektträger in der Arbeitsstellung freigibt.ίο is now achieved that when taking photos
the parts of the transport device no longer transmit any vibrations to the object holder
can. You will hold the specimen holder in the operating position in a carrier that through
appropriate means firmly attached to part of the ofojective lens
connected is. The carrier can for example be attached to the lens pole shoe. One can
Object retainer in the operating location also in one
support adjustable relative to the beam by external drive, the resilient against a part
of the lens is pressed :. The external drive is preferably designed so that with
its help only a transverse movement of the object in relation to the beam is possible, which serves to
to choose a specific image section of the object.
When using an object cartridge, the part that receives the object diaphragm becomes the part
connect the cartridge case by a coupling, which when the case is adjusted in the direction of the
Objective is solved with the help of suitable stops. Particularly suitable! for this purpose is one
in the longitudinal direction several times slotted, inwardly or outwardly resilient cartridge case, the
releases the slide in the working position.
Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale werden in den folgernden Ausführungsbeispielen
behandelt.Further features essential to the invention are given in the following exemplary embodiments
treated.
Fig. ι zeigt als Ausführungsbeispiel der Erfindung
einen Längsschnitit durch einen Teil des Objektivs eines Elektronenmikroskops. Mit 1 ist
der obere Palschuh, mit 2 der untere Polschuh der Linsie bezeichnet. Zum Einschleusen des Objektesist
in diesem Fälle eine an sich bekannte Schlauseinrichtung
vorausgesetzt, diie ein drehbares Hahnküken 3 hat, das mit einer Bohrung 4 zur Aufnahme
der Objektpatrone beim Schleusvorgang versehen ist. Mit 5 ist die am unteren Ende vielfach
geschlitzte Hülse der Objektpatrone bezeichnet. Sie ist soi ausgebildet, daß die einzelnen durch die
Schlitze gebildeten Federn nach außen, federn. Am oberen Teil der Patrone greift die in dieser Figur
nicht näher dargestellte Transportvorrichtung an, welche beispialsweisei durch einen Stempel gebildet
wird, der die Patrone nach oben in die Bohrung 4
hineinzuziehen1 bzw. aus ihr in die dargestellte Betriebslage
herauszudrücken gestattet. Die federnden Teile der Patronenhülse sind am unteren Ende mit
Nocken 6 versehen, welche den Objekthalter 7 auf dem Transportweg durch Zusammenarbeiten mit
entsprechend bemessenen Führungsteilen festklemmen. Diese Führungsteile werden beim Ausführungsbeispiel
gebildet durch die Bohrung 4 das Hahnkükens· und die entsprechende Bohrung 8 einer
Führungsbuchse 9. Am Ende des· Transportweges ist die Bohrung 8 der Führungsbuchse derart erweitert,
daß der Objektträger 7 von der federnden Hülse 5 zwangsläufig freigegeben wird. Der
Objektträger 7 ist in der Arbeitsstellung gegen eine obere Anlageflächa 10 des Polschuhes 1 gedrückt
und wird durch einen Ring 11 festgehalten, an welchem in der Figur nicht dargestellte1 Versteillvoirrichtungen
angreifen, die dazu dienen, das Objekt quer zur Strahlachse zu verschieben. Zum Ausschleusen des Objektträgers wird die Patronenhülse
durch die nicht dargestellte Transportvorrichtung nach oben gezogen, und dabei werden ihre
unteren federnden Enden durch die Nocken 6 wieder zusammengedrückt, so daß sie den Objektträger
greifen und mitnehmen·.Fig. Ι shows as an embodiment of the invention a longitudinal section through part of the objective of an electron microscope. 1 with the upper pole shoe and 2 with the lower pole shoe of the lens. In this case, a tube device known per se is required for the introduction of the object, which has a rotatable cock plug 3 which is provided with a bore 4 for receiving the object cartridge during the introduction process. The sleeve of the specimen cartridge, which is slotted many times at the lower end, is denoted by 5. It is designed so that the individual springs formed by the slots spring outward. At the upper part of the cartridge, the transport device, not shown in this figure, engages, which is beispialsweisei formed by a punch, allowing push out 1 or out of it in the illustrated operating position the pull in the cartridge upward in the bore. 4 The resilient parts of the cartridge case are provided at the lower end with cams 6, which clamp the object holder 7 on the transport path by working together with appropriately sized guide parts. In the exemplary embodiment, these guide parts are formed by the bore 4, the cock plug, and the corresponding bore 8 of a guide bushing 9. At the end of the transport path, the bore 8 of the guide bushing is widened in such a way that the specimen slide 7 is inevitably released from the resilient sleeve 5. The slide 7 is pushed into the working position against an upper Anlageflächa 10 of the pole piece 1 and is retained by a ring 11 to which in the figure is not shown attacking 1 Versteillvoirrichtungen, which serve to move the object transverse to the beam axis. To eject the slide, the cartridge case is pulled up by the transport device, not shown, and its lower resilient ends are pressed together again by the cams 6 so that they grip the slide and take it with them.
Fig. 2 zeigt eine andere Ausführungsmögliichkeit
der Erfindung. In diesem Falle ist dem Objektträger 21 eine Patronenhülse 22 zugeordnet, deren
unteres Ende ebenfalls, vielfach geschlitzt ist. Die Hülsei 1st in diesem Falle so ausgebildet, daß sie
mit ihrem unteren Ende nach innen federt. Der Hülse 22 ist ein Spreizsitempel 23 zugeordnet, der
mit Hilfe einer eingebauten Spiralfeder 24 normalerweise in der dargestellten Lage gehalten
wird. Mit 25 ist eine Führungsbuchse bezeichneit, die oberhalb des Poilschuhsystems 26 der Objektivlinse
angeordnet ist. Der obere Polschuh weist hierbei eine Auflagefläche 27 für den Objektträger 21
auf. Als Transportvorrichtung für die Patrone dient ein Stempel 28, der bei Überführen des
Objektträgers in die Betriebslage in der Pfeilrichtung nach unten gedrückt wird. Dabei legt sich der
Objektträger 21 gegen seine Auflagefläche, und bei der weiteren Bewegung wind das untere konische
Ende 29 des Spreizstempels 23 gegen die Anschläge 30 der federnden Hülsenteile gedrückt, so daß
diese nach außen gespreizt werden und den Objektträger freigeben1. Soll der Objektträger herausgenommen
werden, so bewirkt die Feder 24, daß zunächst der Spreizstempel 23 zurückgeht, wodurch
die Patronenhülse 22 den Objektträger 21 wieder festklemmt Auch in diesem Falle kann die- Halterung
und Verstellung des in der Arbeitsstellung von der Transportvorrichtung freigegebenen Objektträgers
in einem relativ zum Objekt quer beweglichen Tisch erfolgen'.Fig. 2 shows another embodiment of the invention. In this case, the slide 21 is assigned a cartridge case 22, the lower end of which is also slotted multiple times. In this case, the sleeve is designed so that its lower end springs inward. The sleeve 22 is assigned an expanding die 23 which is normally held in the position shown with the aid of a built-in spiral spring 24. With a guide bushing 25 is designated, which is arranged above the Poilschuhsystem 26 of the objective lens. The upper pole piece here has a support surface 27 for the specimen slide 21. A plunger 28 serves as a transport device for the cartridge and is pressed downward in the direction of the arrow when the specimen slide is transferred into the operating position. The slide 21 rests against its support surface, and as the movement continues, the lower conical end 29 of the expanding punch 23 is pressed against the stops 30 of the resilient sleeve parts, so that these are spread outwards and release the slide 1 . If the slide is to be removed, the spring 24 causes the spreading ram 23 to go back first, whereby the cartridge case 22 clamps the slide 21 again table that can move transversely to the object '.