DE8916062U1 - Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation - Google Patents

Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation

Info

Publication number
DE8916062U1
DE8916062U1 DE8916062U DE8916062U DE8916062U1 DE 8916062 U1 DE8916062 U1 DE 8916062U1 DE 8916062 U DE8916062 U DE 8916062U DE 8916062 U DE8916062 U DE 8916062U DE 8916062 U1 DE8916062 U1 DE 8916062U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
machine
post
measuring device
station according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE8916062U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kadia Maschinenbau Kopp & Co 7440 Nuertingen De GmbH
Original Assignee
Kadia Maschinenbau Kopp & Co 7440 Nuertingen De GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kadia Maschinenbau Kopp & Co 7440 Nuertingen De GmbH filed Critical Kadia Maschinenbau Kopp & Co 7440 Nuertingen De GmbH
Priority to DE8916062U priority Critical patent/DE8916062U1/de
Priority claimed from DE19893942805 external-priority patent/DE3942805A1/de
Publication of DE8916062U1 publication Critical patent/DE8916062U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/28Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/416Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control of velocity, acceleration or deceleration
    • G05B19/4163Adaptive control of feed or cutting velocity
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/37Measurements
    • G05B2219/37206Inspection of surface
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/37Measurements
    • G05B2219/37576Post-process, measure worpiece after machining, use results for new or same

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

Beschreibung
Die Erfindung betrifft eine Post-Prozeß-Oberflachenmeßstation für eine Maschine in Form einer Honmaschine, Bürsthonmaschine, Schleifmaschine, Bohr- oder Feinbohrmaschine oder Fräsmaschine zur Messung der Rauhigkeit der bearbeiteten Oberfläche einer Bohrung eines Werkstücks.
Ein Meßgerät zur Bestimmung von Mikrorauhtiefen krummliniger Oberflächen zylindrischer Körper ist in der CH-PS 439 770 beschrieben. Am Gerätegehäuse befestigte messerartige Stellsegmentstücke dienen als Stelleinrichtung, auf der der Körper mit seiner zu prüfenden Oberfläche aufliegt. Ein Induktionsgeber, dessen Nadel die zu vermessende Oberfläche durch einen Schlitz im Stellsegmentstück abtastet, ist ebenfalls starr am Gerätegehäuse befestigt. Der zu prüfende Körper wird manuell über ein mechanisch-hydraulisches System bewegt. Während dieser Bewegung tastet die Nadel die Oberfläche ab. Dieses Prinzip der Tastschnittmessung ist außerdem in der Veröffentlichung "Prüfung der Oberflächenrauhheit mit Tastschnittgeräten11 (Autor: Dr.rer.nat.H. Wolff) in: Werkstatt und Betrieb 109 (1976) 11, S. 667 bis 672 ausführlich dargestellt.
&ogr; ' - ■
Dieses Meßgerät ist nicht in der Lage, die heutzutage an moderne Meßstationen gestellten Anforderungen zu erfüllen. Die an eine solche Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation zu stellenden Forderungen lassen sich dahingehend zusammenfassen, daß in "prozeßnaher" Weise rechtzeitig Abweichungen von der erwünschten Bearbeitungsqualität erkannt und kompensiert werden sollen. Dieses soll nicht durch individuelles Eingreifen von Bedienungspersonen, sondern durch Erhöhung des Automatisierungsgrades der Bearbeitung, vorzugsweise im Takt einer Transferstraße, erfolgen. So weit wie möglich sollen aufgrund der erfaßten Meßgrößen die Parameter der Bearbeitung nachgeregelt werden; sofern dies nicht mehr möglich ist, soll der Fehler erkannt und angezeigt werden, so daß anderweitige Maßnahmen (z.B. Werkzeugwechsel) getroffen werden können.
Derartige Maßnahmen werden in der Veröffentlichung "Entwicklungstendenzen in der Koordinatenmeßtechnik" (Autor: Albert Weckenmann) in VDE-Z Bd. 127 (1985) Nr. 4, S. 117 bis 123 vorgeschlagen. Die Koordinatenmeßtechnik ist jedoch eine Technik zur Längenmessung mit Meßbereichen zwischen einigen Zentimetern und mehreren Metern. Dies erlaubt wesentlich höhere Ungenauigkeiten bei der Messung und dementsprechend geringere Anforderungen für die Abschirmung der Meßstation gegenüber den von der Werkzeugmaschine ausgehenden Erschütterungen. Die in dieser Veröffentlichung hierzu vorgeschlagenen Maßnahmen sind
für die Oberflächenmessung im Bereich von 0,5 bis 30 Mikrometer nicht brauchbar.
In der Veröffentlichung "Rauhheitssensor zur In-Prozeß- Messung der Werkstuckrauhheit beim Honen" (Autoren: M.von See, P. Maskus) in: Industrie-Anzeiger 100/1987, S.33/34 ist bereits der Vorschlag gemacht worden, die Rauhtiefe gehonter Werkstücke einer Post-Prozeß-Messung zu unterwerfen. Einzelheiten des Aufbaus der Meßstation sind jedoch nicht angegeben. Beschrieben wird lediglich ein Sensor, der aus einer an einer Blattfeder geführten Diamanttastspitze und einem damit verbundenen Piezo-Biegestäbchen besteht. Ein solcher Sensor reagiert aber auch bei der angegebenen In-Prozeß-Messung, infolge des verwendeten Schwingsystems für den Meßtaster, sehr empfindlich auf Verunreinigungen, z.B. mit einem Ölfilm, auch wenn dieser sehr dünn ist. Im übrigen behandelt diese Veröffentlichung eine kontinuierliche Messung während, jedoch nicht nach der Bearbeitung.
In der Veröffentlichung "Überwachung der Oberfläche in der Schwinghebelfertigung mit optischem Rauhheitsmeßgerät" (Autoren: R. Brodmann, G. Hübner, N. Rau, W. Staiger) in: Werkstatt und Betrieb, 11. Jahrgang, 1983, Heft 11, S.651-653 wird ebenfalls, jedoch nur sehr allgemein, eine Post-Prozeß-Oberflächen-Messungen diskutiert. Es geht dabei
jedoch hauptsächlich um die Ausbildung des Meßgerätes als solches.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine
Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation der eingangs genannten Art zu schaffen, die in prozeßnaher Weise die Messung der Oberflächenrauhheit der Wandungen von Oberflächen in Bohrungen nach der Bearbeitung durch Honen, Bürsthonen oder Schleifen, sowie die direkte Verwendung der Meßergebnisse für die Regelung der Arbeitsparameter ermöglicht.
Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Maßnahmen gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen definiert.
Mit der erfindungsgemäßen Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation wird eine prozeßnahe Messung und Steuerung der Bearbeitungsparameter ermöglicht. Es hat sich herausgestellt, daß das hauptsächliche zu überwindende Hindernis einer prozeßnahen Meßsteuerung darin bestand, die Meßeinrichtung von den Schwingungen der Maschine freizuhalten. Dies erfolgt gemäß einem Merkmal der Erfindung durch die Anordnung der Meßplattform der Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation auf Schwingungsdämpfern gemäß der Erfindung.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung und ihrer vorteilhaften Weiterbildungen wird im folgenden anhand der beigefügten
Zeichnungen näher beschrieben. Es stellen dar: Figur 1 ein Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Figur 2 eine Ansicht in Richtung der Pfeile H-II in Fig.1;
Figur 3 eine Darstellung des Ablaufs der verschiedenen Verfahrensschritte;
Figur 4 ein Schema für die Auswertung der Meßergebnisse; Figur 5 einen der verwendeten Schwingungsdämpfer.
Figur 1 zeigt schematisch eine Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation 1. die u.a. eine Meßplattform 2 aufweist. Auf der Stellfläche 2a der Meßplattform 2 steht ein Werkstück 3 (im Ausführungsbeispiel: ein Kurbelgehäuse). Mit der Meßplattform 2 fest verbunden ist ein Rahmen 4, der durch eine Stützrippe praktisch verwindungsfrei abgestützt ist. Im Innenraum des Rahmens 4 ist eine Gewindespindel 6 gelagert. Diese kann von einem Schrittmotor 7 gedreht werden. Die Gewindespindel 6 durchsetzt den Führungsblock 8 eines Meßgeräteträgers 9, so daß bei Drehung der Gewindespindel 6 durch den Schrittmotor 7 der Meßgeräteträger 9 vertikal verschoben werden kann. Der Meßgeräteträger 9 ist an der (in Figur 1) linken Seitenfläche des Rahmens 4 gleitend gelagert und als stabiler Winkel,
mittels der Rippe 10 versteift, ausgebildet. Auf dem Meßgeräteträger 9 ist das eigentliche Oberflächenmeßgerät 11, dessen Bestandteil der Taster 12 ist, angeordnet. Ferner ist auf dem Meßgeräteträger 9 der Abblaskopf 13 angeordnet. Der Abblaskopf 13 weist leicht schräg nach außen und nach unten geneigte ringförmige Düsen auf. Er wird am Meßgeräte träger 9 mittels eines Rohres 14 gehalten. Das Rohr 14 dient auch dazu, dem Abblaskopf 13 Druckluft zuzuführen, die über einen (nicht gezeigten) Anschluß mittels einer (nicht gezeigten) Druckluftleitung an das obere Ende des Rohres 14 gelangt. Der Abblaskopf 13 dient dazu, unmittelbar vor dem Meßvorgang, der die Rauhigkeit der Oberfläche mittels des Tasters 12 mißt, die Oberfläche der Bohrung im Werkstück 3 so weit wie möglich von Kühl-/Schmierflüssigkeit, Spänen oder Schmutzteilchen zu reinigen. In dem Oberflächenmeßgerät 11 sind auch entsprechende Einrichtungen vorgesehen, um den Taster 12 radial an die zu messende Oberfläche anzufahren. Von dem Oberflächenmeßgerät 11 geht eine Leitung zur Auswerteeinheit 15. Die Auswerteeinheit 15 ist über eine Leitung 15' mit der Maschinensteuerung und über eine Leitung 15" mit einer Dokumentationseinrichtung (Speicher eines PC, Schreiber, Drucker) verbunden.
Die Meßplattform 2 ist auf dem Maschinenbett 20 mittels pneumatisch geregelter Schwingungsdämpfer 21, 22 ... gelagert. Es empfiehlt sich dabei eine pneumatische Einstellbarkeit der Schwingungsdämpfer (siehe Fig.5), um der unterschiedlichen
Belastung der einzelnen Schwingungsdämpfer Rechnung tragen zu können. Die Meßplattform 2 sollte arretierbar sein, so daß man sie während des Transports eines Werkstückes 3 von der Stellfläche 30 der Maschine, auf der es (durch nicht gezeigte Bearbeitungseinrichtungen, z.B. Spindeln) bearbeitet wird, auf die Stellfläche 2a arretieren kann. Die Arretierung ist dann also lediglich während des Meßvorganges freizugeben. Die Dämpfung ist vorzugsweise als 3-Punkt-Auflage auszubilden. Sie muß so ausgelegt werden, daß die benachbarten und auf demselben Maschinenbett 20 angeordneten Honspindeln selbst bei harter Umsteuerung und einer Hubgeschwindigkeit von bis zu 25 m/min ohne Beeinträchtigung einer gleichzeitig stattfindenden Messung gefahren werden können. Diese schwingungsgedämpfte Lagerung ist von besonderer Bedeutung, da sie die Übertragung von Schwingungen von Bearbeitungs-Stel1 fache 30 der Maschine auf die Meßplattform 2 verhindert, so daß ein "prozeßnahes Messen" ermöglicht wird. Weitere Schwingungsdämpfer befinden sich hinter den eingezeichneten Schwingungsdämpfern 21,22, also hinter der Zeichenebene von Figur 1.
Die Anordnung der Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation bezüglich einer Honmaschine ist derart, daß das Werkstück 3 von der Bearbeitungsstellfläche 30 der Honmaschine mittels am Maschinenrahmen angeordneter Schwenkstangen 25, von der Stellfläche 30 auf der Honmaschine, wo sie bearbeitet werden, auf den Stellbereich 2a der Meßplattform 2 geschoben werden können. Diese Verschiebebewegung erfolgt beim
Ausführungsbeispiel in Figur 1 senkrecht zur Zeichenebene (siehe Fig.2). Wichtig ist, daß die Meßplattform 2 direkt keinen Kontakt mit der Stellfläche des Werkstücks auf der Maschine hat, um die Übertragung von Schwingungen zu vermeiden. Die Trennung kann durch einen Spalt 31 gewährleistet sein (siehe Fig.2). Während des Meßvorgangs sind die Schwenkstangen in die mit 25' bezeichnete Position hochgeschwenkt, so daß auch sie keine Schwingungen auf das Werkstück 3 übertragen.
Für das Oberflächenmeßgerät 11 kommen grundsätzlich alle zur Zeit zur Verfügung stehenden Oberflächenmeßverfahren in Betracht, so u.a. eine pneumatische Oberflächenmessung, optoelektronische Tastverfahren, Messungen nach dem Streulichtverfahren, oder mechanisch-elektronische Tastschnittverfahren. Sie sollten aber danach ausgewählt werden, daß das Ergebnis durch Ölreste nicht verfälscht und die Streubreite der Meßergebnisse nicht zu groß wird. Im vorliegenden Fall kommen vorzugsweise bekannte mechanisch-elektronische Tastschnitt-Meßgeräte in Betracht, bei denen mit einer Diamantspitze das Oberflächenprofil abgetastet und entsprechende elektrische Signale aus der Bewegung bzw. Lage des Tasters abgeleitet werden. Bei abgedichteter Ausführung und höherer Anlagekraft ist dieses Meßverfahren auch für ölbenetzte Oberflächen geeignet (Anpreßkraft ca. 4 mN). Mit diesen Meßgeräten sind die üblichen Maßzahlen für die Oberflächenrauhigkeit R2, Ra, Rmax/
tpi (Digitales Filter), Rk, RPn und RPk· (vgl. dazu im einzelnen DIN 4762, 4768 Teil I1 4776 Entwurf 1985) meßbar.
Eine wesentliche Anforderung an eine derartige Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation, die in dem Bearbeitungsvorgang bzw. die Bearbeitungsmaschine integriert sein soll, ist, daß die Messung im Maschinentakt durchgeführt werden kann. Hierzu wurden die Minimum-Meßzeiten untersucht. Es ergaben sich folgende Ergebnisse:
Für Rz = 0,5-10 : Cut off LC = 0,8 mm (Zuordnung nach DIN 4768)
Tastlänge LT = 5,6 mm
Tastgeschwindigkeit vtmax = 0,5 mm/s Meßzeit T = 11,2 s
Für Rz = 10-50 : Cut off LC = 2,5 mm
Tastlänge LT = 17,5 mm
Tastgeschwindigkeit vtmax = 0,5 mm/s
Meßzeit T = 35,0 s
Die Meßzeit beträgt also je nach zu prüfender Rauhigkeit 11,2 bzw. 35 s. Die Nebenzeiten zum Ein- und Ausfahren des Tasters sind mit ca. 10 s in Rechnung zu stellen.
Figur 3 zeigt in einem Weg-Zeit-Diagramm schematisch den Ablauf des Meßvorgangs. Wird der Meßgeräteträger 9 abwärts
gefahren, so läuft zunächst der Abblaskopf 13 in die Bohrung und beginnt, bei Erreichen der oberen Bohrungskante, Druckluft gegen die Bohrungswand zu blasen ("Abblasen"). Sobald der Taster 12 in die Bohrungswand eingefahren wird, wird er nach Erreichen der Meßposition radial gegen die Bohrungswand angelegt. Bei weiterem Vorschub vertikal nach unten erfolgt das Messen der Oberflächenrauhigkeit. Während des Messens wird die Druckluft des Abblaskopfes 13 abgeschaltet. Nach Beendigung des Meßvorganges fährt der Taster 12 zunächst radial zurück. Nach kurzer Verzögerung beginnt das Ausfahren.
Figur 4 zeigt schematisch die Aufbereitung der bei der Messung anfallenden Signale. Bewegen sich die Meßwerte im Bereich 1, der die zulässigen Toleranzgrenzen definiert, erfolgt keine Beeinflussung des laufenden Bearbeitungsverfahrens. Fallen die Ergebnisse in den Bereich 2, so werden entsprechende Signale an die Steuerung weitergeleitet, so z.B. zur Veränderung des Zustelldrucks des Werkzeuges an die Innenwand der zu bearbeitenden Bohrung, zur Steuerung der Bearbeitungszeit und der Veränderung der Drehzahl des Werkzeugs. Dies sind die wichtigsten Parameter, durch deren Veränderung die Qualität einer Bohrung im Bearbeitungsbereich der Maschine beeinflußt werden kann. Befindet sich der gemessene Wert im Bereich 3, so ist davon auszugehen, daß ein Fehler vorliegt und ein Werkzeugwechsel oder z.B. eine Überprüfung der Kühlmittelzufuhr erforderlich ist. Die Grenzen zwischen den Bereichen 1/2/3 sind variabel, d.h. innerhalb der
Auswerteeinheit 15 programmierbar.
Figur 5 zeigt die Niveauregulierung eines Schwingungsdämpfers 21. Zwischen Maschinenbett 20 und Meßplattform 2 befindet sich ein Luftfederelmeent 32, das über Drosseln 33,34, ein Zwischenvolumen 35, und ein Einlaßventil 36 von einer Druckluftquelle 37 gespeist wird. Die Druckminderung erfolgt über Leitung 38 und Auslaßventil 39 in die Atmosphäre bei Auslaß 40. Die Regulierung erfolgt mittels eines Höhentasters 41, der je nach Lage einen der beiden Kontakte 42,43 berührt und damit entweder Einlaßventil 36 oder Auslaßventil 39 betätigt. Die Versorgungsspannung wird von der Batterie 50 geliefert. Die Arretierung kann durch entsprechend starkes (pralles) Aufpumpen des Luftfederelementes 32 oder durch nicht gezeigte) mechanische Einrichtungen erfolgen.
Die Meßplattform 2 ist, wie ersichtlich, praktisch als eine Art Trog mit gegenüber den Schwingungsdämpfern 21,22 vertiefter Stellfläche 2a ausgebildet, damit in der Ebene, in der die Schwingungsdämpfer 21,22 liegen, auch der Schwerpunkt des Aufbaus auf der Meßplattform 2 liegt, so daß die Meßbewegung möglichst zu kleinen Drehmomenten um den Masseschwerpunkt führt, um die Meßplattform richtig zu halten.

Claims (9)

Schutzsansprüche
1. Post-Prozeß-Oberflächenmeßstation für eine Maschine in Form einer Honmaschine, Bürsthonmaschine, Schleifmaschine, Bohr-oder Feinbohrmaschine oder Fräsmaschine, zur Messung der Rauhigkeit der bearbeiteten Oberfläche einer Bohrung eines Werkstücks (3), bie der
(a) auf einem horizontal ausgerichteten Maschinenbett (20) der Maschine eine Meßplattform (2) in Ausrichtung mit der Transportebene (30) der Maschine auf Schwingungsdämpfern (21,22) gelagert ist,
(b) die Meßplattform (2) eine Stellfläche (2a) für das Werkstück (3) aufweist,
(c) auf der Meßplattform (2) eine Stelleinrichtung (4) angeordnet ist, an der vertikal verschiebbar ein Meßgeräteträger (9) angeordnet ist, der ein Oberflächenmeßgerät (11) trägt, dessen Taster (12) in die Bohrung einfahrbar, radial an diese anlegbar und entlang der Bohrung an der Oberfläche führbar ist,
(d) und das Oberflächenmeßgerät (11) mit einer Auswerteeinheit (15) verbunden ist, die so ausgebildet ist, daß aus vom Oberflächenmeßgerät (11) gemessenen Maßzahlen für die Rauheit (R2, Ra, ...) Steuerungssignale zur Steuerung der
earbeitungsparameter der Maschine ableitbar sind und/oder ein Fehlersignal beim Überschreiten vorgegebener Bereiche der Maßzahlen erzeugbar ist.
2. Post-Prozeß-Oberflächenmeßstation nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingungsdämpfer (21,22) pneumatisch einstellbar sind.
3. Post-Prozeß-Oberflächenmeßstation nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingungsdämpfer mit Arretiereinrichtungen versehen sind, die bei Betätigung des Oberflächenmeßgerätes (11) entriegelbar sind.
4. Post-Prozeß-Oberflächenmeßstation nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßgeräteträger (9) mittels eines Schrittmotors (7) vertikal verschiebbar ist.
5. Post-Prozeß-Oberflächenmeßstation nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Meßgeräteträger (9) ein Abblaskopf (13) mit schräg nach unten und außen gerichteten ringförmigen Düsen angeordnet ist.
6. Post-Prozeß-Oberflächenmeßstation nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Abblaskopf (13) in einem gewissen
tand unterhalb des Tasters 812) des Oberf lächenineßgerätes (11) angeordnet ist.
7. Post-Prozeß Oberflächenmeßstation nach einem der Ansprüche
1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Oberflächenmeßgerät (11) ein Tastschnittmeßgerät vorgesehen ist, bei dem eine Diamantspitze unter erhöhtem Meßdruck an der zu messenden Oberfläche anliegt.
8. Post-Prozeß-Oberflächenmeßstation nach einem der Ansprüche
2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellfläche (2a) der Meßplattform (2) gegenüber einer durch die Schwingungsdämpfer (21,22) bestimmten Ebene tiefer liegend angeordnet ist und der Massenschwerpunkt der Meßplattform 82) samt Stelleinrichtung (4) und Werkstück (3) in der genannten Ebene liegt.
9. Post-Prozeß-Oberflächenmeßstation nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Bearbeitungsparameter der Maschine Zustelldruck, Bearbeitungszeit und/oder Drehzahl sind.
DE8916062U 1989-12-23 1989-12-23 Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation Expired - Lifetime DE8916062U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8916062U DE8916062U1 (de) 1989-12-23 1989-12-23 Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893942805 DE3942805A1 (de) 1989-12-23 1989-12-23 Post-prozess-messung
DE8916062U DE8916062U1 (de) 1989-12-23 1989-12-23 Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE8916062U1 true DE8916062U1 (de) 1993-05-27

Family

ID=25888453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8916062U Expired - Lifetime DE8916062U1 (de) 1989-12-23 1989-12-23 Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE8916062U1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4322975A1 (de) * 1993-07-09 1995-01-12 Bernd Wuertele Meßeinrichtung
DE4327288A1 (de) * 1993-08-13 1995-02-16 Siemens Ag Längenprüfeinrichtung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4322975A1 (de) * 1993-07-09 1995-01-12 Bernd Wuertele Meßeinrichtung
DE4327288A1 (de) * 1993-08-13 1995-02-16 Siemens Ag Längenprüfeinrichtung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0985493B1 (de) Werkzeugmaschine mit automatischer Prozesssteuerung/Überwachung
EP1663573B1 (de) Schleifmaschine mit rundlaufkorrektur
DE3789875T2 (de) Metrologischer Apparat.
EP0779849B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erfassung und kompensation von füge- und verschleissfehlern beim feinbohren
DE102006011904B4 (de) Messverfahren, Messsystem und Bearbeitungsmaschine mit Messsystem
DE4004237C2 (de)
DE3784258T2 (de) Walzenschleifmaschine mit vorrichtungen zur ueberwachung der abmessungen und der oberflaeche und zur steuerung.
DE69225680T2 (de) Automatisiertes Wartungsverfahren für digitale numerisch gesteuerte Maschinen
DE102008000489B3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Reparatur eines Schleifringes im eingebauten Zustand
DE3530576A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum vermessen eines werkstuecks
EP2774721B1 (de) Verfahren zum Ermitteln von Topografieabweichungen eines Abrichtwerkzeugs in einer Schleifmaschine und entsprechend ausgestattete Schleifmaschine
DE102006050838A1 (de) Messverfahren, Messsystem und Bearbeitungsmaschine mit Messsystem
DE4431059C2 (de) Verfahren und Einrichtung zum Vermessen von Werkzeugen, insbesondere Maschinenwerkzeugen in Einstellgeräten
EP0377796A2 (de) Mess- und Ausrichteinrichtung an einer Rundschleifmaschine
EP0403908B1 (de) Verfahren und Einrichtung zum Messen der Konturen eines Körpers
DE68924895T2 (de) Vorrichtung zur Formung von Stangen in gerader kreisförmiger Zylinderform.
DE102007050482B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Finishbearbeitung
DD254771A5 (de) Messaparatur
DE3942805C2 (de)
DE20218352U1 (de) Einzentriervorrichtung zum Ausrichten von vorverzahnten Werkstücken auf Verzahnungsfeinbearbeitungsmaschinen
DE8916062U1 (de) Post-Prozeß-Oberflächen-Meßstation
EP0346288B1 (de) Verfahren und Einrichtung zum berührungslosen Ausmessen eines Werkstückes
DE102009039540A1 (de) Bearbeitungsverfahren
DE102008004849B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten von Werkstücken
EP0289528B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum tiefschleifen