In elektronenoptischen Geräten, insbesondere Übermikroskopen und El.ektronenbeugungsgeräten,
wird der' Objektträger im allgemeinen in einemObjekttisch gelagert, welcher zur
Eipstellung "des'-Objektes dient, um den gewünschten-.Objektbereich darstellen bzw.
um ein Objekt absuchen zu können.In electron-optical devices, especially super microscopes and electronic electron diffraction devices,
the slide is generally stored in a stage which is used for
Positioning "des" object serves to represent or represent the desired object area.
to be able to search an object.
Die Erfindung bezieht sich auf einen Objekttisch für elektronenoptische
Geräte, insbesondere über-. mil@rösköpe,--_welt;her sich dadurch auszeichnet, däß
jede Verstellung mit großer Sicherheit reproduzierbar ist, da der Mechanismus völlig
spielfrei arbeiten kann. Nach der Erfindung ist der Objekttisch sowohl in der Höhe
als auch nach den Seiten verstellbar, wobei sämtliche bewegten Teile nach dein -Prinzip
einer Waage nur durch Spitzen bzw. Kugelspitzen ineinander gelagert und die Rückhol-
-federn ausschließlich als frei hängende Zugfedern ausgebildet sind. Durch diese
besondere Ausbildung . ist die dreidimensionale Verstellbarkeit eines Untersuchungsobjektes
gewährleistet, - -ohne-- daß insbesondere bei der Höhenverstellung Nebenbewegungen,
wie selbsttätige Verschiebung, Drehung oder Kippung, auftreten können. Die -mechanischen
Funktionen erfolgen, also durch- um-Drehpunkte schwenkbare Hebel und Stößel nach.
dem Prinzip einer Waage, wodurch alle Reibungs= widerstände praktisch-.ausgeschaltet
werden.The invention relates to an object table for electron optical systems
Devices, especially over-. mil @ rösköpe, --_ welt; her is characterized by the fact that
every adjustment can be reproduced with great certainty, since the mechanism is completely
can work without play. According to the invention, the stage is both in height
as well as adjustable to the sides, with all moving parts according to your principle
of a balance only supported by points or spherical points and the return
- springs are designed exclusively as freely hanging tension springs. Through this
special training. is the three-dimensional adjustability of an examination object
ensures - -without-- that secondary movements, especially when adjusting the height,
how automatic displacement, rotation or tilting can occur. The mechanical
Functions are carried out, i.e. levers and plungers that can be swiveled around fulcrums.
the principle of a balance, which practically eliminates all frictional resistance
will.
Der Gegenstand der Erfindung ist an einem in der Zeichnung dargestellten
Ausführungsbeispiel -näher erläutert. Der Übersicht halber sind nur die beweglichen
Teile dargestellt, während .die--drei-Einstellschrauben 1,:2 und 3" welche zur Verschiebung
des - Objekttisches dienen, -und die beiden Hebel 4 und 5 in der Masse gelagert
zu denken sind. Außerdem sind die äußeren Enden- der beiden Rückholfedern 6 und
7 und auch -die drei Lagerpunkte 8, g, io mit der Masse verbunden. -- @---@ Um eine
Seitenverschiebung des Objektes. ausführen zu können, sind an der -Unterseite -
des Bügels ii die drei Stößel 12, 13, 14 beweglich gelagert, deren untere
Enden in gleicher Weise in der Masse gelagert sind: Die Federn 6-,7' ziehen den.
Bügel über-die.,.Stößel-i-5;#E6,-i7-geg`en- dre--beden Stellschrauben i und 3, bei
deren Betätigung`@irie.«: seitliche Verschiebung des Bügels vi-in den- beiden Richtungen
bewirkt wird. Durch die- Anordnung der beiden Stößel 15 und 16 an-'der- einen Seite
des Bügels i i wird eine Drehung des Bügels vermieden, da der Zugpunkt der Feder
6 zwischen den beiden Stößeln liegt, so daß also einer der beiden Stößel 15, 16
außer Eingriff kommen müßte, wenn eine Drehung auftreten sollte. Dieses wird aber
durch die Spannung der Rückholfeder 6 verhindert.The object of the invention is explained in more detail using an exemplary embodiment shown in the drawing. For the sake of clarity, only the moving parts are shown, while .die - three adjusting screws 1,: 2 and 3 "which are used to move the - object table, - and the two levers 4 and 5 are to be thought of as being mounted in the mass the outer ends of the two return springs 6 and 7 and also the three bearing points 8, g, io are connected to the ground. of the bracket ii the three plungers 12, 13, 14 movably mounted, the lower ends of which are mounted in the same way in the mass: The springs 6-, 7 'pull the. bracket over-the.,. plunger-i-5; # E6, -i7-gegen`en- dre - require adjusting screws i and 3, when actuated `@ irie.«: Lateral displacement of the bracket vi-is effected in both directions 16 on-'der- one side of the bracket ii rotation of the bracket is avoided because the point of tension of the spring 6 is between the two plungers, so that as o one of the two tappets 15, 16 would have to disengage if rotation were to occur. However, this is prevented by the tension of the return spring 6.
Der Objekttisch ist nicht nur nach den Seiten, sondern auch nach der
Höhe zu verstellen. Zu diesem Zweck ist eine Schraube 2 vorgesehen, welche auf den
Hebel 5 und den in ihm beweglich gelagerten; Stößel 18 @-und_ ;damit- auf, den',Rahm@n
ig wirkt. Der Rahmen ig ist auf zwei mit dem `-Biigel ii starr verbundenen Stiften
2o, 2i gelagert - und ;wird. gegen die ;Stifte .und den Stößel 18 durch die
beiden Federn -22- und' 23. nach oben gedrückt. Innerhalb des- Rahmens ig befindet
sich ein Hebel ,24,-welcher auf den beiden Spitzen 25, 26 drehbar 'gelagert ist.
Das eine Ende ist durch den Stößel 27 nach oben gegen den Bügel i i abgestützt,
während das andere Ende dieses Hebels zur Lagerung des Objekttisches 28 dient, und
zwar ist der Objekttisch' mit zwei Spitzen 2g, 3o abgestützt. Der dritte Stützpunkt
des Objekttisches 28 ruht unter Vermittlung des Stößels 31 auf dem Rahmen ig. Die
Feder ,32 zieht. . den Objekttisch 28 gegen den Hebel 24. -Bei der beschriebenen.
Anordnung liegen sowohl die Lagerpunkte der Stiftspitzen 2o, 21, 29, 30 und
--auch die Lägerpankte'der Stößel 3i, 18, 27 in einer Linie. Die Drehachse
des Hebels 24 um die Spitzen 25, 26 befindet sich in der Mitte zwischen den beicen
Lagerlinien,. -
Wenn bei-. dein,! Betrieb des Objekttisches eine Seite des
Rahmens ig durch Niederdrücken des Stößels i8 um eine Maßeinheit gesenkt wird, so
senkt sich. die Lagerungsachse des Hebels 24 in der-Mitte des Rahmens nur um eine
halbe Einheit. Das Ende. des Hebels 24 -.ist gegen den Bügel i i ab-. gestützt und
senkt -sich somit nicht, so daß folglich das andere, Ende, welches gleich weit vom
Drehpunkt entfernt ist, um eine ganze Einheit gesenkt wird. Auch der auf dein Hebelende
gelagerte Objekttisch 28, dessen anderes Ende auf der um ebenfalls eine Einheit
gesenkten- Seite des Rahmens ig gelagert ist; wird um-' eine ganze Einheit ge--senkt.
Bei der Betätigung des Objekttisches senkt sich also derselbe an beiden-Enden-um
den gleichen Betrag- und -folglidli---iieigürigslös. Oa; ferner der Neigungswinkel
des Rahmens ig und des Hebels 24 in jeder Stellung gleich sind,. befinden sich auch
die Lagerpunkte der viertiftspit"zen 20,2 z, 29, 30 in jedem Fall in-eirier-senkreehterl@Ebene;-s'ö-daß
auch keine°x¢eitliche Lageveränderung des Objekttisches 28, gegen- den ,Bigpl .j,i;;
auftreten kann.The stage can be adjusted not only to the sides, but also to the height. For this purpose, a screw 2 is provided, which on the lever 5 and movably mounted in it; Plunger 18 @ -and_; so- on which '' cream @ n ig acts. The frame ig is mounted on two pins 2o, 2i rigidly connected to the `-Biigel ii - and; is. against the; pins .und the plunger 1 8 by the two springs -22- and '23 pressed upwards. Within the frame ig there is a lever 24, which is rotatably mounted on the two tips 25, 26. One end is supported by the plunger 27 upwards against the bracket ii, while the other end of this lever serves to support the object table 28, namely the object table is supported with two points 2g, 3o. The third support point of the object table 28 rests on the frame ig through the intermediary of the ram 31. The spring, 32 pulls. . the specimen table 28 against the lever 24. -In the case of the described. Arrangement are both the bearing points of the pin tips 2o, 21, 29, 30 and - also the Lägerpankte' of the plungers 3i, 18, 27 in one line. The axis of rotation of the lever 24 around the tips 25, 26 is located in the middle between the two bearing lines. - If at-. your,! Operation of the stage one side of the frame ig is lowered by one unit of measurement by depressing the ram i8, so lowers. the pivot axis of the lever 24 in the middle of the frame by only half a unit. The end. of the lever 24 -.is against the bracket ii from-. supported and does not lower itself, so that consequently the other end, which is equidistant from the fulcrum, is lowered by a whole unit. Also the object table 28 mounted on your lever end, the other end of which is mounted on the side of the frame ig which has also been lowered by one unit; is lowered by a whole unit. When the object table is actuated, the same is lowered at both ends by the same amount and consequently by the same amount. Oa; furthermore, the angle of inclination of the frame ig and of the lever 24 are the same in every position ,. are also the bearing points of the four-pin points 20, 2 z, 29, 30 in each case in-eirier-perpendicular plane; .j, i ;; can occur.