Stabförmige Objektschleuse für Korpuskularstrahlgefäße, insbesondere
Ubermikroskope Es sind bereits die verschiedenartigsten Objektschleusen für Korpuskularstrahlgefäße,
insbesondere Übermikroskope, bekanntgeworden. Von den bekannten Objektschleusen
zeichnet sich die sog. Stabschleuse durch Einfachheit aus. Die Stabschleuse wird
durch einen optisch geschliffenen Stab mit mehreren Bohrungen senkrecht zur Achse
zur Unterbringung von Objekten gebildet. Der Stab ist in einer Hülse geführt, wobei
Stab und Hülse außerhalb des Korpuskularstrahlgefäßes zusätzlich gegeneinander durch
eine Dichtung gesichert sind. Ein Nachteil der bekannten Stabschleuse besteht darin,
daß dort keine Mittel vorhanden sind, um das Objekt in Achsrichtung des Entladungsgefäßes
verschieben zu können. Das Objekt kann also weder in die Linse hineingebracht, noch
der Linse genähert werden. Dieser Nachteil führt dazu, daß die Stabobjektschleusen.
bisher weniger Verwendung gefunden haben. Lediglich bei Elektronenbeugungsgeräten
sind bereits solche Stabschleusen. in Anwendung gekommen.Rod-shaped object lock for corpuscular beam vessels, in particular
Uber microscopes There are already the most diverse object locks for corpuscular beam vessels,
especially over microscopes, became known. From the well-known object locks
the so-called rod lock is characterized by its simplicity. The lockdown will
by an optically ground rod with several holes perpendicular to the axis
formed to accommodate objects. The rod is guided in a sleeve, with
Rod and sleeve outside of the corpuscular jet vessel additionally through each other
a seal are secured. A disadvantage of the known rod lock is that
that there are no means available to the object in the axial direction of the discharge vessel
to be able to move. The object can neither be brought into the lens nor
be approached to the lens. This disadvantage leads to the fact that the rod object locks.
have found less use so far. Only with electron diffraction devices
are already such locks. come into use.
Die Erfindung betrifft eine stabförmige Objektschleuse für Korpuskularstrahlgefäße,
insbesondere Übermikroskope, bei der dieser Nachteil vermieden
ist.
Nach der Erfindung ist der um seine: Achse drehbare Stab hohl ausgebildet, und im
Innern des Stabes ist ein von außerhalb des Rohres zu betätigendes Hebelsystem vorgesehen,
welches zur Verschiebung einer das Objekt tragenden Unterlage in Achsrichtung des
Korpuskularstrahlgefäßes dient. Trotz der zusätzlich vorgesehenen Mittel zur Verschiebung
des Objekts in Achsrichtung des Entladungsgefäßes ist die Einfachheit der Objektschleuse
erhalten geblieben, was das Ein- und Ausschleusen des Objekts anbetrifft. Zudem
ist durch die Anordnung des Hebelmechanismus im Innern. des Hohlrohrs erreicht;
däß die Schleuse keine großen, Dimensionen annimmt.The invention relates to a rod-shaped object lock for corpuscular beam vessels,
especially over microscopes, in which this disadvantage is avoided
is.
According to the invention, the rod rotatable about its axis is hollow, and in the
Inside the rod there is a lever system to be operated from outside the tube,
which is used to move a support bearing the object in the axial direction of the
Corpuscular beam vessel is used. Despite the additional funds provided for postponement
of the object in the axial direction of the discharge vessel is the simplicity of the object lock
has been preserved as far as the entry and exit of the object is concerned. In addition
is due to the arrangement of the lever mechanism inside. of the hollow tube reached;
that the lock does not take on large dimensions.
Der Gegenstand der Erfindung ist an einem in den Figuren schematisch
dargestellten Ausführungsbeispiel näher erläutert. Während: in der Fig. i ein Schnitt
durch die als Hohlrohr ausgebildete Objektschleuse gezeigt ist, enthält die Fig.
2 eine Aufsicht von oben auf die Objektschleuse. Das als Schleuse dienende Hohlrohr
i ist durch Simmerringe 2, 3 oder -andere Dichtungsmittel gegen die Wandung des
Korpuskularstrahlgefäßes abgedichtet. In dem Hohlrohr i ist der Objektträger 4.
angeordnet, welcher mit Hilfe eines von außen.zu betätigenden Hebelmechanismus in
Achsrichtung verschoben werden kann. Zü diesem Zweck sind in dem Hohlrohr i zwei
Öffnungen 25 und 26 vorgesehen, durch die der Objektträger, welcher beispielsweise
aus einer an Streben befestigten Platte besteht, geschoben werden kann. Das Hebelsystem
enthält im wesentlichen zwei rechtwinklige Hebel 5, 6 bzw. 7, 8, welche in den -Punkten
13 und 14 fest gelagert sind. Der Hebelarm 6 ist an der Stelle 12 mit einem weiteren
Hehelg beweglich verbunden, welcher wiederum an dem Punkt i i der Scheibe i o befestigt
ist. In entsprechender Weise wie der Hebelarm 6 ist der Hebelarm 8-des- anderen
rechtwinkligen Hebels in dem Punkt 15 an ._dem beweglichen Hebel 2,3! befestigt,
welcher wiederum in dem Punkt 16 an der Scheibe lo angreift. Die Hebelarme 5, und
7 sind beispielsweise mittels Kugeln in den Führungen 17 und 27 verschiebbar gelagert:
Zur Betätigung des Hebelsystems dient die in' dem Lager 2o geführte Achse 19. Die
-Achse 19. ist durch die Wandung 211 vakuumsicher hindurchgeführt und an ihrem Ende
mit einem Anschlag 24 versehen, wobei gegen denAnschlag24 und andererseits gegen
die Wandung 21 eine Feder 18 abgestützt ist: Zur vakuumsicheren Durchführung der
Achse rg ist beispielsweise ein: Simmerring 22 vorgesehen. Zur Verschiebung des
Objektträgers 4! in axialer Richtung ist es lediglich erforderlich, die Achse 19
in das Hohlrohr hineinzudrücken bzw. dieselbe aus dem Hohlrohr etwas herauszuziehen.
Der Mechanismus setzt die Bewegung der Achse 19 in eine axialeVerschiebung des Objektträgers4
um.The subject matter of the invention is shown schematically in one of the figures
illustrated embodiment explained in more detail. While: in Fig. I a section
is shown through the object lock designed as a hollow tube, Fig.
2 a top view of the object lock. The hollow tube serving as a lock
i is by Simmerringe 2, 3 or other sealing means against the wall of the
Corpuscular beam vessel sealed. The slide 4 is in the hollow tube i.
arranged, which with the help of a lever mechanism to be actuated from outside in
Axis direction can be shifted. For this purpose there are two in the hollow tube i
Openings 25 and 26 are provided through which the slide, which for example
consists of a plate attached to struts, can be pushed. The lever system
essentially contains two right-angled levers 5, 6 and 7, 8, which are in the -points
13 and 14 are firmly mounted. The lever arm 6 is at the point 12 with another
Hehelg movably connected, which in turn is attached to the point i i of the disk i o
is. In a manner corresponding to the lever arm 6, the lever arm 8 is the other
right-angled lever in point 15 at ._the movable lever 2,3! attached,
which in turn engages the disk lo at point 16. The lever arms 5, and
7 are slidably mounted in the guides 17 and 27, for example by means of balls:
The axis 19 guided in 'the bearing 2o is used to actuate the lever system
-Axis 19 is passed vacuum-safe through the wall 211 and at its end
provided with a stop 24, against the stop 24 and on the other hand against
the wall 21 is supported by a spring 18: For the vacuum-safe implementation of the
Axis rg is, for example, a Simmerring 22 provided. To move the
Slide 4! in the axial direction it is only necessary to move the axis 19
to press into the hollow tube or to pull the same out of the hollow tube a little.
The mechanism sets the movement of the axis 19 in an axial displacement of the slide 4
around.
Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, das Hohlrohr in einen, Rahmen:
einzuspannen, wie er beispielsweise in der Fig. 2 dargestellt ist. Das Hohlrohr
i befindet sich in dem Rahmen: 3;0, welcher durch den Bügel2g abgeschlossen ist.
Dieser Bügel ist an der .einen Seite des Rahmens mittels eines Scharniers befestigt
und kann an der anderen Seite des Rahmens mit Hilfe einer Schraubverbindung 3;1
befestigt werden. Nachdem das Hohlrohr in den Rahmen eingeschlossen ist, wird der
Anschlag 24 durch die Wirkung der Feder 118. gegen die Achse 28 gepreßt. Diese Achse
z.8 ist mit Hilfe eines Gewindes 32. in dem Rahmen 3j0 geführt. Bei Betätigung des
Handrades 33. wird also gleichzeitig die Achse 19 in der gewünschten Weise in das
Hohlrohr hineingeschoben bzw. durch die Wirkung der Feder 1d aus demselben etwas
herausgepreßt. Das Handrad bewirkt also eine Verstellung des Objektträgers :4 in
axialer Richtung.It has proven to be useful to fit the hollow tube into a frame:
clamp, as shown for example in FIG. The hollow tube
i is in the frame: 3; 0, which is closed by the bracket 2g.
This bracket is attached to one side of the frame by means of a hinge
and can be attached to the other side of the frame with the help of a screw connection 3; 1
be attached. After the hollow tube is enclosed in the frame, the
Stop 24 is pressed against axis 28 by the action of spring 118. This axis
z.8 is guided in the frame 3j0 with the aid of a thread 32. When the
Handwheel 33. is also the axis 19 in the desired way in the
Hollow tube pushed in or something out of the same due to the action of the spring 1d
squeezed out. The handwheel adjusts the slide: 4 in
axial direction.
Die Objektschleuse ist im übrigen noch derart ausgebildet, daß das
Hohlrohr i auch um seine Achse gedreht werden kann. Endlich ist der Objektträger-4_
nicht nur in Achsrichtung des Entladungsgefäßes, sondern auch senkrecht zur Achsrichtung
verschiebbar, indem mit Hilfe des Rahmens 3o das- gesamte Hohlrohr verschoben wird.The object lock is also designed in such a way that the
Hollow tube i can also be rotated about its axis. Finally the slide 4_
not only in the axial direction of the discharge vessel, but also perpendicular to the axial direction
displaceable in that the entire hollow tube is displaced with the aid of the frame 3o.