DE8900799U1 - Hochgenaues Einachs-Längenmeßgerät mit Interferometer-Meßsystem - Google Patents

Hochgenaues Einachs-Längenmeßgerät mit Interferometer-Meßsystem

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0874215A2 (de) * 1997-04-24 1998-10-28 Technomess Qualitätssicherungs- Systeme Gesellschaft mbH Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung von Längen und Entfernungen
DE4100773C2 (de) * 1991-01-12 1999-09-30 Zeiss Carl Jena Gmbh Interferometrische Längenmeßeinrichtung
DE102016013550B3 (de) 2016-11-08 2018-04-19 Rolf Klöden Profilmesssystem für eine Rauheits- und Konturmessung an einer Oberfläche eines Werkstücks

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