DE8708876U1 - Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung von Metallspuren - Google Patents

Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung von Metallspuren

Info

Publication number
DE8708876U1
DE8708876U1 DE8708876U DE8708876U DE8708876U1 DE 8708876 U1 DE8708876 U1 DE 8708876U1 DE 8708876 U DE8708876 U DE 8708876U DE 8708876 U DE8708876 U DE 8708876U DE 8708876 U1 DE8708876 U1 DE 8708876U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optical bench
material sample
igr
receiving cylinder
rays
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE8708876U
Other languages
German (de)
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gkss Forschungszentrum Geesthacht 2054 Geesthacht De GmbH
Original Assignee
Gkss Forschungszentrum Geesthacht 2054 Geesthacht De GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gkss Forschungszentrum Geesthacht 2054 Geesthacht De GmbH filed Critical Gkss Forschungszentrum Geesthacht 2054 Geesthacht De GmbH
Priority to DE8708876U priority Critical patent/DE8708876U1/de
Publication of DE8708876U1 publication Critical patent/DE8708876U1/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/2204Specimen supports therefor; Sample conveying means therefore

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
DE8708876U 1987-06-26 1987-06-26 Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung von Metallspuren Expired DE8708876U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8708876U DE8708876U1 (de) 1987-06-26 1987-06-26 Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung von Metallspuren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8708876U DE8708876U1 (de) 1987-06-26 1987-06-26 Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung von Metallspuren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE8708876U1 true DE8708876U1 (de) 1987-09-10

Family

ID=6809467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8708876U Expired DE8708876U1 (de) 1987-06-26 1987-06-26 Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung von Metallspuren

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE8708876U1 (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0372278A2 (fr) * 1988-12-02 1990-06-13 Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh Procédé et appareil d'analyse d'échantillons par fluorescence aux rayons X

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0372278A2 (fr) * 1988-12-02 1990-06-13 Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh Procédé et appareil d'analyse d'échantillons par fluorescence aux rayons X
EP0372278A3 (fr) * 1988-12-02 1991-08-21 Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh Procédé et appareil d'analyse d'échantillons par fluorescence aux rayons X

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0235640B1 (fr) Dispositif pour la mesure non destructive de traces de métal
DE69021235T2 (de) Atomisches Kraftmikroskop mit nach Wahl auswechselbarer Flüssigkeitszelle.
DE60212987T2 (de) Vorrichtung zur schnellen, quantitativen, kontaktlosen topografischen Untersuchung von Halbleiterscheiben oder spiegelähnlichen Oberflächen
DE19710420C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicken dünner Schichten mittels Röntgenfluoreszenz
DE68908879T2 (de) Verfahren und vorrichtung für optische messungen.
CH654914A5 (de) Optoelektronisches messverfahren und einrichtung zum bestimmen der oberflaechenguete streuend reflektierender oder transparenter oberflaechen.
EP0388872B1 (fr) Méthode pour examiner des structures de surface
DE112013000665T5 (de) lonenätzvorrichtung
DD212580A5 (de) Verfahren zum messen der tatsaechlichen stellung eines zielkoerpers
DE102020216337A1 (de) Messvorrichtung zur Messung von Reflexionseigenschaften einer Probe im extremen ultravioletten Spektralbereich
DE2627408A1 (de) Pruefvorrichtung fuer halbleiterscheiben
EP0372278A2 (fr) Procédé et appareil d'analyse d'échantillons par fluorescence aux rayons X
DE8708876U1 (de) Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung von Metallspuren
DE3834052A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum vermessen und/oder pruefen der umrissformen oder kanten von werkstuecken
DE102011082466B3 (de) Laserspektrometer
WO2020187549A1 (fr) Installation d'exposition par projection destinée à la lithographie de semi-conducteurs pourvue d'un élément optique avec référence de capteur et procédé d'orientation de la référence de capteur
DE102022130253A1 (de) Korrekturbetragsspezifizierungsvorrichtung, Verfahren, Programm und JIG
KR20190133056A (ko) 초고속 신호 워시아웃을 위한 조정가능한 샘플 플로어
EP3531067A1 (fr) Dispositif et procédé de mesure d'au moins un objet optiquement actif
EP0224245A2 (fr) Procédé pour l'analyse non destructive de la couche superficielle d'échantillons
WO1994021984A1 (fr) Dispositif pour la determination de la position d'un corps a positionner par rapport a un corps de reference
DE2853816A1 (de) Ebenheits-messeinrichtung
JP4630978B2 (ja) 多層薄膜の分析方法ならびに装置
DE102022118717B4 (de) Verfahren und Messgerät zur Messung eines Messobjektes mittels Röntgenfluoreszenz
DE3208618A1 (de) Lasermikrosonde fuer festkoerperproben, bei der eine beobachtungsoptik, eine laserlichtoptk und iene ionenoptik auf derselben seite einer probenhalterung angeordnet sind