DE8707093U1 - Luftaufbereitungs-Gerät - Google Patents

Luftaufbereitungs-Gerät

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DE8707093U1
DE8707093U1 DE8707093U DE8707093U DE8707093U1 DE 8707093 U1 DE8707093 U1 DE 8707093U1 DE 8707093 U DE8707093 U DE 8707093U DE 8707093 U DE8707093 U DE 8707093U DE 8707093 U1 DE8707093 U1 DE 8707093U1
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Description

zur Konditionierung der Fortluft-/Umluft in sogenannten REINEN WERKBÄNKEN, stellt eine Erfindung gemäß Oberbegriff des Hauptanspruches vor.
In der Technik sind Gasnaßwäschen bekannt; d.h. Gaswäschen, die die Aufgabe haben, aus gasförmigen Medien feste Partikel abzuscheiden, so daß nach Durchgang der Wäsche das gasförmige Medium partikelfrei und gasfrei vorliegt. In vielen Bereichen der Technik sind solche Gaswaschanlagen eingesetzt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Gerät zu schaffen, das an REINEN WERKBÄNKEN die FortlufWUmluft konditioniert.
Im Bereich der elektronischen und chemischen Tätigkeiten sind nach VDI 2083 REINE WERKBÄNKE bekannt, die auch mit naßarbeitenden Gasabscheidern nach VDI 3679 eine Fortluftreinigung bewirken. Diese energetisch aufwendig arbeitenden Fortluftanlagen verursachen u.a. hohe Betriebskosten. Gleichzeitig wird damit auch das gesamte Fortluftnetz systembedingt mit der anfallenden Feuchte (relative Luftfeuchtigkeit = 100%) durch den Einsatz von Waschmedien vernetzt.
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Reinraumtechnik Ing,-Büro Nord
SGhwer abbaubare und von hoher Toxizität gebräuchliche Aromaten verursachen sanierungsbedürftige Prozesse, wie diese besonders in der Mikroelektronik und Chemie anfallen*
Der Stand der Technik und z.B. zukünftige Anforderungen
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leiterbauelementen" (Micro-Chips) unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren bedingen zusätzlich zwingend die Beachtung der "TA-Luft-Vefordnung" vom 21.02*1986*
Hier setzt die Neuerung an. Die bekannten REINEN WERKBÄNKE sanieren und entlasten zwar durch Gasadsorption und Naßwäsche die Fortluft, erfordern aber systembedingt eine Verfahrenstechnik, die die anfallende nasse Fortluft (ca. 100% Feuchte) aufbereitet.
In diesem Bereich sind bisher sehr große und aufwendig arbeitende "Luftaufbereitungs-Sammelanlagen" eingesetzt.
Es werden aber von den Anwendern in der Mikroelektronik und Chemie kleinere und fein abstimmbare lokale "luftaufbereitungs-Geräte" verlangt.
Mit der vorgestellten Neuerung wird nun eine lokale, miniaturisierbare Luftkonditionierung bewirkt und das Problem der bisher bestehenden Luftaufbereitung oder Naßluft-Fortführung aus REINEN WERKBÄNKEN gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des Gerätes sind in den f
Unteransprüchen erläutert. Ein Ausführungsbeispiel der J Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen und f
Skizzen beschrieben. Diese zeigen dabei in |
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Reinraumteohnik Ing.-Büro Nord
REINEN WERKBANK für die Mikroelektronik mit Funktionsschema "Umluft-Betrieb" und "Fortluft-Betrieb" mit integriertem Konditionierungsverfahren, in
Figur 2 ein Schnitt-Schema durch den erfindungsgemäßen Konditionierungsprozeß und in
Figur 3 die perspektivische Darstellung einer
REINEN WERKBANK mit Gasadsorption, mit
Gasnaßwäsche, aber ohne Luftaufbereitungs-Gerät.
Diese der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird durch die Lehre des Hauptanspruches ausgelöst. Gemäß der Erfindung wird vorgeschlagen, das Luftaufbereitungs-Gerät nach Figur 1 + 2 in Modulbauweise in einem rechteckigen, geschlossenen und gasdicht verschweißten Gehäuse unterzubringen.
In Figur 1 + 2 ist außerdem dargestellt: Der Ventilator (3) saugt aufzubereitende Näßluft über die Wärmetauscher (1) + (2). Durch den Wärmetauscher (1) wird die Luft über eine Kälteanlage - bestehend aus einer Kältemaschine (5) und einem wassergekühlten Kältemittel-Kondensator (6) - gekühlt und entfeuchtet. Zur Leistungsregelung und Druckbegrenzung ist auf der Saugseite der Kältemaschine ein Druckbegrenzungsventil(4) angeordnet. Zur Kühlwassermengenbegrenzung ist im Kondensator-Kühlwasser-Kreislauf ein druckgesteuertes Hassermengen-Regulierventil (7) angeordnet.
Durch den Wärmetauscher (2) wird die Luft mit dem Kondensator-Kühlwasser auf die gewünschte Austrittstemperatur
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Reinraumtechnik Ing.-BürbfNbfd'! · rl ,''U-
erwärmt. Die Temperaturfegelung erfolgt über ein elektronisches Regelsystem, bestehend aus einem WäSsefregulier-Ventil (8), einem P-Regler (Proportiönal-Regler) mit Sollwertsteller (9) und einem Temperaturfühler (10).
Die in Figur 1,2+3 vorgestellten Betfiebsschemätä dienen allgemein dem besseren Verständnis. Hier wird auch in Figur 3 die notwendige "Verbindung" tiit einer REINEN WERKBANK - oberhalb der Sprühstöckeverdeutlicht und das Funktionsprinzip UMLUFT-Betrieb und FORTLUFT-Betrieb dargestellt.
Auch ist das Verfahrensschema einer REINEN WERKBANK mit Gasadsorption und Gasnaßwäsche - ohne Luftaufbereitungs-Gerät - skizziert.
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VERZEICHNIS
1 Zuluftventilator
1,1 Differenz-Druckmesser
1 .2 Drehzahlsteller
2 Frontschieber
3 Hoschfilter
4 Arbeitsraum
5 Arbeitsplatte mit Becken
6 Wasserabscheider
1
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e Aktiv-Kohlefilter
9 Abluftventilator
9.1 Di fferenz-Druckmesser
9,2 Drehzahlsteller
10 Gaswäscher
10.1 ÜberUuf
10.2 Schwimmregler
10.3 Zulauf
10.4 Umwälzpumpe
10.5 Wasserverteiler
10.6 Düsenstock
11 Luftkühler (Direktverdampfer)
12 Lufterhitzer (Nacherhitzer)
13 Kälteanlage
13.1 Kältemaschine
13.2 Kältemittel-Kondensator
13.3 Kühlwasser-Regler
13.4 Temperatur-Regelventil
13.5 Kältetechnische Armaturen
13.6 Saugdruckbegrenzer
13.7 Kühlwasserzulauf / Kühlwasserablauf
ing.-Büro Nord - Reinraumtechnik Birkenaliee 28-2408 Timmendorfcr Strand
Te1.04503/ 39 34. Helmut DaIW

Claims (5)

Helmut DaIk 2408 Timmendorfer Strand Birkenallee 28 28.09.1987 /d. AZ.: NEUE Schutzansprüche G 87 07 093.6
1. <^ Luftaufbereitungs-Gerät ^>
mit einem rechteckigen Gehäuse, dessen Innenraum mit einem fest installierten Ventilator (3), mit im Gehäuse verbundenen Wärmetauschern (1)+(2), mit einer im Gehäuse fest installierten Kälteanlage (Figur 1, 2+3) ausgestattet ist.
2. Luftaufbereitungs-Gerät nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Kälteanlage aus einer Kältemaschine (5) mit einem wassergekühlten Kältemittel-Kondensator (6) besteht.
3. Luftaufbereitungs-Gerät nach Anspruch 1 + 2 dadurch gekennzeic'iiet, daß zur Leistungsregelung und zur Druckbegrenzung saugseitig an der Kältemaschine (5) nur ein Druckbegrenzurtgs-Ventil (4) angebracht ist.
4. Luftaufbereitungs-Gerät nach Anspruch 1,2+3 dadurch gekennzeichnet, daß die Temperaturregelung über ein elektronisches Regelsystem - nämlich bestehend aus Wasserregulier-Venti1 (8), einem P-Regler (Proportional-Regler) mit Sollwertsteller (9) und Temperaturfühler (10) - erfolgt.
5. Luftaufbereitungs-Gerät nach Anspruch 1, 2, 3+4 dadurch gekennzeichnet, daß zur Kühlwasser-Mengenbegrenzung im Kondensatur-Kühlwasser-Kreislauf ein druckgesteuertes Wassermengen-Regulierventil (7) angebracht ist.
DE8707093U 1987-05-16 1987-05-16 Luftaufbereitungs-Gerät Expired DE8707093U1 (de)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0726428A2 (de) * 1995-02-13 1996-08-14 Institut für Umwelttechnologie und Umweltanalytik e.V. Sicherheitswerkbank
DE102010043522A1 (de) * 2010-11-05 2012-05-10 Dürr Ecoclean GmbH Vorrichtung und Anlage zum Temperieren von Gegenständen
DE102020102138A1 (de) 2020-01-29 2021-07-29 Michael Keil Energieeffiziente Werkbank, insbesondere Reinstwerkbank und Verfahren zum Betrieb einer solchen Werkbank

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