DE8435905U1

DE8435905U1 - Device for generating a vacuum

Info

Publication number: DE8435905U1
Application number: DE19848435905
Authority: DE
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1984-12-07
Filing date: 1984-12-07
Publication date: 1986-05-15

Description

Siemens Aktiengesellschaft Unser Zeichen Berlin und München VPA gZ§ P 3 5 0 1 OESiemens Aktiengesellschaft Our symbol Berlin and Munich VPA gZ§ P 3 5 0 1 OE

Vorrichtung zur Erzeugung eines Vakuums 5 Device for creating a vacuum 5

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Vakuums, die eine mit einer Hilfsflüssigkeit arbeitende, von einem Elektromotor angetriebene VakuumpumpeThe invention relates to a device for generating a vacuum, which works with an auxiliary liquid, vacuum pump driven by an electric motor

enthält, bei welcher Vorrichtung der Vakuumpumpe ein mit 10 einem Vorratsraum versehener Vorabscheider zur Trennungcontains, in which device of the vacuum pump a pre-separator provided with a storage space for separation

j des geförderten Gases von der Hilfsflüssigkeit nachge-j of the pumped gas from the auxiliary liquid

schaltet ist, wobei die Hilfsflüssigkeit von dem Vorrats-is switched, the auxiliary liquid from the supply

( ) raum aus über einen Flüssigkeitskühler wieder der Vakuum- \ pumpe und das noch mit einem Rest der Hilfsflüssigkeit() Space via a liquid cooler again the vacuum \ pump and even with a group of the auxiliary liquid

beladene Gas einem dem Vorabscheider nachgeordneten Feinabscheider zugeführt ist, der mit einer Rückführleitung für die in ihm abgeschiedene Hilfsflüssigkeit versehen ist.loaded gas to a fine separator downstream of the pre-separator is supplied, which is provided with a return line for the auxiliary liquid separated in it is.

Eine solche Vorrichtung ist aus der Zeitschrift "Fluid" Oktober 1982, Seite 58 bekannt. Bei dieser Vorrichtung wird das aus dem Vorabscheider austretende, noch mit einem Rest des ?.ls Hilfsflüssigkeit verwendeten Öles beladene Gas über ein Feinfilter geleitet, das in einer an den Vorabscheider angebauten Kammer angeordnet ist.Such a device is known from the magazine "Fluid" October 1982, page 58. With this device the oil emerging from the pre-separator is still loaded with a remainder of the oil used as the auxiliary liquid Gas passed through a fine filter, which is arranged in a chamber attached to the pre-separator.

Es ist bekannt, daß die ölabscheidung in hohem Maße von der öltemperatur abhängt. Bei einer niederen öltemperatur wird eine wesentlich bessere Abscheidung des Öles aus dem .30 Gas erreicht.It is known that the oil separation to a large extent of the oil temperature depends. At a lower oil temperature, a significantly better separation of the oil from the .30 gas reached.

Daher ist bei einer durch die DE-OS 26 36 493 bekannten Drucklufterzeugungsanlage zur besseren Abscheidung des Öles aus der verdichteten Luft zwischen dem Verdichter und dem Vorabscheider ein Kühler angeordnet, durch den das aus dem Verdichter austretende Gas-Öl-Gemisch gekühlt wird, bevor es in den Vorabscheider gelangt. Dabei wirdTherefore, in one from DE-OS 26 36 493 known Compressed air generation system for better separation of the oil from the compressed air between the compressor and a cooler is arranged in the pre-separator, through which the gas-oil mixture exiting the compressor is cooled before it reaches the pre-separator. It will

Ml 2 Th / 29.11 .1984Ml 2 Th / November 29, 1984

- 2 - VPA Zh P 3 δ Ο 1 DR- 2 - VPA Zh P 3 δ Ο 1 DR

das öl auf relativ niedrigere Temperaturen abgekühlt, was einen entsprechend großen Kühler bedingt.the oil cooled to relatively lower temperatures, which requires a correspondingly large cooler.

Bei einer Vakuumerzeugungsanlage sind niedere Temperaturen der in die Vakuumpumpe eingeleiteten Hilfsflüssigkeit unerwünscht, da sie eine Kondensation der in der angesaugten Luft enthaltenen Feuchtigkeit in der Vakuumpumpe verursachen .In the case of a vacuum generation system, lower temperatures of the auxiliary liquid introduced into the vacuum pump are undesirable, as they cause the moisture contained in the sucked in air to condense in the vacuum pump .

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine VorrichtungThe invention is based on the object of a device

der eingangs beschriebenen Art dahingehend zu verbessern, ' daß die Flüssigkeitsabscheidung durch entsprechende Kühlung wesentlich verbessert ist, ohne daß eine Kondensation der in dem angesaugten Gas enthaltenden Feuchtigkeit innerhalb der Pumpe und des Vorabscheiders in Kauf genommen werden muß. Diese Aufgabe soll außerdem mit einem möglichst geringen konstruktiven Aufwand gelöst werden.of the type described at the outset to the effect that the liquid separation by appropriate cooling is significantly improved without condensation of the moisture contained in the sucked gas within the pump and the pre-separator must be accepted. This task should also be as low as possible constructive effort can be solved.

Dies gelingt nach der Erfindung dadurch, daß der Vorabscheider und der Feinabscheider räumlich getrennt angeordnet sind und das noch mit einem Rest der Hilfsflüssigkeit beladene Gas über einen gegenüber dem Flüssigkeitskühler getrennt angeordneten Gaskühler dem Feinabscheider zuge-{ ) führt ist, wobei die beiden Kühler so dimensioniert sind, daß das Gas gegenüber der Austrittstemperatur der Hilfsflüssigkeit auf eine niedrigere Temperatur abgekühlt wird. Durch die räumlich getrennte Anordnung der beiden Abscheider wird eine wärmemäßdge Entkopplung des Feinabscheiders von dem durch die Hilfsflüssigkeit und das verdichtete Gas stark erwärmten Vorabscheider erreicht. Ober den Flüssigkeitskühler wird lediglich die zur Vakuumpumpe zurückströmende Hilfsflüssigkeit gekühlt, wobei der Flüssigkeitskühler so ausgelegt werden kann, daß eine günstige Betriebstemperatur der Hilfsflüssigkeit erreicht wird. Da die Hilfsflüssigkeit nur auf eine noch relativ hohe Temperatur abgekühlt wird, kann der Flüssigkeitskühler ent- * J sprechend klein dimensioniert werden. Der zwischen demThis is achieved according to the invention in that the pre-separator and the fine separator are spatially separated and the gas still laden with a remainder of the auxiliary liquid is fed to the fine separator via a gas cooler arranged separately from the liquid cooler, the two coolers being so dimensioned are that the gas is cooled to a lower temperature compared to the outlet temperature of the auxiliary liquid. Due to the spatially separated arrangement of the two separators, a thermal decoupling of the fine separator from the pre-separator, which is strongly heated by the auxiliary liquid and the compressed gas, is achieved. Only the auxiliary liquid flowing back to the vacuum pump is cooled via the liquid cooler, whereby the liquid cooler can be designed in such a way that a favorable operating temperature of the auxiliary liquid is achieved. Since the auxiliary liquid is cooled only to a relatively high temperature, the chiller can corresponds * J are talking small dimensions. The one between the

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Vorabscheider und dem Feinabscheider angeordnete Gaskühler braucht nur die zum Herunterkühlen des Gases notwendige kleinere Kühlleistung aufzubringen. Er kann so dimensioniert werden, daß eine zum Abscheiden der Hilfsflüssigkeit notwendige günstige tiefe Temperatur erreicht wird.The gas cooler arranged in the pre-separator and the fine separator only needs what is necessary to cool down the gas to apply smaller cooling capacity. It can be dimensioned so that one is used to separate the auxiliary liquid necessary favorable low temperature is reached.

Ein gesonderter Ventilator für den Flüssigkeitskühler und den Gaskühler läßt sich dadurch vermeiden, daß diese Kühler im Kühlluftstrom des Elektromotors angeordnet sind. Dabei ergibt sich eine keinen zusätzlichen Raum beanspruchende Ausführungsform des Flüssigkeitskühlers dadurch, daß dieser als Rohrwendel ausgebildet ist, die konzentrisch um den Elektromotor oder zwischen diesem und der Vakuumpumpe angeordnet ist. Zusätzlicher Raum wird ebenfalls nicht beansprucht, wenn als Gaskühler an dem Elektromotor eine dessen Lüfter umschließende, doppelwandig ausgebildete Lüfterhaube vorgesehen ist, durch deren Hohlraum das Gas hindurchgeführt ist. Die beschriebene Ausbildung der beiden Kühler bringt somit den Vorteil, daß diese zwangsläufig im Kühlluftstrom des Lüfters des Elektromotors liegen, wobei der Gaskühler von der noch nicht erwärmten Frischluft beaufschlagt wird. Diese bestreicht die Lüfterhaube an ihrer Innenseite mit einer hohen Geschwindigkeit - annähernd der Umfangsgeschwindigkeit des Lüfterrades - und bewirkt somit eine intensive Kühlung. Trotz der Erwärmung der Kühlluft in dem Gaskühler und an der Oberfläche des Elektromotors vermag diese noch dem Flüssigkeitskühler genügend Wärme zu entziehen, da die Hilfsflüssigkeit nur auf eine gegenüber der Austrittstemperatur des Gases aus dem Gaskühler wesentlich höhere Temperatur abgekühlt werden muß. Die Zu- und Ableitung des Gases zu der als Gaskühler dienende Kühlerhaube erfolgt zweckmäßigerweise dadurch, daß auf der einen Seite des Umfanges der Lüfterhaube eine mit dem Vorabscheider verbundene und auf der gegenüberliegenden Seite der Lüfterhaube eine mit dem Feinabscheider verbundene Gasleitung angeschlossen ist.A separate fan for the liquid cooler and the gas cooler can be avoided by having these coolers are arranged in the cooling air flow of the electric motor. This results in one that does not take up any additional space Embodiment of the liquid cooler in that this is designed as a coiled tubing, which is concentric around the electric motor or between this and the vacuum pump is arranged. Additional space is also not required if a gas cooler is used on the electric motor the fan enclosing, double-walled fan cover is provided, through the cavity of which the gas is passed through. The described design of the two coolers thus has the advantage that this inevitably lie in the cooling air flow of the fan of the electric motor, the gas cooler from the fresh air that has not yet been heated is applied. This brushes the inside of the fan cover at a high speed - almost the circumferential speed of the fan wheel - and thus causes intensive cooling. Despite the warming of the cooling air in the gas cooler and on the surface of the electric motor, this can still be sufficient for the liquid cooler To withdraw heat, since the auxiliary liquid is only on a significantly higher temperature compared to the outlet temperature of the gas from the gas cooler got to. The supply and discharge of the gas to the radiator hood serving as a gas cooler is expediently carried out by that on one side of the circumference of the fan cover one connected to the pre-separator and on the opposite Side of the fan cover, a gas line connected to the fine separator is connected.

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- 4 - YPA 84 P 3 5 O 1 DE- 4 - YPA 84 P 3 5 O 1 DE

Eine kompakte Bauform der Vorrichtung ergibt sich dadurch, daß sowohl der Vor- als auch der Feinabscheider jeweils in ein rohrförmiges Gehäuseteil eingebaut ist und die beiden Gehäuseteile mit ihren Längsachsen parallel zur Längsachse des Elektromotors angeordnet sind. Hierbei ist es besonders vorteilhaft, daß sowohl der Eintritts- als auch der Austrittsstutzen der Vakuumpumpe nach oben gerichtet ist ur.i die beiden Abscheider jeweils für sich an einem der beiden Stutzen über dem Elektromotor liegend befestigt sind. Eine solche über dem Motor liegende Anordnung der AbscheiderA compact design of the device results from the fact that both the pre-separator and the fine separator are each in a tubular housing part is installed and the two housing parts with their longitudinal axes parallel to the longitudinal axis of the electric motor are arranged. It is particularly advantageous that both the inlet and the outlet nozzle the vacuum pump is directed upwards ur.i the two separators each for itself on one of the two Nozzles are attached lying above the electric motor. Such an arrangement of the separators above the engine

ist besonders für den seitlichen Anschluß der Gasleitungen V an der Lüfterhaube günstig. Die seitlich aus der Lüfterhaube herausgeführten Gasleitungen werden seitlich in den Vor- bzw. Feinabscheider geführt, sodaß sich eine sehr kurze und einfache Rohrführung für die Gasleitungen ergibt. Bei einem solchen konstruktiven Aufbau der Vorrichtung werden sowohl die Abscheider als auch die Gasleitungen zumindest teilweise vom Kühlluftstrom des Motorlüfters bestrichen.is particularly suitable for connecting the gas lines V to the side of the fan cover. The one from the side of the fan cover Outgoing gas lines are led laterally into the pre-separator or fine separator, so that a very short and simple piping for the gas lines. With such a structural design of the device both the separator and the gas lines are at least partially covered by the flow of cooling air from the motor fan.

Die Befestigung der beiden Abscheider an dem Ein- und Austrittsstutzen der Vakuumpumpe wird zweckmäßigerweise so vorgenommen, daß der Vorabscheider mit seiner Einlaßöffnung an einem zum Motor weisenden, die Austrittsöffnung ( der Vakuumpumpe bildenden Rohransatz des AustrittsstutzensThe attachment of the two separators to the inlet and outlet nozzles the vacuum pump is expediently made so that the pre-separator with its inlet opening on a pipe socket of the outlet nozzle that faces the engine and forms the outlet opening (of the vacuum pump)

und der Feinabscheider an einem seitlichen Rohransatz des Eintrittstutzens befestigt ist. Damit dienen beim Voi'abscheider die Zuführelemente gleichzeitig zur Befestigung desselben.and the fine separator is attached to a lateral pipe extension of the inlet connection. This is used for the Voi separator the feed elements at the same time for fastening the same.

Aus Konstruktions- und Wartungsgründen ist es vorteilhaft, daß der Vorabscheider und der Feinabscheider jeweils aus einem die Anschlußstellen für die anzuschließenden Leitungen enthältenden Kopfteil und einem an dieses Kopfteil anschließbaren, die Elemente des jeweiligen Abscheiders aufnehmenden Behälterteil besteht. Eine leicht lösbareFor construction and maintenance reasons, it is advantageous that the pre-separator and the fine separator each off one head part containing the connection points for the lines to be connected and one on this head part connectable, the elements of the respective separator receiving the container part. An easily solvable one

Verbindung der Behälterteile mit den Kopfteilen ist dadurch ν möglich, daß die Behälterteile zylindrische Büchsen sind,Connection of the container parts with the head parts is possible because the container parts are cylindrical bushings,

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die an ihrer offenen Seite einen radial nach außen vorstehenden Wulstrand aufweisen, mit dem sie mittels eines diesen
Wulstrand und einen entsprechenden am Kopfteil angeformten Wulstrand übergreifenden Spannverschlusses am Kopfteil befestigt sind.which have a radially outwardly protruding bead on their open side, with which they by means of one of these
Bead edge and a corresponding bead edge formed on the head part overlapping tension lock are attached to the head part.

Ein einfacher Aufbau des Vorabscheiders ist dadurch gekennzeichnet, daß in diesem parallel zu der oberen Begrenzungswand des Behälterteiles eine mit dem Kopfteil verbundene A simple structure of the pre-separator is characterized by that in this parallel to the upper boundary wall of the container part one connected to the head part

TO Gasführungsleitung verläuft, die in der Nähe des Bodens des Behälterteiles endet und daß der untere Bereich des Behälterteiles den Vorratsraum bildet, der über eine öffnung mit einer an dem Flüssigkeitskühler angeschlossenen Abflußöffnung des Kopfteiles verbunden ist.TO gas duct runs, which ends near the bottom of the container part and that the lower area of the container part forms the storage space which, via an opening, has an outlet opening connected to the liquid cooler of the head part is connected.

Der Büchsenforiii des Behälterteiles angepaßt ist im Feinabscheider ein hol.!walzenförmiges Filter angeordnet, das mit seinem Hohlraum an die Gaszuführöffnung des Kopfteiles angeschlossen ist. Damit sind keine weiteren Leitungselemente für das Gas zwischen der Zuführöffnung des Kopfteiles und
dem Filter notwendig.The Büchsenforiii of the container part is adapted in the fine separator a hol.! Roller-shaped filter is arranged, which is connected with its cavity to the gas supply opening of the head part. This means that there are no further line elements for the gas between the feed opening of the head part and
the filter is necessary.

Eine Rückführung der im Feinabscheider anfallenden Hilfsflüssigkeit in den Pumpenkreislauf ist ohne gesonderteA return of the auxiliary liquid occurring in the fine separator in the pump circuit is without separate

Rückführleitungen dadurch möglich, daß im Kopfteil des
Feinabscheiders eine unter dem Niveau der Oberfläche der
sich im Feinabscheider ansammelnden Hilfsflüssigkeit liegende, in den seitlichen Rohransatz des Ansaugstutzens der Vakuumpumpe mündende Bohrung vorgesehen ist. Wird dagegenReturn lines possible that in the head part of the
Fine separator one below the level of the surface of the
Auxiliary liquid, which collects in the fine separator and opens into the side pipe attachment of the suction port of the vacuum pump, is provided. Will against it

eine Rückführleitung vorgesehen, so ist es zweckmäßig, daß diese in den Eintrittstutzen der Vakuumpumpe oder in den
Sektor zwischen der Ein- und Austrittsöffnung des Arbeitsraumes der Vakuumpumpe mündet. Durch den im Behälterteil
des Feinabscheiders gegenüber der Mündung in die Vakuum-a return line is provided, so it is appropriate that this in the inlet port of the vacuum pump or in the
Sector opens between the inlet and outlet opening of the working space of the vacuum pump. Through the one in the container part
of the fine separator opposite the opening in the vacuum

pumpe herrschenden höheren Druck wird die Hilfsflüssigkeit in beiden Fällen zur vakuumpumpe gefördert. Bei Verwendung einer gesonderten Rückführleitung besteht die Möglichkeit,The higher pressure prevailing in the pump becomes the auxiliary liquid promoted to the vacuum pump in both cases. When using a separate return line, it is possible to

- 6 - VPA84P 3 50 IDE- 6 - VPA84P 3 50 IDE

einen Kondensatabscheider in dieser anzuordnen. In diesem Abscheider werden eventuell in der Hilfsflüssigkeit enthaltende Kondensate von dieser getrennt. Mittels der Rückführleitung kann die Hilfsflüssigkeit an einer solchen Stelle in den Arbeitsraum der Pumpe eingeführt werden, wo der Ansaugvor^ang bereits abgeschlossen ist. Der Ansaugvolumenstrom wird dann durch rückverdampfendes Kondensat nur wenig beeinflußt. In einem solchen Falle erübrigt sich dann bei nur gelegentlichem und begrenztem Kondei^satanfall ein eigener Kondensatabscheider.to arrange a condensate trap in this. In this separator are possibly contained in the auxiliary liquid Condensates separated from this. By means of the return line, the auxiliary liquid can be transferred to such a Place in the working space of the pump, where the suction process has already been completed. The suction volume flow is then only slightly influenced by re-evaporating condensate. In such a case there is no need then with only occasional and limited condensation its own condensate separator.

' ) Ein Rückführen der in der Lüfterhaube anfallenden Hilfsflüssigkeit ohne gesonderte Fördereinrichtung ist dadurch möglich, daß an der tiefsten Stelle der Lüfterhaube eine Abführleitung geringen Querschnittes angeschlossen und über dem Niveau der sich im Feinabscheider ansammelnden Hilfsflüssigkeit in den Feinabscheider geführt ist. Beim Durchströmen des in dem Feinabscheider angeordneten Filters entsteht ein Druckgefälle zwischen dessen Innenraum und dem das hohlwalzenförmige Filter umgebenden Behälterraum. Dieses Druckgefälle ist an der von der Lüfterhaube in den Feinabscheider führenden Abführleitung wirksam und sorgt für eine Förderung der Hilfsflüssigkeit von der Lüfterhaube ^ in den Feinabscheider.') A return of the auxiliary liquid occurring in the fan cover without a separate conveyor is possible that at the lowest point of the fan cover a Drainage line with a small cross-section connected and above the level of the auxiliary liquid that collects in the fine separator is led into the fine separator. When flowing through the filter arranged in the fine separator a pressure gradient arises between its interior and the container space surrounding the hollow cylinder-shaped filter. This pressure gradient is effective and ensures the discharge line leading from the fan cover into the fine separator for conveying the auxiliary liquid from the fan cover ^ in the fine separator.

2525th

Anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles wird die Erfindung nachfolgend näher beschrieben. Es zeigt:The invention is described in more detail below with the aid of an exemplary embodiment shown in the drawing. It shows:

Fig. 1 eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Vakuums inFig. 1 shows a device for generating a vacuum in

SeitenansichtSide view

Fig. 2 die Vorrichtung nach Fig. 1 in Stirnansicht Fig. 3 eine als Gaskühler ausgebildete Lüfterhaube des die Vakuumpumpe antreibenden Elektromotors im Längsschnitt2 shows the device according to FIG. 1 in an end view. FIG. 3 shows a fan cover designed as a gas cooler the electric motor driving the vacuum pump in a longitudinal section

Fig. 4 die Lüfterhaube nach Fig. 3 im Schnitt entlang ) der Linie IV-IV4 shows the fan cover according to FIG. 3 in section along line IV-IV

Il 111Il 111

Fig.Fig. 55 Fig.Fig. 66th Fig.Fig. 77th Fig.Fig. 88th

- 7 - VPA 84 P 3 5 O 1 DE- 7 - VPA 84 P 3 5 O 1 DE

einen Vorabscheider im Schnitta pre-separator in section

eine Frontansicht des Kopfteiles des Vorabscheiders einen Feinabscheider im Schnitta front view of the head part of the pre-separator a fine separator in section

eine Frontansicht des Kopfteiles des Feinabscheiders, 5a front view of the head part of the fine separator, 5

Mit 1 ist ein Elektromotor bezeichnet, an dessen Antriebsseite als Vakuumpumpe eine Flüssigkeitsringpumpe 2 montiert ist. Aiii Gehäuscdcckcl 3 der Flüssigkeitsringpumpe 2 lsi. jeweils ein nach oben gerichteter Eintrittstutzen 4 und ein Austrittstutzen 5 angeformt. Mit dem Austrittstutzen 5 ist ein Rohransatz 6 verbunden, an den ein Vorabscheider 7 an- ^ geschlossen ist. Der Vorabscheider 7 weist ein zum Anschluß1 with an electric motor is designated, on the drive side of which a liquid ring pump 2 is mounted as a vacuum pump is. Aiii housing cdcckcl 3 of the liquid ring pump 2 lsi. in each case an upwardly directed inlet connection 4 and a Outlet nozzle 5 integrally formed. A pipe socket 6 is connected to the outlet nozzle 5, to which a pre-separator 7 is attached. ^ is closed. The pre-separator 7 has a connection

von verschiedenen Rohrleitungen dienenden Kopfteil 8 und einen die Abscheiderelemente aufnehmenden Behälterteil 9 auf. Mittels eines Spannverschlusses 10 sind Kopf- und Behälterteil 8 und 9 lösbar miteinander verbunden.head part 8 serving from various pipelines and a container part 9 receiving the separator elements on. The head and container parts are provided by means of a toggle fastener 10 8 and 9 releasably connected to one another.

Von dem Kopfteil 8 des Vorabscheiders 7 führt eine Gasleitung 11 zu einer den Lüfter 12 des Elektromotors 1 umschließenden Lüfterhaube 13, welche einen Gaskühler bildet. Hierzu ist, wie die Fig. 3 und 4 zeigen, die Lüfterhaube doppelwandig ausgebildet, sodaß das über die seitlich an die Lüfterhaube 13 angeschlossene Gasleitung 11 zugeführte ( Gas durch den zwischen den Wänden 14 und 15 der LüfterhaubeFrom the head part 8 of the pre-separator 7, a gas line 11 leads to one that surrounds the fan 12 of the electric motor 1 Fan cover 13, which forms a gas cooler. For this purpose, as shown in FIGS. 3 and 4, the fan cover is used Double-walled, so that the gas line 11 connected to the side of the fan cover 13 is supplied (Gas through between the walls 14 and 15 of the fan cover

13 bestehenden Hohlraum 16 hindurchströmen kann. Über eine weitere, seitlich am Umfang der Lüfterhaube 13 angeschlossene Gasleitung 17 wird das Gas in den Kopfteil 18 eines Feinabscheiders 19 eingeführt. Mit dem Kopfteil 18 des Feinabscheiders 19 ist, in gleicher Weise wie beim Vorabscheider 7, mittels eines Spannverschlusses 10 ein Behälterteil 20 verbunden. Im Kopfteil 18 des Feinabscheiders 19 ist eine Austrittsöffnung 21 für das Gas vorhanden. Der Kopfteil 18 selbst ist auf einen Rohransatz 22 des Eintrittstutzens 4 aufgeschraubt und wird von diesem getragen.13 existing cavity 16 can flow through it. Via a further, laterally connected to the circumference of the fan cover 13 Gas line 17, the gas is introduced into the head part 18 of a fine separator 19. With the head part 18 of the Fine separator 19 is, in the same way as with the pre-separator 7, a container part by means of a toggle lock 10 20 connected. In the head part 18 of the fine separator 19 there is an outlet opening 21 for the gas. Of the The head part 18 itself is screwed onto a pipe extension 22 of the inlet connection 4 and is carried by it.

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Ein als Rohrwendel ausgebildeter Flüssigkeitskühler 23 ist ν zwischen dem Elektromotor 1 und dem Gehäuse der Flüssig-A liquid cooler 23 designed as a coiled tube is ν between the electric motor 1 and the housing of the liquid

- 8 - VPA 8^ P 3 δ Ο 1 DE- 8 - VPA 8 ^ P 3 δ Ο 1 DE

keitsringpumpe 2 konzentrisch zum Gehäuse des Elektromotors 1 angeordnet. Je nach Größe des Flüssigkeitskühlers 23 kann dieser sich mehr oder weniger über die Länge des Motorgehäuses erstrecken. Mit seinem einen Ende 24 ist der Flüssigkeitskühler 23 an den Kopfteil 8 des Vorabscheiders 7 angeschlossen. Das andere Ende 25 des Flüssigkeitskühlers 23 mündet entweder in den Eintrittstutzen 4 oder in den Sektor zwischen der Ein- und Austrittsöffming des Arbeitsraumes der Flüssigkeitsringpumpe 2.keitsring pump 2 arranged concentrically to the housing of the electric motor 1. Depending on the size of the liquid cooler 23 can these extend more or less over the length of the motor housing. With its one end 24 is the liquid cooler 23 connected to the head part 8 of the pre-separator 7. The other end 25 of the liquid cooler 23 opens either into the inlet nozzle 4 or into the sector between the inlet and outlet openings of the working area the liquid ring pump 2.

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An der tiefsten Stelle der Lüfterhaube ist eine Abführleitung 26 angeschlossen, die von der Stirnseite des Kopfteiles 18 des Feinabscheiders 19 her über dem Niveau der Oberfläche der sich im Feinabscheider 19 ansammelnden Hilfsflüssigkeit 33 in den Feinabscheider 19 hineingeführt ist. Vom Kopfteil 18 führt ferner eine an eine Abflußbohrung 43 des Kopfteiles 18 angeschlossene Rückführleitung 27 zum Eintrittstutzen 4 der Flüssigkeitsringpumpe 2.At the lowest point of the fan cover, a discharge line 26 is connected to the front of the head part 18 of the fine separator 19 above the level of the surface of the collecting in the fine separator 19 Auxiliary liquid 33 is fed into the fine separator 19 is. A return line connected to a drain hole 43 in the head part 18 also leads from the head part 18 27 to the inlet connection 4 of the liquid ring pump 2.

Der in Fig. 5 in leicht schematisierter Darstellung gezeigte Vorabscheider 7 ist mit einer in seinem Kopfteil 8 vorgesehenen Einlaßöffnung 28 auf den Rohransatz 6 des Austrittstutzen 5 der Flüssigkeitsringpumpe 2 geschraubt. Auf der Innenseite des Kopfteiles 8 ist eine Gasführungsleitung 29 an die Eintrittsbohrung 28 angeschlossen. Die Gasführungsleitung 29 verläuft parallel zur Begrenzungswand des Behälterteiles 9 und endet kurz vor dem Boden 30 des Behälterteiles 9. An der Gasführungsleitung 29 ist ein nach unten weisender Schirm 31 und am Boden des Behälterteiles 9 ein sich senkrecht vom Boden 30 weg erstreckendes Umlenkblech 32 angeordnet. Das aus der Gasführungsleitung 29 austretende, mit Hilfsflüssigkeit 33 beladene Gas wird durch den Schirm 31 und das Umlenkblech 32 zweimal um jeweils 90° umgelenkt. Hierbei wird der größte Teil der Hilfsflüssigkeit 33 ausgeschieden und sammelt sich im unteren Bereich des Behälterteiles 9. Mittels eines quer im Behälterteil 9 angeordneten Abscheidefilters 34 wird ein weiterer Teil derThe pre-separator 7 shown in a slightly schematic representation in FIG. 5 is provided with one in its head part 8 Inlet opening 28 is screwed onto the pipe socket 6 of the outlet connection 5 of the liquid ring pump 2. on On the inside of the head part 8, a gas guide line 29 is connected to the inlet bore 28. The gas duct 29 runs parallel to the boundary wall of the container part 9 and ends shortly before the bottom 30 of the Container part 9. A screen 31 pointing downward is on the gas guide line 29 and the container part 9 is at the bottom a baffle 32 extending perpendicularly away from the floor 30 is arranged. The emerging from the gas guide line 29, Gas loaded with auxiliary liquid 33 is passed through the screen 31 and the baffle 32 twice by 90 ° each time diverted. Here, the majority of the auxiliary liquid 33 is excreted and collects in the lower area of the container part 9. A further part of the

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- 9 - VPA 84 P 3 5 O 1 DE- 9 - VPA 84 P 3 5 O 1 DE

Hilfsflüssigkeit 33 aus dem Gas ausgeschieden. Hinter dem Abscheidefilter 24 strömt das Gas zu einer Austrittsbohrung 35, wobei es nochmals durch eine Quervrand 36 umgelenkt wird. Bei diesem nochmaligem Umlenken kann sich ein weiterer Teil der Hilfsflüssigkeit 33 an der Querwand niederschlagen und von hier nach unten abfließen. An die Austrittsbohrung 35 ist die zur Lüfterhaube 13 führende Gasleitung 11 angeschlossen, unterhalb dös Niveaus der Oberfläche der sich im Behälterteil 9 ansammelnden Hilfsflüssigkeit 33 ist eine Abflußöffnung 37 vorgesehen, an welcher der Flüssigkeitskühler 23 mit seinem einen EndeAuxiliary liquid 33 separated from the gas. After the separation filter 24, the gas flows to an outlet bore 35, whereby it is again deflected by a transverse edge 36. With this repeated redirection, a further part of the auxiliary liquid 33 on the transverse wall knock down and flow down from here. The one leading to the fan cover 13 is attached to the outlet bore 35 Gas line 11 connected, below the level of the Surface of the auxiliary liquid that collects in the container part 9 33, a drain opening 37 is provided on which the liquid cooler 23 with its one end

^{E v} angeschlossen ist. ^{E v is} connected.

Der in Fig. 7 schematisiert dargestellte Feinabscheider weist außer der Austritts^ffnung 21 auch eine Gaszuführöffnung 38 auf, an die mittels eines Rohres 39 ein hohlwalzenförmiges Filter 40 angeschlossen ist. Wie durch Pfeile 41 angedeutet, tritt das noch mit einem Rest an Hilfsflüssigkeit 33 beladene Gas über die Gaszuführöffnung 38 in den Hohlraum des Filters 40 ein und durchströmt dieses von innen nach außen. Da das Gas nach Verlassen des Vorabscheiders 7 in der Lüfterhaube 13 auf eine relativ niedere Temperatur abgekühlt worden ist, wird in dem FiI-( , ter 40 ein hoher Abscheidungsgrad erreicht. Nach dem Durchströmen des Filters 40 verläßt das Gas über ein Nachfilter 42 den Feinabscheider 19 über die Austrittsöffnung 21. Unterhalb der Oberfläche der sich im unteren Bereich des Feinabscheiders 19 ansammelnden Hilfsflüssigkeit 33 ist eine Äbflußbohrung 43 vorgesehen, an die die Rückführleitung 27 angeschlossen ist. Anstelle der Abflußbohrung kann auch eine in den seitlichen Rohransatz 22 führende Bohrung 44 vorgesehen werden, über die die Hilfsflüssigkeit 33 in den Rohransatz 22 und von hier in den Eintrittstutzen 4 der Flüssigkeitsringpumpe fließt. Die Rückführleitung muß vorgesehen werden, wenn vor der Rückführung der Hilfsflüssigkeit 33 in die Flüssigkeitsringpumpe 2 ein in der V' Hilfsflüssigkeit 33 vorhandenes Kondensat mittels einesThe fine separator shown schematically in FIG. 7 has, in addition to the outlet opening 21, also a gas supply opening 38, to which a hollow roller-shaped filter 40 is connected by means of a tube 39. How through Indicated by arrows 41, the gas still laden with a remainder of auxiliary liquid 33 passes through the gas supply opening 38 into the cavity of the filter 40 and flows through it from the inside to the outside. Since the gas after leaving the Pre-separator 7 in the fan cover 13 has been cooled to a relatively low temperature, is in the FiI- ( , ter 40 a high degree of separation is achieved. After flowing through of the filter 40, the gas leaves the fine separator 19 via a secondary filter 42 via the outlet opening 21. Below the surface of the auxiliary liquid 33 that collects in the lower region of the fine separator 19 is a drain hole 43 is provided to which the return line 27 is connected. Instead of the drain hole A bore 44 leading into the lateral pipe extension 22 can also be provided, via which the auxiliary liquid 33 flows into the pipe socket 22 and from here into the inlet connection 4 of the liquid ring pump. The return line must be provided if before the return of the auxiliary liquid 33 in the liquid ring pump 2 in the V 'auxiliary liquid 33 present condensate by means of a

- 10 - VPkShP 3 5 0 1OE- 10 - VPkShP 3 5 0 1OE

] " Kondensatabscheiders abgesondert oder wenn die Hilfsflüssig-] "Condensate separator or if the auxiliary liquid

keit 33 an einer bestimmten, zwischen der Ein- und Austrittsöffnung des Arbeitsraumes der Vakuumpumpe liegenden Stellespeed 33 at a certain, between the inlet and outlet opening of the working space of the vacuum pump

f wieder in die Pumpe eingebracht werden soll.f is to be reintroduced into the pump.

Die in den Fig. 6 und 8 gezeigten Stirnansichten der Kopf- > teile 8 und 18 lassen erkennen, daß diese Kopfteile dieThe end views of the head> in Figs. 6 and 8 parts 8 and recognize leave 18 that these parts of the head

gleiche Form und Größe haben. Durch entsprechende Fertig- ; L-ohrungen werden dann die Kopfteile entweder für den Ein-have the same shape and size. Through appropriate ready-made; L-holes are then used for the head parts either for

satz am Vorabscheider oder Feinabscheider vorbereitet. So . χ muß an dem Kopfteil 8 für den Vorabscheider 7 lediglich noch die Eintrittsbohrung 28 und die Abflußöffnung 37 und an dem Kopfteil 18 für den Feinabscheider 19 die Austrittsöffnung 21 und die Abflußbohrung 43 bzw. die Bohrung 44 hergestellt werden.set prepared on the pre-separator or fine separator. So χ only needs to be attached to the head part 8 for the pre-separator 7 nor the inlet bore 28 and the outlet opening 37 and on the head part 18 for the fine separator 19 the outlet opening 21 and the drain hole 43 or the hole 44 getting produced.

Die Vorrichtung arbeitet wie folgt:The device works as follows:

Ober den Eintrittstutzen 4 wird aus einem Raum, in dem ein Vakuum erzeugt werden soll, Luft angesaugt. In der Flüssigkeitsringpumpe wird die Luft verdichtet und zusammen mit einem Teil der in der Flüssigkeitsringpumpe 2 vorhandenen Hilfsflüssigkeit 33 über den Austrittstutzen 5 und den eit diesem verbundenen Rohransatz 6 in den Vorabscheider 7 aus-) gestoßen. In dem Vorabscheider 7 wird der größte Teil der Hilfsflüssigkeit 33 bereits aus dem Luft-Flüssigkeitsgemisch ausgeschieden. Die sich im Vorabscheider 7 ansammelnde Hilfsflüssigkeit 33 wird durch den in dem Vorabscheider 7 herrschenden Druck in den Flüssigkeitskühler 23 gefördert und in diesem um eine bestimmte Temperaturdifferenz abge-30 kühlt. Von dem Flüssigkeitskühler 23 strömt die Hilfsflüssigkeit 33 wieder in den Eintrittstutzen 4 bzw. in den Sektor zwischen der Ein- und Austrittsöffnung des Arbeitsraumes der Pumpe und steht damit für den weiteren BetriebAir is sucked in from a space in which a vacuum is to be generated via the inlet connection 4. In the liquid ring pump the air is compressed and together with some of the existing in the liquid ring pump 2 Auxiliary liquid 33 via the outlet nozzle 5 and the eit this connected pipe socket 6 in the pre-separator 7 ejected). In the pre-separator 7, most of the Auxiliary liquid 33 already from the air-liquid mixture eliminated. The auxiliary liquid 33 that collects in the pre-separator 7 is passed through the in the pre-separator 7 prevailing pressure in the liquid cooler 23 and reduced in this by a certain temperature difference cools. From the liquid cooler 23, the auxiliary liquid 33 flows back into the inlet connection 4 or into the Sector between the inlet and outlet opening of the working area of the pump and thus stands for further operation

der Flüssigkeitsringpumpe 2 wieder zur Verfügung. Der Flüs-35 sigkeitskühler 23 ist so dimensioniert, daß die Hilfsflüssigkeit 33 nur um eine relativ kleine Temperaturdifferenzthe liquid ring pump 2 is available again. The river 35 fluid cooler 23 is dimensioned so that the auxiliary liquid 33 only by a relatively small temperature difference

' J abgekühlt wird und mit einer für den Betrieb der Flüssig-' J is cooled and with one for the operation of the liquid

I I I liltI I I lilt

- 11 - VPA 8^P 3 5 O 1 DE- 11 - VPA 8 ^ P 3 5 O 1 DE

keitsringpurape 2 günstigen Temperatur den Flüssigkeitskühler 23 verläßt. keitsringpurape 2 leaves the liquid cooler 23 at a favorable temperature.

Die in dem Vorabscheider 7 anfallende, noch mit einem Rest der Hilfsflüssigkeit 33 beladene Luft verläßt den Vorabscheider 7 über die Austrittsbohrung 35 und strömt über die Gasleitung 11 in die Lüfterhaube 13, durchströmt diese und gelangt über die Gasleitung 17 und die Gaszuführöffnung 38 in den Hohlraum des Filters 40 im Feinabscheider Beim Durchströmen der Lüfterhaube 13 wird die Luft auf eine Temperatur heruntergekühlt, die wesentlich, d.h., um mehr als 10⁰C, unter der Austrittstemperatur der Hilfsflüssigkeit 53 beim Austritt aus dem Flüssigkeitskühler 23 liegt. Infolge der niedrigen Temperatur der Luft setzt eine Kondensation der noch in ihr vorhandenen Hilfsflüssigkeitsdämpfe ein, durch die die Abscheidung der Hilfsflüssigkeit 33 im Filter 40 begünstigt wird.The air that accumulates in the pre-separator 7 and is still laden with a remainder of the auxiliary liquid 33 leaves the pre-separator 7 via the outlet hole 35 and flows via the gas line 11 into the fan cover 13, flows through it and enters the cavity via the gas line 17 and the gas supply opening 38 of the filter 40 in the fine separator during the flow through the fan shroud 13 is cooled down the air to a temperature, ie, is substantially, by more than 10 ⁰ C, with the outlet temperature of the auxiliary liquid 53 as it exits the liquid cooler 23rd As a result of the low temperature of the air, condensation of the auxiliary liquid vapors still present in it begins, which promotes the separation of the auxiliary liquid 33 in the filter 40.

Nach dem Durchströmen des Filters 40 verläßt die Luft durch die Austrittsöffnung 21 den Feinabscheider 19. Die sich im Feinabscheider 19 ansammelnde Hilfsflüssigkeit 33 wird über die Abflußbohrung 43 und die daran angeschlossene Rückführleitung 27 oder die Bohrung 44 wieder in den Kreislauf der Vorrichtung zurückgeführt.After flowing through the filter 40, the air leaves the fine separator 19 through the outlet opening 21 Auxiliary liquid 33 collecting fine separator 19 is via the drain hole 43 and the return line connected to it 27 or the bore 44 fed back into the circuit of the device.

Durch das Abkühlen des Gases in der Lüfterhaube 13 kann auch hier ein Teil der Hilfsflüssigkeit 33 bereits kondensieren und sammelt sich an der tiefsten Stelle der Lüfterhaube 13. Von hier aus wird die Hilfsflüssigkeit 33 über die Abführleitung 26 in den Feinabscheider 19 gefördert. Da die Abführleitung 26 hinter dem Filter 40 in den Feinabscheider mündet, besteht zwischen deren Anschluß an der Lüfterhaube 13 und der Mündung in dem Feinabscheider 19 ein Druckunterschied, der ausreicht, die Hilfsflüssigkeit 33 von der Lüfterhaube 13 in den Feinabscheider zu fördern. Infolge dieser Anordnung der Abführleitung 26 erübrigt sich eine gesonderte Fördervorrichtung für das Abführen derAs a result of the cooling of the gas in the fan cover 13, some of the auxiliary liquid 33 can already condense here as well and collects at the lowest point of the fan cover 13. From here, the auxiliary liquid 33 is over the discharge line 26 is conveyed into the fine separator 19. Since the discharge line 26 behind the filter 40 in the fine separator opens, exists between its connection to the fan cover 13 and the opening in the fine separator 19 a pressure difference which is sufficient to convey the auxiliary liquid 33 from the fan cover 13 into the fine separator. As a result of this arrangement of the discharge line 26, there is no need for a separate conveying device for discharging the

Il ) I ·» I I I I I Il Il llllIl) I · »I I I I I I Il Il llll

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- 12 - VPA 84 P 350 IDE- 12 - VPA 84 P 350 IDE

der Hilfsflüssigkeit 33 aus der Lüfterhaube 13.the auxiliary liquid 33 from the fan cover 13.

Für den Betrieb des Flüssigkeitskühlers 23 auf einem gegenüber dem Temperaturniveau des Gaskühlers 13 wesentlich höheren Temperaturniveau ist der Einsatz einer Flüssigkeitsringpumpe 2 als Vakuumpumpe besonders vorteilhaft. Bei einer solchen Pumpe wird eine relativ große Menge an Hilfsflüssigkeit 33 zusammen mit dem verdichteten Gas ausgestossen. Somit steht für den Abtransport der in der Pumpe anfallenden Verlustwärme eine große Flüssigkeitsmasse zur Verfügung. Es genügt daher eine relativ kleine Temperaturdifferenz bei der Abkühlung der Hilfsflüssigkeit im Flüssigkeitskühler um die angefallene Verlustwärme nach außen abzuführen. Da das im Vorabscheider bereits vom größten Teil der Hilfsflüssigkeit 33 getrennte Gas wegen seiner gegenüber der Hilfsflüssigkeit 33 geringeren Masse nur einen entsprechend kleinen Teil der Verlustwärme abführen kann, wird zum Abkühlen dieses Gases nur ein relativ kleiner Gaskühler 13 benötigt. Dieser Gaskühler 13 ist so dimensioniert, daß das Gas um eine wesentlich größere Temperaturdifferenz als die Hilfsflüssigkeit 33 im Flüssigkeitskühler 23 abgekühlt wird.For the operation of the liquid cooler 23 at a significantly higher temperature than the temperature level of the gas cooler 13 Temperature level, the use of a liquid ring pump 2 as a vacuum pump is particularly advantageous. at In such a pump, a relatively large amount of auxiliary liquid 33 is ejected together with the compressed gas. This means that there is a large amount of liquid available for the removal of the heat lost in the pump Disposal. A relatively small temperature difference is therefore sufficient when cooling the auxiliary liquid in the liquid cooler in order to dissipate the accumulated heat loss to the outside. Since the pre-separator already has the largest Part of the auxiliary liquid 33 separate gas because of its lower mass compared to the auxiliary liquid 33 only can dissipate a correspondingly small part of the lost heat, only a relatively small part is needed to cool this gas Gas cooler 13 required. This gas cooler 13 is dimensioned so that the gas by a much greater temperature difference than the auxiliary liquid 33 is cooled in the liquid cooler 23.

Durch die getrennte Kühlung der Hilfsflüssigkeit 33 und des Gases können die jeweiligen Kühler gezielt für die jeweils notwendige Kühlleistung ausgelegt werden. Dies führt insgesamt zu einem geringeren Aufwand für die Kühlung.Due to the separate cooling of the auxiliary liquid 33 and of the gas, the respective coolers can be designed specifically for the cooling capacity required in each case. this leads to overall to a lower cost for the cooling.

17 -ansprüche
8 Figuren17 claims
8 figures

• · · t I I• · · t I I

» t»T

• «It• «It

Claims

- 13 - VPA 84 P 3 5 O 1 QE

claims

Ij device for generating a vacuum, the one with an auxiliary liquid, driven by an electric motor 5, a vacuum pump, in which device the vacuum pump a pre-separator provided with a storage space for separating the pumped gas from the Auxiliary liquid is connected downstream, the auxiliary liquid I liquid from the storage space via a liquid

i10 cooler again to the vacuum pump and the gas still loaded with a remainder of the auxiliary liquid to the pre-separator I downstream fine separator is fed with a

I return line for the auxiliary liquid separated in it

Is provided,

I 15 characterized in that the preliminary I: cheider (7) and the fine separator (19) spatially

1 borrowed are arranged separately and that with a remainder

% of the auxiliary liquid (33) loaded gas via an opposite

I above the liquid cooler (23) separately arranged gas

I 20 cooler (13) is fed to the fine separator (19), wherein Sj the two coolers (23 and 13) are dimensioned so that

\ the gas compared to the outlet temperature of the auxiliary liquid

} speed (33) is cooled to a lower temperature.

25 2) Device according to claim 1, characterized in that

:. that the liquid (23) and / or gas cooler (13) in the cooling air flow of the electric motor (1) are arranged.

ί 30 3) Device according to claim 1 or 2, I characterized in that

! that the liquid cooler (23) is designed as a coiled tubing

I is concentric around the electric motor (1) or between

this and the vacuum pump is arranged.

- 14 - VPA 8AP 3 5 O 1 DE

4) Device according to claim 1, 2 or 3, characterized in that that as a gas cooler on the electric motor (1) a double-walled fan cover enclosing the fan (12) (13) is provided, through the cavity (16) of which the gas is passed.

5) device according to claim 4,
characterized in that on the one Leite of the circumference of the fan shroud (13) connected to the preliminary separator (7) and genüberliegenden on the overall J side of the cover (13), a gas line connected to the fine separator (19) (11 or 17 ) connected.

15th

6) Device according to one or more of the preceding claims,

characterized in that both the pre-separator (7) and the fine separator (19) is each built into a tubular housing part and the two housing parts with their longitudinal axes parallel to Are arranged longitudinal axis of the Eleictromotors.

) T) device according to claim 6,

25 characterized by that both the inlet (4) and the outlet (5) of the vacuum pump are directed upwards and the two Separator (7 and 19) each attached to one of the two nozzles (4 or 5) lying above the electric motor (1) are.

8) device according to claim 7,
characterized in that the pre-separator (7) with its inlet opening (28) on a tubular extension (6) of the outlet connection (5) which faces the engine and forms the outlet opening of the vacuum pump

i ί · »it»

- 15 - VPA $ ρ 3 50 1 QB

and the fine separator (19) is attached to a lateral pipe extension (22) of the inlet connection (4).

9) device according to claim 8,
5, characterized in that the pre-separator (7) and the fine separator (19) each consist of a head part (8 or 18) containing the connection points for the lines to be connected and a head part (8 or 18) that can be connected to the elements of the respective separator receiving container part (9 or 20).

10) device according to claim 9,
characterized in that the head parts (8 and 18) and container parts (9 or 20) of the pre-separator (7) and fine separator (19) have the same shape and size.

11) Device according to claim 9 or 10,

characterized in that the container parts (9 and 20) are cylindrical sleeves, which have a radially outwardly protruding bead on their open side, with which they by means of one of these Beaded edge and a corresponding one on the head part (8 resp.

18) integrally formed bead edge overlapping tension lock (10) on the head part (8 or 18) are attached.

12) Device according to claim 9, 10 or 11, characterized in that that in the pre-separator (7) parallel to the upper boundary wall of the container part (9) one connected to the head part (8) Gas guide line (29) extends near the bottom (30) of the container part (9), and that the The lower area of the container part (9) forms the storage space which, via an opening, has an outlet opening (37) of the head part connected to the liquid cooler (23) (8) is connected.

- 16 - VPA #t P 3 5 O 1 DE

13) Device according to claim 9, 10 or 11, characterized in that that in the fine separator (19) a hollow roller-shaped filter (40) is arranged, which is connected with its cavity to the gas supply opening (38) of the head part (18).

14) Device according to claim 8 and 13, characterized in that that in the head part (18) of the fine separator (19) one below the surface of the collecting in the fine separator (19) Auxiliary liquid (33) lying in the side pipe socket (22) of the suction port (4) of the vacuum pump opening bore (44) is provided.

15) Device according to claim 1 and 13, characterized in that that the return line (27) connected to the fine separator (19) into the inlet connection (4) of the vacuum pump or opens into the sector between the inlet and outlet opening of the vacuum pump.

16) Device according to claim 15, characterized in that that in the return line (27) a condensate trap is arranged.

17) Device according to claim 4 and 13, characterized in that that at the lowest point of the fan cover (13) a discharge line (26) with a small cross-section is connected and Above the surface of the auxiliary liquid (33) that collects in the fine separator (19) into the fine separator (19) is led.