Bei Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen,
verwendet man vielfach magnetische Linsen, die zwei ringförmige Polschuhe aufweisen.
Die Polschuhe werden dabei mit Hilfe eines Zwischenstückes aus unmagnetischem Material
zu einem einheitlichen Einsatzkörper zusammengefügt, der beispielsweise am äußeren
Rand mit einer zvlindrischen oder konischen Paßfläche versehen ist und in eine entsprechende
Paßfläche der Linse eingesetzt werden kann. Derartige Einsatzkörper hat man bisher
so hergestellt, daß in den beiden Polschuhen ein Gewinde eingeschnitten wird, mit
dem ein entsprechendes Gewinde des unmagnetischen Zwischenstücks verschraubt wird.
Es. läßt sich bei dieser Bauart nicht vermeiden, daß der wirksame magnetische Querschnitt
der Polschuhe geschwächt wird. Das ist für die Ausnutzung des Palschulimaterials
ungünstig und verhindert es, kleinste Brennweiten zu erzielen. Durch die vorliegende
Anordnung gelingt es-, den magnetischen Fluß bei Palschuhsystemen der obenerwähnten
Art zu verbessern und dadurch noch kleinere Brennweiten und. dadurch bessere Auflösungen
zu erwerben. Erfindungsgemäß ist, das Zwischenstück des Polschuheinsatzkörpers aus
magnetischem und unmagnetischem Material, vorzugsweise durch Hartlöten, so zusammengesetzt,
daß der oder die magnetischen Teile des Zwischenstücks solchen Teilen der Polschuhe
zugeordnet sind, die mit Rücksicht auf das Zusammensetzen des Einsatzkörpers im
Querschnitt geschwächt sind. Die Schwächung des Polsch-uhquerschnitts wird somit
durch die magnetischen Teile des Zwischenstücks wieder aufgehoben, so daß der für
den magnetischen Fluß erforderliche Querschnitt praktisch ungeschwächt ist.In the case of corpuscular beam devices, for example electron microscopes,
one often uses magnetic lenses that have two ring-shaped pole pieces.
The pole shoes are made of non-magnetic material with the help of an intermediate piece
assembled into a uniform insert body, for example on the outer
Edge is provided with a cylindrical or conical mating surface and in a corresponding
Mating surface of the lens can be used. Such insert bodies have been used so far
made so that a thread is cut in the two pole pieces, with
to which a corresponding thread of the non-magnetic intermediate piece is screwed.
It. cannot be avoided with this type of construction that the effective magnetic cross-section
the pole piece is weakened. That is for the exploitation of the Palschuli material
unfavorable and prevents the smallest focal lengths from being achieved. Through the present
Arrangement succeeds in the magnetic flux in Palschuhsystemen of the above-mentioned
Art to improve and thereby even smaller focal lengths and. thereby better resolutions
to acquire. According to the invention, the intermediate piece of the pole shoe insert body from
magnetic and non-magnetic material, preferably by brazing, combined in such a way that
that the magnetic part or parts of the intermediate piece such parts of the pole pieces
are assigned, with regard to the assembly of the insert body in
Cross-section are weakened. The weakening of the pole cross-section is thus
canceled again by the magnetic parts of the intermediate piece, so that the for
the cross-section required for the magnetic flux is practically not weakened.
Die Abbildung -neigt als Ausführungsbeispiel der Erfindung einen Querschnitt
durch einen Polschuheinsatzkörper, der für eine magnetische Linse, nämlich für die
Objektivlinse eines Elektronenmikroslzcps, bestimmt ist. Der Einsatzkörper besteht
aus dem oberen ringf örmigen Polschuh i. dem unteren, ebenfalls ringförmigen Polschuh
2 und einem Zwischenstück 3. Dieses Zwischenstück besteht aus zwei Teilen. Der obere
Teil q. ist aus magnetischem Material hergestellt, während der untere Teil 3 aus
unmagnetischem Material besteht. Die Teile 4 und 5 sind mit den aneinander
angrenzenden Stoßflächen < hart verlötet. Das Zwischenstück 3 hat ein Innengewinde,
dem entsprechende Außengewinde an den Polschuhen zugeordnet sind. Die Ouerschnittsschwächung
des magnetischen 5jIaterials am Polschuh i, die sich mit Rücksicht auf die Notwendigkeit
dz-r Verschraubung ergibt, wird bei dieser Ausführung dadurch wieder aufgehoben,
daß der obere Teil 4. des Zwischenstücks, der dem Polschuh i zugeordnet ist, aus
magnetischem Material besteht. -Mit 8 ist ein in den unteren Polschuh 2 einschraubbarer
Halter bezeichnet, in dessen oberen Teil g die Objektivblende eingesetzt «-erden
kann. Der obere Polschuh i ist mit einer Anlagefläche io versehen, gegen die sich
beim Betrieb der Unterteil der Olr jektpatrone fest anlegt. Der ganze in der Abbildung
dargestellte Polschuheinsatzkörper ist an der Außenfläche I I konisch abgedreht
und kann in eine entsprechende konische Paßfläche der in der Abbildung nicht dargestellten
@Iagnetlinse eingesetzt werden. 'Man kann das Zwischenstück natürlich auch aus drei
Teilen (zwei magnetischen und einem mittleren unmagnetischen Teil) herstellen, «-as
sich insbesondere beiden meist: symmetrisch gebauten Polschuhen für Projektionslinsen
empfiehlt.As an embodiment of the invention, the figure tends to show a cross section through a pole piece insert body which is intended for a magnetic lens, namely for the objective lens of an electron microscope. The insert body consists of the upper annular pole piece i. the lower, also ring-shaped pole piece 2 and an intermediate piece 3. This intermediate piece consists of two parts. The upper part q. is made of magnetic material, while the lower part 3 consists of non-magnetic material. The parts 4 and 5 are hard-soldered to the abutting surfaces <. The intermediate piece 3 has an internal thread to which corresponding external threads on the pole pieces are assigned. The cross-sectional weakening of the magnetic material on the pole piece i, which results from the necessity of the screw connection, is eliminated in this embodiment in that the upper part 4. of the intermediate piece, which is assigned to the pole piece i, is made of magnetic material . A holder that can be screwed into the lower pole piece 2 is designated by 8, and the lens diaphragm can be inserted into the upper part g of the holder. The upper pole piece i is provided with a contact surface io against which the lower part of the oil jektpatrone rests firmly during operation. The entire pole shoe insert body shown in the figure is turned off conically on the outer surface I I and can be inserted into a corresponding conical mating surface of the magnetic lens, not shown in the figure. 'The intermediate piece can of course also be made from three parts (two magnetic and one non-magnetic part in the middle), "- which is particularly recommended for two mostly symmetrically constructed pole pieces for projection lenses.