DE764928C - Process for evaporating high-boiling metals - Google Patents

Process for evaporating high-boiling metals

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DE764928C
DE764928C DEB199805D DEB0199805D DE764928C DE 764928 C DE764928 C DE 764928C DE B199805 D DEB199805 D DE B199805D DE B0199805 D DEB0199805 D DE B0199805D DE 764928 C DE764928 C DE 764928C
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DE
Germany
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evaporated
tungsten
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aluminum
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Expired
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DEB199805D
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German (de)
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Walter Dr Dorn
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/26Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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Description

Verfahren zum Verdampfen hochsiedender Metalle Die zum Verdampfen hach:siledender Metalle benutzten Tiegel haben aus verschiedenen Gründen meist eine nur kurze Lebensdauer. Sie werden bei den 'hohen, in Frage kommenden Temperaturen vom flüssigen Schmelzgut anigegriffen und unter Verbindungs- oder Legierurngsbildung aufgelöst. Wenn eine solche Legierungsbildung zwischen dem Tiegel und seinem Inhalt stattfindet, sofern beide Metalle sind, wird man ein unerwünschtes Gemisch in dex Dampfpfaase und daher auch einen Niedersch(Pag erhalten, der andere als idile zu erwartenden Eigenschaften des verdampfenden reinen Tiegeilinhaltes. hat. Man wählt nun zweckmäßig schon ein Tiegelmaterials bei dem die Gefahr der Verbin@dungs- oder Legierungsbildung mit dem Tiegelinhalt so gering ist, @daß sie praktisch für das zu verdampfende Metall außer acht gelassen werden kann. Trotzdem macht man auch bei sodthen Tiegeln die Beobachtung, daß sie, obwohl ihr Dampfdruickgegenüber dem des zu verdampfenden- Tiegelinhalts verschwindend klein sein kann, so schnell aufgezehrt werden, daß sie für eine kontinuierlich laufende Bedampfung bei der das zu verdampfende Metall dauernd, in den Tiegel nachigescho#ben wird, nicht brauchbar sind. So ist z. B. aus der amerikanischen Literatur bekannt, daß sich Silber oder Aluminium auf einer Unterlage aus Wolfram zwar in reiner Form bei Abwesenheit von Dämpfen und Gasen fremder Stoffe verdampfen läßt, daß aber das Wolfram während der Verdampfung sich ebenfalls so verflüchtigt, daß dd#:se Unterlage verhältnismäßig rasch erneuert werden muß. Offenbar spielt hierbei ein gewisser Wasserdampfgehalt im Arbeitsraum eine Ralle, der mit dem Wolfram reagiert und ein Oxyd bildet, dessen Dampfdruck erheblich über dem des reinen Wolframs liegt, so daß auf diese Art die Wolframunterlage angegriffen und verdampft wird. Es ist auch denkbar, daß die gegenseitige geringe Löslichkeit z. B. des Aluminiums mit dem Wolfram dazu führt, die NVolframunterlage ztr zerstören. Jedenfalls kann auch in diesen Fällen, wo praktisch der Tiegelinhalt in reiner Form verdampft wird, die Unterlage oder der Tiegel auch nicht in kontinuierlichem Dauerbetrieh benutzt werden.Process for vaporizing high-boiling metals Die for vaporizing hach: crucibles used by siledend metals usually have one for various reasons only short lifespan. You will be at the 'high temperatures in question attacked by the molten material and forming compounds or alloys dissolved. When such an alloy formation between the crucible and its contents takes place if both are metals, one becomes an undesirable mixture in dex Vapor path and therefore a precipitate (Pag received, the other than idile to expected properties of the evaporating pure content of the tank. Has. One chooses now it is advisable to use a crucible material in which the danger of connection or Alloy formation with the contents of the crucible is so low that it is practical for the metal to be evaporated can be disregarded. Nevertheless, you also do it in the case of such crucibles, the observation that, although the pressure of steam on them, the contents of the crucible to be evaporated can be vanishingly small, so quickly consumed be that they are for a continuously running vaporization of the to be evaporated Metal that is constantly being pushed into the crucible are not usable. So is z. B. from the American literature known that silver or aluminum on a base made of tungsten in pure form in the absence of vapors and gases of foreign substances evaporate, but that the tungsten during the evaporation also evaporates in such a way that the document is renewed relatively quickly must become. Apparently, a certain water vapor content in the work area plays a role here a rail that reacts with the tungsten and forms an oxide, its vapor pressure is considerably higher than that of pure tungsten, so that in this way the tungsten base is attacked and evaporated. It is also conceivable that the mutual minor Solubility z. B. the aluminum with the tungsten leads to the N-tungsten base destroy ztr. In any case, the contents of the crucible can also be used in these cases, where practical is evaporated in pure form, the base or the crucible also not in continuous Can be used continuously.

Es istebenfalls bekannt, das zu verdampfende: Metall. laufend in die Verdampfungszone nachzuschieben und die Verdampfung durch die Berührung des Metalls mit einem erhitzten, feststehenden Blech z. B. zu bewirken. Das erhitzte Blech zeigt aber die gleichen obenerwähnten Nachteile, die geringe Haltbarkeit und die Gefahr einer Legierungsbildung.It is also known which: metal to be evaporated. continuously in the To move the evaporation zone and the evaporation by touching the metal with a heated, fixed sheet z. B. to effect. The heated sheet shows but the same disadvantages as mentioned above, poor durability and danger an alloy formation.

Gemäß der Erfindung ist es nun möglich. hochsiedende Metalle laufend in reiner Form zu verdampfen, indem man die vorzugsweise us . letall bestehende Unterlage zusammen a "N mit dem zu verdampfenden Metall in die Verdampfungszone vorschiebt. Man kann z. B. Aluminium auf diese `'eise laufend verdampfen, wenn man Aluminiumdraht auf einer Unterlage von Wolfram. welche als Draht oder Blech ausgeführt ist, gemeinsam mit dieser in die Verdampfungszone vorschiebt. Die Wolframunterlage wird zwar vom Aluminium angegriffen -, aber so rasch durch die 'Beiße Zone geführt, daß man noch nicht Gefahr läuft, den Verdampf ungsvo-rgang durch vorzeitigen Verbrauch der Unterlage unterbrechen zu müssen. Es ist hierzu nicht notwendig, daß die U nterlage mit der gleichen Geschwindigkeit vorgeschoben wird, die das zu verdampfende Metall hat. Der Vorschub der Unterlage kann meist langsamer erfolgen. Dieses Verfahren hat z. B. bei Anwendung einer Wolframunterlage für die #-erdainl>funr von Aluminium seinen hesonderen Vorteil darin, daß das flüssige Aluminium die Unterlage benetzt, da es ja mit eine rung zu bilden vermag. Das fli-z s ig ° _@luniiniuni kann daher nicht von seiner Unterlage lieralifa.l:len. Man kann auch, um` besseren Kontakt zwischen dem zu verdampfenden Aluminittitt und seiner Wolframunterlage zu haben, da-; Aluminium elektrolytisch auf dem Wolframdraht oder Wolfrainblech nied:rschlagen und auf diese Weise nur einen einzigen gleichmäßig geformten Draht in die @-erdampfuugszone vorschieben. In diesem Falle ist die Geschwindigkeit für den Vorschub des zu verdampfenden Metalls und seiner Unterlag die gleiche.According to the invention it is now possible. to evaporate high-boiling metals continuously in pure form by using the preferably us . letall existing pad along a "N advances with the metal to be vaporized in the vaporization zone. One can, for. example, aluminum in this` 'else evaporate continuously when aluminum wire on a substrate of tungsten. which is designed as a wire or plate, together The tungsten base is attacked by the aluminum - but it is passed through the bite zone so quickly that there is no risk of having to interrupt the evaporation process through premature consumption of the base It is not necessary for the substrate to be advanced at the same speed as the metal to be evaporated. The substrate can usually be advanced more slowly Its particular advantage is that the liquid aluminum wets the base, since it is able to form a ring. The fli-z s ig ° _ @ luniiniuni cannot therefore lieralifa.l: len from its file. One can also, in order to have better contact between the aluminite to be evaporated and its tungsten substrate, there-; Electrolytically deposit aluminum on the tungsten wire or sheet metal and in this way only push a single evenly shaped wire into the vapor zone. In this case, the speed for the advance of the metal to be vaporized and its support is the same.

Die direkte elel:trisclie Pelieizu.ng für die Verdampfung kann ihre Stroinzuführtiiig durch die Vorschubrollen und durch die Anflag-erollen erhalten.The direct elel: trisclie Pelieizu.ng for evaporation can be their Stroinzuführiiig received by the feed rollers and by the Anflag-erollen.

Claims (2)

PATENTAS SPRL'"CIlE: r. Verfahren zum Verdampfen hochsiedender Metalle, deren Material laufend ii1 die Verdampfungszone nachgeschoben wird, dadurch gekennzeichnet, gekennzeichnet, zusammen mit dem zu verdampfenden Metall Seine Unterlage in die @-erdainpftin.,rszone vorgeschoben wird. PATENTAS SPRL '"CIlE: r. Process for evaporating high-boiling metals, the material of which is continuously pushed ii1 the evaporation zone, characterized in that, marked, together with the metal to be vaporized @ -erdainpftin., rszone is advanced. 2. Verfahren nach Anspruch i. dadurch gekennzeichnet. daß die Unterlage langsamer als das zu verdainpfen,-1: 1let<ill vorgeschoben wird. 3. _Verfa gen nach Anspruch r oder 2, dadurch gekennzeichnet. daß die Zul°itung des elektrischen Heizstromes über die Vorschubrollen und die Auflagerollen der Unterlage erfolgt. d.. Verfahren nach den Ansprüchen r bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß Wolfram-blech oder -dralit als für zu verdampfendes Aluminium angewendet wird. Z-urAbgrenzung des Erhndungsgegeiistands v,im Stand der Technik ist im Erteilun-sv,rfahren folgende Druckschrift in Betracht gezogen worden: .Schweizerische Patentschrift \ r. i9@ 728#2. The method according to claim i. characterized. that the pad to evaporate more slowly than that, -1: 1let <ill advanced will. 3. _Verfa gene according to claim r or 2, characterized. that the supply the electrical heating current via the feed rollers and the support rollers of the pad he follows. d .. Process according to claims r to 3, characterized in that Tungsten sheet or dralite is used as the aluminum to be evaporated. Z-ur delimitation of the subject of the invention, in the state of the art is in the granting of the following, proceed as follows Publication has been considered: .Swiss Patent Specification \ r. i9 @ 728 #
DEB199805D 1942-10-06 1942-10-06 Process for evaporating high-boiling metals Expired DE764928C (en)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH198728A (en) * 1936-07-17 1938-07-15 Paul Alexander A method and apparatus for depositing a film of material on a support by evaporating that material in a vacuum within a chamber.

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH198728A (en) * 1936-07-17 1938-07-15 Paul Alexander A method and apparatus for depositing a film of material on a support by evaporating that material in a vacuum within a chamber.

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