Claims (3)
Einschleusmöglichkeit zu haben. Die Erfindung betrifft nun ein Elektronenmikroskop,
dessen Objektträger zwecks Verhinderung der Relativbewegungen zwischen Objekt und
S Objektivlinse bei der Objektuntersuchung federnd gegen einen Teil der Objektivlinse
gedrückt wird. Erfindungsgemäß wird eine unabhängig von der feststehenden Objektivlinse
ein- und ausschleusbare Objektpatrone ίο verwendet, die einen das Objekt aufnehmenden,
dem wirksamen Linsenbereich zugewendeten Objektträger aufweist, dessen eine Anlagefläche
gegen eine entsprechende Fläche des feststehenden Objektivs in der Betriebslage durch eine der Objektpatrone zugeordnete
Feder drückt. Bei dieser Bauart kann die hinsichtlich ihrer Justierung empfindliche Objektivlinse
beim Objektwechsel unverändert bleiben. Durch die besondere Art des unabhängig von Objektivlinsenteilen ein- und
ausschleusbaren Objektträgers wird dafür ge sorgt, daß sich Erschütterungen bei der Aufnahme
nicht nachteilig auswirken können. Unter Objektpatrone ist bei der Erfindung jede irgendwie gestaltete Haltevorrichtung zu
verstehen, die zusammen mit dem Objekt ein- und ausgeschleust werden kann. Die dieser
Haltevorrichtung zugeordnete Feder, welche zum Andrücken des eigentlichen Objektträgers
gegen das Objektiv dient, wird man vorzugsweise innerhalb der Objektpatrone anordnen.
Man kann die Erfindung in der Weise verwirklichen, daß der fest mit dem Objekt
verbundene Objektträger gegen den Druck einer Feder axial verschiebbar in der Patrone
gehaltert wird. Man kann dann beispielsweise die Anordnung so wählen, daß der Objektträger
an der der Objektivlinse zugekehrten Seite aus der Patrone heraus ragt und in der
Betriebslage mit einer Anlagefläche gegen eine entsprechende Fläche des Objektivs gedrückt
wird.To have the possibility of infiltration. The invention now relates to an electron microscope,
its slide to prevent relative movements between the object and
S Objective lens resiliently against part of the objective lens when examining an object
is pressed. According to the invention, one becomes independent of the fixed objective lens
insertable and ejectable object cartridge ίο used, the one receiving the object,
has the effective lens area facing slide, one contact surface of which
against a corresponding surface of the fixed lens in the operating position by one assigned to the object cartridge
Spring presses. With this design, the objective lens, which is sensitive with regard to its adjustment, can
remain unchanged when changing objects. Due to the special nature of the one and the other independent of objective lens parts
ejectable slide ensures that there are vibrations during the recording
can not have an adverse effect. In the invention, an object cartridge is any holding device that is designed in any way
understand that can be fed in and out together with the object. The this
Holding device associated spring, which is used to press the actual slide
is used against the objective, it will preferably be arranged within the object cartridge.
One can realize the invention in such a way that the firmly with the object
connected slides against the pressure of a spring axially displaceable in the cartridge
is held. You can then choose, for example, the arrangement so that the slide
on the side facing the objective lens protrudes from the cartridge and in the
Operating position pressed with a contact surface against a corresponding surface of the lens
will.
Ein Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung ist in der Abbildung dargestellt. Die Abbildung
zeigt einen Querschnitt durch den oberhalb des Objektivs befindlichen Teil eines
Elektronenmikroskops. Mit 1 ist die feststehende Schleusenwand des Mikroskops bezeichnet,
in welchem sich eine Einschleusöffnung 23 befindet. Zum Einschleusen des Objekts dient eine an sich bekannte, als
Hahnküken ausgebildete drehbare Schleuse 2. Diese weist eine Schleusenkammer 3 auf, in
welche das Objekt gebracht werden kann. Die Patrone besteht aus der Hülse 4. dem Ring ~
und dem eigentlichen Objektträger 11. Die Abbildung zeigt die Objektpatrone in der Betriebslage, in welcher die Patrone mit Hilfe
einer Antriebsstange 5 in Richtung auf das : Objektiv 6 hin entgegen der Wirkung einer ■
Feder S aus der Schleusenkammer 3 herausge j drückt ist. Die Feder 8 legt sich dabei gegen
den oberen Haltering 7 der Patrone. Zum Ausschleusen wird die Antriebsstange nach
oben hin verstellt, so daß die Patrone unter Wirkung der Feder 8 in die Schleusenkammer
3 zurücktritt. Danach kann die Schleuse 2 im Uhrzeigersinn so gedreht werden, daß die
untere Öffnung der Schleusenkammer 3 der Öffnung 23 unmittelbar gegenübersteht. In
dieser Ausschleuslage kann man die Patrone zum Objektwechsel aus der Schleusenkammer
entnehmen. In das Innere der Patrone ist eine Feder 9 eingebaut, die gegen den eigentlichen
unteren Teil der Patrone befestigten Objektträger drückt. Der Objektträgerfilm ist in bekannter
Weise auf eine Objektblende 10 aufgebracht. Diese Blende ist in dem eigentlichen
Objektträger 11 eingesetzt und mit Hilfe der Schraube 12 festgeklemmt. Die Schraube 12
ragt in der aus der Abbildung ersichtlichen Weise oben aus dem Halter 11 heraus; auf sie
ist ein Führungsteil 13 aufgeschraubt, gegen den die Feder 9 drückt. Bei 14 sind im Innern
der Patrone Stege vorgesehen, in welche entsprechende Schlitze 15 passen. Diese
Schlitze sind in dem Führungsteil 13 ausgespart. Außerhalb des Betriebszustandes drückt
also die Feder 9 den Führungsteil 13 bis zum Anschlag 16 nach unten. Dabei sorgen die
Schlitze 15 und die Stege 14 dafür, daß der Führungsteil 13 beim Aufschrauben der
Schraube 12 sich nicht verdrehen kann. In der dargestellten Betriebslage legt sich der Halter
11 mit seiner Anlagefläche 17 gegen eine entsprechende
Fläche 18 des oberen PolschuhesAn embodiment according to the invention is shown in the figure. The figure shows a cross section through the part of an electron microscope located above the objective. 1 with the fixed lock wall of the microscope is designated, in which an inlet opening 23 is located. A rotatable sluice 2, which is known per se and is designed as a cock plug, is used to introduce the object. This has a sluice chamber 3 into which the object can be brought. The cartridge consists of a sleeve 4. the Ring ~ and the actual slide 11. The figure shows the object cartridge in the operating position in which the cartridge with the aid of a drive rod 5 in the direction of the: objective lens 6 towards against the action of a ■ spring S out of the lock chamber 3 is pushed out j. The spring 8 rests against the upper retaining ring 7 of the cartridge. For the discharge, the drive rod is adjusted upwards so that the cartridge moves back into the lock chamber 3 under the action of the spring 8. The lock 2 can then be rotated clockwise so that the lower opening of the lock chamber 3 is directly opposite the opening 23. In this discharge position, the cartridge can be removed from the lock chamber to change the object. A spring 9 is built into the interior of the cartridge and presses against the slide attached to the actual lower part of the cartridge. The slide film is applied to a slide 10 in a known manner. This diaphragm is inserted in the actual slide 11 and clamped in place with the aid of the screw 12. The screw 12 protrudes from the top of the holder 11 in the manner shown in the figure; a guide part 13 is screwed onto it, against which the spring 9 presses. At 14 webs are provided in the interior of the cartridge, into which corresponding slots 15 fit. These slots are recessed in the guide part 13. Outside of the operating state, the spring 9 presses the guide part 13 down to the stop 16. The slots 15 and the webs 14 ensure that the guide part 13 cannot rotate when the screw 12 is screwed on. In the operating position shown, the holder 11 rests with its contact surface 17 against a corresponding surface 18 of the upper pole piece
19 der elektromagnetischen Objektivlinse. Mit19 of the electromagnetic objective lens. With
20 ist der bildseitige Polschuh, dessen Innenbohrung
einen kleineren Durchmesser hat, als die des objektseitigen Polschuhes bezeichnet.
Zwischen den Teilen 13 und der Hülse4 ist bei20 is the image-side pole piece, its inner bore
has a smaller diameter than that of the object-side pole piece.
Between the parts 13 and the sleeve 4 is at
21 ein geringfügiges Spiel zugelassen. Mit 22 ist ein Führungskörper bezeichnet, in den die
Patrone in der Betriebslage hineingedrückt ist. Erschütterungen, welche ein Schwingen
zwischen der Objektivlinse und dem Hahnküken 2 zur Folge haben können, werden bei
dieser Anordnung keine Bildfehler mehr hervorrufen, weil der Objekthalter in der dargestellten
Betriebslage durch die Feder 9 fest gegen den oberen Polschuh 19 gedrückt ist.
Relativbewegungen zwischen dem Objektträger und dem Objektiv sind somit nicht mehr
möglich. Man kann die Erfindung auch sinn gemäß anwenden bei Ionenmikroskopen.21 allowed a minor game. At 22, a guide body is referred to, in which the
Cartridge is pushed in in the operating position. Vibrations that swing
between the objective lens and the cock plug 2 can result in
this arrangement no longer cause image errors, because the object holder in the illustrated
Operating position is pressed firmly against the upper pole piece 19 by the spring 9.
Relative movements between the specimen slide and the objective are therefore no longer there
possible. The invention can also be used appropriately in ion microscopes.
Pate ν ta\s P R Cc H E:Pate ν ta \ s P R Cc H E:
i. Elektronenmikroskop, dessen Objektträger zwecks Verhinderung der Relativ
bewegungen zwischen Objekt und Objektivlinse bei der Objektuntersuchung
federnd gegen einen Teil der Objektiv-i. Electron microscope, its slide in order to prevent the relative
movements between the object and the objective lens when examining the object
resiliently against part of the lens
linse gedrückt wird, gekennzeichnet durch eine unabhängig von der feststehenden Objektivlinse
ein- und ausschleusbare Objektpatrone, die einen das Objekt aufnehmenden,
dem wirksamen Linsenbereich zugewendeten Objektträger aufweist, dessen eine Anlagefläche gegen eine entsprechende
Fläche des feststehenden Objektivs in der Betrieibslage durch eine der Objektpatrone zugeordnete Feder drückt.
Lens is pressed, characterized by an independent of the fixed objective lens
object cartridges which can be inserted and removed and which receive the object,
has the effective lens area facing slide, one of which is against a corresponding contact surface
Presses surface of the fixed lens in the operating position by a spring assigned to the object cartridge.
2. Anordnung nach Anspruch 1I, gekennzeichnet durch eine in der Strahl richtung
aus der Schleusenkammer in die Betriebsstellung axial verschiebbare Objektpatrone
mit einem auf der Seite des Objektivs herausragenden federnd abgestützten Objekthalter.2. Arrangement according to claim 1 I, characterized by one in the beam direction from the lock chamber in the operating position axially displaceable object cartridge with a resiliently supported object holder protruding on the side of the lens.
3. Anordnung nach Anspruch ι oder 2, da/durch gekennzeichnet, daß der Objektträger
in der Betriebs stellung gegenüber der Patrone quer zur Achse Spiel hat und gegenüber dem Objektiv mit Hilfe der
Objektpatrone oder mit Hilfe von unmit-_ telbar am Objektträger angreifenden Verstellvorrichtungen
auf der Anlagefläche zu verschieben ist.3. Arrangement according to claim ι or 2, characterized in that the slide
in the operating position opposite the cartridge transversely to the axis game and opposite the lens with the help of
Object cartridge or with the aid of adjusting devices which act directly on the object slide
is to be moved on the contact surface.
Zur Abgrenzung des Erfmdungsgegenstands vom Stand der Technik ist im Erteiltmgsverfahren
folgende Druckschrift in Betracht gezogen worden:To differentiate the subject matter of the invention from the state of the art is in the granting procedure
the following publication has been considered:
v. A r d e η η e , Manfred, »Elektronen-Übermikros'kopie«,
Berlin 1940, S. 141 u. 284.v. A r d e η η e, Manfred, "Electron microscopy",
Berlin 1940, pp. 141 and 284.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings
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