DE721624C

DE721624C - Arrangement for feeding photographic plates into corpuscular beam vessels, especially in electron microscopes or Braun tubes

Info

Publication number: DE721624C
Application number: DEL96775D
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Hans Mahl
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1939-01-08
Filing date: 1939-01-08
Publication date: 1942-06-11

Description

Anordnung zum Einschleusen photographischer Platten in Korpuskularstrahlgefäße, insbesondere in Elektronenmikroskope oder Braunsche Röhren Es sind bereits Anordnungen zum Einschleusen photographischer Plätten in Korpuskularstrahlgefäße.; wie etwa - Elektronenmikro,skopie oder Braunsche Röhren, bekannt, bei denen die Platten meine oder mehrere, Schleusenkammern eingesetzt, die Schleusenkammern alsdann mit einem ;ein Vorvakuum enthaltenden Raum und .schließlich mit dem hochevakuiertenKorpuskularstrahlgefäß inVerbindung gebracht werden.Arrangement for introducing photographic plates into corpuscular beam vessels, especially in electron microscopes or Braun tubes. There are already arrangements for introducing photographic plates into corpuscular beam vessels .; such as - Electron microscope, scopy or Braun tubes, known where the plates mean or several lock chambers are used, the lock chambers then with one ; a space containing a forevacuum and finally with the highly evacuated corpuscular jet vessel be brought into connection.

Diese bekannten Einrichtungen sind indes so beschaffen:, daß, die Schleusenkammern nur je eine Platte aufzunehmen vermögen: Es sind daher zum Einschleusen mehrerer Platten mehrere Schleusenkammern nötig, wenn man es. nicht vorzieht, mehrere Platten hintereinander über eine einzige Schleusienkammer einzuschleusen. Im letzteren Falle ist die zur Verfügung stehende Schleusenkammer für jede Platte eigens vorzuevakuieren. Die Verwendung mehrerer Schleusenkammern oder nur einer Schleusenkammer, die nur eine Platte aufzunehmen vermag, stellt aber eine verhältnismäßig großen technischen Aufwand o dar.These known devices are, however, designed in such a way that the lock chambers are only able to accommodate one plate each. does not prefer to smuggle in several plates one after the other through a single lock chamber. In the latter case, the available lock chamber must be pre-evacuated separately for each plate. The use of several lock chambers or only one lock chamber that can only accommodate one plate, however, represents a relatively high technical effort o.

Dieser Übelstand soll durch die vorliegende Anordnung behoben werden. Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß ges zur Behebung des geschilderten Nachteils nicht genügt, um mehrere Platten in einer ' einzigen, hinreichend großen Schleusenkammer irgendwie anzuordnen, sondern daß. @es bei der Anordnung darauf ankommt, daß jede einzelne Platte bei der Vorevakuerung des Schleusenraumes gut :entlüftet werden kann, was bei Platten, die in üblichen- Kassetten angeordnet und deren Kassetten unmittelbar aufeinandergelegt sind, nicht der Fall ist.This drawback is intended to be remedied by the present arrangement. The invention is based on the knowledge that tot to remedy the described Disadvantage is not enough to have several panels in a 'single, sufficiently large To arrange lock chamber somehow, but that. @es when arranging on it What matters is that every single plate is good when the lock chamber is pre-evacuated : can be vented, which is the case with plates that are arranged in conventional cassettes and whose cassettes are placed directly on top of one another is not the case.

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anord,. nung zum Einschleusen photographischer i Platten in Korpuskularstrahlgefäße, insbesondereElektronenmikroskope oder Braunsche Röhren, bei welcher die Platten ineine Sch1eusenkammer einzuführen, die Schleusenkammer alsdann vorzuevakuieren und schließlich mit dem hochevakuierten Korpuskularstrahlgefäß in Verbindung zu bringen sind. Erfindungsgemäß sind bei der Anordnung der vorliegenden Art die einzelnen Platten in Rahmen befestigt und die Rahmen in der Schleusenkammer übereinandergestap,elt, so daß sich benachbarte Platten überhaupt nicht und benachbarte Rahmen nur längs der verhältnismäßig geringen Rahmenfläche berühren, und eine Federanordnung bewirkt, da.ß sich der oberste Rahmen des Stapels stets vor dem Einschl@eu.skanal zum Korpuskularstrahlgefäß befindet.The invention relates to an arrangement. opening for smuggling photographic plates in corpuscular beam vessels, in particular electron microscopes or Braun tubes, in which the plates are inserted into a lock chamber, then to pre-evacuate the lock chamber and finally with the highly evacuated one Corpuscular jet vessel are to be brought into connection. According to the Arrangement of the present type, the individual panels fixed in frames and the Frames stacked on top of each other in the lock chamber, so that adjacent panels not at all and neighboring frames only along the relatively small frame area touch, and a spring arrangement causes the top frame of the stack is always located in front of the Einschl@eu.skanal to the corpuscular jet vessel.

Die vorliegende Anordnung sei näher an Hand der in den Abbildungen in zum Teil schematischer Form wiedergegebenen Ausführungsbeispiele erläutert. In Abb. i bezeichnet i ein aus Metall, etwa Messing, bestehendes Korpuskularstrahlge:fäß, beispielsweise ein Elektronenmikroskop. Die Einschleuskamm-er ist mit 2 gekennzeichnet. Sie besteht aus einem metallenen Gefäß; welches durch hier nicht dargestellte Schrauben und Abdichtungsringe aus Gummi luftdicht mit dem Ko.rpuskular strahlgefäß verbunden ist. In der Schleusenkammer sind die photographischen Platten mit ihren Rahmen mit 3 bis 5 bezeichnet. Sie sind übereinander angeordnet, und der ganze Stapel der Rahmen und Platten ruht auf einer federnden perforierten Platte 6, die auf Federn 7, ä, 9 ruht, welche mit der unteren Wand der Kammer verbunden sind. Diese federnde Platte bewirkt, daß stets der oberste Rahmen mit seiner Platte, der in diesem Falle das Bezugszeichen 3 trägt, sich vor dem Einschleuskanal2o zum KorpuskularstrahIgefäß befindet. Dieser Einschleuskanal führt durch die Bohrung 12 eines Hahnkegels i i, welcher in einem Körper io drehbar angeordnet ist. Durch Drehen des Hahnkegels kann dieser in eine Stellung gebracht werden, in welcher seine Bohrung die durch die gestrichelten Linien 13 angedeutete Lage einnimmt und einen Weg 1 4. zum Schleusenraum 2 öffnet, über welchen der Schleusenraum vorzuevakuieren ist, bevor die Platten in das Gefäß i transportiert werden. Eine dritte, hier nicht eingezeichnete St°llung des Hahnkegels erlaubt es schließlich, sowohl das Gefäß i wie auch den Schleusenraum 2 und die mit 1 4. in Verbindung stehende Vorvakuumpumpe luftdicht voneinander zu trennen. Der Halmkegel i i und der Körper io sollen aus Metall, vorzugsweise aus Messing, bestehen: der Hahnkegel i i ruht selbstverständlich in einem eingefetteten Lager.The present arrangement is closer to that in the figures explained in partly schematic form reproduced embodiments. In Fig. I denotes a corpuscular beam made of metal such as brass: vessel, for example an electron microscope. The entry chamber is marked with a 2. It consists of a metal vessel; which by screws not shown here and sealing rings made of rubber are airtightly connected to the corpuscular jet vessel is. In the lock chamber are the photographic plates with their frames 3 to 5 designated. They are arranged on top of each other, and the whole stack of frames and plates rests on a resilient perforated plate 6, which on springs 7, ä, 9 rests, which are connected to the lower wall of the chamber. This springy plate has the effect that the top frame with its plate, which in this case is the Reference numeral 3 is located in front of the inlet channel2o to the corpuscular jet vessel is located. This inlet channel leads through the bore 12 of a cock cone i i, which is rotatably arranged in a body io. By turning the stopcock plug you can this are brought into a position in which its bore through the position indicated by dashed lines 13 and a path 1 4th to the lock room 2 opens, via which the lock space is to be pre-evacuated before the plates be transported into the vessel i. A third position, not shown here Finally, the stopcock cone allows both the vessel i and the lock space 2 and the backing pump connected to 1 4. are airtight from one another separate. The stalk cone i i and the body io should be made of metal, preferably made of Brass, consist: the cock cone i i rests naturally in a greased one Camp.

. Die Platten und die zu ihnen gehörigen Rahmen sind in den Abb. 2 und 3 beisPiel.sweise wiedergegeben. Hierin ist ein zur Verwendung gelangender Plattenrahmen mit 22 bezeichnet. Er kann aus Messing bestehen. Auf ihn ist die photographische Platte 2 i zu legen. Abb. 3 stellt .einen Schnitt durch Platte und Rahmen längs der in Abb.2 gestrichelt gezeichneten Linie :a#a dar. Man erkennt aus beiden Abbildungen, d:aß sich Platte und Rahmen nur längs der verhältnismäßig geringen Fläche des Rahmens berühren, so daß es sehr einfach ist und keine Schwierigkeiten bereitet, ein solches System von Platte und Rahmen in der Schleusenkammer 2 einwandfrei zu .entlüften. Dies würde jedoch nicht der Fall sein., wenn statt des Rahmens der vorliegenden Art eine der üblichen Kassetten verwendet würde, welche die Platte wenigstens auf der einen Seite vollkommen umgibt. Die Anordnung von Platte und Rahmen, wie sie gemäß der Erfindung angewend°t werden soll, gewährleistet :es auch, daß der ganze Rahmenstapel in der Schleusenkamm°r 2 eine Anordnung darstellt, welche sich hesond-ers einfach entlüften läßt. Diese Anordnung läß.t nämlich eine Berührung einzelner Platten überhaupt nacht und die Berührung der Rahmen nur längs der verhältnismäßig geringen Fläche dieser Rahmen zu, so daß es in der ganzen Anordnung keine Teile gibt, deren Entlüftung Schwierigkeiten bereiten könnte. Hierbei ist auch zu beachten, daß die federnde Platte 6 längs ihrer ganzen Fläche perforiert sein soll, um die Entlüftung der Schleusenkammer zu befördern.. The panels and their frames are shown in Fig. 2 and 3 reproduced by way of example. A panel frame to be used is here denoted by 22. It can be made of brass. On him is the photographic Place plate 2 i. Fig. 3 shows a longitudinal section through the plate and frame the dashed line in Fig.2: a # a. You can see from both figures, d: the plate and frame ate each other only along the relatively small surface of the frame touch so that it is very easy and does not cause any difficulty to do so The system of plate and frame in the lock chamber 2 must be properly ventilated. However, this would not be the case if instead of the scope of the present Kind of one of the usual cassettes would be used, which the plate at least on one side completely surrounds. The arrangement of the plate and frame, like them is to be applied according to the invention ensures: it also ensures that the whole Frame stack in the Schleusenkamm ° r 2 represents an arrangement, which hesond-ers can simply be vented. This arrangement allows individual plates to be touched at night in general and the contact with the frame only along the comparatively small ones Area of this frame so that there are no parts in the whole arrangement whose Difficulty venting. It should also be noted that the resilient plate 6 should be perforated along its entire surface to allow ventilation to convey the lock chamber.

Das Einschleusen der Platten geht so vor sich, daß der ganze Plattenstapel mit den zugehörigen Rahmen auf einmal durch einen (hier nicht dargestellten) Verschluß der Schleusenkammer 2 in diese gebracht wird. Die Federanordnung, bestehend aus den Elementen 6 bis 9, sorgt dafür, daß sich stets der oberste Rahmen vor dem Eingang zum Korpu.skularstrahlgefäß befindet. Bevor nun die Platten nacheinander in das KorpuskularstrahIgefäß eingebracht werden, wird der Schleusenraum vorevakuiert. Alsdann wird die oberste Platte zusammen mit ihrem Rahmen durch die Transportritzel 15 in das Entladungsgefäß zur photographischen Aufnahme bewegt und nach erfolgter Aufnahme durch ein weiteres Transportritzel 15 in eine zweite Schleusenkammer 17 geführt, wo die Platten aufbewahrt werden. i8 und i9 stellen bereits belichtete Platten mit ihren Rahmen dar. Die zur Kammer 17 gehörige Einschleusvorrichtung 16 - kann genau so beschaffen sein wie die aus den Elementen i o bis i q. bestehende Vorrichtung.The sluicing in of the plates is done in such a way that the entire stack of plates with the associated frame at once by a lock (not shown here) the lock chamber 2 is brought into this. The spring assembly consisting of elements 6 to 9, ensures that the top frame is always in front of the entrance to the corpus ocular jet vessel is located. Before inserting the panels into the KorpuskularstrahIgefäß are introduced, the lock space is pre-evacuated. Then the top plate is together with its frame by the transport pinion 15 moved into the discharge vessel for photographing and after Receipt by a further transport pinion 15 in a second lock chamber 17 where the plates are kept. i8 and i9 are already exposed Plates with their frames. The infeed device 16 belonging to the chamber 17 - can be exactly like those from the elements i o to i q. existing device.

Es kann zweckmäßig sein, die einzelnen Plattenrahmen am Rand sägezahnförmig auszugestalten, derart, daß die Transportritzel in die Sägezähne der Rahmeneingreifen und diese so ohne weiteres in Bewegung versetzen können.It can be useful to have the individual plate frames sawtooth-shaped at the edge design in such a way that the transport pinions engage in the saw teeth of the frame and can easily set them in motion.

Claims

PATENT CLAIMS: i. An arrangement for introducing photographic plates into the corpuscular beam vessel, e, in particular in electron microscopes or Braun's tubes, in which the plates are to be introduced into a lock chamber, then pre-evacuated the lock chamber and finally to bring it into connection with the highly evacuated corpuscular beam vessel, characterized in that .ß the individual panels are fixed in frames and the frames are stacked in the lock chamber so that adjacent panels do not touch at all and adjacent frames only touch along the relatively small frame surface, and that a spring arrangement causes the top frame of the stack to always touch located in front of the channel to the corpuscular jet vessel.

2. Arrangement according to claim i, characterized in that that the spring arrangement consists of a perforated, resilient plate on which the frames with the photographic plates are arranged.

3. Arrangement according to claim i or 2, characterized by a second lock chamber, which the exposed Records plates with their frames. q .. arrangement according to claim i or the following, characterized in that for moving the frame into and out of the corpuscular jet vessel Transport pinions are provided, which on the preferably toothed frame edge attack. Arrangement according to claim i or the following, characterized in that, ß for connecting the lock chamber and the corpuscular jet vessel, a cock with a pierced one Cock cone is used, by means of which the Schleusünkammer at the same time to a backing pump is to be connected.