DE69937251T2 - Vorrichtung zur messung eines mediums unter druck - Google Patents

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung mindestens eines charakteristischen Parameters eines Mediums, das unter hohem Druck und wahlweise auch bei hoher Temperatur durch eine Wand eines Druckgehäuses oder einer druckfesten Strömungsführung begrenzt wird, wobei in der Wand in Querrichtung ein Durchgangsloch oder ein durchgehender Schlitz ausgeschnitten ist, wobei durch das Loch oder den Schlitz eine Verbindung zu mindestens einem Sensor geführt wird, der auf den mindestens einen Parameter anspricht, und wobei der Sensor und dessen elektrische Verbindung durch ein glaskeramisches Material gegen das Material der Wand elektrisch isoliert und an der Wand verankert werden.
  • Eine Vorrichtung dieser Art ist unter anderem aus dem US-Patent 4587840 bekannt, wo der Sensor aus einer druckempfindlichen Widerstandsschicht an der dem unter Druck stehenden Medium zugewandten Oberfläche des glaskeramischen Materials besteht.
  • Vorbekannt sind auch weitere Vorrichtungen, bei denen kapazitive Sensoren in der Wand angeordnet sind, gewöhnlich mit einem Kunststoffmaterial als Isolierung zwischen der Sensorelektrode und der Wand sowie dem Medium. Kunststoff ist jedoch für diesen Zweck ungeeignet, wenn ein Medium unter hohem Druck steht, und besonders auch bei hoher Temperatur, und wenn die Wand zum Beispiel aus einem anderen Material als Kunststoff besteht, wie z. B. aus Stahl.
  • Vorbekannt ist auch die Anordnung kapazitiver Sensoren hinter Glas, z. B. Glasscheiben, aber dieses Verfahren wird typischerweise in Umgebungen angewandt, wo auf beiden Seiten der Glasscheibe annähernd gleicher Druck herrscht. Bekannt ist außerdem, daß, wenn derartige kapazitive Sensoren an der Rückseite von Glaselementen, z. B. von Glasscheiben, angebracht werden, wobei auf gegenüberliegenden Seiten der Glasscheibe eine erhebliche Druckdifferenz besteht, die Dicke der Glasscheibe eine Funktion der Druckdifferenz ist, um einen Bruch des Glases zu verhindern. Es ist jedoch auch bekannt, daß die Empfindlichkeit des kapazitiven Sensors in solchen Fällen mit zunehmender Wanddicke beträchtlich abnimmt. Die vorliegende Erfindung ermöglicht eine Lösung dieses Problems auf einfache und effiziente Weise.
  • Ein erster Aspekt der Erfindung ist in Anspruch 1 definiert. Das Gehäuse oder die Strömungsführung weist einen Sensor auf, der aus mindestens einer kapazitiven Sensorelektrode besteht, die durch ein glaskeramisches Material gegen das Medium elektrisch isoliert ist, wobei das glaskeramische Material, das sowohl die Sensorelektrode(n) als auch die Verbindungen umgibt und das Loch oder den Schlitz hermetisch abdichtet, homogen ist.
  • Weitere Ausführungsformen des ersten Aspekts der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen 2–6 definiert.
  • Der dem Druckmedium zugewandte Teil der Sensorelektrode besteht aus einer elektrisch leitenden Schicht, Folie oder einem elektrisch leitenden Film und ist kreisförmig, ringförmig, rund, oval, rechteckig oder polygonal geformt.
  • Die Vorrichtung ist zur Verwendung besonders gut geeignet, wenn die Wand in dem Druckgehäuse oder Strömungsrohr aus Stahl oder einem anderen druckfesten, vorzugsweise elektrisch leitenden Material besteht.
  • Die Dicke des glaskeramischen Materials, das die Sensorelektrode von dem Druckmedium trennt, liegt vorzugsweise im Bereich von 0,1 μm–10 mm, und die minimale Dicke des glaskeramischen Materials, das die Sensorelektrode von dem Wandmaterial trennt, liegt im Bereich von 0,1 μm–10 mm.
  • Ferner ist die Sensorelektrode mit einem Sensoreingang an einer kapazitätsempfindlichen Signalverarbeitungsschaltung verbunden, und das Wandmaterial ist mit einem Referenzeingang an der Signalverarbeitungsschaltung verbunden.
  • Ein zweiter Aspekt der Erfindung ist in Anspruch 7 definiert. Die darin definierte Vorrichtung weist ein Sensorelement auf, das Teil eines kapazitiven Drucksensors zur Messung des Drucks in dem Medium oder eines Kavitationseffekts ist, der durch Verunreinigungen, wie z. B. Sand, in dem Medium bei dessen Bewegung in dem Druckgehäuse oder der Strömungsführung verursacht wird, wobei das Sensorelement aus mindestens einer Sensorelektrode besteht, und wobei das glaskeramische Material, das mindestens eine Oberfläche der Sensorelektrode und die Verbindungen umgibt und das Loch oder den Schlitz hermetisch abdichtet, homogen ist, und wobei der Drucksensor außerdem eine Referenzelektrode einschließt, die in galvanischem Kontakt mit dem Wandmaterial steht, wobei die Sensorelektrode und die Referenzelektrode voneinander beabstandet sind und zusammen ein dielektrisches Fluid, z. B. Luft, ein Gas oder Gelmaterial, oder ein dielektrisches, elastisch nachgebendes Element einschließen. Weitere Ausführungsformen des zweiten Aspekts der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen 8–20 definiert.
  • Der dem Druckmedium zugewandte Teil der mindestens einen Sensorelektrode besteht aus einer elektrisch leitenden Schicht, Folie oder einem elektrisch leitenden Film oder dergleichen, und die Referenzelektrode ist galvanisch mit der dem Druckmedium zugewandten Kante des Lochs oder Schlitzes oder mit der Wand des Lochs oder Schlitzes verbunden.
  • Die Wand des Druckgehäuses oder der Strömungsführung besteht vorzugsweise aus Stahl oder einem anderen druckfesten, elektrisch leitenden Material.
  • Die Referenzelektrode kann zum Beispiel in dem Loch oder Schlitz in einem Abstand von deren Öffnung auf der Druckseite angebracht werden, wobei die Referenzelektrode auf ihrer dem Druckmedium zugewandten Seite in dieser Lösung mit einer Schicht aus glaskeramischem Material überzogen ist, die den gesamten Querschnitt des Lochs oder Schlitzes bedeckt, wobei das Material vorzugsweise mit der Druckseite des Druckgehäuses oder der Strömungsführung bündig ist. Die Referenzelektrode kann an dem Druckgehäuse oder dem Strömungsrohr angeschweißt, angeschraubt oder durch Schnappbefestigung angebracht werden.
  • Die Sensorelektrode ist auf ihrer dem Druckmedium zugewandten Seite vorteilhafterweise mit einer Schicht aus glaskeramischem Material überzogen, die den gesamten Querschnitt des Lochs oder Schlitzes bedeckt, wobei das Material und das übri ge homogene glaskeramische Material vorzugsweise einheitlich zusammengesetzt sind.
  • Die Dicke der Schicht aus dem glaskeramischen Material, welche die Referenzelektrode von dem Druckmedium trennt, liegt im Bereich von 0,1 μm–10 mm. Entsprechend kann die Dicke der Schicht aus dem glaskeramischen Material, welche die Sensorelektrode von dem dielektrischen Fluid oder Element trennt, im Bereich von 0,1 μm–10 mm liegen.
  • Die Mindestdicke des glaskeramischen Materials, das die Sensorelektrode von dem Wandmaterial trennt, liegt im Bereich von 0,1 μm–10 mm.
  • Die Sensorelektrode ist mit einem Sensoreingang an einer kapazitätsempfindlichen Signalverarbeitungsschaltung verbunden, und die Referenzelektrode ist über das Wandmaterial mit einem Referenzeingang an der Signalverarbeitungsschaltung verbunden.
  • Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert.
  • 1 zeigt eine schematische Darstellung der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 2 zeigt verschiedene Formen des Sensors.
  • 3 zeigt eine alternative Elektrodenkonfiguration für die erfindungsgemäße Vorrichtung.
  • 4 zeigt genauer alternative, unterschiedliche Konfigurationen des Sensors.
  • 5 zeigt die Anwendung der Grundgedanken der Erfindung in Verbindung mit einem kapazitiven Drucksensor mit zugehöriger Signalverarbeitungseinheit.
  • 6 zeigt eine Variante der Lösung gemäß 5.
  • 7 zeigt eine Modifikation der Ausführungsform gemäß 6.
  • Die vorliegende Vorrichtung ist für die kapazitive Messung eines Mediums 1 vorgesehen, das unter einem hohen Druck PH steht und wahlweise außerdem eine hohe Temperatur TH aufweist, wobei das Medium durch eine Wand 2 in einem Druckgehäuse oder einer druckfesten Strömungsführung begrenzt wird, wenn das Medium zum Beispiel durch eine Rohrleitung geleitet wird. In der Wand 2 ist quer dazu mindestens ein Durchgangsloch 3 oder ein durchgehender Schlitz ausgeschnitten. Ferner ist in dem Loch eine Sensorelektrode 4 angebracht, die durch ein glaskeramisches Material 5, das sich von der Druckseite 2' der Wand und ganz oder teilweise durch das Loch oder den Schlitz 3 erstreckt, gegen das Material der Wand 2 und das Medium 1 elektrisch isoliert und an der Wand 2 verankert ist. Die Sensorelektrode 4 ist über die Leitung 6 mit einer kapazitätsempfindlichen Signalverarbeitungsschaltung 7 verbunden. Die Schaltung 7 stellt außerdem über die Leitung 8 einen galvanischen Kontakt mit der Wand 2 her. Wenn ein Kapazitätswert gemessen wird, der auf das Medium zurückzuführen ist, kann die Schaltung 7 an ihrem Ausgang 9 ein charakteristisches Signal aussenden.
  • In der in 3 dargestellten alternativen Ausführungsform besteht der Sensor aus zwei kapazitiven Sensorelektroden 10, 11, die über entsprechende Verbindungen 12, 13 mit der kapazitätsempfindlichen Signalverarbeitungsschaltung 7 verbunden sind. Außerdem kann die Schaltung 7 gleichfalls über die Leitung 8 in galvanischem Kontakt mit der Wand 2 stehen, wie in Verbindung mit 1 dargestellt und beschrieben wird.
  • Die Wand 2 besteht vorzugsweise aus Stahl oder einem anderen elektrisch gut leitenden Material.
  • Die Dicke des glaskeramischen Materials 5', das die Sensorelektrode 4 von dem Medium 1 trennt, liegt vorzugsweise im Bereich von 0,1 μm–10 mm.
  • Die Mindestdicke des glaskeramischen Materials 5'', das die Sensorelektrode von dem Wandmaterial trennt, liegt vorzugsweise im Bereich von 0,1 μm–10 mm.
  • 2 zeigt alternative Ausführungsformen der Sensorelektrode 4. 2a zeigt die Sensorelektrode mit ovaler Form. In den 2b und 2c ist die Sensorelektrode rund bzw. kreisförmig. In 2d ist die Sensorelektrode rechteckig geformt, während die in 2e dargestellte Sensorelektrode polygonal geformt ist.
  • Man wird erkennen, daß das glaskeramische Material als Dielektrikum im Kontakt mit dem zu messenden Medium 1 verwendet wird, während das glaskeramische Material 5 eine Druckabdichtung in dem Loch 3 bildet. Das glaskeramische Material bildet normalerweise über die Wände des Lochs 3 eine gute chemische und mechanische Verankerung an der Wand 2 aus. Daher wird eine gute hermetische Abdichtung erzielt, und gleichzeitig funktioniert das glaskeramische Material hervorragend als Dielektrikum.
  • 4 zeigt einige weitere alternative Ausführungsformen des Sensors, der in diesem Fall aus den kapazitiven Sensorelektroden 10, 11 besteht. Die Sensorelektroden können, wie in 4a angedeutet, aus zwei hintereinander angeordneten langgestreckten Elementen bestehen. 4b läßt erkennen, daß die Elemente konzentrisch sein können, wobei das Element 10 beispielsweise rund ist, während das Element 11 annähernd ringförmig ist. 4c läßt erkennen, daß die zwei Elektrodenelemente 10, 11 langgestreckt und parallel zueinander angeordnet sein können.
  • Innerhalb des Umfangs der Erfindung sind natürlich weitere Varianten der in den 2 und 4 dargestellten Sensoren vorstellbar.
  • Die vorliegende kapazitive Meßvorrichtung gemäß den 14 könnte beispielsweise benutzt werden, um dielektrische Eigenschaften des Mediums, die Zusammensetzungen des Mediums oder Abweichungen von einem gegebenen Standard und wahlweise die Füllhöhe des Mediums in einem Druckbehälter zu messen.
  • Bei der in den 57a dargestellten Lösung ist ein kapazitiver Sensor verwendet worden, um den Druck in dem unter hohem Druck stehenden Medium 1 oder eine Kavitationswirkung zu messen, die durch Verunreinigungen, wie z. B. Sand, in dem Medium 1 bei dessen Bewegung in dem Druckgehäuse oder Strömungsrohr verursacht wird. Es ist unbedingt notwendig, den Druck im Medium 1 auf sichere und einfache Weise messen zu können, ohne bei einem Schaden in dem Druckmeßgerät das Risiko eines Druckdurchbruchs in dem Druckgehäuse oder dem druckfesten Strömungsrohr einzugehen.
  • Der Transport von Sand in einem Medium, wie z. B. in vom Meeresboden gewonnenen Erdölvorkommen, kann leicht zum Verschleiß oder zur Kavitation in einer unter konstantem Druck stehenden Strömungsführung führen und auf diese Weise die Druckfestigkeit vermindern. Es ist daher wichtig, die durch Verunreinigungen verursachte Kavitationswirkung in einem frühen Stadium messen zu können.
  • Wie in 5 dargestellt, weist der Drucksensor ein Sensorelement 15 auf, das aus mindestens einer Sensorelektrode besteht. Das glaskeramische Material 14, das mindestens eine Fläche der Sensorelektrode 15 und deren Anschluß 16 umgibt und das Loch 3 oder den Schlitz hermetisch abdichtet, ist als homogen vorauszusetzen. Der in 5 dargestellte Drucksensor weist eine Referenzelektrode 17 auf, die in galvanischem Kontakt mit dem Material der Wand 2 steht. Die Sensorelektrode 15 und die Referenzelektrode 17 sind voneinander beabstandet und schließen zusammen ein dielektrisches Fluid oder Element 18 ein, wobei das Fluid beispielsweise Luft, Gas oder ein Gelmaterial ist, was allerdings nicht als Beschränkung der Erfindung aufzufassen ist.
  • Die Referenzelektrode 17 ist über das Wandmaterial 2 und den Anschluß 21 mit der Signalverarbeitungsschaltung 19 verbunden. Der dem Druckmedium 1 zugewandte Teil der Sensorelektrode 15 besteht aus einer elektrisch leitenden Schicht, Folie oder einem elektrisch leitenden Film oder dergleichen. Die Referenzelektrode 17 ist galvanisch mit der dem Druckmedium 1 zugewandten Kante des Lochs oder Schlitzes, wie in 5 dargestellt, oder mit der Wand des Lochs oder Schlitzes verbunden, wie in den 6 und 7 dargestellt. Ebenso wie bei der Ausführungsform in den 14 besteht auch bei den Ausführungsformen in den 5, 6 und 7 die Wand des Druckgehäuses oder Strömungsrohrs 2 vorzugsweise aus Stahl oder einem anderen druckfesten, elektrisch leitenden Material.
  • Wie in 6 dargestellt, kann die Referenzelektrode, hier mit dem Bezugszeichen 22 bezeichnet, in dem Loch oder Schlitz 3 in einem Abstand von dessen druckseitiger Öffnung 3' angeordnet sein. Die Referenzelektrode 22 ist an ihrer dem Druckmedium 1 zugewandten Seite mit einer Schicht 23 aus keramischem oder glaskeramischem Material überzogen, das den gesamten Querschnitt des Lochs oder Schlitzes 3 bedeckt, und dieses zusätzliche keramische oder glaskeramische Material 23 ist vorzugsweise bündig mit der Druckseite 3'' des Druckgehäu ses oder Strömungsrohrs 2. Der Abstand zwischen der Sensorelektrode und der Referenzelektrode in 6 wird durch das Bezugszeichen 24 bezeichnet.
  • Wie in den 5, 6 und 7 dargestellt, kann die Referenzelektrode an das Druckgehäuse oder Strömungsrohr angeschweißt werden. Alternativ kann die Referenzelektrode, besonders in Verbindung mit der in den 6 und 7 dargestellten Ausführungsform, an das Druckgehäuse oder Strömungsrohr angeschraubt werden. Vorstellbar ist auch, daß die Referenzelektrode in dem Loch oder Schlitz in dem Druckgehäuse oder Strömungsrohr eingerastet werden kann. In 7 ist die Sensorelektrode 15 auf ihrer dem Druckmedium 1 zugewandten Seite vorzugsweise mit einer Schicht 14' aus glaskeramischem Material überzogen, die den gesamten Querschnitt des Lochs oder Schlitzes bedeckt. Dieses Material 14' und das andere, homogene glaskeramische Material 14 sind vorzugsweise gleichartig.
  • Die Dicke der Schicht 23 aus dem keramischen oder glaskeramischen Material, das die Referenzelektrode von dem Druckmedium 1 trennt, liegt vorzugsweise im Bereich von 0,1 μm–10 mm. Die Dicke der Schicht 14' aus dem glaskeramischen Material, das die Sensorelektrode 15 von dem dielektrischen Fluid oder Element 24 trennt, liegt vorteilhafterweise im Bereich von 0,1 μm–10 mm.
  • Die Mindestdicke des glaskeramischen Materials, das in radialer Richtung in dem Loch oder Schlitz 3 die Sensorelektrode 15 von dem Wandmaterial trennt, liegt vorteilhafterweise im Bereich von 0,1 μm–10 mm. Der Vorteil des Aufbringens eines keramischen oder glaskeramischen Materials 23 auf die Außenseite der Referenzelektrode 22 ist, daß das glaskeramische Material so hart ist, daß in dieser Schicht eine geringe oder gar keine Kavitationswirkung auftritt. Der Kavitationseffekt, den das Druckmedium 1 wegen Sand oder Grobsand im Druckmedium verursachen könnte, hat entweder eine direkte Auswirkung auf die Referenzelektrode 17, wie in 5 dargestellt, oder auf die Schicht 23, welche die Referenzelektrode 22 schützt, oder verursacht Kavitation oder Verschleiß an der Referenzelektrode, wie durch das Bezugszeichen 17 in 5 angedeutet. Im Fall einer Auswirkung entweder auf die Elektrode 17 oder auf die Schicht 23 und daher die Elektrode 22 verändert sich der Abstand in dem Zwischenraum zwischen der Sensorelektrode 15 und der Referenzelektrode 17; 22, wodurch eine Kapazitätsänderung verursacht wird, die durch die Signalverarbeitungsschaltung 19 registriert und zum Ausgang 20 der Schaltung 19 übertragen werden kann.
  • Im Fall einer Kavitationswirkung ändert sich die Dicke der Referenzelektrode 17 kontinuierlich, wodurch die Kapazitätsänderung gemessen werden kann, auch weil die Steifigkeit der Referenzelektrode 17 allmählich abnimmt und die Referenzelektrode daher weniger druckfest wird.

Claims (20)

  1. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung für ein Medium (1) unter hohem Druck, wobei das Gehäuse oder die Strömungsführung eine Vorrichtung zur Messung mindestens eines charakteristischen Parameters des genannten Mediums aufweist und die Vorrichtung beinhaltet: mindestens eine kapazitive Sensorelektrode (4, 10, 11), die in einem quer durch eine Wand (2) des Gehäuses bzw. der Strömungsführung ausgebildeten Durchgang (3) angeordnet ist, wobei die Elektrode (4, 10, 11) auf den mindestens einen charakteristischen Parameter des Mediums (1) anspricht; eine elektrische Verbindung (6, 12, 13), die in dem Durchgang (3) angeordnet ist und mit der mindestens einen Sensorelektrode (4, 10, 11) in dem Durchgang (3) verbunden ist; ein homogenes glaskeramisches Material (5), das sich um die mindestens eine Sensorelektrode (4, 10, 11) und die elektrische Verbindung (6, 12, 13) erstreckt und sich von der Druckseite (2') der Wand (2) und ganz oder teilweise durch den Durchgang (3) erstreckt und den Durchgang (3) hermetisch abdichtet und die mindestens eine Sensorelektrode (4, 10, 11) und die elektrische Verbindung (6, 12, 13) mit dem Material der Wand (2) verankert und die mindestens eine Sensorelektrode (4, 10, 11) und die elektrische Verbindung (6, 12, 13) von dem Material der Wand (2) und derartigem Medium (1) elektrisch isoliert, wenn sich derartiges Medium (1) in dem Druckgehäuse oder in der Strömungsführung befindet.
  2. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach Anspruch 1, wobei ein dem Medium zugewandter Teil der mindestens einen Sensorelektrode (4, 10, 11) aus einer elektrisch leitenden Schicht, Folie oder einem elektrisch leitenden Film besteht und die mindestens eine Sensorelektrode (4, 10, 11) kreisförmig, ringförmig, oval, rechteckig oder polygonal geformt ist.
  3. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach den Ansprüchen 1 oder 2, wobei das glaskeramische Material (5), das zur Trennung der Sensorelektrode (4, 10, 11) von dem Medium (1) ausgebildet (5') ist, in einer Richtung quer zur Wand (2) eine Dicke im Bereich von 0,1 μm bis 10 mm aufweist.
  4. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das glaskeramische Material (5) die Sensorelektrode (4, 10, 11) über einen Abstand im Bereich von 0,1 μm bis 10 mm vom Material der Wand (2) trennt (5'').
  5. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Wand (2) des Druckgehäuses oder der Strömungsführung aus Stahl besteht.
  6. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Sensorelektrode (4, 10, 11) mit einem Sensoreingang einer kapazitätsempfindlichen Signalverarbeitungsschaltung (7) verbunden ist; und die Wand (2) aus dem Material mit einem Referenzeingang an der Signalverarbeitungsschaltung (7) verbunden (8) ist.
  7. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung für ein Medium unter hohem Druck, wobei das Gehäuse oder die Strömungsführung eine Vorrichtung zur Messung mindestens eines charakteristischen Parameters des Mediums (1) aufweist, wobei der mindestens eine charakteristische Parameter der Druck eines derartigen Mediums (1) oder die durch Verunreinigungen im Medium (1) bei dessen Bewegung verursachte Kavitation ist und die Vorrichtung beinhaltet: mindestens eine kapazitive Sensorelektrode (15), die in einem quer durch eine Wand (2) des Gehäuses bzw. der Strömungsführung ausgebildeten Durchgang (3) angeordnet ist, wobei die Elektrode (15) auf den mindestens einen charakteristischen Parameter des Mediums (1) anspricht; einen elektrischen Anschluss (16), der in den Durchgang (3) angeordnet ist und mit der mindestens einen Sensorelektrode (15) in dem Durchgang (3) verbunden ist; ein homogenes glaskeramisches Material (14), das die elektrische Verbindung (16) umgibt und das die mindestens eine Sensorelektrode (15) oder mindestens eine Fläche derselben ganz umgibt; und eine Referenzelektrode (17, 22), die von der Sensorelektrode (15) durch ein dielektrisches Fluid oder dielektrisches Element (18, 24) getrennt ist und in galvanischem Kontakt mit dem Material der Wand (2) steht; wobei sich das homogene glaskeramische Material (14) von der mindestens einen Sensorelektrode (15) teilweise durch den Durchgang (3) zur dem Medium gegenüberliegenden Seite der Wand erstreckt und den Durchgang (3) hermetisch abdichtet und die mindestens eine Sensorelektrode (15) und die elektrische Verbindung (16) mit dem Material der Wand (2) verankert und die mindestens eine Sensorelektrode (15) und die elektrische Verbindung (16) gegenüber dem Material der Wand (2) elektrisch isoliert.
  8. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach Anspruch 7, wobei ein dem Medium (1) zugewandter Teil der mindestens einen Sensorelektrode (15) aus einer elektrisch leitenden Schicht, Folie oder einem elektrisch leitenden Film besteht und die Referenzelektrode (17) galvanisch mit dem dem Medium (1) zugewandten Rand des Durchgangs (3) oder mit der Wand des Durchgangs (3) verbunden ist.
  9. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 7 oder 8, wobei die Wand (2) des Druckgehäuses oder der Strömungsführung aus einem elektrisch leitenden, druckfesten Material besteht.
  10. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach Anspruch 9, wobei die Wand (2) des Druckgehäuses oder der Strömungsführung aus Stahl besteht.
  11. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei die Referenzelektrode (22) vom Medium (1) in einer Richtung quer zur Wand (2) durch eine Schicht (23) aus keramischem oder glaskeramischem Material getrennt ist, die den gesamten Querschnitt des Durchgangs (3) abdeckt.
  12. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach Anspruch 11, wobei das genannte keramische oder glaskeramische Material (23) bündig mit der dem Medium (1) zugewandten Seite des Wandmaterials verläuft.
  13. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach Anspruch 12, wobei die Dicke der Schicht aus keramischem oder glaskeramischem Material (23), welche die Referenzelektrode (22) von dem Medium (1) trennt, in einer Richtung quer zur Wand (2) in einem Bereich von 0,1 μm bis 10 mm liegt.
  14. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 7 bis 13, wobei die Referenzelektrode (17, 22) am Durchgang angeschweisst oder in denselben eingeschraubt ist.
  15. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 7 bis 14, wobei die Sensorelektrode (15) auf ihrer dem Medium (1) zugewandten Seite mit einer Schicht (14') aus glaskeramischem Material überzogen ist, die den gesamten Querschnitt des Durchgangs (3) abdeckt.
  16. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach Anspruch 15, wobei die Schicht (14') aus glaskeramischem Material, die den gesamten Querschnitt des Durchgangs (3) abdeckt und sich von der dem Medium (1) zugewandten Seite der Sensorelektrode (15) erstreckt, einheitlich mit dem Rest des homogenen glaskeramischen Materials (14) ausgebildet ist.
  17. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 15 oder 16, wobei die Dicke der Schicht aus glaskeramischem Material (14'), welche die Sensorelektrode (15) von dem dielektrischen Fluid oder dielektrischen Element (18, 24) trennt, in einem Bereich von 0,1 μm bis 10 mm liegt.
  18. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 7 bis 17, wobei die Mindestdicke des glaskeramischen Materials (14), das zur Trennung der Sensorelektrode (15) vom Wandmaterial ausgebildet ist, in einem Bereich von 0,1 μm bis 10 mm liegt.
  19. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei die Sensorelektrode (15) mit einem Sensoreingang einer kapazitätsempfindlichen Signalverarbeitungsschaltung (19) verbunden (16) ist; und die Referenzelektrode (17, 22) über das Wandmaterial mit einem Referenzeingang der Signalverarbeitungsschaltung (19) verbunden (21) ist.
  20. Druckgehäuse oder druckfeste Strömungsführung nach einem der Ansprüche 7 bis 19, wobei die Vorrichtung zur Messung mindestens eines charakteristischen Parameters eines Mediums (1) bei hohem Druck und hoher Temperatur dient.
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