DE69915778T2 - Verstimmbare Laserlichtquelle mit externem Resonator - Google Patents

Verstimmbare Laserlichtquelle mit externem Resonator Download PDF

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Description

  • Diese Erfindung bezieht sich auf eine abstimmbare Halbleiterlaserquelle mit externem Resonator, welche auf dem Gebiet der kohärenten Lichtkommunikation und Messtechnologie Verwendung findet.
  • Eine abstimmbare Halbleiterlaserquelle mit externem Resonator besteht aus einem Halbleiterlaser, welcher nachfolgend mit LD abgekürzt wird, welcher an einer Endfläche mit einem reflexionsverhindernden Film beschichtet ist, einer Linse, welche das Licht von dem LD in kollimiertes Licht umsetzt, und einem Wellenlängenauswahlelement zum Auswählen irgendeiner gewünschten Wellenlänge.
  • In der Regel wird ein Schmalbandfilter, ein Beugungsgitter, etc. verwendet als ein Wellenlängen auswählendes Element.
  • Meistens wird bei einer verstimmbaren LD-Lichtquelle mit externem Resonator, welche ein Beugungsgitter verwendet, ein System häufig verwendet, welches als Littman-Metcalf-Konfiguration bezeichnet wird, weil dieses eine hohe Wellenlängenselektivität bereitstellt. Bei der Littman-Metcalf-Konfiguration wird ein Spiegel 20 zusätzlich zu einem LD 1, einer Linse 4 und einem Beugungsgitter 2 verwendet wie in 4 gezeigt.
  • Gemäß der Littman-Metcalf-Konfiguration, welche in 4 gezeigt ist, wird von dem LD 1 ausgesandtes Licht in kollimiertes Licht durch die Linse 4 umgesetzt und fällt auf ein Beugungsgitter 2, durch welches eine Wellenlänge ausgewählt wird, worauf das Licht der ausgewählten Wellenlänge einmal angewandt wird auf den Spiegel 20 und auf demselben reflektiert wird, nachfolgend das reflektierte Licht wiederum auf das Beugungsgitter 2 einfällt und zurückgeführt wird in den LD 1, wodurch eine ausgezeichnete Wellenlängenselektivität bereitgestellt wird.
  • In der Littman-Metcalf-Konfiguration ist es jedoch notwendig, den Spiegel 20 in einer Anordnung nahe dem LD 1 und der Linse 4 wegen der Eigenart der Richtung der gebeugten Lichtemission des Beugungsgitter 2 anzuordnen und um eine Wellenlänge auszuwählen, muss der Spiegel 20 derart gedreht werden, dass er nicht an dem Gehäuse 10, welches den LD 1 und die Linse 4 aufnimmt, anschlägt. Daher bestand die Grundnotwendigkeit, die Länge des externen Resonators zu verlängern.
  • Daher ist es ein Ziel der Erfindung eine verstimmbare Halbleiterlaserquelle mit externem Resonator bereitzustellen, welche die externe Resonatorlänge bei einer verstimmbaren LD-Lichtquelle mit externem Resonantor verkürzt, wodurch stabile Laserschwingungen bereitgestellt werden.
  • Um dieses Ziel zu erreichen wird gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung eine verstimmbare Halbleiterlaserquelle mit externem Resonator bereitgestellt, um Licht, welches von einem Halbleiterlaser ausgesandt wird, durch eine Linse in kollimiertes Licht umzusetzen, das Licht auf ein Beugungsgitter einfallen zu lassen, durch welches eine Wellenlänge ausgewählt wird, nachfolgend das Licht der ausgewählten Wellenlänge einmal auf einen Spiegel anzuwenden und das Licht an der reflektierenden Fläche des Spiegels zu reflektieren, nachfolgend wiederum das reflektierte Licht auf das Beugungsgitter einfallen zu lassen und das Licht in den Halbleiterlaser zurückzuführen, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel nahezu wie eine Säule ausgebildet ist und der Winkel, welchen eine Seite des Spiegels, welche dem Gehäuse am nächsten ist, welches den Halbleiterlaser und die Linse aufnimmt mit der reflektierenden Fläche des Spiegels, welche mit einem Oberflächenreflexionsfilm beschichtet ist, bildet, als ein spitzer Winkel ausgebildet ist.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung ist der Spiegel ungefähr wie eine Säule ausgebildet und der Winkel, welchen die Seite, welche dem Gehäuse, welches den Halbleiterlaser und die Linse aufnimmt, am nächsten ist, mit der reflektierenden Oberfläche des Spiegels, welcher mit einem Oberflächenreflexionsfilm beschichtet ist, bildet, als ein spitzer Winkel ausbildet ist. Daher wird es beispielsweise möglich, verglichen mit der Verwendung eines allgemeinen Spiegels, welcher wie ein rechteckiges Parallelepiped ausgebildet ist, die Reflexionsfläche des Spiegels näher an den Gehäuse zu bringen.
  • Das bedeutet, dass es möglich gemacht wird, die Länge des externen Resonators der verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator zu verkürzen, wodurch ein stabiler Laserzustand erreicht werden kann.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung wird bei der verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung der Spiegel so ausgebildet, dass er zum Drehen im Stande ist.
  • Gemäß dem zweiten Aspekt der Erfindung ist der Spiegel so ausgebildet, dass er im Stande ist zu drehen, so dass ein Wellenlängendurchlauf entsprechend zu dem Drehwinkel des Spiegels ermöglicht wird.
  • Bei einer derartigen verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator besteht die Neigung, die Länge des externen Resonators zu verlängern, weil der Spiegel dreht, wodurch die Wirkung, welche durch die Verwendung des Spiegels, bei dem der Winkel, welchen die Seite am nächsten zu dem Gehäuse mit der Reflexionsoberfläche bildet, als ein spitzer Winkel ausgebildet ist, noch größer wird.
  • Bei der verstimmbaren Laserlichtquelle mit externem Resonator gemäß dem ersten oder dem zweiten Aspekt der Erfindung wird gemäß einem dritten Aspekt der Erfindung ein Schnittpunkt einer Linie, welche sich senkrecht zu einer optischen Achse erstreckt mit einer optischen Position einer von dem Beugungsgitter abgewandten Endfläche des Halbleiterlasers in Bezug auf das Beugungsgitter als Fußpunkt und einer Fortsetzung einer beugenden Oberfläche des Beugungsgitters, übereinstimmend gemacht mit dem Drehzentrum des Spiegels, und
    der Spiegel derart angeordnet ist, dass die Fortsetzung der Reflexionsfläche des Spiegels durch den Schnittpunkt verläuft.
  • Gemäß dem dritten Aspekt der Erfindung wird der Schnittpunkt der Linie, welche sich senkrecht zu der optischen Achse erstreckt mit der optischen Position der von dem Beugungsgitter abgewandten Endfläche des Halbleiterlasers in Bezug auf das Beugungsgitter als Fußpunkt und der Fortsetzung der beugenden Oberfläche des Beugungsgitters, übereinstimmend gemacht mit dem Drehzentrum des Spiegels, und der Spiegel derart angeordnet ist, dass die Fortsetzung der Reflexionsfläche des Spiegels durch den Schnittpunkt verläuft, wodurch das Auftreten von Modensprüngen über einen weiten Bereich verhindert werden kann und ein kontinuierlicher Wellenlängendurchlauf mit weniger Änderungen in dem Lichtausgang ermöglicht wird.
  • Bei einer derartigen verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator besteht eine Neigung weiterhin die Länge des externen Resonators zu verlängern, weil der Drehradius des Spiegels groß ist, wodurch die Wirkung, welche durch die Verwendung des Spiegels, bei dem der Winkel, welchen die Seite am nächsten zu dem Gehäuse mit der Reflexionsoberfläche bildet, als ein spitzer Winkel ausgebildet ist, noch größer wird.
  • Bei der verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator gemäß erstem bis drittem Aspekt der Erfindung ist der Spiegel gemäß einem vierten Aspekt der Erfindung als ein dreieckiges Prisma ausgebildet.
  • Gemäß dem vierten Aspekt der Erfindung ist der Spiegel als dreieckiges Prisma ausgebildet, welches leicht zu formen ist, so dass die Kosten des Spiegels reduziert werden können.
  • Bei der verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator gemäß erstem bis viertem Aspekt der Erfindung ist der Spiegel gemäß einem fünften Aspekt der Erfindung als ein Parallelogrammprisma ausgebildet.
  • Gemäß dem fünften Aspekt der Erfindung ist der Spiegel als ein Parallelogrammprisma ausgebildet, welches leicht zu formen ist, so dass die Kosten des Spiegels reduziert werden können.
  • 1 ist ein Blockschaltbild, welches ein Beispiel für eine verstimmbare LD-Lichtquelle mit externem Resonator zeigt, welche die Erfindung beinhaltet;
  • 2 ist eine Zeichnung, um die Anordnung und Betriebsweise eines Spiegels, welcher einen Teil der verstimmbaren LD-Lichtquelle mit externem Resonator gemäß 1 bildet, zu beschreiben;
  • 3 ist ein Blockschaltbild um ein Beispiel einer verstimmbaren LD-Lichtquelle mit externem Resonator zu zeigen, wobei ein Spiegel als ein Parallelogrammprisma ausgebildet ist; und
  • 4 ist ein Blockdiagramm, um ein Beispiel einer verstimmbaren LD-Lichtquelle mit externem Resonator gemäß dem Stand der Technik (Littman-Metcalf-Konfiguration) zu zeigen.
  • Mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen (1 bis 3) wird eine Ausführungsform der Erfindung gezeigt.
  • 1 ist ein Blockdiagramm, um ein Beispiel einer verstimmbaren LD-Lichtquelle mit externem Resonator zu zeigen, welche die Erfindung einschließt. 2 ist eine Zeichnung, um die Anordnung und Betriebsweise eines Spiegels, welcher einen Teil der verstimmbaren LD-Lichtquelle mit externem Resonator gemäß 1 bildet, zu beschreiben.
  • Die verstimmbare LD-Lichtquelle mit externem Resonator der Ausführungsform besteht aus einem LD 1 welcher auf einer Endfläche 1a mit einem reflexionsverhindernden Film 1A beschichtet ist, einem Beugungsgitter 2 als ein wellenlängenselektierendes Element, einem dreieckigen Prisma 3 welches als ein Beispiel für einen Spiegel gezeigt wird, einer Linse 4 zum Umwandeln von Licht von dem LD 1 in kollimiertes Licht, einem Gehäuse 10, welches den LD 1 und die Linse 4 aufnimmt und dergl. mehr.
  • Das dreieckige Prisma 3 ist ungefähr wie ein dreieckiger Stab ausgebildet, und ein Winkel 3c, welchen eine Seite 3b, welche dem Gehäuse 10 am nächsten ist, mit einer reflektierenden Fläche 3a, welche mit einem Oberflächenreflexionsfilm beschichtet ist, bildet, als ein spitzer Winkel ausgebildet ist. Daher ist es beispielsweise möglich, verglichen mit einem allgemeinen Spiegel 20, welcher als ein rechtwinkeliges Parallelepiped (4) geformt ist, die reflektierende Fläche 3a näher an das Gehäuse 10 heranzubringen, um die externe Resonatorlänge zu verkürzen.
  • Gemäß der verstimmbaren LD-Lichtquelle mit externem Resonator in 1, wird Licht, welches von der Endfläche 1a des LD 1 ausgesandt wird, durch die Linse 4 in kollimiertes Licht übergeführt, das daraufhin auf das Beugungsgitter 2 fällt.
  • Gebeugtes Licht, welches auf das Beugungsgitter 2 fällt und durch dasselbe eine ausgewählte Wellenlänge aufweist, fällt einmal vertikal auf das dreieckige Prisma 3 und wird vollständig an der Reflexionsfläche 3a des dreieckigen Prismas 3 reflektiert und wird daraufhin zu dem Beugungsgitter 2 zurückgeleitet. Das bedeutet, dass die Wellenlänge zweimal durch das Beugungsgitter 2 ausgewählt wird, wodurch die Wellenlängenselektivität verbessert wird.
  • Das Licht, dessen Wellenlänge derart ausgewählt ist, wird durch die Linse 4 gesammelt und in den LD 1 zurückgeführt. Das bedeutet, dass eine Endfläche 1b des LD 1 und das Beugungsgitter 2 einen externen Resonator für Laserschwingung aufbauen.
  • Das von der Endfläche 1b des LD 1 ausgesandte Licht tritt durch eine Linse, einen Lichtisolator, usw., (nicht gezeigt) und wird gesammelt, und wird daraufhin als Ausgangslicht durch einen Lichtleiter ausgegeben.
  • Die verstimmbare LD-Lichtquelle mit externem Resonator in 1 ist mit einem Drehmechanismus (nicht gezeigt) ausgestattet, welcher in der Lage ist, das dreieckige Prisma 3 zu drehen, und das dreieckige Prisma 3 wird durch den Drehmechanismus gedreht, wobei ein Wellenlängendurchlauf ermöglicht wird.
  • In diesem Fall stimmt der Drehpunkt des dreieckigen Prismas 3 überein mit einem Schnittpunkt C einer Linie L1, welche sich senkrecht zur optischen Achse des LD 1 in Bezug auf das Beugungsgitter 2 erstreckt, mit einer optische Position C1 der Endfläche 1b als Fußpunkt und einer Verlängerung L2 einer beugenden Fläche des Beugungsgitters 2 (Position der Endfläche 1b in Bezug auf das Beugungsgitter 2, wenn die Länge in der Richtung der optischen Achse der Linse 4 und des LD 1).
  • Das dreiwinklige Prisma 3 ist derart angeordnet, dass eine Fortsetzung L3 der Reflexionsfläche 3a des dreieckigen Prismas 3 durch den Schnittpunkt C dringt.
  • Eine derartige Anordnung des dreieckigen Prismas 3, des Beugungsgitters 2 und des LD 1 ist in "Novel geometry for single-mode scanning of tunable lasers, Karen Liu & Michael G. Littman/March 1981/Vol 6 No. 3/Optics Letters p177-p178" offenbart, und gemäß der Anordnung kann das Auftreten von Modensprüngen in einem weiten Bereich verhindert und ein kontinuierlicher Wellenlängendurchlauf mit weniger Veränderungen in dem Lichtausgang ermöglicht werden.
  • Der Drehmechanismus zum Drehen des dreieckigen Prismas 3 kann beispielsweise aufgebaut sein aus einem Sinushebel, welcher drehbar in dem Schnittpunkt C als Drehpunkt gehalten wird und einer Antriebseinrichtung zum Drehen des Sinushebels, wie etwa einem direkt wirkenden Motor. In diesem Fall ist das dreieckige Prisma 3 fest an einer Unterseitenfläche (Rückfläche gezeigt aus 1) zu der Kopfseite des Sinushebels befestigt, um die Wirkung, welche durch Wärmeausdehnung, etc. hervorgerufen wird zu vermindern. In diesem Fall ist das dreieckige Prisma 3 ein säulenförmiger Spiegel anstelle eines flachen Plattenspiegels, und ist daher an den Sinushebel in einem stabilen Zustand angebracht.
  • Demzufolge ist der Spiegel gemäß der Ausführungsform der verstimmbaren LD-Lichtquelle mit externem Resonator aus einem dreieckigen Prisma 3 ausgebildet und der Winkel 3c, welchen die Seite 3b, welche dem Gehäuse 10 am nächsten ist, mit der Reflexionsfläche 3a, welche mit dem Oberflächenreflexionsfilm beschichtet ist, bildet, als ein spitzer Winkel ausgebildet ist. Daher ist es beispielsweise möglich, verglichen mit der Verwendung eines allgemeinen Spiegels, welcher wie ein rechtwinkeliges Parallelepiped ausgebildet ist, die Reflexionsfläche 3a des Spiegels näher an das Gehäuse 10 zu bringen.
  • Das bedeutet, dass es möglich gemacht wird, die Länge des externen Resonators der verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator zu verkürzen, wodurch stabile Laserschwingungen erreicht werden können.
  • Der Schnittpunkt C der Linie L1, welche sich senkrecht zu der optischen Achse des LD 1 in Bezug auf das Beugungsgitter 2 erstreckt, mit der optischen Position C1 der Endfläche 1b als Fußpunkt und der Verlängerung L2 der Beugungsfläche des Beugungsgitters 2 wird übereinstimmend gemacht mit dem Drehpunkt des dreieckigen Prismas 3, und das dreieckige Prisma 3 ist derart angeordnet, dass die Fortsetzung L3 der reflektierenden Fläche 3a des dreieckigen Prismas 3 durch den Schnittpunkt C verläuft, wodurch das Auftreten von Modensprüngen in einem weiten Bereich verhindert werden kann und ein kontinuierlicher Wellenlängendurchlauf mit geringerer Änderung in dem Lichtausgang ermöglicht wird.
  • Bei einer derartigen Anordnung besteht die Neigung, die Länge des externen Resonators zu verlängern, weil der Drehradius des Spiegels groß ist; die Länge des externen Resonators wird jedoch durch die Verwendung des dreieckigen Prismas 3 als ein Spiegel verkürzt.
  • Daher kann die verstimmbare LD-Lichtquelle mit externem Resonator, welche eine derartige Anordnung verfolgt, ebenso eine stabile Laserschwingung bereitstellen.
  • Wenngleich in der Ausführungsform der Spiegel als ein dreieckiges Prisma 3 als Beispiel gezeigt ist ist der Umfang der Erfindung nicht darauf beschränkt. Jeder Spiegel kann eingesetzt werden, wenn er ungefähr wie eine Säule ausgebildet ist, wie etwa ein Parallelogrammprisma 13 wie in 3 gezeigt und der Winkel (hier der Winkel 13C) welchen die Seite, welche dem Gehäuse 10 am nächsten ist (hier die Seite 13b), mit der Reflexionsfläche, welche mit einem Oberflächenreflexionsfilm beschichtet ist (hier die Reflexionsfläche 13a), bildet, als ein spitzer Winkel ausgebildet ist.
  • Die Anordnung des dreieckigen Prismas 3, des Beugungsgitters 2 und des LD 1, welche eine verstimmbare Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator ausbilden, ist nicht auf die Anordnung, welche in 2 gezeigt ist, begrenzt. Beispielsweise kann es eine allgemeine Littman-Metcalf-Konfiguration sein.
  • Jedes andere spezifische Detail der Struktur, etc. kann ebenso wann immer notwendig geändert werden, was selbstverständlich ist.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung ist der Spiegel ungefähr wie eine Säule ausgebildet und der Winkel, welchen die Seite, welche dem Gehäuse 10 am nächsten ist, welches den Halbleiterlaser und die Linse aufnimmt, mit der Reflexionsfläche bildet, welche mit einem Oberflächenreflexionsfilm beschichtet ist, als ein spitzer Winkel aus gebildet ist. Daher ist es beispielsweise möglich, verglichen mit der Verwendung eines allgemeinen Spiegels, welcher wie ein rechtwinkeliges Parallelepiped ausgebildet ist, die Reflexionsfläche 3a des Spiegels näher an das Gehäuse 10 zu bringen.
  • Das bedeutet, dass es möglich gemacht wird, die Länge des externen Resonators der verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator zu verkürzen, wodurch stabile Laserschwingungen erreicht werden können.
  • Gemäß dem zweiten Aspekt der Erfindung ist der Spiegel derart ausgebildet um drehbar zu sein, so dass ein Wellenländendurchlauf entsprechend dem Drehwinkel des Spiegels ermöglicht wird.
  • Bei einer derartigen verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator besteht die Neigung, die Länge des externen Resonators zu verlängern, weil der Spiegel dreht, wodurch die Wirkung, welche durch die Verwendung des Spiegels, bei dem der Winkel, welchen die Seite am nächsten zu dem Gehäuse mit der Reflexionsoberfläche bildet, als ein spitzer Winkel ausgebildet ist, noch größer wird.
  • Gemäß dem dritten Aspekt der Erfindung wird der Schnittpunkt der Linie, welche sich senkrecht zu der optischen Achse erstreckt mit der optischen Position der von dem Beugungsgitter abgewandten Endfläche des Halbleiterlasers in Bezug auf das Beugungsgitter als Fußpunkt und der Fortsetzung der beugenden Oberfläche des Beugungsgitters, übereinstimmend gemacht mit dem Drehzentrum des Spiegels, und der Spiegel derart angeordnet ist, dass die Fortsetzung der Reflexionsfläche des Spiegels durch den Schnittpunkt verläuft, wodurch das Auftreten von Modensprüngen über einen weiten Bereich verhindert werden kann und ein kontinuierlicher Wellenlängendurchlauf mit weniger Änderungen in dem Lichtausgang ermöglicht wird.
  • Bei einer derartigen verstimmbaren Halbleiterlaserlichtquelle mit externem Resonator besteht eine Neigung weiterhin die Länge des externen Resonators zu verlängern, weil der Drehradius des Spiegels groß ist, wodurch die Wirkung, welche durch die Verwendung des Spiegels, bei dem der Winkel, welchen die Seite am nächsten zu dem Gehäuse mit der Reflexionsoberfläche bildet, als ein spitzer Winkel ausgebildet ist, noch größer wird.
  • Gemäß dem vierten Aspekt der Erfindung ist der Spiegel als dreieckiges Prisma ausgebildet, welches leicht zu formen ist, so dass die Kosten des Spiegels reduziert werden können.
  • Gemäß dem fünften Aspekt der Erfindung ist der Spiegel als ein Parallelogrammprisma ausgebildet, welches leicht zu formen ist, so dass die Kosten des Spiegels reduziert werden können.

Claims (5)

  1. Eine verstimmbare Halbleiterlaserquelle mit externem Resonator, um Licht, welches von einem Halbleiterlaser(1) ausgesandt wird, durch eine Linse (4) in kollimiertes Licht umzusetzen, das Licht auf ein Beugungsgitter (2) einfallen zu lassen, durch welches eine Wellenlänge ausgewählt wird, nachfolgend das Licht der ausgewählten Wellenlänge einmal auf einen Spiegel (13,3) anzuwenden und das Licht an demselben zu reflektieren, nachfolgend wiederum das reflektierte Licht auf das Beugungsgitter (2) einfallen zu lassen und das Licht in den Halbleiterlaser zurückzuführen, wobei die Halbleiterlaserquelle umfasst: eine Linse (4), um ein Licht, welches von einem Halbleiterlaser ausgesandt wird, in ein kollimiertes Licht umzusetzen; und ein Beugungsgitter (2), auf welches das kollimierte Licht einfällt und welches eine Wellenlänge des Lichtes auswählt; wobei das Licht mit der durch das Beugungsgitter (2) ausgewählten Wellenlänge von einer Reflexionsfläche (13a, 3a) des Spiegels einmal reflektiert wird und nachfolgend dem Beugungsgitter zugeführt wird und zurück zu dem Halbleiterlaser geführt wird; und wobei der Spiegel (13, 3) nahezu wie eine Säule ausgebildet ist und der Winkel, welchen eine Seitenfläche (13c, 3c) des Spiegels, welche einem Gehäuse (10) am nächsten ist, welches den Halbleiterlaser (1) und die Linse aufnimmt mit der Reflexionsfläche (13a, 3a) des Spiegels, welche mit einem Oberflächenreflexionsfilm beschicht ist, bildet, als ein spitzer Winkel ausgebildet ist.
  2. Die verstimmbare Halbleiterlaserquelle mit externem Resonator gemäß Anspruch 1, wobei der Spiegel (13, 3) drehbar ist.
  3. Die verstimmbare Halbleiterlaserquelle mit externem Resonator gemäß Anspruch 1, wobei ein Schnittpunkt C einer Linie L1, welche sich senkrecht zu der optischen Achse des Halbleiterlasers erstreckt, mit einer optische Position C1 einer von dem Beugungsgitter (2) abgewandten Endfläche (1b) des Halbleiterlasers (1) in Bezug auf das Beugungsgitter als Fußpunkt und einer Fortsetzung L2 einer Beugungsfläche des Beugungsgitters (2) mit dem Drehpunkt des Spiegels (13, 3) übereinstimmend gemacht wird; und wobei der Spiegel (13, 3) so angeordnet ist, dass die Fortsetzung L3 der Reflexionsfläche (13a, 3a) des Spiegels durch den Schnittpunkt C verläuft.
  4. Die verstimmbare Halbleiterlaserquelle mit externem Resonator gemäß Anspruch 1, wobei der Spiegel (13, 3) ein dreieckiges Prisma (3) umfasst.
  5. Die verstimmbare Halbleiterlaserquelle mit externem Resonator gemäß Anspruch 1, wobei der Spiegel (13, 3) ein Parallelogrammprisma (13) umfasst.
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