DE69908788T2

DE69908788T2 - Wire saw with saw wire tension control

Info

Publication number: DE69908788T2
Application number: DE69908788T
Authority: DE
Inventors: Hiroshi Annaka-shi Oishi; Keiichiro Annaka-shi Asakawa; Junichi Annaka-shi Matsuzaki
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd; Super Silicon Crystal Research Institute Corp
Current assignee: SUPER SILICON CRYSTAL RESEARCH INSTITUTE CORP., JP
Priority date: 1999-12-22
Filing date: 1999-12-22
Publication date: 2004-04-29
Anticipated expiration: 2019-12-23
Also published as: DE69908788D1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Drahtsägemaschine, welche vorher ein Brechen eines Drahts verhindern kann, der für das Schneiden eines Gußblocks bzw. eines Rohlings verwendet wird.The present invention relates on a wire saw machine, which can previously prevent a wire from breaking, which is for cutting a wire ingot or a blank is used.

Nachdem oberen und untere Teile von einem Gußblock bzw. Rohling, der durch ein Ziehverfahren oder dgl. hergestellt wurde, abgeschnitten wurden, wird der Rohling an seinem Umfang geschliffen, einem Flachbearbeiten entsprechend einer Orientierung bzw. Ausrichtung unterworfen und dann in Wafer vorbestimmter Dicke geschnitten. Obwohl eine Schneideinrichtung mit innerer Klinge bzw. Schneide bisher für ein derartiges Rohlingsschneiden verwendet wurde, kann es nicht gut eine Vergrößerung von Wafern handhaben. Daher war eine Drahtsäge, die einen Pianodraht verwendete, weit verbreitet in Antwort auf eine intensivierte Nachfrage in bezug auf Wafer angenommen, die in der Größe vergrößert waren.After upper and lower parts of a casting block or blank, which is produced by a drawing process or the like has been cut off, the blank is ground on its circumference, a flat machining according to an orientation subjected and then cut into wafers of predetermined thickness. Even though a cutting device with an inner blade or cutting edge so far for a Such blank cutting was used, it can not do well an enlargement of wafers handle. So there was a wire saw who used a piano wire, widely used in response to an intensified demand for wafers assumed that were enlarged in size.

Eine konventionelle Drahtsägemaschine hat drei mit Rillen versehene bzw. Nutenwalzen 1–3, von welchen eine (die Walze bzw. Rolle 3) mit einem Antriebsmotor 4, wie dies in 1 gezeigt ist, gekoppelt ist. Ein Draht 5 wird von einer Spule bzw. Haspel 6 abgezogen, um die Nutenwalzen 1 bis 3 mehrfach geführt und dann um eine andere Spule 7 gewickelt. Eine Spanneinrichtung 8 übt eine Spannung auf den Draht 5 aus. So bewegt sich der Draht in einem gespannten Zustand entlang eines Bewegungspfads um die Nutenwalzen 1 bis 3.A conventional wire saw machine has three grooved rollers 1 - 3 , of which one (the roller 3 ) with a drive motor 4 how this in 1 is shown is coupled. A wire 5 is from a spool or reel 6 deducted to the grooving rollers 1 to 3 passed several times and then around another coil 7 wound. A tensioning device 8th exerts a tension on the wire 5 out. The wire moves in a tensioned state along a movement path around the grooved rollers 1 to 3 ,

Ein Rohling 9, der zu schneiden ist, wird an einem Halter 10 unter Verwendung eines geeigneten Haftwerkzeugs festgelegt und an einer Position zwischen den Rillen- bzw. Nutenwalzen 1 und 2 angeordnet. Der Rohling 9 wird in eine Mehrzahl von Wafern durch die Schneidbewegung des Drahts 5 geschnitten. Während dem Schneiden wird Schlamm bzw. eine Aufschlämmung 11 von einem Schlammtank 12 durch ein Zufuhrrohr 13 zu einer Düse 14 zugeführt, auf den Draht 5 gesprüht, in einer Pfanne 15 gesammelt und dann dem Aufschlämmungstank 12 zurückgeführt, um die Schneidbewegung zu unterstützen. Die Aufschlämmung 11 wird durch eine Zirkulation zwischen dem Aufschlämmungstank 12 und einem Wärmetauscher 16 gekühlt.A blank 9 which is to be cut is attached to a holder 10 fixed using a suitable adhesive tool and at a position between the grooved rollers 1 and 2 arranged. The blank 9 is cut into a plurality of wafers by the cutting movement of the wire 5 cut. During the cutting process, sludge or a slurry becomes 11 from a mud tank 12 through a feed pipe 13 to a nozzle 14 fed on the wire 5 sprayed in a pan 15 collected and then the slurry tank 12 returned to support the cutting movement. The slurry 11 is through circulation between the slurry tank 12 and a heat exchanger 16 cooled.

Der Draht 5 wird von der Spule 6 durch Ablenkrollen bzw. -walzen 18 zu den Nutenwalzen 1 bis 3 geführt, für ein Schneiden des Rohlings 9 während eines Wegs, der entlang der Richtung d₁ verläuft, verwendet, durch bzw. über andere Ablenkwalzen 18 zu einer weiteren Spule bzw. Haspel 7 vorwärtsgeführt und dann auf die Spule 7 gewickelt, wie dies in 2 gezeigt ist. Der Draht 5 kann stattdessen bidirektional vorwärts geführt bzw. bewegt werden. D. h. eine Bewegung des Drahts 5 entlang einer Richtung d₂ gemeinsam mit der Bewegung entlang der Richtung d₁ wird periodisch in der Weise wiederholt, daß der Draht 5 sukzessive auf die Spule 7 als ein Gesamtes aufgewickelt wird.The wire 5 is from the coil 6 by deflecting rollers or rollers 18 to the grooved rollers 1 to 3 led, for cutting the blank 9 used during a path that runs along the direction d ₁ , by or over other deflecting rollers 18 to another coil or reel 7 advanced and then onto the spool 7 wrapped like this in 2 is shown. The wire 5 can instead be guided or moved bidirectionally. I.e. a movement of the wire 5 along a direction d ₂ together with the movement along the direction d ₁ is repeated periodically in such a way that the wire 5 successively on the spool 7 is wound up as a whole.

Ein Zug bzw. eine Spannung wird auf den Draht 5 aufgebracht, um den Rohling 9 unter stabilen Bedingungen zu schneiden. Eine derartige Spannung ist durch eine pendelartige Spannungseinrichtung 8 (gezeigt in 1), ein Ausgleichsgewicht 17 (gezeigt in 2) oder eine Pulverkupplung (nicht dargestellt) aufgebracht. Beispielsweise wird der Draht 5 entlang eines Bewegungspfads um eine Pendelwalze 19, die zwischen der einlaßseitigen Ablenkwalze 18 und der auslaßseitigen Ablenkwalze 18 vorgesehen ist, geführt. Die Pendelwalze 19 hat ein Ausgleichsgewicht 17 für eine Aufbringung einer vorbestimmten Spannung hängen.A tension or tension is applied to the wire 5 applied to the blank 9 to cut under stable conditions. Such tension is through a pendulum-like tensioning device 8th (shown in 1 ), a balance weight 17 (shown in 2 ) or a powder coupling (not shown). For example, the wire 5 along a movement path around a pendulum roller 19 that between the inlet-side deflecting roller 18 and the outlet side deflecting roller 18 is provided. The pendulum roller 19 has a balance weight 17 hang for applying a predetermined voltage.

Die Spannung, die auf den Draht gegebenenfalls aufgebracht wird, erhöht sich während der Bewegung des Drahts 5. Insbesondere tritt eine Erhöhung der Spannung wahrscheinlich auf, wenn eine Bewegungsrichtung des Drahts 5 geschaltet wird als d₁→d₂ oder d₂→d₁. Ein ansteigender Teil der Spannung wird bis zu einem gewissen Grad bei einem Drehen der Zugspannungseinrichtung nach oben (1) bei einer Bewegung der Pendelwalze 19 (2) nach oben oder einer Rotation einer Pulverkupplung (nicht dargestellt) absorbiert. Jedoch wird ein abrupter Anstieg der Spannung nicht mit einer derartigen Bewegung der Zugspannungseinrichtung 8, der Pendelwalze 19 oder der Pulverkupplungen kompensiert.The tension that may be applied to the wire increases as the wire moves 5 , In particular, an increase in tension is likely to occur when a direction of travel of the wire 5 is switched as d ₁ → d ₂ or d ₂ → d ₁ . An increasing part of the tension is to a certain extent when the tension device is turned upwards ( 1 ) when the pendulum roller moves 19 ( 2 ) absorbed upwards or a rotation of a powder coupling (not shown). However, an abrupt increase in tension does not occur with such movement of the tension device 8th , the pendulum roller 19 or the powder clutches compensated.

Ein derartiger abrupter Anstieg der Spannung, d. h. eine abnormale Spannung veranlaßt ein Brechen des Drahts 5 unabhängig von derartigen spannungssteuernden bzw. -regelnden Mitteln, wie der Spanneinrichtung 8, der Pendelwalze 19, oder der Pulverkupplung. Wenn der Draht 5 gebrochen ist, wird ein Drahtsägevorgang in unvermeidbarer Weise unterbrochen. Zusätzlich ist eine Menge Arbeit und Zeit erforderlich, um den gebrochenen Draht 5 zu lösen bzw. zu entfernen und einen neuen Draht 5 zu spannen, was in einer Reduktion von Produktivität resultiert.Such an abrupt increase in voltage, ie an abnormal voltage, causes the wire to break 5 independent of such voltage controlling or regulating means as the tensioning device 8th , the pendulum roller 19 , or the powder coupling. If the wire 5 broken, a wire sawing process is inevitably interrupted. In addition, a lot of work and time is required to break the broken wire 5 to loosen or remove and a new wire 5 to stretch, which results in a reduction in productivity.

Es wird auf JP-A-09094755 und JP-A-10119031 Bezug genommen, welche sich auf Drahtsägemaschinen gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 bzw. Anspruch 2 beziehen.It is published on JP-A-09094755 and JP-A-10119031 Reference, which relates to wire saws according to the preamble of claim 1 and claim 2, respectively.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung zielt auf einen Betrieb bzw. eine Betätigung einer Drahtsägemaschine unter stabilen Bedingungen ab, indem ein Zeichen bzw. Vorzeichen beurteilt wird, das einen abnormalen Anstieg einer Spannung voraussagt, die auf einen Draht aufgebracht wird, und eine geeignete Aktion, wie ein Betriebs- bzw. Betätigungsstop oder ein Spannungslösen, durchgeführt wird, um vorab ein Brechen des Drahts zu verhindern.The present invention aims an operation or an operation a wire saw machine under stable conditions by judging a sign or sign that predicts an abnormal rise in a voltage that is applied to a wire, and an appropriate action, such as an operational or operational stop or a tension release, carried out to prevent the wire from breaking beforehand.

Gemäß Anspruch 1 umfaßt die neu vorgeschlagene Drahtsägemaschine:
eine Vielzahl von mit Rillen versehenen Rollen bzw. Walzen, welche eine Vielzahl von Rillen bzw. Nuten für Bewegungswege bzw. -pfade eines einen Rohling schneidenden Drahts an Umfängen davon aufweisen,
eine Drahthaspel bzw. -spule zum Senden eines neuen Drahts durch bzw, über Ablenkrollen zu den mit Rillen versehenen Rollen,
eine andere Drahthaspel zum Aufwickeln eines Drahts, welcher von den mit Rillen versehenen Rollen gesandt ist, durch bzw. über andere Ablenkrollen,
eine Spanneinrichtung zum Aufbringen bzw. Anwenden einer vorbestimmten Spannung auf den sich bewegenden Draht,
einen Spannungssensor zum Detektieren bzw. Feststellen einer an den Draht angelegten Spannung, welcher an einer Position zwischen den mit Rillen versehenen Rollen und den Ablenkrollen vorgesehen ist,
Berechnungs- und Beurteilungsschaltungen, an welche ein detektierter Wert der Spannung, welche an den Draht angelegt ist, für ein Beurteilen eines Anzeichens eingegeben wird, welches einen abnormalen Anstieg der Spannung aus einem fluktuierenden Spalt der Spannung, einer Fluktuationsgeschwindigkeit der Spannung und/oder einer Beschleunigung der Spannung voraussagt, und
eine Regel- bzw. Steuereinrichtung, an welche ein Signal, welches einen abnormalen Anstieg der Spannung voraussagt, von den Berechnungs- und Beurteilungsschaltungen eingegeben wird zum Ausgeben eines Betriebsunterbrechungssignals oder eines Alarms in Antwort auf das voraussagende bzw. Voraussagesignal.According to claim 1, the newly proposed wire saw machine comprises:
a plurality of grooved rollers which have a plurality of grooves for grooves or paths of movement of a wire cutting a blank at circumferences thereof,
a wire reel or spool for sending a new wire through or via deflection rollers to the grooved rollers,
another wire reel for winding a wire, which is sent from the grooved rollers, through or over other deflection rollers,
a tensioning device for applying or applying a predetermined tension to the moving wire,
a tension sensor for detecting or detecting a tension applied to the wire, which tension sensor is provided at a position between the grooved rollers and the deflection rollers,
Computing and judging circuits to which a detected value of the voltage applied to the wire is input for judging an indication that an abnormal increase in the voltage from a fluctuating gap of the voltage, a fluctuation speed of the voltage, and / or an acceleration that predicts tension, and
control means to which a signal predicting an abnormal rise in voltage is input from the calculation and judgment circuits for outputting an operation interruption signal or an alarm in response to the prediction signal.

Gemäß einem Merkmal des unabhängigen Anspruchs 2 wird ein Hinweis, welcher einen abnormalen Anstieg der Spannung vorhersagt, durch eine vertikale Bewegung einer Pendelwalze, welche einen Zug auf den Draht aufbringt, dargestellt. In diesem Fall wird ein abnormaler Anstieg der Spannung aus einem Fluktuationsspalt der vertikalen Bewegung, einer Fluktuationsgeschwindigkeit der vertikalen Bewegung und/oder einer Beschleunigung der vertikalen Bewegung vorhergesagt. Die Fluktuation der Spannung des Drahts kann in Kombination mit einer vertikalen Verlagerung der Pendelwalzen bzw. Pendelrollen für den Erhalt eines Vorhersagesignals mit einer hohen Zuverlässigkeit verwendet werden.According to a feature of the independent claim 2 becomes an indication of an abnormal increase in voltage predicts, by vertical movement of a pendulum roller, which applies a train to the wire. In this case an abnormal increase in voltage from a fluctuation gap of vertical movement, a fluctuation rate of vertical Movement and / or an acceleration of the vertical movement is predicted. The fluctuation in the tension of the wire can be combined with a vertical displacement of the pendulum rollers or pendulum rollers for the Receive a predictive signal with high reliability be used.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENSHORT DESCRIPTION THE DRAWINGS

1 ist eine schematische Ansicht, die eine Drahtsägemaschine darstellt. 1 Fig. 10 is a schematic view illustrating a wire saw machine.

2 ist eine Ansicht, die einen Bewegungspfad eines Drahts illustriert. 2 Fig. 12 is a view illustrating a path of movement of a wire.

3 ist eine Ansicht, die einen Bewegungspfad eines Drahts illustriert, welcher darin ein System zum Abschätzen bzw. Beurteilen eines An- bzw. Vorzeichens, das einen ab normalen Anstieg einer Spannung vorhersagt, gemäß der vorliegenden Erfindung installiert. 3 Fig. 10 is a view illustrating a path of movement of a wire that installs therein a sign estimating system that predicts a voltage rise from normal according to the present invention.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSBILDUNGENDETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED TRAINING

Wenn ein Rohling in Wafer durch ein Drahtsägemaschine geschnitten wird, steigt eine Spannung, die auf einen Draht 5 aufgebracht ist, manchmal abnormal an. Ein derartiger abnormaler Anstieg der Spannung würde durch nicht gleichmäßiges Wickeln des Drahts 5 auf die Spulen bzw. Haspeln 6, 7, durch ein Nicht-Gleichgewicht zwischen einem Abwickeln und einem Wickeln aufgrund einer unzureichenden Synchronisation zwischen den Rotationsbedingungen der Spulen 6 und einer Verschiebeeinrichtung an der Abwickelseite und den Rotationsbedingungen der Spule 7 und einer Verschiebeeinrichtung an der Wicklungsseite, ein Verwickeln des Drahts 5 in den mit Rillen versehenen bzw. Nutenwalzen 1 bis 3 oder den Führungswalzen, die Nuten aufweisen, die durch Abrieb deformiert sind, und dgl. bewirkt.When a blank is cut into wafers by a wire saw machine, a tension increases that is applied to a wire 5 is upset, sometimes abnormal. Such an abnormal increase in voltage would result from non-uniform winding of the wire 5 on the spools or reels 6 . 7 , due to an unbalance between unwinding and winding due to insufficient synchronization between the rotation conditions of the spools 6 and a shifter on the unwinding side and the rotation conditions of the spool 7 and a shifter on the winding side, entangling the wire 5 in the grooved or grooved rollers 1 to 3 or the guide rollers having grooves deformed by abrasion and the like.

Die Erfinder haben geforscht und den Anstieg einer Spannung, die auf den Draht 5 aufgebracht ist, unter verschiedenen Gesichtspunkten überprüft. Als ein Ergebnis haben die Erfinder ein Auftreten eines Vorzeichens bzw. Zeichens entdeckt, welches einen abnormalen Anstieg der Spannung vorhersagt und bestätigt, daß ein abnormaler Anstieg der Spannung kaum ohne das Auftreten von irgendeinem vorhersagenden bzw. Vorhersagezeichen auftritt. Ein derartiges Vorhersagezeichen wird durch eine heftige, vertikale Bewegung der Eendelwalze 19, welche an einer vorbestimmten Höhe in einem stabilen Zustand gehalten ist, über einem vorbestimmten Bereich oder mit einer Geschwindigkeit oder mit einer Beschleunigung über einem vorbestimmten Grenzwert, und/oder einer Fluktuation der Spannung, die auf den Draht 5 aufgebracht ist und durch ein Drahtspannmeßinstrument überwacht wird, über einem vorbestimmten Bereich oder bei einer Geschwindigkeit oder mit einer Beschleunigung über einem vorbestimmten Grenzwert repräsentiert. Wir haben abgeschätzt, daß ein Brechen des Drahts 5 beim Entstehen durch einen Betätigungsstop bzw. eine Betriebsunterbrechung der Drahtsägemaschine oder durch eine Ausgabe eines Alarms verhindert wird, welcher einen Betätiger auffordert, Betriebsbedingungen in Übereinstimmung mit der Detektion eines derartigen Vorhersagezeichens zu verändern.The inventors have researched and found the rise of a voltage on the wire 5 is applied, checked from different points of view. As a result, the inventors discovered an occurrence of a sign predicting an abnormal rise in voltage and confirming that an abnormal rise in voltage hardly occurs without the occurrence of any predictive sign. Such a prediction sign is given by a violent, vertical movement of the eendel roller 19 maintained at a predetermined level in a steady state, over a predetermined range or at a speed or with an acceleration above a predetermined limit, and / or a fluctuation in the voltage applied to the wire 5 is applied and monitored by a wire tension measuring instrument, represented over a predetermined range or at a speed or with an acceleration above a predetermined limit value. We have estimated that breaking the wire 5 upon occurrence is prevented by an actuation stop or an interruption in the operation of the wire saw machine or by the issuance of an alarm which prompts an operator to change operating conditions in accordance with the detection of such a prediction sign.

Um ein derartiges Vorhersagezeichen zu detektieren, sind Positionssensoren 20, 20 für ein Detektieren einer Verlagerung der Pendelwalzen 19, 19 und Spannungssensoren 21, 21 zum Detektieren einer Spannung, die auf den Draht 5 aufgebracht ist, an beiden Seiten der Drahtsäge angebracht, wie dies in 3 gezeigt ist. Die Spannungssensoren 21, 21 sind vorzugsweise an Positionen zwischen den Nutenwalzen 1, 2 und den Ablenkwalzen 18, 18 für ein Detektieren einer Spannung angeordnet, die auf den Draht 5 aufgebracht ist, der aus den Nutenwalzen 1, 2 austritt.In order to detect such a prediction sign, there are position sensors 20 . 20 for detecting a displacement of the pendulum rollers 19 . 19 and voltage sensors 21 . 21 to detect a voltage on the wire 5 is attached to both sides of the wire saw, as shown in 3 is shown. The voltage sensors 21 . 21 are preferably at positions between the grooving rolls 1 . 2 and the deflection rollers 18 . 18 for a Detect a voltage placed on the wire 5 is applied from the grooved rollers 1 . 2 exit.

Die Positionssensoren 20, 20 detektieren kontinuierlich Positionen der Pendelwalzen 19, 19, welche sich nach oben und unten in Antwort auf eine Fluktuation der Spannung bewegen. Die Detektionsergebnisse stellen eine Verlagerung der Pendelwalzen 19, 19 dar. Da Daten betreffend die Verlagerung kontinuierlich erhalten werden, wird eine Geschwindigkeit oder eine Beschleunigung der Vertikalbewegung der Pendelwalzen 19, 19 aus einer Änderung der Verlagerung berechnet. Andererseits repräsentiert ein durch den Spannungssensor 21 detektierter Wert direkt eine fluktuierende bzw. Fluktua tionssituation einer Spannung, die auf den Draht 5 aufgebracht ist.The position sensors 20 . 20 continuously detect the positions of the pendulum rollers 19 . 19 which move up and down in response to a fluctuation in voltage. The detection results represent a shift of the pendulum rollers 19 . 19 Since data relating to the displacement is continuously obtained, there is a speed or an acceleration of the vertical movement of the pendulum rollers 19 . 19 calculated from a change in relocation. On the other hand, one is represented by the voltage sensor 21 Detected value directly a fluctuating or fluctuating situation of a voltage that is on the wire 5 is applied.

Positionsdaten der Pendelwalzen 19, die durch die Positionssensoren 20 detektiert werden, gemeinsam mit den Spannungsdaten des Drahts 5, der durch die Tensions- bzw. Spannungssensoren 21 detektiert werden, werden an eine Berechnungsschaltung 22 ausgegeben. In der Berechnungsschaltung 22 werden Daten von den Positionssensoren 20 und Spannungsdaten von den Spannungssensoren 21 jeweils mit vorab festgelegten Werten verglichen. Auf der Basis eines derartigen Vergleichs wird ein anstehender Rohlings-Schneidvorgang als in einem normalen Zustand betrachtet, wenn eine Vertikalbewegung der Pendelwalzen 19, eine Geschwindigkeit der Vertikalbewegung oder eine Beschleunigung der Vertikalbewegung innerhalb eines vorbestimmten Bereichs gehalten ist, oder wenn eine Fluktuation der auf den Draht 5 aufgebrachten Spannung innerhalb eines vorbestimmten Bereichs gehalten wird.Position data of the pendulum rollers 19 by the position sensors 20 can be detected together with the voltage data of the wire 5 by the tension or tension sensors 21 are detected, are sent to a calculation circuit 22 output. In the calculation circuit 22 data from the position sensors 20 and voltage data from the voltage sensors 21 each compared with pre-determined values. Based on such a comparison, an upcoming blank cutting operation is considered to be in a normal state when there is vertical movement of the shuttle rollers 19 , a speed of the vertical movement or an acceleration of the vertical movement is kept within a predetermined range, or if a fluctuation of the on the wire 5 applied voltage is kept within a predetermined range.

Da ein Zeichen, das einen abnormalen Anstieg der Spannung vorhersagt, in Übereinstimmung mit dem Material und dem Durchmesser des Drahts 5, der zu verwenden ist, den Arbeitsbedingungen der Drahtsägemaschine und dgl. variiert ist, ist es bevorzugt, vorab ein derartiges Signal, das diese Faktoren in Betracht zieht, zu bestimmen. Beispielsweise tritt manchmal eine Vertikalbewegung der Pendelwalzen 19, 19 bei einer Geschwindigkeit über 30 cm/s oder mit einer Beschleunigung über 50 cm/s², eine Fluktuation der Spannung, die auf den Draht 5 aufgebracht ist, über einem vorbestimmten Bereich von ±2 kgf/mm² und eine Fluktuation der Spannung bei einer Geschwindigkeit über 6 kgf/mm²/s oder mit einer Beschleunigung über 10 kgf/mm²/s² in üb lichen Spezifikationen auf. Wenigstens einer dieser Werte wird vorbereitend als ein Schwellwert an die Berechnungs- und Abschätzungsschaltung 22 eingegeben.As a sign that predicts an abnormal increase in tension, in accordance with the material and diameter of the wire 5 to be used, the working conditions of the wire saw machine and the like is varied, it is preferable to determine in advance such a signal that takes these factors into account. For example, vertical movement of the pendulum rollers sometimes occurs 19 . 19 at a speed above 30 cm / s or with an acceleration above 50 cm / s ² , a fluctuation in the voltage applied to the wire 5 is applied, over a predetermined range of ± 2 kgf / mm ² and a fluctuation in tension at a speed above 6 kgf / mm ² / s or with an acceleration above 10 kgf / mm ² / s ² in usual specifications. At least one of these values is preparatively sent to the calculation and estimation circuit as a threshold 22 entered.

Wenn Positionsdaten von den Positionssensoren 20, 20 und/oder Spannungsdaten von den Spannungssensoren 21, 21 den vorab festgelegten Schwellwert bzw. die Schwellwerte übersteigen, wird ein abnormaler Anstieg der Spannung vorhergesagt und ein Signal s, das den vorhergesagten, abnormalen Anstieg repräsentiert, wird an eine Steuer- bzw. Regeleinrichtung bzw. einen Controller 23 ausgegeben. Die Steuer- bzw. Regeleinrichtung 23 gibt ein Befehlsignal in Antwort auf das Vorhersagesignal s aus, um automatisch die Arbeit der Drahtsägemaschine zu stoppen oder einen Alarm auszugeben. Ein Betätiger stoppt unmittelbar den Betrieb der Drahtsägemaschine in einem sicheren Zustand oder eliminiert oder korrigiert Gründe der Abnormalität, wenn er den Alarm hört. Er kann auch den Betrieb der Drahtsägemaschine unter sorgfältiger Beobachtung fortsetzen, bis der Rohling vollständig in Wafer geschnitten ist, und dann eine Tätigkeit zum Eliminieren oder Beseitigen von Gründen der Abnormalität durchführen, um ein Brechen des Drahts 5 in der Zukunft zu vermeiden.If position data from the position sensors 20 . 20 and / or voltage data from the voltage sensors 21 . 21 Above the predetermined threshold or threshold values, an abnormal rise in voltage is predicted and a signal s, which represents the predicted abnormal rise, is sent to a control device 23 output. The control device 23 issues a command signal in response to the prediction signal s to automatically stop the wire saw machine from working or to issue an alarm. An operator immediately stops operating the wire saw machine in a safe state or eliminates or corrects reasons of abnormality when he hears the alarm. He can also continue to operate the wire saw machine with careful observation until the blank is completely cut into wafers, and then perform an abnormality eliminating or eliminating action to break the wire 5 to avoid in the future.

Ein Brechen des Drahts 5 wird im bzw. beim Entstehen durch Detektieren eines Zeichens, das einen abnormalen Anstieg der Spannung voraussagt, die auf den Draht 5 aufgebracht ist, und durch Verändern von Betriebs- bzw. Arbeitsbedingungen in Übereinstimmung mit dem detektierten Vorzeichen auf diese Weise verhindert. Folglich wird die Drahtsägemaschine effizient für ein Schneiden eines Rohlings in Wafer mit hoher Produktivität ohne schwierige Arbeiten, wie ein Entfernen eines gebrochenen Drahts 5 oder ein Spannen eines neuen Drahts 5, angetrieben bzw. betrieben.Breaking the wire 5 is in the process of being created by detecting a character that predicts an abnormal rise in the voltage applied to the wire 5 is applied, and prevented by changing operating conditions in accordance with the detected sign in this way. As a result, the wire saw machine becomes efficient for cutting a blank into wafers with high productivity without difficult work such as removing a broken wire 5 or tensioning a new wire 5 , driven or operated.

In der Drahtsägemaschine gemäß der vorliegenden Erfindung, wie oben festgehalten, werden eine Fluktuation einer Spannung, die auf einen Draht aufgebracht ist, und/oder einer Vertikalbewegung von Pendelwalzen detektiert und ein Zeichen bzw. Anzeichen, das einen abnormalen Anstieg der Spannung vorhersagt, wird aus den Detektionsergebnissen abgeschätzt. Wenn derart das Vorhersagesignal erscheint, wird der Schneidvorgang gestoppt oder die Spannung, die auf den Draht aufgebracht wird, wird reduziert. Folglich wird ein Brechen des Drahts sicher im voraus bzw. beim Entstehen verhindert und die Drahtsägemaschine kann mit exzellenter Effizienz angetrieben werden.In the wire saw machine according to the present Invention, as noted above, will be a fluctuation Tension applied to a wire and / or vertical movement of Pendulum rollers detected and a sign or signs that one Predicting abnormal rise in voltage is from the detection results estimated. If the forecast signal appears in this way, the cutting process stopped or the tension that is applied to the wire reduced. As a result, breaking of the wire will be certain in advance or prevented during emergence and the wire saw machine can with excellent Efficiency driven.

Claims

A wire saw or wire saw machine comprising a plurality of grooved rolls or rollers, which have a plurality of grooves or grooves for movement paths or paths of a wire cutting a blank at circumferences thereof, a wire reel or spool for transmitting one new wire through or over deflection rollers to the grooved rollers, another wire reel for winding a wire which is sent from the grooved rollers, through or over other deflection rollers, a tensioning device for applying or applying a predetermined tension the moving wire, at least one voltage sensor for detecting or detecting a voltage applied to the wire, which is provided at a position between the grooved rollers and the deflecting rollers, characterized by calculation and evaluation circuits to which a detected value of the voltage applied to the wire is input for judging a sign that predicts an abnormal rise in tension from a fluctuating gap in tension, a fluctuation rate in tension and / or an acceleration in tension, and a regulator to which a signal, which predicts an abnormal rise in voltage is input from the calculation and judgment circuits to output an interrupt signal or an alarm in accordance with the predicting signal.

wire saw or wire saw machine, full a variety of grooved rolls which have a plurality of grooves or grooves for movement paths of a wire cutting a blank at circumferences thereof, a Wire reel or reel for sending a new wire through or over deflection rollers to the grooved rollers, another wire reel for winding a wire which is grooved Roles are sent through or over other deflection rollers, counterweights hanging from pendulum or dancer rolls for applying or applying a predetermined voltage to the moving wire, which is grooved on both sides of the Roles are provided a position sensor for detection or finding a position of each moving up and down Spherical roller, characterized by calculation and evaluation circuits, to which detected values of the position of the pendulum rollers for an assessment of an indication that indicates an abnormal increase the tension from a fluctuation of a vertical movement of the Pendulum rollers, a speed of vertical movement and / or one Acceleration of vertical movement predicts, and a Regulation and control device to which a signal, which a predicts abnormal rise in voltage from the computational and judging circuits are input to output a Interrupt signal or alarm in accordance with the predictive or predictive signal.