DE69732331T2 - Entzerrungssystem und -verfahren zum Prüfen optischer Speicherplatten - Google Patents

Entzerrungssystem und -verfahren zum Prüfen optischer Speicherplatten Download PDF

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9506Optical discs
    • GPHYSICS
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    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/002Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
    • G11B7/0037Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
    • G11B7/00375Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer

Description

  • Erfindungshintergrund
  • Diese Erfindung betrifft die Prüfung von optischen Platten, wie etwa Digital Versatile Disks („DVDs"), Compakt Disks („CDs") und dergleichen, über ein Prüfgerät, beispielsweise eine CCD-Kamera (Kameras, die typischerweise eine Anordnung von ladungsgekoppelten Bauelementen enthält, um das Bild einzufangen), Laserdiode oder irgendein anderes ähnliches Prüfgerät. Insbesondere betrifft diese Erfindung ein System und ein Verfahren, das es einem Prüfgerät für optische Platten ermöglicht, exakt Defekte auf oder in der optischen Platte zu erfassen, trotz des Vorhandenseins von Grobverformungen (beispielsweise Verwinden oder Verbiegen), die bei der Erfassung der gesuchten Defekte stören können.
  • Es ist beim Herstellen von optischen Platten wichtig, auf Anomalien zu prüfen, die die Gütequalität beeinträchtigen können. Defekte auf der Oberfläche oder in einer oder mehrerer der Schichten der optischen Platten können zu Datenfehlern führen, die nicht durch das Gerät (beispielsweise CD-Spieler, DVD-Spieler oder Rechner), das zum Lesen der optischen Platte verwendet wird, korrigiert werden kann. Darüber hinaus kann ein Defekt, der durch ein Herstellungsproblem verursacht wird, in tausenden von Kopien dieser Platten auftreten. Das Erfassen solcher Defekte gibt den Herstellern die Möglichkeit, die Freigabe defekter Platten an Konsumenten zurückzuhalten und die Herstellungsprobleme zu korrigieren, die diese Defekte verursachen.
  • Das Prüfen von optischen Platten unter Verwendung einer CCD-Kamera, Laserdiode oder eines anderen vergleichbaren Prüfgeräts ist wohlbekannt. Kommerziell erhältliche Prüfgeräte enthalten beispielsweise iNSPECT® von Medar Inc. Von Farmington Hills, MI und S2® von Basler von Malvern, PA. Oft arbeiten diese Geräte durch Messen des Zusammenhangs zwischen den Eigenschaften von Licht, das durch das Gerät emittiert wird, und Licht, das von dem Gerät nach Reflexion durch die in der Prüfung befindlichen optischen Platten empfangen wird. Dieser Zusammenhang, der als „der Prüfalgorithmus" bekannt ist, kann verwendet werden, um Anomalien auf den oder in den in der Prüfung befindlichen optischen Platten zu erfassen.
  • Die zu prüfende optische Platte wird typischerweise auf ein Prüfgestell platziert, welches die Platte für ein besonderes Prüfgerät optimal orientiert. Am häufigsten bringt das das Festhalten der optischen Platte in der Nähe ihres Zentrums (beispielsweise unter Verwendung eines Vakuums oder einer mechanischen Haltevorrichtung) mit sich, während sie gedreht wird, um auf Anomalien zu prüfen. Wenn die Platte gedreht wird, tastet das Prüfgerät die Platte entlang des Plattenradius ab, um über die gesamte Plattenoberfläche auf Anomalien zu prüfen.
  • Unter idealen Bedingungen ist die in der Prüfung befindliche optische Platte im Wesentlichen flach. Unter diesen Bedingungen folgt das Licht, das von der optischen Platte reflektiert wird, dem gleichen Weg, wie das einfallende Licht (d. h. das Licht, das vom Prüfgerät emittiert wird) zurück zum Prüfgerät. Durch Vergleich des emittierten Lichts mit dem reflektierten Licht kann das Prüfgerät das Vorhandensein von Defekten auf oder in der optischen Platte erfassen. Wenn Licht, das vom Prüfgerät emittiert wird, von einer Anomalie auf oder in der optischen Platte reflektiert wird, verändern die optischen Merkmale der Anomalie die Eigenschaften des reflektierten Lichts, das vom Prüfgerät empfangen wird. Das Prüfgerät registriert unter Verwendung des Prüfalgorithmus die Veränderung der Eigenschaften des Lichts, das nach Reflexion empfangen wurde, und verwendet diese Information, um Anomalien in oder auf der optischen Platte zu erfassen und zu lokalisieren.
  • Wenn die optische Platte jedoch Grobverformungen aufweist, wie etwa Verbiegung oder Verwindung infolge von beispielsweise Hitze, Feuchtigkeit, unkorrekter Behandlung oder anderer Faktoren, kann ein fehlerhaftes Prüfergebnis auftreten. Dieses fehlerhafte Ergebnis kann auftreten, weil die verformte Oberfläche der optischen Platte das reflektierte Licht veranlasst, nicht dem gleichen Weg zu folgen, wie das Licht, das vom Prüfgerät emittiert wird. Dies kann verursachen, dass das Prüfgerät unrichtigerweise die Verformung als einen Defekt aufnimmt, kann zum Erfassen von bedeutungslosen Defekten führen, d. h. Defekten mit Reflexionseigenschaften, die in Abwesenheit der Verformung nicht die Defekt-Schwellenwertanforderungen erfüllen würden, oder kann Defekte verdecken.
  • Mather G. R: „Optical Disc Inspection by Linear Array CCD Systems" Proceedings of the Midwest Symposium on Circuits and Systems, Detroit, Aug. 16–18, 1993, Bnd. 2, Nr. SYMP. 36, 16. August 1993, Seiten 1447–1455, XP000499841 Institute of Electrical and Electronics Engineers offenbart die Prüfung von optischen Platten, bei der Rollen die Außenkanten des Plattenniveaus mit der Ebene einer Spindel positionieren, die die Platte zur Defekt- und Krümmungsprüfung auf einer Nabe an Ort und Stelle an entsprechenden Stellen einer Dreipunkt-Karussell-Anordnung arretiert.
  • Mather T et al: „Measering system for optical Disk Mechanical Characteristics" IEICE Transactions on Electronics, Bnd. E77-C, Nr. 10, Oktober 1994, Seiten 1685–1693, XP000496094 offenbart ein System zur Messung mechanischer Merkmale von optischen Platten, das mechanische Unsicherheiten beim Arretieren der Platten vermeidet, die andernfalls Abweichungen bei der Messung könnte, die an der Platte vorgenommen werden, die auf einer Drehscheibe montiert ist.
  • Angesichts des vorhin gesagten wäre es wünschenswert, ein System und ein Verfahren zum genauen Erfassen von Defekten auf oder in der optischen Platte bereitzustellen.
  • Es würde auch wünschenswert sein, ein System und ein Verfahren zur Verminderung von fehlerhaften Prüfergebnissen von optischen Platten bereitzustellen, die durch das Vorhandensein von Groberformungen in der optischen Platte hervorgerufen werden.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist eine Aufgabe dieser Erfindung, ein System und ein Verfahren zum genauen Erfassen von Defekten auf oder in der optischen Platte bereitzustellen.
  • Es ist eine andere Aufgabe dieser Erfindung, ein System und ein Verfahren zur Verminderung von fehlerhaften Prüfergebnissen von optischen Platten bereitzustellen, die durch das Vorhandensein von Groberformungen in der optischen Platte hervorgerufen werden.
  • Diese und andere Aufgaben der Erfindung werden erfindungsgemäß durch Bereitstellung eines Systems und eines Verfahrens gelöst, das es einem Prüfgerät für optische Platten ermöglicht, Defekte auf oder in der optischen Platte zu erfassen, trotz des Vorhandenseins von Grobverformungen (beispielsweise Verwinden oder Verbiegen), die bei der Erfassung der gesuchten Defekte stören können.
  • Gemäß einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird ein Gerät zum Prüfen von optischen Platten bereitgestellt, wobei diese optischen Platten einen Defekt von einem ersten Typ und einen Defekt von einem zweiten Typ aufweisen, der bei der Erfassung des Defekts des ersten Typs stört, wobei das Gerät umfasst:
    ein Prüfgerät zum Prüfen der optischen Platten auf diesen Defekt des ersten Typs, wobei sich der Defekt des ersten Typs auf oder in den optischen Platten befindet; und
    das gekennzeichnet ist durch
    eine einstellbare Ausgleichvorrichtung zum Ausgleichen des Defekts vom zweiten Typ während der Prüfung der optischen Platten, um es dem Prüfgerät zu ermöglichen, die optischen Platten auf diesen Defekt vom ersten Typ ohne Störung durch den Defekt vom zweiten Typ zu prüfen;
    wobei der Defekt vom zweiten Typ Grobverformungen in den optischen platten umfasst; und
    wobei die Defekt-Ausgleichvorrichtung eine Luft blasende Vorrichtung zum Ausrichten von unter Druck stehender Luft auf die optischen Platten umfasst, um die optischen Platten im Wesentlichen flach zu machen.
  • Gemäß einem anderen Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Prüfen von optischen Platten bereitgestellt, wobei diese optischen Platten einen Defekt von einem ersten Typ und einen Defekt von einem zweiten Typ aufweisen, der bei der Erfassung des Defekts des ersten Typs stört, wobei das Verfahren folgenden Schritt umfasst:
    Prüfung der optischen Platten auf den Defekt vom ersten Typ, wobei sich der Defekt des ersten Typs auf oder in den optischen Platten befindet; und
    das gekennzeichnet ist durch
    einstellendes Ausgleichen des Defekts vom zweiten Typ während der Prüfung der optischen Platten, um die Prüfung der optischen Platten auf den Defekt vom ersten Typ ohne Störung durch den Defekt vom zweiten Typ zu ermöglichen;
    wobei der Defekt vom zweiten Typ Grobverformungen in den optischen Platten umfasst; und
    wobei der Ausgleichschritt das Ausrichten von unter Druck stehender Luft auf die optischen Platten umfasst, um die optischen Platten im Wesentlichen flach zu machen.
  • Bei einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird die zu prüfende optische Platte auf ein Prüfgestell platziert, welches die Platte für ein besonderes Prüfgerät optimal orientiert. Das bringt das das Festhalten der optischen Platte in der Nähe ihres Zentrums mit sich, während sie gedreht wird, um auf Anomalien zu prüfen. Die Haltevorrichtung, die zum Festhalten der optischen Platte in der Nähe des Zentrums verwendet wird könnte eine mechanische Haltevorrichtung, ein Vakuums oder irgendeine vergleichbare Vorrichtung sein, die in der Lage ist, die optische Platte lösbar festzuhalten.
  • Unterhalb der optischen Platte befindet sich ein negativer Verschiebungsprohibitor, der die negative Verschiebung der optischen Platte verhindert, d. h. die Verschiebung der optischen Platte nach unten in der vertikalen Richtung. Der negative Verschiebungsprohibitor kann irgendeine im Wesentlichen harte Oberfläche sein, wie etwa ein Metall- oder Kunststoffblock. Der negative Verschiebungsprohibitor kann entlang dem Umfang der in der Prüfung befindlichen optischen Platte auf Abstand angeordnet sein, um die negative Verschiebung der optischen Platte zu verhindern, ohne die Drehung der optischen platte zu verhindern.
  • Ein herkömmliches Prüfgerät, wie etwa eine CCD-Kamera, Laserdiode oder irgendein vergleichbares Prüfgerät kann verwendet werden, um die optische Platte auf Anomalien zu prüfen. Das Prüfgerät erfasst Anomalien durch Messung der Beziehung zwischen den Eigenschaften des Lichts, das vom Gerät emittiert wird, und Licht, das vom Gerät nach Reflexion durch die in der Prüfung befindlichen optischen Platte empfangen wird. Das Prüfgerät kann mit einer Bildschirmanzeige verbunden sein, um eine visuelle Darstellung in graphischer Form der Beziehung zwischen dem Licht, das vom Prüfgerät emittiert wird, und dem Licht, das zum Prüfgerät zurückgespiegelt wird, bereitzustellen. Diese graphische Darstellung, bekannt als „Graustufen-Signalform", zeigt Abweichungen, die auf Defekte in oder auf der in der Prüfung befindlichen optischen Platte hinweisen.
  • Gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird die positive Verschiebung der in der Prüfung befindlichen optischen Platte (d. h. Verschiebung nach oben in der vertikalen Richtung) durch einen positiven Verschiebungsprohibitor verhindert. Der positive Verschiebungsprohibitor wird durch Luftdruck bereitgestellt, der auf die optische Platte ausgeübt wird. Der ausgeübte Druck presst fest gegen die optische Platte, wodurch sie im Wesentlichen flach gehalten wird, ohne die Drehung der optischen Platte zu verhindern, Wirksame positive Verschiebung wird erreicht, wenn der Luftdruck die optische Platte in einem Winkel kontaktiert. Vorzugsweise kontaktiert der Luftdruck die optische Platte in einem Winkel von 45 Grad.
  • Der auf die optische Platte ausgeübte Druck kann entweder manuell durch eine Bedienperson gesteuert werden, der die Graustufen-Signalform beobachtet, oder kann durch ein geschlossenes Regelkreissystem gesteuert werden, das mit de Prüfsystem verbunden ist. Das geschlossene Regelkreissystem variiert den auf die optische Platte ausgeübten Luftdruck in Erwiderung auf die Information vom Prüfgerät.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnung
  • Die obigen und andere Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nach Betrachtung der folgenden detaillierten Beschreibung in Zusammenhang mit der beigefügten Zeichnung ersichtlich werden, in der sich gleiche Bezugszeichen durchgehend auf gleiche Teile beziehen und in der:
  • 1 eine anschauliche Bildschirmanzeige ist, die eine Graustufen-Signalform darstellt, die die Ergebnisse der Prüfung einer optischen Platte repräsentiert, die eine Verformung aufweist, die bei der Defekt-Prüfung der Platte stören kann;
  • 2 eine anschauliche Bildschirmanzeige ist, die eine Graustufen-Signalform darstellt, die die Ergebnisse der Prüfung einer optischen Platte repräsentiert, die eine Verformung aufweist, die zum Zweck der Plattenprüfung erfindungsgemäß korrigiert worden ist;
  • 3 eine teilweise Aufrissansicht eines anschaulichen Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Systems zur Prüfung von optischen Platten ist;
  • 4 eine teilweise Aufrissansicht eines anderen anschaulichen Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Systems zur Prüfung von optischen Platten ist;
  • 5 eine teilweise Aufrissansicht noch eines anderen anschaulichen Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Systems zur Prüfung von optischen Platten ist; und
  • 6 ein logisches Ablaufdiagramm ist, das eine Abfolge von Schritten repräsentiert, die durch das in 5 gezeigte Regelkreissystem ausgeführt werden.
  • Detaillierte Beschreibung des bevorzugten Ausführungsbeispiels
  • Zum Zweck der Veranschaulichung wird die Erfindung zum größten Teil im Kontext ihrer Anwendung auf Digital Versatile Disks („DVDs") beschrieben werden. Es versteht sich jedoch von selbst, dass die Erfindung gleichermaßen auf andere Typen von optischen Platten anwendbar ist, einschließlich, aber nicht darauf beschränkt, CDs, CD-ROMs und dergleichen.
  • 1 ist eine anschauliche Bildschirmdarstellung einer Graustufen-Signalform 120 von einer DVD, die eine Grobverformung (beispielsweise eine Verwindung oder Verbiegung) zeigt, die bei der Prüfung der optischen Platte stören kann. Die Graustufen-Signalform 120 repräsentiert graphisch den Zusammenhang zwischen den Eigenschaften von Licht, das von einem Prüfgerät (das unten in Verbindung mit den 3 und 5 beschrieben wird) emittiert wird, und Licht, das vom Prüfgerät empfangen wird, nachdem das Licht durch die DVD reflektiert wird, die auf Defekte geprüft wird. Wenn die in der Prüfung befindliche DVD im Wesentlichen flach ist (d. h. keine Grobverformung zeigt) und keine Anomalien auf ihrer Oberfläche oder in einer oder mehreren der Schichten aufweist, die die DVD bilden, ist die Lichtmenge, die zum Prüfgerät zurückgespiegelt wird, im Wesentlichen konstant. Wenn er als eine Graustufen-Signalform auf einer Bildschirmanzeige aufgetragen wird, wie es in 1 gezeigt ist, mit der nach Reflexion empfangenen Lichtmenge entlang der y-Achse und dem Radius der in der Prüfung befindlichen DVD entlang der x-Achse dargestellt, ist der Messwert, der konstant ist, im Wesentlichen parallel zur x-Achse.
  • Wenn eine Anomalie auf der DVD durch das Prüfgerät erfasst wird, zeigt die Graustufen-Signalform eine Abweichung 122, die einen erheblichen Abfall aufweist, und/oder eine Abweichung 138, die einen beträchtlichen Anstieg relativ zu der vorher relativ konstanten Signalform aufweist. Das Auftreten dieser Abweichungen der Graustufen-Signalform kann verwendet werden, um Defekte auf oder in der DVD, d. h. physikalische Verformungen, Kontaminationen etc., zu erfassen und zu lokalisieren. Insbesondere wenn eine Abweichung einen Anstieg oder einen Abfall zeigt, der eine Größenordnung aufweist, die einen festgelegten Schwellenwert überschreitet, dann kann das Prüfsystem einen Defekt auf der DVD an einer Stelle registrieren, die mit dem Auftreten der Abweichung in der Graustufen-Signalform korrespondiert.
  • Anwenderdefinierte Schwellenwerte 105, 110 und 115 bilden verschiedene Kriterien für die Toleranz von Defekten auf oder in der optischen Platte, die das Licht, das vom Prüfgerät nach Reflexion von den Defekten auf der DVD empfangen wird, veranlassen können, über oder unter einer vom Anwender festgelegten Basislinie zu sein. Jeder anwenderdefinierte Schwellenwert kann einer entsprechenden annehmbaren Toleranz des Prüfsystems entsprechen. Das Prüfsystem kann so definiert sein, dass es eine Abweichung hinnimmt, die den Schwellenwert 110 überschreitet, aber nicht den Schwellenwert 115 überschreitet (wie es durch die Abweichung 124 repräsentiert wird), vorausgesetzt, diese Abweichung tritt nicht innerhalb eines bestimmten Abstands einer anderen Abweichung auf. Beispielsweise kann das Prüfsystem so definiert sein, dass es einen Defekt hinnimmt, der zu einer Abweichung in der Signalform führt, die den Schwellenwert 110 überschreitet und nicht den Schwellenwert 115 überschreitet, vorausgesetzt, dass nicht mehr als drei vergleichbare Abweichungen innerhalb einer Distanz von 10 mm der in der Prüfung befindlichen DVD auftreten. Auf die gleiche Weise kann das Prüfsystem derart definiert sein, dass jede Abweichung, die den Schwellenwert 115 überschreitet, als ein Defekt registriert werden würde.
  • Die in der Prüfung befindliche DVD ist wahrscheinlich stärker reflektierend im Einlaufbereich, der den innersten Datenbereich umringt, und im Auslaufbereich, der den äußersten Datenbereich umringt. Das kann zum Auftreten einer Abweichung in der Graustufen-Signalform führen, die signifikant größer ist als die Größenordnung des Teils der Graustufe, die mit der Prüfung des Datenbereichs in Verbindung steht. Der Schwellenwert 105 gibt die hinnehmbare Änderung in der Graustufen-Signalform infolge der Spiegelung von den Bereichen der DVD entlang des inneren und äußeren Umfangs an, die keine Daten darauf aufweisen und stärker reflektierend sind. Demgemäß registriert das Prüfsystem alle Abweichungen, die den Schwellenwert 105 überschreiten als Defekte, aber ignoriert alle anderen Abweichungen, die zwischen die Schwellenwerte 105 und 110 fallen.
  • Die festgelegten Schwellenwerte 105, 110 und 115 können bei der Erfassung von Defekten auf oder in der DVD mit einem gewünschten Genauigkeitsgrad nur effektiv helfen, wenn die Graustufen-Signalform 120 in Abwesenheit der Defekte im Wesentlichen parallel zur x-Achse bleibt. Wenn die Oberfläche der in der Prüfung befindlichen DVD nicht im Wesentlichen flach ist, infolge thermischer oder anderer Faktoren, kann ein fehlerhaftes Prüfergebnis auftreten. Dieses fehlerhafte Ergebnis beruht auf Veränderungen im Prüfalgorithmus, verursacht durch eine Veränderung der Einfalls- und Reflexionswinkel relativ zur Oberfläche der DVD. Das fehlerhafte Ergebnis verursacht, dass die Graustufen-Signalform 120 einen unerwünschten allmählichen Anstieg oder Abfall entsprechend den Verformungen in der DVD zeigt. Dieser allmähliche Anstieg oder Abfall kann verursachen, dass das Prüfsystem irrtümlicherweise Defekte anzeigt, die nicht existieren, kann zur Erfassung von unerheblichen Defekten führen, d. h. Defekten mit Reflexionseigenschaften, die in Abwesenheit der Verformung nicht die Defektschwellenwert-Anforderungen erfüllen würden, oder kann Defekte verdecken.
  • Der Effekt der Verformung der in der Prüfung befindlichen DVD wird durch den Abschnitt 126 der Signalform 120 gezeigt. Der Abschnitt 126 wird dadurch verursacht, dass die Oberfläche der DVD nicht im Wesentlichen flach ist, wie es aus dessen allmählichem Abfallen von einem vorher im Wesentlichen konstanten Wert ersichtlich ist. Infolge des graduellen Abfalls von einem vorher im Wesentlichen konstanten Wert werden die Abweichungen 128, 130, 132, 134 und 136 in der Graustufen-Signalform vom Prüfsystem unrichtig als Defekte registriert, da die Abweichungen 128, 130, 132 und 134 (mehr als drei Abweichungen) den Schwellenwert 110 innerhalb einer Distanz der in der Prüfung befindlichen DVD von 10 mm überschreiten und die Abweichung 136 den Schwellenwert 115 überschreitet. Darüber hinaus wird die Abweichung 138, die den Schwellenwert 105 hätte überschreiten sollen und als ein Defekt registriert worden wäre, infolge eines allmählichen Abfalls der Signalform verdeckt.
  • 2 ist eine anschauliche Bildschirmanzeige einer Graustufen-Signalform 220 von einem Prüfgerät, das eine DVD gemäß den Prinzipien der vorliegenden Erfindung prüft. Wie es aus dem Aussehen der Graustufen-Signalform 220 ersichtlich ist, hält die Verwendung der vorliegenden Erfindung während der DVD-Prüfung die DVD im Wesentlichen flach, wodurch veranlasst wird, dass die Graustufen-Signalform 220 bis zum Auftreten der Abweichung 222 im Wesentlichen parallel zur x-Achse ist. Dadurch, dass die DVD im Wesentlichen flachgehalten wird, wird verhindert, dass die Abweichungen 226, 228, 230, 232 und 234 unrichtig als Defekte registriert werden. Gleichzeitig wird die Abweichung 236 als ein Defekt registriert und wird nicht infolge eines allmählichen Abfallens der Signalform verdeckt. Die Abweichung 240 beruht ähnlich wie die Abweichung 140 (1) auf der Reflexion vom Auslaufbereich, der den äußersten Datenbereich umringt und bessere relative Reflexionseigenschaften aufweist als der Bereich mit Daten.
  • Es sollte sich aus der oben erwähnten Diskussion von selbst verstehen, dass wenn die Graustufen-Signalform nicht parallel zur x-Achse ist, bis eine Anomalie erfasst wird, eine Abweichung, die nicht als Defekt registriert werden sollte, wegen der entsprechenden Veränderung in der Graustufen-Signalform den festgelegten Schwellenwert 110 und/oder 115 überschreiten kann. Alternativ kann eine Abweichung, die als ein Defekt registriert werden sollte, unbeachtet bleiben, wenn die Graustufen-Signalform nicht im Wesentlichen parallel zur x-Achse ist, bis eine Anomalie erfasst wird.
  • Bei dem anschaulichen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, das in 3 gezeigt ist, wird eine DVD 310 in der Nähe ihres Mittelpunkts durch eine Haltevorrichtung 312 gehalten. Die Haltevorrichtung 312 kann ein Vakuum sein, das die DVD lösbar festhält, während sie zur Prüfung um ihre Mittelachse gedreht wird. Das Vakuum kann unter Verwendung irgendeiner von verschiedenen Verfahren erzeugt werden, die in der Industrie allgemein bekannt sind. Obwohl das illustrative Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, das in 3 gezeigt ist, ein Vakuum verwendet, um die DVD festzuhalten, könnte ebenso ein mechanisches Befestigungselement oder irgendein anderes vergleichbares Gerät verwendet werden, das in der Lage ist, die DVD 310 lösbar zu greifen, während sie gedreht wird.
  • Ein herkömmliches Prüfgerät 314 prüft die Oberfläche der DVD 310 durch Messung des Zusammenhangs zwischen den Eigenschaften von emittiertem Licht und von Licht, das nach Reflexion von der Oberfläche der DVD 310 empfangen wird, auf Anomalien. Das Prüfgerät 314 kann eine CCD-Kamera, eine Laser-Diode oder ein anderes vergleichbares Prüfgerät. Wie es vorhin beschrieben wurde, kann dieser Zusammenhang, bekannt als der Prüfalgorithmus, auf einer Bildschirmanzeige 316 als eine Graustufen-Signalform repräsentiert werden, die entlang der y-Achse auf die Lichtmenge, die vom Prüfgerät nach Reflexion empfangen wird, und entlang der x-Achse auf den Plattenradius hindeutet. Die graphische Darstellung des Zusammenhangs zwischen den Eigenschaften des Lichts, das vom Prüfgerät emittiert wird, und dem Licht, das vom Prüfgerät empfangen wird, nachdem das Licht von der DVD, die auf Defekte geprüft wird, reflektiert wird, d. h. die Graustufen-Signalform, kann auf einer Bildschirmanzeige 316 unter Verwendung eines (nicht gezeigten) Prozessors erzeugt werden, der in das Prüfgerät 314 integriert ist. Alternativ kann ein Prozessor, der in der Bildschirm-Anzeige 316 eingebaut ist, verwendet werden, um die graphische Darstellung zu erzeugen. Wenn durch das Prüfgerät 314 in Abhängigkeit von ihrer Reflexionseigenschaft eine Anomalie erfasst wird, erscheint sie auf der Graustufen-Signalform als eine Abweichung, die scharf abfällt und/oder ansteigt.
  • Unterhalb der DVD 310 befinden sich negative Verschiebungsprohibitoren 318, die eine negative Verschiebung der DVD 310 verhindern, d. h. eine Verschiebung nach unten in der vertikalen Richtung. Die negativen Verschiebungsprohibitoren weisen eine im Wesentlichen harte Oberfläche auf und können horizontal bewegt werden, zu einander hin oder von einander weg, um optische Platten von unterschiedlicher Größe optimal aufzunehmen. Horizontale Verschiebung kann manuell oder durch eine (nicht gezeigte) mechanische, hydraulische oder pneumatische Steuervorrichtung erreicht werden.
  • Ein positiver Verschiebungsprohibitor 320 verhindert die positive Verschiebung der DVD 310, d. h. die Verschiebung nach oben in der vertikalen Richtung. Dies wird durch Verwendung einer Luftpumpe 322 bewerkstelligt, die Luft über eine Röhre 326 an eine Luftdüse 324 zuführt. Luftdruck aus der Luftdüse 324, der auf die Oberfläche der DVD 310 gedrückt wird, presst die DVD 310 nach unten gegen den negativen Verschiebungsprohibitor 318, um sie im Wesentlichen flach zu halten. Eine effiziente positive Verschiebung wird erreicht, wenn der Luftdruck die optische Platte in einem Winkel kontaktiert. Vorzugsweise kontaktiert der Luftdruck die optische Platte in einem Winkel von 45 Grad.
  • Bei dem anschaulichen Ausführungsbeispiel, das in 3 gezeigt ist, wird der Luftdruck an der Luftdüse 324 manuell durch eine Bedienperson unter Verwendung einer Steuerung 340 gesteuert. Die Bedienperson überwacht die Bildschirmanzeige 316 auf eine Graustufen-Signalform, die auf eine Grobverformung hinweist, wie es in 1 gezeigt ist. Im Falle einer solchen Beobachtung kann die Bedienperson wählen, den Luftdruck an der Luftdüse 324 durch Regulieren eines Steuerventils 324 über den Regeldrehknopf 344 zu erhöhen oder zu senken. Die Steuerung 340 ist vorzugsweise ein herkömmlicher Schaltmechanismus, der in der Lage ist, den Zustand des Steuerventils 342 graduell zwischen einer vollständig geschlossenen und einer vollständig geöffneten Stellung zu variieren. Wenn die Bedienperson den Luftdruck unter Verwendung der Steuerung 340 einstellt, überwacht die Bedienperson die Bildschirmanzeige 316, um zu bestimmen, wann genügend Luftdruck durch die Luftdüse 324 zugeführt wird, um die Verformung in der DVD 310 auszuglätten, die die Defekterfassung durch das Prüfgerät stören kann.
  • Neben dem Verhindern der Verschiebung der in der Prüfung befindlichen DVD 310 nach unten weisen die negativen Verschiebungsprohibitoren 319 bei dem anschaulichen Ausführungsbeispiel, das in 4 gezeigt ist, Öffnungen 342 auf, durch die Luftdruck auf die Oberfläche der DVD 310 gerichtet wird, wodurch die DVD 310 nach unten gegen die negativen Verschiebungsprohibitoren 319 gepresst wird, um sie im Wesentlichen flach zu halten. Das wird unter Verwendung einer Luftpumpe 322 bewerkstelligt, die Luft über eine Röhre 326 an die Öffnungen 342 zuführt. Die Röhre 326 kann Luft durch einen (nicht gezeigten) Verteiler an die Öffnung zugeführt, der einen Einlass, der an die Röhre 326 gekoppelt ist, und Auslässe aufweist, die an jeweils eine der Öffnungen 342 gekoppelt sind. Die Öffnungen 342 sind so gewinkelt, dass Luft, die durch sie hindurch fließt, in einem Winkel von 45 Grad auf die Oberfläche der in der Prüfung befindlichen DVD 310 gerichtet wird, wie es allgemein durch die Richtungspfeile 346 gezeigt ist. Alternativ können die Öffnungen entlang der Längsachse einer röhrenförmigen Struktur auf Abstand angeordnet sein, die entlang ihrer Längsachse gedreht werden kann, um Luftdruck in irgendeinem Winkel auf die Oberfläche der in der Prüfung befindlichen DVD 310 zu richten.
  • Bei einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, das in 5 gezeigt ist, wird der Luftdruck an der Luftdüse 324 durch ein geschlossenes Regelkreissystem 440 gesteuert, das ebenfalls mit dem Prüfgerät 314 verbunden ist. Das geschlossene Regelkreissystem 440 variiert den Luftdruck an der Luftdüse 324 in Erwiderung auf die Information vom Prüfgerät 314 durch Steuerung eines Steuerventils 442. Das geschlossene Regelkreissystem 314 kann Information verwenden, die vom Prüfgerät geliefert wird, um automatisch das Ausmaß zu bestimmen, in dem das geschlossene Regelkreissystem das Steuerventil 442 öffnet oder schließt.
  • Das geschlossene Regelkreissystem 440 kann Information benutzen, die vom Prüfgerät 314 erhalten wird, um ein Fehlersignal zu erzeugen. Das geschlossene Regelkreissystem 440 kann die Abweichungen, d. h. scharfe Anstiege oder Abfälle, in der Graustufen-Signalform, die Zahl der Abweichungen und die Distanzen, über die sie auftreten, und Veränderungen in den Messwerten der Graustufen-Signalform berücksichtigen. Diese Information wird bei der Bestimmung verwendet, ob die Abweichungen in der Graustufen-Signalform auf einer Anomalie des gesuchten Typs beruhen oder ob die Änderung des Messwerts der Graustufen-Signalform das Ergebnis davon ist, dass die DVD 310 im Wesentlichen nicht flach ist. Abweichungen mit einem scharfen Anstieg oder Abfall außerhalb der festgelegten Schwellenwerte 105 oder 115 sowie mehrfache Abweichungen innerhalb einer festgelegten Distanz, die den festgelegten Schwellenwert 110 überschreiten (wie es in den 1 und 2 gezeigt ist), weisen auf eine Anomalie des gesuchten Typs hin. Graduelle Veränderungen in den Messwerten der Graustufen-Signalform sowie graduelle Änderungen in den Messwerten der Graustufen-Signalform über eine relativ lange Zeitdauer sind jedoch ein Ergebnis davon, dass die DVD 310 im Wesentlichen nicht flach ist (wie es in 1 gezeigt ist). Abweichungen, die nicht die festgelegten Schwellenwerte überschreiten, werden als nicht auf die gesuchten Defekte hinweisend ignoriert.
  • Nur im Falle, dass das geschlossene Regelkreissystem 440 bestätigt, dass die Änderung der Messwerte in der Graustufen-Signalform darauf beruht, dass die DVD 310 im Wesentlichen nicht flach ist, wird ein Fehlersignal erzeugt, das das Steuerventil 442 veranlasst, den Druck der aus der Luftdüse 324 strömenden Luft derart zu variieren, dass das Fehlersignal vermindert wird. Das geschlossene Regelkreissystem 440 empfängt während der DVD-Prüfung laufend Information vom Prüfgerät 314, um den Luftdruck an der Luftdüse 324 durch Regulieren des Steuerventils 442 zu regulieren. Für optimale Ergebnisse sollte der Luftdruck an der Luftdüse 324 jedoch zwischen den Werten von etwa 0 und 6 bar eingestellt werden.
  • 6 zeigt ein logisches Ablaufdiagramm, das die Abfolge der Schritte repräsentiert, die dazu erforderlich sind, die DVD unter Verwendung des geschlossenen Regelkreissystems 440 (5) im Wesentlichen flach zu halten. Die Abfolge beginnt damit, dass das geschlossene Regelkreissystem 440 (5) in Schritt 510 Information vom Prüfgerät 314 (5) erhält. In Schritt 520 verwendet das geschlossene Regelkreissystem 440 (5) die Information, die in Schritt 510 erhalten wurde, um durch Vergleich der erhaltenen Information mit den festgelegten Schwellenwerten und/oder der Zahl von Auftritten von Abweichungen, die einen festgelegten Schwellenwert über eine festgelegte Distanz überschreiten, über die die DVD geprüft worden ist, sowie der Veränderung in den Messwerten der Graustufen-Signalform einen Fehlerwert zu erzeugen. In Schritt 530 bestimmt das geschlossene Regelkreissystem 440 (5) ob der in Schritt 520 erzeugte Fehlerwert auf einen Defekt auf oder in der DVD hinweist oder auf eine Grobverformung der DVD (beispielsweise eine Verwindung oder Verbiegung) hinweist. Das geschlossene Regelkreissystem 440 (5) kann dies durch Vergleich des in Schritt 520 erzeugten Fehlerwerts mit einem Bereich von hinnehmbaren Werten sowie durch Bestimmen der Anstiegsrate tun.
  • Wenn in Schritt 530 bestimmt wird, dass der in Schritt 520 erzeugte Fehlerwert auf einen Defekt hinweist, dann bestimmt das geschlossene Regelkreissystem 440 in Schritt 535, ob der in Schritt 520 erzeugte Fehlerwert einem Defekt in oder auf der DVD entspricht, der den durch die festgelegten Schwellenwerte 105, 110 und 115 (1 und 2) gebildeten Bereich überschreitet, d. h. einem Defekt, der registriert werden muss, oder ob es ein Defekt ist, der innerhalb der festgelegten Schwellenwerte 105, 110 und 115 (1 und 2) fällt und nicht registriert werden muss. Wenn in Schritt 535 ermittelt wird, dass der in Schritt 520 erzeugte Fehlerwert auf einen Defekt hinweist, der den durch die festgelegten Schwellenwerte 105, 110 und 115 (1 und 2) gebildeten Bereich überschreitet, dann kehrt das System, nachdem der Defekt in Schritt 540 registriert wird, zu Schritt 510 zurück, um das Überwachen fortzuführen. Wenn jedoch in Schritt 525 ermittelt wird, dass der in Schritt 520 erzeugte Fehlerwert auf einen Fehler hinweist, der innerhalb des durch die festgelegten Schwellenwerte 105, 110 und 115 (1 und 2) gebildeten Bereichs fällt, dann kehrt das System zu Schritt 510 zurück, um das Überwachen der Information vom Prüfgerät fortzuführen, ohne den Defekt zu registrieren.
  • Wenn jedoch in Schritt 530 das geschlossene Regelkreissystem 440 (5) bestimmt, dass die erhaltene Information auf eine Grobverformung hinweist, erzeugt es ein Signal, das veranlasst, dass der Luftdruck in Schritt 550 eingestellt wird. Der Luftdruck wird eingestellt, um den Fehlerwert zu veranlassen, innerhalb eines hinnehmbaren Bereichs zu fallen. Danach kehrt das System zu Schritt 510 zurück, um das Überwachen fortzuführen.
  • Wie vorhin hingewiesen wurde, wird man einsehen, dass das System dieser Erfindung gleichfalls mit anderen optischen Medien als DVDs zur Prüfung auf Anomalien durch ein Prüfgerät wirksam ist.
  • Es versteht sich von selbst, dass das oben erwähnte lediglich illustrativ für die Erfindung ist und dass verschiedene Modifikationen durch den Fachmann vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der Erfindung abzuweichen, wie er durch die Ansprüche abgegrenzt wird. Beispielsweise könnte anstelle des Variierens des Luftdrucks durch ein Steuerventil dieser durch Verändern der Öffnung der Luftdüse variiert werden. Gleicher Weise können mehr als eine Luftdüse verwendet werden, um ein Gleichgewicht zu erreichen, das die Oberfläche der zu prüfenden optischen Platte im Wesentlichen flach macht. Darüber hinaus könnte das geschlossene Regelkreissystem 440 (5) auch dazu verwendet werden, um den Luftdruck an den Öffnungen 342 (4) in den negativen Verschiebungsprohibitoren 319 (4) zu steuern.
  • Auf diese Weise werden ein System und ein Verfahren bereitgestellt, das es einem Prüfgerät für optische Platten erlaubt, Defekte auf oder in optischen Platten neben dem Vorhandensein von Grobverformungen (beispielsweise Verbiegung oder Verwindung) in der Platte zu erfassen, die ansonst den Prüfprozess stören würden. Ein Fachmann wird erkennen, dass die vorliegende Erfindung durch andere als die beschriebenen Ausführungsbeispiele ausgeführt werden können, die zum Zweck der Veranschaulichung und nicht zur Einschränkung präsentiert wurden, und die vorliegende Erfindung wird lediglich durch die Ansprüche eingeschränkt, die folgen.

Claims (12)

  1. Gerät zum Prüfen von optischen Platten (310), wobei diese optischen Platten einen Defekt von einem ersten Typ und einen Defekt von einem zweiten Typ aufweisen, der bei der Erfassung des Defekts des ersten Typs stört, wobei das Gerät umfasst: ein Prüfgerät (314) zum Prüfen der optischen Platten auf diesen Defekt des ersten Typs, wobei sich der Defekt des ersten Typs auf oder in den optischen Platten befindet; und das gekennzeichnet ist durch eine einstellbare Ausgleichvorrichtung (318, 319, 320) zum Ausgleichen des Defekts vom zweiten Typ während der Prüfung der optischen Platten, um es dem Prüfgerät zu ermöglichen, die optischen Platten auf diesen Defekt vom ersten Typ ohne Störung durch den Defekt vom zweiten Typ zu prüfen; wobei der Defekt vom zweiten Typ Grobverformungen in den optischen Platten umfasst; und wobei die Defekt-Ausgleichvorrichtung eine Luft blasende Vorrichtung (322, 324) zum Ausrichten von unter Druck stehender Luft auf die optischen Platten umfasst, um die optischen Platten im Wesentlichen flach zu machen.
  2. Gerät nach Anspruch 1, umfassend eine Bildschirmanzeige (316) zum graphischen Repräsentieren von Information, die vom Prüfgerät während der Prüfung der optischen Platten erhalten wird.
  3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Defekt-Ausgleichvorrichtung eine Steuerung (340, 440) zum Variieren der unter Druck stehenden Luft umfasst, die durch die Luft blasende Vorrichtung bereitgestellt wird.
  4. Gerät nach Anspruch 3, wobei die Steuerung ein geschlossenes Regelkreissystem (440) umfasst, das angeordnet ist, um automatisch das Öffnen und Schließen eines Druck-Steuerventils (442) der Vorrichtung für unter Druck stehende Luft zu steuern.
  5. Gerät nach Anspruch 4, wobei das geschlossene Regelkreissystem (440) so zurechtgemacht ist, dass es Information vom Prüfgerät (314) betreffend Defekte vom zweiten Typ empfängt.
  6. Gerät nach Anspruch 5, wobei das geschlossene Regelkreissystem (440) so zurechtgemacht ist, dass die Menge unter Druck stehender Luft, die durch die Luft blasende Vorrichtung (322, 324) zugeführt werden soll, unter Verwendung der Information vom Prüfgerät (314) bestimmt wird.
  7. Gerät nach Anspruch 6, wobei die Information, die vom Prüfgerät (314) geliefert wird, durch eine Anstiegsrate gekennzeichnet ist und das geschlossene Regelkreissystem (440) so zurechtgemacht ist, dass die Menge der unter Druck stehenden Luft unter Verwendung der Anstiegsrate bestimmt wird.
  8. Verfahren zum Prüfen von optischen Platten (310), wobei diese optischen Platten einen Defekt von einem ersten Typ und einen Defekt von einem zweiten Typ aufweisen, der bei der Erfassung des Defekts des ersten Typs stört, wobei das Verfahren folgenden Schritt umfasst: Prüfung der optischen Platten (310) auf den Defekt vom ersten Typ, wobei sich der Defekt des ersten Typs auf oder in den optischen Platten befindet; und das gekennzeichnet ist durch einstellendes Ausgleichen des Defekts vom zweiten Typ während der Prüfung der optischen Platten, um die Prüfung der optischen Platten auf den Defekt vom ersten Typ ohne Störung durch den Defekt vom zweiten Typ zu ermöglichen; wobei der Defekt vom zweiten Typ Grobverformungen in den optischen Platten umfasst; und wobei der Ausgleichschritt das Ausrichten von unter Druck stehender Luft auf die optischen Platten (310) umfasst, um die optischen Platten im Wesentlichen flach zu machen.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei der Prüfschritt die Prüfung der optischen Platten (310) auf den Defekt vom ersten Typ unter Verwendung eines Prüfgeräts (314) umfasst.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der Prüfschritt das graphische Repräsentieren von Information umfasst, die während der Prüfung der optischen Platten vom Prüfgerät empfangen wird.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei der Ausgleichschritt das Variieren der unter Druck stehenden Luft durch eine Steuerung (340, 440) umfasst.
  12. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, wobei der Ausgleichschritt das Bestimmen der Menge der unter Druck stehenden Luft, die durch die Luft blasende Vorrichtung (322, 324) zugeführt werden soll, unter Verwendung der Information vom Prüfgerät (314) bestimmt wird.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE9504228L (sv) * 1995-11-27 1997-01-13 M2 Engineering Ab Förfaringssätt för automatisk avsyning av cirkulära informationsbärare
JP2000011470A (ja) * 1998-06-23 2000-01-14 Tdk Corp 樹脂ディスクの機械特性測定方法および光ディスクの機械特性測定方法
KR100334393B1 (ko) 1999-06-30 2002-05-03 박종섭 반도체소자의 제조방법
JP2002048716A (ja) * 2000-07-03 2002-02-15 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 小型部品の外観検査治具およびその治具を用いた検査方法
KR100397255B1 (ko) * 2000-09-29 2003-09-13 대한민국(전남대학교총장) 티슈형 알루미늄 포일 생산공정에서의 공기압을 이용한홀딩장치
DE10313202B3 (de) * 2003-03-21 2004-10-28 HSEB Heinze & Süllau Entwicklungsbüro Dresden GmbH Vorrichtung und Verfahren zur Kanteninspektion an Halbleiterwafern
US7586595B2 (en) * 2003-11-17 2009-09-08 Tdk Corporation Method of scanning and scanning apparatus
US20050254381A1 (en) * 2004-04-28 2005-11-17 Desormeaux Joseph Jr System and method for detecting faulty media in a media player

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4069484A (en) * 1976-05-28 1978-01-17 Rca Corporation Defect plotting system
US4197011A (en) * 1977-09-22 1980-04-08 Rca Corporation Defect detection and plotting system
JPS57161640A (en) * 1981-03-31 1982-10-05 Olympus Optical Co Ltd Inspecting device for surface
JPS60147945A (ja) * 1984-01-10 1985-08-05 Victor Co Of Japan Ltd 光デイスク検査装置
JPH0135354Y2 (de) * 1984-11-20 1989-10-27
US4794265A (en) * 1987-05-08 1988-12-27 Qc Optics, Inc. Surface pit detection system and method
US4794264A (en) * 1987-05-08 1988-12-27 Qc Optics, Inc. Surface defect detection and confirmation system and method
JPH01297542A (ja) * 1988-05-25 1989-11-30 Csk Corp 欠陥検査装置
JPH01310485A (ja) * 1988-06-08 1989-12-14 Dainippon Printing Co Ltd 欠陥情報検出装置
JPH0786470B2 (ja) * 1988-06-13 1995-09-20 富士写真フイルム株式会社 ディスク表面検査方法及び装置
JP2796316B2 (ja) * 1988-10-24 1998-09-10 株式会社日立製作所 欠陥または異物の検査方法およびその装置
JPH0776757B2 (ja) * 1990-12-14 1995-08-16 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 光学的検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
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EP0837321A2 (de) 1998-04-22

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