DE69535479T2 - Verfahren und vorrichtung zur positions- und bewegungsmessung - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur positions- und bewegungsmessung Download PDF

Info

Publication number
DE69535479T2
DE69535479T2 DE69535479T DE69535479T DE69535479T2 DE 69535479 T2 DE69535479 T2 DE 69535479T2 DE 69535479 T DE69535479 T DE 69535479T DE 69535479 T DE69535479 T DE 69535479T DE 69535479 T2 DE69535479 T2 DE 69535479T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
scale
elements
carrier
light
receiver
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69535479T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69535479D1 (de
Inventor
Jean-Jacques Wagner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Elesta Relays GmbH
Original Assignee
WAGNER JEAN JACQUES
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WAGNER JEAN JACQUES filed Critical WAGNER JEAN JACQUES
Application granted granted Critical
Publication of DE69535479D1 publication Critical patent/DE69535479D1/de
Publication of DE69535479T2 publication Critical patent/DE69535479T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/40Position sensors comprising arrangements for concentrating or redirecting magnetic flux

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)

Description

  • Das Gebiet der Erfindung betrifft ein Verfahren und/oder eine Vorrichtung, zur Bestimmung mittels eines Lichtbündels die relative oder absolute Lage eines Massverkörperungsträgers nach einer bestimmten Bewegungsrichtung relativ zu einem weiteren Träger, welche umfasst:
    • a- eine Lichtquelle zur Erzeugung eines Lichtflusses,
    • b- ein Massverkörperungsträger, der eine Massverkörperung umfasst, die in den Lichtfluss angeordnet ist, den er modifiziert
    • c- ein Träger, der ein oder mehrere Empfängerelemente enthält, die den modifizierten Lichtfluss auffangen können,
    • d- ein oder mehrere Empfängerelemente, die aufgefangene Lichtintensität in einer physischen Effekt umwandeln können.
    • e- und eine Detektionschaltung, für die Erzeugung eines elektrischen Signal
  • Das ermöglicht, Bewegungs- und Positionssensoren zu herstellen.
  • Die Patentanmeldung 474.149 A2 (Kawamura) beschreibt eine identische Vorrichtung in der Form eines inkrementalen Drehgebers. Das Funktionsprinzip ist dadurch gekennzeichnet dass die Massverkörperung aus einer transparenten Halb-Teilung und aus einer fokalisierendenHalb-Teilung gebildet wird, zu denen zwei lichtempfindliche Dioden, dessen Breite eine Halb-Teilung bemessen wird. Die möglich erreichbare Auflösung durch die Vorrichtung wird nicht quantifiziert.
  • Die Abmessung des Lichtspots wird als unendlich klein definiert und die so genannte Dunkelzone als wie ohne Licht anwesend wäre. Dieser Gesichtspunkt ist gültig, solange die Optik vollkommen ist, und die Diffraktionsprobleme nicht in Betracht genommen werden.
  • Die Funktion der Vorrichtung hängt unter anderem von der Abmessung des Lichtspots ab, die durch die fokalisierende optische Elemente auf den Empfängerelementen gebündelt werden. Für zum Beispiel eine Linse von 20μm mit einer Brennweite von 80μm, was eine Teilungsgrösse von 40μm entspricht, die Breite des Lichtspots 30% der Breite des Empfängerelements betragen wird. Die Stromkurven, die in der Anmeldung von Kamawura beschrieben wurden, sind nicht mehr brau-chbar, insbesondere die Auflösung wird nicht wie angegeben multipliziert werden können.
  • Die Einheitsauflösung der Vorrichtung entspricht einem Abwechslung des digitalen Signals je Teilungslänge. Die Auflösung des Sensors wird durch die Auflösung der Massverkörperung definiert.
  • Die Einheitsauflösung entspricht der Auflösung, die durch die geometrische und physische Anordnung der Empfängerelemente bestimmt ist. Die Auflösung der Massverkörperung entspricht der Auflösung, die durch die Abmessung einer Teilung der Massverkörperung definiert ist.
  • Ein anderer Nachteil dieser Vorrichtung liegt in der unkonventionelle Auslegung des Positionssignals, was eine Bremse an einer Vermarktung des Produktes darstellt.
  • Ausserdem dokumentiert der Antrag nicht die Zwänge bezüglich der Konzeption der Lichtquelle. Sie stellt nicht bevorzugte Formen der Linse dar, um die Auflösung der Vorrichtung zu verbessern.
  • Die Patentanmeldung EP 0206 656 (Léonard) beschreibt eine Vorrichtung, die mit einer Massverkörperung mit eine Halb-Portion im Durchlicht und eine zweite Halb-Portion im Auflicht funktioniert. Eine Miniaturisierung des Massverkörperungsträgers ist begrenzt, entweder aus Gründen der mechanischen Fertigung oder durch die hohen Kosten bezüglich des Herstellens einer Massverkörperung aus Glas durch lithographische Verfahren.
  • Der Patentanmeldung EP 0489399 A2 (Igaki), setzt eine Reihe von optischen Elementen, die auf einem Zylinder angeordnet sind und einem Lichtfluss ein, die dieselbe Massverkörperung zweimal durchquert. Bei einem ersten Durchgang wird eine Hälfte des Lichtflusses reflektiert, und die andere Hälfte wird durch Gitterwirkung modifiziert und ist auf der entgegen angeordneten Seite der Massverkörperung abgebildet, wo der Lichtfluss nach drei unterschiedlichen Richtungen geteilt wird. Die Auflösung, die erhalten werden kann, hängt von der Wellenlänge des Lichtes und vom Durchmesser des Massverkörperungsträgers nach der Formel ab: (N-1/4)·(Auflösungsschritt)·(Auflösungsschritt)/ (Wellenlänge) < Durchmesser der Massverkörperung < (N+1/4)·(Auflösungsschritt)·(Auflösungsschritt)/ (Wellenlänge)
  • Das bedeutet, dass bei einem Durchmesser von 15 mm eine Auflösung von ungefähr 760 Schritten entspricht. Das Handelsprodukt kündigt eine Auflösung von ungefähr 80 '000 Schritte von Teilung an, was mit einer komplexen Detektion-schaltung für die Verarbeitung der Signalen aus der drei Dioden erreicht werden kann. Die in zwingender Zylinderform Anordnung des Massverkörperungsträger ist für, zum Beispiel, einen Neigungssensor nicht geeignet.
  • Das Patent US-4531300 zeigt ein Beispiel eines Neigungssensors, die mit einer identischen Technik wie Léonard ausgebildet ist. Diese Vorrichtung ist besonders Platz raubend und kostspielig, um mit den klassischen Blasenprodukten zu konkurrenzieren. Die Benutzung kapazitiver oder magneto-resistiver Sensoren erfordert einen analog/digital Umsetzschaltung mit mehr als 12 bits Auflösung, was schwieriger wird zu umsetzen, als es wäre mit einer reinen Digitalschaltung.
  • Die Patentanmeldung PCT/EP 93/02415 beschreibt ein Erfassungssystem von Kilometern, das einen Sensor für die Bemessung der Bewegung eines Fahrzeugs einsetzt. Der Einsatz eines Gravitationssensors ist von Interesse wegen ihre Stabilität über der Zeit und ihrer Einfachheit. Die zu messenden Werte verlangen einen hoch auflösenden Sensor, das auf dem Markt nicht verfügbar ist.
  • Die oben beschriebenen Vorrichtungen erlauben nicht Sensoren mit kleinen Abmessungen für die Bestimmung von absoluter Position mit einer linearen Code als es im Patentanmeldung JP 3006423 beschrieben ist, zu herstellen. Sie erlauben auch nicht, hoch auflösende Gravitationssensoren zu herstellen, wie es auf dem Markt für bestimmte Anwendungen gefragt wird.
  • Die Ziele der Erfindung greift auf einem neuen Verfahren und neuer Vorrichtung zurück, um die Nachteile zum Stand der Technik, insbesondere was die Auflösung betrifft, die Funktion für die inkrementale und absolute Messung einer Verschiebung.
  • Andere Zielsetzungen der Erfindung bestehen darin, die elektrischen Eigenschaften dieses Vorrichtungstyps zu verbessern, insbesondere was den Stromverbrauch betrifft, und die Herstellkosten zu reduzieren.
  • Die Erfindung wird durch Ansprüche 1 und 5 gekennzeichnet, die Unteransprüche 34 bis 37 beschreiben spezifische Anwendungen der Erfindung. Die übrigen Unteransprüche beschreiben spezielle oder vorzügliche Ausführungsformen der Erfindung.
  • Die im Anspruch 1 gekennzeichnete Verfahren unterscheidet sich vom Verfahren, das von Kawamura beschrieben wurde, in dem ein einzigen Lichtspot mit wenigstens einem Empfängerelement für die Erzeugung eines Wechselsignals benutzt wird, das die Versetzung des Massverkörperungsträgers in Bezug zu einem Trägers beschreibt, worauf die Empfängerelemente angeordnet sind.
  • Eine bevorzugte Ausführung der Vorrichtung enthält eine Massverkörperung mit aus Zylinderlinsen, die nebeneinander angeordnet sind. In diesem Fall kann die ganze Energie, die die Massverkörperung durchquert, auf ein oder mehreren Empfängerelementen gebündelt werden. Eine vorgezogene Anordnung der Empfängerelemente besteht in einer Reihe von Elementen, deren Breite in Verhältnis zur Mittellinie der Massverkörperung kleiner ist als die Teilungslänge, was auch erlaubt, eine höhere Einheitsauflösung zu erhalten, die von der Teilung der Massverkörperung definiert wurde. Mit einer hohen Einheitsauflösung kann für eine entsprechende Auflösung, die Schaltung vereinfacht werden.
  • Der Vorteil der Erfindung besteht darin, ein optisches Messsystem zu bauen, das unter optimalen Bedingungen arbeitet, dieses sowohl bei Abmessung mit breiten Teilungen als auch für Abmessungen die an der durch den optischen Elementen angrenzende Auflösungsmöglichkeiten stossen. Die vorgegebene Möglichkeit die Einheitsauflösung zu erhöhen in Bezug auf derjeniger der Massverkörperung gibt weitere Möglichkeiten bei einem optimalen Wahl der beiden Alternativen.
  • Die zylindrische Form der Linse macht es möglich, die Breite des Lichtspots mit einem Höchstwert zu bestimmen und durch die Wahl der Länge von dieser, einen ausreichenden Fluss an Lichtenergie zu garantieren. Es macht es ebenfalls möglich und in einer eleganten Weise eine geeignete Anordnung der Massverkörperung zu realisieren, die für Messvorrichtung mit absolutem Wert eingesetzt werden kann. Die längliche Form des Lichtspots, die durch die Zylinderlinse charakterisiert ist, wird auch besonders an die Umsetzung der Vorrichtung angepasst, die in Darstellung 10a beschrieben wurde.
  • Die Erfindung macht es möglich kostengünstige Sensoren mit sehr hoher Auflösung und/oder kleinen Abmessungen zu realisieren. Dank der kleinen Abmessung der Linsen und dank dass die Lichtquelle sehr nah vom Massverkörperungsträger angeordnet werden kann, können Sensoren mit sehr kleine axiale Abmessungen realisiert werden.
  • Das nachstehende Ausführungsbeispiel macht es möglich, die Vorteile der Erfindung hinsichtlich der bekannten Stand der Technik besser zu illustrieren: als Beispiel, eine Massverkörperung mit Linsen einer Breite von 16 μm und einer brennweite von 80μm, die mit Empfängerelementen einer Breite von 4μm und einer Länge von 200 μm kombiniert werden. Eine Breite dieser Elemente entspricht eine Teilungslänge von 16μm. Diese Anordnung macht es möglich auf einem Durchmesser von 15,3 mm 3000 Teilungen zu erhalten. Die Modulation des Lichtflusses ist dermassen, dass die mögliche minimale Breite „M" des auf dem Ebene der Lichtssensoren anfallende Lichtbundle bemisst in etwa 3m. Der Einsatz von 4 Dioden eines breite von 4μm pro Teilung macht es möglich, mit einer differentialbewertung eine Auflösung mit 6000 Teilungen zu erreichen. Ein zweite um 1/4·1/4 einer Teilung verschobene Gruppe von Empfängerelemente macht es möglich ein Cosinus Signal auszubilden. Eine einfache Detektionschaltung, die die Einheitsauflösung durch 4 multipliziert, macht es möglich eine Auflösung auf 24'000 Schritte zu erreichen. Mit einer Detektionsschaltung und einer mechanischen Vorrichtung guter Qualtität könnte dieselbe Auflösung 256 fach höher sein, dass heisst einer Auflösung von 153'000 Teilung. Die Wahl einer Brennweite von 40μm, die mit einer gepflegten Anordnung der wesentlichen Bestandteile der Vorrichtung kombiniert ist, würde es möglich machen, die hier oben angegebene Auflösung zu verdoppeln.
  • Die von Kawamura vorgeschlagene Vorrichtung, zurückgebracht auf das obige Beispiel entspricht einer Teilung der Massverkörperung von 8 μm, was einen Linsenbreite von 4μm entspricht, was unrealisierbar ist, da die Brennweite so einer 1–2 μm betragen müsste, um eine genügend kleinen Lichtspot zu generieren. Hinzu kommt, dass der Verhältnis der durch den Empfänger elementen erzeugten Stromsignal für einen unendlich kleinen Spot von 8 ist. Diese zwei Werte beweisen, dass die Vorrichtung von Kawamura bei solchen Auflösungswerten nicht funktionsfähig sein kann. Umgekehrt mit der Kawamura Vorrichtung kann eine Einheitsauflösung von ungefähr 10 Mal niedriger als die Erfindung erreichen. Gemäss der Darstellung von 4 läuft es eher darauf hinaus, dass bei gleicher Einheitsauflösung, gleichen Lichtfluss und unter idealen Funktionsbedingungen die Erfindung macht es möglich, ein elektrisches Signal eines Wertes um 8 Fach höher als den durch die von Kawamura beschriebene Vorrichtung erzeugter Signal.
  • Eine Analyse der Vorrichtung nach Leopard lässt erblicken, dass mit einer derartigen Vorrichtung eine Auflösung von 2 bis 4 Fach niedriger, bei einer vergleichbaren technischen Ausführung von 3 bis 4 Fach niedriger als der Vorrichtung der Erfindung erreicht werden kann. Eine Massverkörperung mit vergleichbarer Auflösung fordert eine 8μm Gitterperiode, was nicht wirtschaftlich herstellbar ist.
  • Das oben erwähnte Beispiel beweist, dass nach dem bekannten Stand der Technik nicht möglich ist, bessere Einheitsauflösungen als mit der Erfindung. zu erreichen. Die Erfahrungen, die gemacht wurden, haben bis zum heutigen Tag bewiesen, dass es ohne spezielle Vorkehrung möglich sein wird, Massverkörperungen gemäss der Erfindung einer Teilungslänge von 8μm herzustellen.
  • Die Massverkörperung kann durch Kunststoffspritzen hergestellt werden, was in der gleichen Operation möglich macht, den Massverkörperungsträger zu produzieren. Die Hinzufügung von zusätzlichen Baufunktionen, wie zum Beispiel eine Hilfe für die Montage, ohne messbare Erhöhung der Herstellungskosten verwirklicht werden.
  • Unteranspruch 5 beschreibt die Grundlagen der Konzeption der Vorrichtung. Unteranspruch 7 beschreibt die Eigenschaften der Empfängerelemente Unteranspruch 8 beschreibt eine bevorzugte Anordnung der Empfängerelemente, die es möglich macht, über ein Paar von Empfängerelement ein alternatives Signal 22 zu erzeugen, dessen Wert oder Form unabhängig von der Intensität des Lichtflusses ist. Unteranspruch 9 beschreibt, dass die Empfängerelemente unter mehreren Teilungen verteilt werden können. Unteranspruch 12 beschreibt, dass für eine optimale Position der Lichtquelle ein optimales Verhältnis zwischen der Breite des Lichtspots und der Breite der Empfängerelemente einem Signal in Form eines Sinus entspricht, das für eine grössere Auflösung der Vorrichtung integriert werden kann. Unteranspruch 18 beschriebt eine bevorgezogene Ausführung der optischen Elementen, die einer Zylinderlinse entspricht.
  • Die Unteransprüche 14 und 15 beschreiben eine Massverkörperung mit unterschiedlichen optischen Elementen, jede Teilung wird einen Zahlenwert zugeteilt, der es möglich macht, die absolute Position des Massverkörperungsträgers nach dem in Unteranspruch 2 beschriebenen Verfahren zu bestimmen. Damit können absoluten Drehgeber mit vergleichbaren Abmessungen als den oben beschriebenen Vorrichtungen zu konstruieren. Diese Technologie, die durch die Verwendung von Zylinderlinsen einfach umsetzbar werden kann, ist für die Konstruktion von absoluten Drehgeber von kleineren Abmessungen besonders vorteilhaft.
  • Die Detektionschaltung kann mit den Empfängerelementen auf dem gleichen Träger integriert werden, was auch der Fall für zum Beispiel einen absoluten Drehgeber mit 13 Bits Auflösung. Der Schaltung wird von geringem Ausmass und billig sein.
  • Die Erfindung erlaubt dank den oben beschriebenen Eigenschaften, neue Produkte einfacher Konzeption zu konstruieren, die mit wenig Bauelemente funktionieren, die nach der bekannten Stand der Technik nicht realisierbar sind. Er macht es möglich Sensoren herzustellen, die gleichzeitig billig, hoch auflösend, mit kleinerer Abmessungen, die wenig Strom verbrauchen, die inkrementalen Impulse und/oder absoluten Positionswerte liefern können, und die im Einklang mit der künftige Entwicklung der Mikroelektronik, die sich im Sinne der Miniaturisierung und der sparenden Energieverbraucht entwickelt.
  • Für die Beschreibung der Erfindung wird auf den folgenden Figuren bezogen
  • 1 Schematische Darstellung der Messvorrichtung.
  • 2 Zusammenspiel zwischen elektrisches und Lichtsignal
  • 3 Anordnung der Elemente
  • 4 Vergleich der Eigenschafen
  • 5 Bevorzugte Konzeption der Massverkörperung
  • 6 fokalisierenden Portion
  • 7 Diverse Ausführung der Messvorrichtung
  • 8 Diverse Ausführung der Messvorrichtung
  • 9 Anordnung der Empfängerelemente
  • 10 Signal nach Kawamura
  • 11 Massverkörperung mit numerischer Zuteilung
  • 12 Beispiel von linearem Code
  • 13 Massverkörperungsträger für einen Drehgeber
  • 14 Schaltung für absolute Messvorrichtung
  • 15 Synchronisierung der Positionssignale
  • 16 Beispiel einer neuronischen Schaltung
  • 17 Oszillationen und Verfahren zur Bemessung
  • 18 Anordnung der Lichtquelle
  • 19 Darstellung einer Gravitationssensors
  • 20 Gleitlager
  • 21 Lager mit geringer Reibung
  • 22 Oszillierende Scheibe
  • 23 Ein elektronischer Neigungssensor
  • 24 Schema Block eines Kilometerzählers
  • 25 Drehgeber
  • Die Lichtquelle ist der Bauteile, der am meistens Strom verbraucht. Es wird daher interessant, diese Energie gut einzusetzen.
  • Ein Empfängerelement entspricht eine Diode, die in CMOS-Technik integriert wurde, hat eine interne Kapazität, die die Grenze der Funktion gemäss dem durch das Empfängerelement hervorgebrachten Strom und dem in der Detektionschaltung fliessenden Stromniveau definieren wird. Diese Kapazität wird auch die mindesten erforderlicher Leuchtstärker definieren und/oder die Höchstgeschwindigkeit der Bewegung zwischen des Massverkörperungsträüger und einem Empfängerelements. Der Wert der Kapazität der Diode hängt hauptsächlich von seiner eigenen Oberfläche, aber auch von der benutzten Fertigungstechnik ab.
  • Die Bündlung des Lichtflusses macht es möglich die Lichtdichte zu erhöhen, demzufolge die Fläche und die Störkapazität der Empfängerelementen zu reduzieren.
  • Der Einsatz von optischen Elementen mit geringen Abmessungen macht es möglich, die Abmessung des Empfängers in axialer Richtung zu reduzieren. Für einen gleichen Verhältnis zwischen der Distanz, die die Lichtquelle und das optische Element trennt, und die Breite des optischen Elements besteht eine gleiche Intensität des Lichtflusses, der für die Abtastung nützlich ist.
  • Der Einsatz von optischen Elementen mit geringen Abmessungen macht es auch möglich die Abmessung der Empfängerelemente zu reduzieren, die eine Integration der Funktion der Abtastung oder Lesung auf dem gleichen Träger oder Chip ermöglicht.
  • Die Herstellung der optischen Elemente oder der Massverkörperung kann durch Elektronenstrahl ausgeführt werden. Ein X-Y Tischanordnung mit einer nanometrischen Auflösung macht es möglich optische Elemente in optimaler Qualität auf Grund von entsprechenden binären Daten zu bearbeiten.
  • Ein Punkt oder eine Sektion eines Elektronbündels wird auf dem Werkstück nach den Achse X-Y verschoben. Die Achse Z wird durch Modulation der Intensität des Elektronflusses erhalten. Diese Methode erlaubt, durch Beseitigung oder Veränderung von unterschiedlichen Materialen wie Polymere, insbesondere Polycarbonate, Quarzes, Stähle, die für den Bau von Kunststoffspritzwerkzeuge eingesetzt werden können, oder andere Materialien. Bei der Verwendung eines Models in Polymere, wird eine Kopie des Models durch elektrolytische Nickelabscheidung oder mit anderen Legierungen erzeugt. Das so erzeugte Teil wird zum Beispiel in einer Kunststoffspritzwerkzeug festgehalten. Diese Verfahren macht es möglich, Massverkörperungen an den in diesem Dokument beschriebenen unterschiedlichen Formen zu fertigen.
  • 1 stellt die verschiedenen Elemente dar, die zur Vorrichtung gehören können, die in schematische Form nach einer bestimmten Schnitt dargestellt werden, das heisst eine Lichtquelle 1 einer Breite, Abmessung oder Sektion S 101, eine Linse oder eine optische Vorrichtung 2, die es ermöglich in optimale Weise den Lichtfluss zu modifizieren nach der schematischen Darstellung gemäss Linien 13, ein Schnitt durch die Massverkörperungsträgers 3, der aus einer Folge von zylindrischen optischen Elemente 4 einer Breite G21 besteht, die eine bündelnde Portion enthält, die ermöglicht das Licht nach den Linien 12 und 13 auf den Bildebene 7 an einem genannten Punkt, Lichtspot, 11 einer Abmessung B10. Die Lichtempfängerelemente 6a und 6b einer Breite oder Abmessung R 9 sind Bestandsteile der Träger B. Die Linie 18 stellen den Rand einer Teilung. Die Linien 17 stellen die geometrische Achse der Teilung dar, die hier der optischen Achse der optischen Elemente 4 entspricht. Der Massverkörperungsträger 3 kann sich horizontal nach Pfeil 25 in Verhältnis zu den Empfängerelemente 6 verschieben. Die Abmessungen c 14, a 15, und b 16 sind hier um die Anordnung der Elemente im Verhältnis zur Massverkörperung zu darstellen und den durch eine Strich-Punktlinie 5 dargestellten Endplan zu definieren, die eine Angrenzung in Form einer Linie darstellt, über die hinaus es nicht mehr möglich wird, die Abmessung der Figur auf dem Bildebene 7 zu verkleinern. Die Kurve 24 stellt die Verteilung der Lichtintensität auf den Bildebene 7 dar. Sie wird durch die zwei Abmessungen M 20 und L 19 gekennzeichnet. Das Bild des elektrischen Signals, das durch die Bewegung 25 des Massverkörperungsträgers 3 im Verhältnis zu einem Trägers 8 erzeugt wird, wird in 22 dargestellt, die Maxima in 22a und die Minima in 22b. Zu einer zentrierten Position des Lichtspots 11 im Verhältnis zu einem Empfängerelement 6 kann einen Signalwert mit Maxima 22a oder Minima 22b entsprechen. Dieses Signal kann in einem digitalen und/oder analogen Signal konvertiert werden 23. Zu einem logischen Wert des digitalen Signals 23 kann ein Positionssignal dargestellt werden.
  • Die Lichtquelle 1 wird vorzugsweise eine in längliche Form ausgebildete Diode, die hier im Schnitt dargestellt ist. Eine Breite von 20 bis 200 μP kann für diese Vorrichtung einsetzbar sein. Sie kann einer Laserquelle oder anderen sein, die im Bereich des UV, des sichtbaren Licht, des Infrarots oder anderes sein. Die optische Vorrichtung 2 macht es möglich der durch die Massverkörperung fliessenden Lichtfluss parallel zu machen. Die Vorrichtung kann auch ohne die optische Vorrichtung 2 verwirklicht werden.
  • Das Lichtbündel 13, das durch ein optisches Element 4 definiert wurde, wird auf den Bildebene 7 gebündelt, in einem Punkt, das durch einen Lichtspot 11 dargestellt wird. Die Breite B 10 des Lichtspots 11 ist niedriger als die Figur auf den Bildebene 7 der Querschnitt des optischen Elements 4.
  • Die Energie konvertierenden oder auf Licht empfindlichen Empfängerelemente 6 können mit der Technologie CMOS von Typ P+/N kompatible Dioden sein oder andere, Phototransistoren oder andere Elemente, die es möglich machen, die Lichtenergie aus der Lichtquelle in einem Strom zu konvertieren und/oder Einfluss auf die physischen Eigenschaften der Empfängerelemente zu nehmen. Sie können auf der gleichen geometrischen Ebene angeordnet und auf demselben Träger 8 integriert zu werden.
  • Eine Gruppe von Empfängerelementen wird durch die Kombination der Empfängerelemente 6a und 6b oder, im Fall der 9, 6a und 6b oder 6c und 6d. Eine Gruppe von Empfängerelementen erfasst die Empfängerelemente, die erlauben, einen Signalwechsel 22 zu bilden. Eine Gruppe von Empfängerelementen kann auch nur ein Empfängerelement erfassen, das mit einem Bezugswert kombiniert wird, der, zum Beispiel, durch den Schaltkreis erzeugt wird. In diesem Fall wird das Empfängerelement die Hälfte eines Signalwechsels 22, von dem die Hälfte eines digitalen Signalwechsels 23 erzeugt wird.
  • Eine Einheit von Empfängerelementen 56, 57 (9), entspricht ein oder mehreren Gruppen von Empfängerelementen, die es möglich macht, ein oder mehrere Signalwechsel 22 zu bilden. Als Regel wird das aus einer ersten Einheit von Empfängerelementen erzeugte digitale Signal 23 als Ausgang oder Kanal A genannt. Ein aus einer zweiten Einheit von Empfängerelemente erzeugte Signal, das vorzugsweise identisch und um ¼ Signalwechsel verschoben ist, wird als Ausgang B genannt. Die spätere Bewertung der Kanäle A und B macht es möglich die Bewegungsrichtung des Massverkörperungträgers festzustellen und die Einheitsauflösung der Vorrichtung zu erhöhen.
  • Die Abmessung 10 des Lichtspots 11, die wohl niedriger als die Länge der Teilung 23 ist, macht es möglich die Einheitsauflösung der Vorrichtung zu erhöhen.
  • Der Träger 8 kann einen Chip oder einen integrierten Schaltkreises auf Silizium darstellen, in den die Empfängerelemente und vorzugsweise die Detektionchaltung integriert wird. Die Detektionschaltung macht es möglich die aus den Empfängerlemente gelieferten Ströme in einem Signal und/oder Information zu konvertieren, die durch weitere elektronische Vorrichtungen verwendet werden können. Mehrere Träger 3 können eine Massverkörperung untergeordnet werden.
  • Als Regel, eine Massverkörperung besteht in einer Anreihung von optischen Elementen, die eine bündelnde Portion enthalten, die das Licht an einer Stelle des Trägers 8 bündelt. Wenn zu einem optischen Element gehören zwei Lichtspots, es handelt sich denn um zwei überdeckte oder unterschiedliche Massverkörperungen.
  • Die Abmessung S,101 stellt die Breite der Lichtquelle 1 dar. Die Abmessung B,10 stellt die nützliche Breite des Lichtspots auf das Bildebene 7 dar. Die Abmessung a,15 stellt den Abstand zwischen zwischen der Lichtquelle und/oder das Lichtobjekt 1 und der optischen Vorrichtung 2, die vorzugsweise der Brennweite der optischen Vorrichtung 2 entspricht. Die Abmessung c,14 stellt den Distanz zwischen der Endplan 5 und der optischen Vorrichtung 2 dar. Die Abmessung b,16, die die fokale Länge f entsprechen kann, stellt die Distanz zwischen den fokalisierten Elementen 4 und den Figursplan 6 dar. Die Abmessung G,21 stellt die Teilungslänge oder die Breite des fokalisierendenElements 4 dar. Die Abmessung R,9 stellt die Breite und/oder die durchschnittliche Breite des Empfängerelements 6 dar. Die Abmessung L,19 stellt die Minimalgrösse der ersten Ordnung dar, die der optischen Auflösung des fokalisierendenElements entspricht. Die Abmessung M,20 stellt due nutzbare Breite des Lichtsignal, der eine maximale relative Lichtdichte im Vergleich zur Restbeleuchtung. Zum Beispiel die nutzbare Breite macht es möglich, die Abmessung der Lichtquelle 1 zu bestimmen.
  • Die Beziehung zwischen der Breite des Lichtspots 10 und der Breite der Lichtquelle 1 ist durch die Formel S/B = a/b gegeben. Die minimale Breite des Lichtspots ist durch die Formel gegeben: Lmin = c1· Lambda·b/E, Bei einer Wert c1 von 2.22 ist ein zweiter Maxima der Lichtdichte zu finden, Lambda ist für die Wellenlänge des Lichtes, b für die Brennweite und E für die Breite des fokalisierendenElements 4. Der Wert von c14, der ein Grenzwert ist, kann folgender Mass in augedruckt werden: c = M/L·S·E/(c1·Lambda). Für einen Wert von a > c die Breite L, oder M wird konstant bleiben. Für einen Wert von a < c verändert sich die Breite des Lichtspots nach den Werten a und c. Wenn man der Abstand a verändert, dies im Bereich von a < c, wird es möglich die Breite M zu verändern und auf der Gleichung R/M und ebenfalls auf die Formgebung des elektrischen Signals 22 Einfluss zu nehmen.
  • Es geht aus den obigen Überlegungen hervor, dass die Wahl der Brennweite der fokalisierendenElemente für eine optimale Energieeffizienz ausschlaggebend ist Zu einer kleinen Brennweite entspricht ein minimaler Wert L oder M, was es möglich macht für eine Breite der Lichtquelle S und eine gegebene Breite des Empfängerelements R, die Lichtquelle nah zum Massverkörperungsträger anzuordnen, was bedeutet, am meistens mögliche Lichtenergie aus der Lichtquelle aufzufangen. Es geht auch daraus hervor, dass es vorteilhafter ist, eine Lichtquelle 1 zu benutzen, die zum Beispiel im Blauen oder Grün arbeitet, als im Infrarot, da die kritische Abmessung Lmin geringer ist.
  • Der Abstand zwischen der optischen Vorrichtung 2 und dem Massverkörperungsträger 3 spielt eine sekundäre Rolle. Ohne die optische Vorrichtung 2 werden die Abmessung 15 und 14 als Ursprung das bündelnde Element 4 und die optischen Achsen werden in Richtung der Lichtquelle 1 zusammenlaufen. Daraus ergibt sich eine verfälschte Verteilung der Lichtspots 11 auf das Bildebene 7.
  • Der Bildebene 7 kann der Fokalebene der fokalisierenden Elemente 4, 31 entsprechen. Die Praxis zeigt, dass die optimale Bildebene bei einem Abstand von 1· 1.2 der brennweite der fokalisierenden Elemente liegt.
  • Der Bildebene 7 kann auch auf einer entfernten Ebene mit Maxima der Beleuchtung, die auf eine Überlagerung der Gesetze der geometrischen Optik und der diffraktionnellen Optik zurückzuführen sind.
  • Die 2a und 2b zeigt wie den Verhältnis R/M wichtig sein kann.
  • Zum veranschaulichen wird zwei extreme Anordnungen 2a wobei die Gleichung „R/M > 1" und die 2b „R/M < 1" nebeneinander betrachtet. Ein Paar von Empfängerelementen 6a und 6b sind auf der Bildebene dargestellt. Sie erhalten ein Signal einer Lichtstärke gemäss 24 und erzeugen mittels eines nicht dargestellten Schlatkreises ein elektrisches Signal 22. Zum Beispiel das Empfängerelement 6a erzeugt einen Strom produziertes 6a ein Strom, der einem positiven Wert gemäss der empfangenen Licht entspricht, und das Empfängerelement 6b erzeugt einen Strom, der einem negativen Werte gemäss der empfangenen Licht entspricht. Beleuchtung. Der so erzeugte Unterschied der Werte, der auch aus dem durch den zwei Empfängerelementen erzeugten Stromunterschied entsprechen kann, entspricht einem Signalwert 22, der nach der Bewegung des Massverkörperungsträgers 3 sich periodisch verändert.
  • Mit dem Einsatz von zwei um ein ¼ Teilung verschobene Gruppe von Empfängerelemente wird es möglich sein, zwei Signale zu erzeugen, die einem ein Sinus und der anderem ein Kosinus entprechen. Die Darstellung dieser zwei Signale auf eine X-Y Ebene macht es möglich einen Vektor 26 zu definieren, dessen Wert während der Verlagerung des Massverkörperungsträgers nach 25 sich gemäss Kurve 27 verändern wird. Der Wert des Winkels des Vektors wird durch 28 dargestellt.
  • Für eine Gleichung R/M > 1, die Form von Kurve 27 wird sich einem Viereck, nach 2a, annähern, für einen Bericht R/M < 1 von einer Raute, nach 2b, und für eine Gleichung R/M = 1 von einem Kreis (nicht dargestellt).
  • Die Stabilität der Kurve wird von mechanischen und geometrischen Eigenschaften der Vorrichtung, sowie von der Güte der Empfängerdiode abhängen. Bei einer stabile Kurve wird es möglich der Wert des Positionswinkel 28 mit mehr oder weinige Genauigkeit zu nutzen
  • Die Formqualität der Kurve 27, die am Besten einem Kreis entspricht, macht es möglich anhand der elektrischen Signale einer genauen Bestimmung der Position zu ermitteln. Zum Beispiel eine Kurve, die wie in 2a dargestellt ist, wird Fehler bei der Bestimmung der geometrischen Position einfliessen lassen.
  • Diese zwei qualitativen Betrachtungsweise zeigt die wirkliche Auflösungsfähigkeit des Messsystems, das höher als die Einheitsauflösung der Vorrichtung sein werden kann, gegenwärtig von einem 4 bis 256 Mal höheren Wert.
  • Das Verhältnis M/R hängt vom Verhältnis a/c ab, der durch die Form und die Abmessung der Lichtquelle 1 gekennzeichnet ist. Die Beziehung zwischen a und c wird a/c ≤ 1 sein. Bei a/c > 1 bleibt die Figursbreite unverändert und geht Lichtenergie verloren, weil die Winkelöffnung der fokalisierten Element unnötigerweise reduziert wird.
  • Die 3 stellt einen 3D-Sicht der bevorzugten Anordnung der Bauelemente der Vorrichtung dar, dass heisst eine durch Linie 38 abgegrenzte Darstellung Massverkörperungsträger 3, eine Massverkörperung 30, die aus einer nach der Leit- oder Mittellinie 32 gerichtete Anreihung von mit einer bündelnde Portion vorgesehenen optischen Elementen 4 gebildet wurde, eine Bildebene 7, der die Oberfläche des Trägers 8 entspricht, worauf die Empfängerelemente 6 einer Breite 9 angeordnet sind.
  • Die Linie 33 stellt den Umkreis der FlächeFigur der optischen Elemente 2 nach den Linien 288 auf die Bildebene 7 dar, die durch die Linie 333 abgegrenzte Fläche 34, die FlächeFigur der fokalisierendenPortion 31 einer Breite 35 und die Intersektionsfläche 37 aus der Fläche 34 und der Oberfläche des Empfängerelements 6 von Breite 9. Die Breite 35 der Figur der fokalisierendenPortion 31 wird grösser als der Breite 9 des Empfängerelements 6 sein, damit das Signal 22 kann in der gewünschten Form ausgebildet werden.
  • Das Empfängerelement 6 kann senkrecht zur Mittellinie 32 gerichtet werden. Er wird vorzugsweise von länglicher oder hauptsächlich rechteckiger Form sein, was es, für die gleiche Fertigungstechnik, möglich macht, die umwandelbare Menge an Lichtenergie pro Breiteeinheit 9 des Empfängerelements 6 zu erhöhen und/oder die Auflösung der Vorrichtung für die gleiche Menge an Lichtenergie zu erhöhen. Die Breite des Empfängerelements kann von 2μm oder mehr sein. Vorzugsweise ist die Summe der Breite jedes Empfängerelements, die eine und dieselbe Teilung unterordnet ist, gleich oder kleiner als der Teilungslänge. Eine andere mögliche Anordnung der Empfängerelemente wird in 11d dargestellt.
  • Eine hauptsächlich rechteckige Form versteht sich als Oberfläche zu sein, die sich einen Rechteck annähert, wobei in Richtung der Breite 9 mit wenigstens zwei parallele oder zum Zentrum der Kurve der Mittellinie 32 annähern parallel zusammenlaufende Seiten irgendwelcher Form und in der Breite von zwei Seiten irgendeiner Form ausgebildet ist.
  • Die 4a4d stellt einen Vergleich zwischen dem Stand der Technik und die Erfindung dar, wobei für jede Vorrichtung die Einheitsauflösung und der Lichtfluss unverändert bleibt. Diese Überlegungen gelten für zylindrische spherische Linsen. 4a, 4b und 4c die Anordnung des Massverkörperungsträgers für verschiedene Technologien und zwei schematische Darstellungen der Anordnung der optischen Elemente 4 dar, die bei einem Abstand von 1/4 eines Teilung angeordnet sind.
  • Die 4a stellt die Erfindung dar. Der Stand der Technik wird in der 4b für Kawamura und 4c für Leopard dargestellt. Die Linse von 4a deckt eine Oberfläche, die vier Diodebreiten entspricht. Ein Wert, der höher ist als 4 Dioden, wäre auch möglich, weil die Abmessung des Lichtspots kann leicht bis Grenzwerte verkleinert werden, die gleich oder ähnlich sein können als M = 4·Lambda·f/E.
  • Die 4b stellen die Form und der Wert der Intensität des Stromes dar, der durch das Empfängerelement erzeugt wurde. Die hier im Trapez ausgebildete Kurve 39a, was auf das kleine Abmessung des Lichtspots zurückzuführen ist, stellt den Intensitätswert für die 4a dar, die Kurve 39b und 39c der Intensitätswert für die 4b, die Kurve 39d der Intensitätswert für die 4c. Die Intensität des Signals für 4a, 39a ist von einem Wert 4, für die 4 für 39b von 1 und für 39c von ungefähr 0.8, für die 4c von 1.
  • Die Formunterschiede der Kurve 39b und 39c gibt einen Ansatz über wie das Signals durch die Breite des Lichtspots verschlechtet werden kann. Das Verhältnis zwischen der Breite des Lichtspots und die Breite der Teilung ist von ungefähr B/R = 2.22·Lambda·f/E·E. Zum Beispiel für einen Wert E = 20μm und f = 80μm wird die Überdeckung von 30% sein, was in etwa durch die Kurve 39c dargestellt werden kann. Die Form dieser Kurve (Kawamura) lässt vorhersehen, dass die für eine Erhöhung der Auflösung durch Auswertung des elektrischen Signals vorgesehene Vorrichtung im Falle der Kurve 39c nicht angewendet werden kann.
  • Es muss gemerkt werden, dass die Grösse des alternativen Signals, das durch die Kombination der zwei Empfängerelemente 6a und 6b erzeugt wurde, macht es möglich eine Höhe des Intensitätswechsels zu erreichen:
    • – von einem Faktor 8 für 4a
    • – von einem Faktor 1 für 4b unter optimale Bedingungen
    • – von einem Faktor 2 für 4c
  • Es geht deutlich daraus hervor, dass für eine gleiche Einheitsauflösung die Lösung der Erfindung ein Signal mit viel höheren Werten, als es sich aus der Stand der Technik ableiten lässt, produzieren kann. Man muss allerdings feststellen, dass die Form von Kurve 39 von der Qualität der Schattenzonen abhängt. Die Kurve 24 aus der 1 stellt eine durchgeführte Messung mit Linsen von 16μm dar und gibt eine Idee um die begegneten Verteilung der Lichtenergie.
  • Die Formeln, die für die Berechnung der Abmessungen des Lichtspots benutzt wurden, berücksichtigt die Gitterwirkungen nicht. Die Erfahrung hat gezeigt, dass diese Werte richtig waren.
  • Die Figilddung 5, 6a6d stellen verschiedene Formen der Ausführung des optischen Elements dar. Die 5 stellt ein Teil eines Massverkörperungsträgers 5 dar, der eine Massverkörperung 30 umfasst, die aus einer Anreihung von optischen Elementen oder Teilungen 4 ausgebildet wurde, deren bündelnde Portion 31 aus einem zylindrischen optischen Element einer Breite 21 und einer Länge 40 ausgebildet wird, die die Teilung 4 überdenkend ist, die perpendikulär an der Mittellinie 32 angeordnet werden können. Die Linsen können zum Beispiel eine Breite E 35 von 8μm oder mehr, eine Brennweite eines Wertes, der zwischen 2·E und 6·E angesiedelt ist, und eine Länge, die zwischen 50 und 600 μm angesiedelt ist. Sie entsprechen einer linearen oder hauptsächlich linearen fokalisierenden Portion.
  • Die optischen Elemente 4 oder die fokalisierenden Teile 31 können aus gleichen Material, vorzugsweise aus Kunststoff, ausgeführt werden, was es möglich macht, den Massverkörperungsträger zur gleichen Zeit wie die optischen Elemente herzustellen, zum Beispiel durch Kunststoffspritzen. Es ist auch möglich, die Massverkörperung durch Abdruck eines Werkzeuges auf einem Rohträger zu bilden. Mehrere Materialien können auch in der Konstruktion der Massverkörperungsträgers eingesetzt werden.
  • Ein Massverkörperungsträger 3 kann unterschiedlichen Formen annehmen und kann geometrische Elemente beinhalten, um seine Montage auf der Vorrichtung zu vereinfachen. Ein selber Massverkörperungsträger 2 kann ein oder mehrere Massverkörperungen 30 beinhalten, die je identische oder unterschidlichen optische Elemente beinhalten können. Die Mittellinie 32 kann ein Kreis sein. Sie kann die Richtung der Bewegung des Massverkörperungsträgers an einem bestimmten Punkt entsprechen.
  • Die 6, 6a6d stellt verschiedene mögliche Konstruktion des optischen Elements 4 von Breite 21 und von Länge 40 dar, die eine bündelnde Portion 31 beinhalten kann, die eine unregelmässige Verteilung der Lichtintensität auf die Bildebene 7 erzeugt, in einer derartige Weise wo die entsprechende Anteil mit einer hohe Lichtintensität durch einen Lichtspot 11 gekennzeichnet ist, der vorzugswiese eine längliche und/oder hauptsächlich rechteckiger Oberfläche des Bildebenes 7 darstellt. Sie entspricht einer hauptsächlich linearen fokalisierenden Portion.
  • Die Figur der fokalisierenden Portion 31 auf dem Massverkörperungsträger 3 kann von länglicher und/oder hauptsächlich rechteckiger Form sein.
  • Eine lineare Aufteilung der Lichtspot macht es möglich, in einer optimale und selektive Weise der Lichtfluss auf den Empfängerelemente 6 zu verteilen.
  • Die 6a stellt ein optisches Element 4 von Breite 21 und von Länge 40 dar, die eine bündelnde Portion 31 beinhaltet, deren Form doppelkegelich aus konischem Volumen gebildet wurde, dessen Fokalwert von einem Punkt zum anderen der Teilung verschieden sein wird, die 6b, deren Form zylindrisch und verteilt auf den ganzen optische Element 4 gebildet wurde, die 6c, deren Form pyramidal mit 4 Flächen und verteilt auf den ganzen optischen Element 4 gebildet wurde, die 6d, deren Form einen Pyramide mit abgerundete Enden und verteilt auf einen Teil der optischen Element 4 gebildet ist.
  • Die zylindrischen oder pyramidenförmiger Oberflächen können eine annähernde geometrische oder eine asymmetrische Form entsprechen, die an die gewünschten optischen Eigenschaften besser angepasst ist. Im Falle einer runden Massverkörperung wird diese Form zum Zentrum der Radius der Massverkörperung konvergieren, im Rahmen einer Teilung mit einem Zahlenwert, diese Form wird in Bezug auf der optischen Achse 17 asymmetrisch ausfallen.
  • Eine pyramidenförmige Form kann zwei konvexe Seiten umfassen, die hinsichtlich einer zylindrischen Form möglich macht, einen Lichtspot auszubilden, dessen Abmessungen wenig empfindlich zur Veränderung des Abstandes zwischen dem Träger 8 und der Massverkörperungsträger 3 sein wird.
  • Die Möglichkeit, die Form einer Linse zum Beispiel zylindrischer Form im Sinn der Länge zu wölben gibt eine zusätzliche Möglichkeit, mehr Energie im Lichtspot zu konzentrieren oder die Länge des Lichtspots im Verhältnis zu Länge 40 des optischen Elements zu reduzieren.
  • Die obigen Beispiele können auch für eine binäre und/oder diffractionnelle Frensel Linse gelten. Die Linsen binären Typs haben den Nachteil der Licht sowohl zu bündeln als auch in unterschiedlichen Richtungen zu verteilen, was dazu führt, dass die Lichtintensität am Fokalpunkt 50% einer Wert, die mit geometrische Linse erreicht wurde. Reine Diffraktionslinsen stellen eine weitere Ausführungsmöglichkeit dar.
  • Die 7 stellt eine spezielle Anordnung der Vorrichtung dar. Die Lichtquelle 1 entspricht einer Leuchtdiode 1, vor der eine undurchsichtige Maske 46 angeordnet ist, womit die Abmessung S,101 von der Lichtquelle oder leuchtende Objekt definiert werden kann. Die Lichtstrahlen 13 werden durch eine optische Vorrichtung 2 auf dem Massverkörperungsträger 3 gelenkt.
  • Die Konfiguration des Empfängerssystems umfasst eine optische Vorrichtung 47, die möglich macht, die Bildebene 7 auf den Träger 8 mit den auf einen grösseren Abstand zu Massverkörperungsträger 3 angeordnete Empfängerselemente abzubilden. Diese Anordnung macht es möglich Vorrichtung zu bauen, deren mechanischen Abstand 48 ist grösser als den Abstand b,16, der zur Brennweite des optischen Elements 4 entsprechen kann.
  • Die mechanischen Elemente können besser angeordnet werden. Eine minimale Brennweite kann für einen besseren leuchtenden Ertrag gewählt werden, die Abmessung S 101 von der Lichtquelle kann grösser gewählt werden.
  • Die optische Vorrichtung 47 kann aus ein oder mehreren Linsen gebildet werden, deren optische Ebene vorzugsweise zwischen der Bildebene 7 und dem Träger 8 angeordnet wird. Er kann auch aus einem Element gemacht werden, das möglich macht, die aus einer konvergierenden Massverkörperung, wie es beim Drehgeber zu finden ist, in einer Anreihung von parallelen Lichtspots auf dem Träger 8 abzubilden. Er kann durch Kunststoffspritzen produziert werden. Er macht es möglich, auf kostengünstige Weise eine integrierte Schaltung an unterschiedliche Massverkörperung anzupassen.
  • Die 8 stellen eine Ausführung für eine im Auflicht funktionierende Vorrichtung dar, die aus einer Massverkörperung 3, ein lichtreflektierendes optisches Element 4, eine Lichtquelle 1 und die Empfängerelemente 6 gebildet ist. Die Linien 12 und 13 stellen den Rahmen des nützlichen Lichtflusses dar. Die Endebene 5 liegt hinter der Bildebene 7 angesiedelt, der in diesem Beispiel sowohl die Lichtquelle 1 als auch die Empfängerelemente 6 enthält.
  • Eine Vorrichtung, die im Auflichtverfahren funktioniert, ist für hohe Temperatur Anwendungen besten geeignet. Polycarbonate, zum Beispiel, verliert all diese optische Transparenzqualitäten unter erhöhten Temperaturen. Der Einsatz von einem zum Beispiel aus Aluminium hergestellten Massverkörperungsträger leitet diese Nachteile um. Unterdessen ist es einfacher, die Lichtquelle 1 mit den Empfängerelementen 6 solidarisch anzuordern.
  • Die 9, 9a9c stellt die Anordnung der Empfängerelemente auf dem Träger 8 dar, der mit der Bildebene 7 übereinstimmend ist, und eine vereinfachte Darstellung der Detektionschaltung für eine inkrementaler, deren Einheit zwei mal höher als die Auflösung der Massverkörperung ist,
  • Die 9a stellt schematisch einen Aschnitt des Massverkörperungsträgers 3, der Bildebene 7, der Empfängerelemente 6, der Lichtfluss 13 dar. Die Linien 17 stellen die optische Achse der Teilung und die Linien 18 die Grenzen der Teilung.
  • Die Empfängerelemente bilden zwei Gruppen von Empfängerelemente 6a/6b und 6c/6d, die sich eine selbe Teilung untergeordnet sind, und, die geometrisch nach der Figur von wenigstens zwei Teilungen 18 auf die Bildebene 17 angeordnet sind. Ein ausreichender Abstand zwischen den Empfängerelementen muss respektiert werden, um jede Art von Funktionsbeeinflussung zwischen den benachbarten Elementen zu vermeiden. Zum Beispiel zu einer Diodebreite von 4μm muss ein minimaler Abstand von 3 μm zwischen beiden Elementen eingehalten werden.
  • Die 9b stellt die Anordnung der Empfängerelemente 6a 6b 6c und 6d für die 9a, die Lichtspots 11 und eine Detektionschaltung 54a und 54b zur Erzeugung ein digitales Signal 23a dar, das einem Kanal „A" entsprechen kann. Die Empfängerelemente 6a 6b 6c und 6d stellen eine Einheit von Empfängerelementen dar. Eine erste Gruppe von Empfängerelementen 6a/6b ist mit dem Schaltung 54a und eine zweite Gruppe 6c/6d mit der Schaltung 54b verbunden. Die Schaltung 54a und 54b konditionieren je ein Wechselsignal, die in 55 hinzugefügt oder kombiniert werden, um das digitale Signal 23a zu liefern. Die Umsetzung des analogen Signals in einem digitalen Signal kann durch die Schaltung 54 und/oder 55 erfolgen. Die Detektionschaltung wird durch 59b definiert.
  • Der Abschnitt 9c stellt eine andere Anordnung der Empfängerelementen dar, die eine Einheit von Empfängerelemente 56 mit den Elementen 6a, 6b 6c und 6d und eine Einheit von Empfängerelemente 57 mit den Elementen 6aa, 6bb 6cc und 6dd. Jede Einheit umfasst zwei Empfängerelementgruppen zusammenfasst. Jede Einheit beinhaltet zwei Gruppe von Empfängerelementen. Die Distanz zwischen den zwei Einheiten wird von einem Wert sein, der 1/8 der Länge 21 der Teilung entspricht.
  • Die Detektionschaltung 59c beinhaltet die Auswertungsschaltung 58a 58b, die ausgehend aus den durch zwei Paardioden erzeugten Stromsignal ein digitales Ausgangssignal 23ba, 23bb, die Kanäle „A" und "B", erzeugen. Sie kann auch ein nicht dargestellten Resolver enthalten, das ermöglich, die Auflösung des Systems auf Grund eines Sinussignals aus 58a und ein Kosinussignal aus 58b zu multiplizieren und die digitalen Signale 23ba und 23bb abzuliefern.
  • Die Anordnung der Detektionschaltung 54 aus der 9b führt eine differentielle Messung für jede Gruppe von Empfängerelemente aus. Die Detektionschaltung 58 aus der Ausbildung 9c führt eine differentielle Messung für jede Einheit von Empfängerelementen, die zwei Gruppe von Empfängerelement umfassen. Andere Anordnungen sind möglich.
  • Die Anordnung der Empfängerelemente, die in 9b dargestellt sind, bringen den Vorteil einer Breite von Lichtspot 11, die der Länge des Empfängerelements entsprechen kann, zu entsprechen. Die Zustellung einer zweiten Einheit von Empfängerelementen kann durch die Verteilung der Empfängerelemente nach vier Teilungen in der gleichen Reihe erfolgen. Sie kann auch auf mehreren Reihen erfolgen.
  • Die Anordnung der Empfängerelemente, die in 9c dargestellt sind, lässt eine Einheit von Empfängerelementen pro Teilung erscheinen, was eine Anordnung der Empfängerelemente über zwei Reihen benötigt. der Empfängerelemente verlangt. Die Anordnung der Empfängerelemente auf einer Reihe, die unter mehreren Teilungen verteilt wurde, entspricht einem besseren Lichtertrag der Vorrichtung.
  • Die 10a macht Hinweis auf eine andere Anordnung der Empfängerelemente, die im Sinn der Erfindung einer interessanten Ausführungsalternative entspricht. Die Form des elektrischen Signals, die aus den Empfängerelementen stammt, ist durch die Form und die geometrische Anordnung der Dioden 6a und 6b sowie die Breite B,10 des Lichtspots gekennzeichnet.
  • Die Dioden, die ein selbe Teilung unterordnet sind, als 6a und 6b, können nebeneinander oder in Serie unten mehrere Teilungen angeordnet werden. Die geometrische Form der zwei Dioden verändert sich in regelmässige Abstände nach der Teilungslänge 21. Bei der Bewegung der Lichtspots 11 nach der Mittellinie 32 werden diese, wenigstens auf einem Teil der Teilung, die zwei Dioden wiedererlangen 6a, und 6b gleichzeitig berühren. Die zwei Flächen, die durch die Überdeckung des Lichtspots und jeder der Dioden 6a und 6b abgegrenzt wurden, muss grosse Variation erzeugen, um ein brauchbares alternatives Signal 22 zu erzeugen.
  • Zu einer minimalen Breite von Lichtspot B,10 kann eine treue Reproduktion der Form der Dioden, die gewissermassen im Silizium abgedruckt sind.
  • Die 10b zeigt eine Ausführung die ermöglichen soll, ein Sinussignal zu erzeugen, bei der 10c eine annähernde Form eines Sinussignal, bei 10d als Sägezähnsignal 10c. Diese letzte Ausführung mit einer Massverkörperung mit einer Anreihung von zylindrischen Linsen könnte den durch Kawamura dargestellten Sensor verbessern.
  • Die 11a11d stellt in schematische Weise eine Abschnitt der Massverkörperungsträger 3, mehrere optische Elemente oder Teilungen 4 von unterschiedlichen Typen, zu denen einen Wert 60 gegeben wird, die Bildebene 7 und die Teilungslinien 18 dar. Die Richtung des Lichtflusses wird schematisch durch die Pfeile 61 dargestellt, der auf den Lichtspots 11 gerichtet sind.
  • Die optischen Elemente 4 haben andere Formen und optischen Eigenschaften, zu denen eine Form und/oder eine Position des Lichtspots 11 in Verhältnis zu der Bildebene 7 oder der Umkreises 33 gehört, die von einer Teilung zu den anderen unterschiedlich sind und durch die Empfängerelemente 6 festgestellt werden können.
  • Die 11a stellt schematisch eine Portion einer Massverkörperung 3 mit zwei unterschiedlicher Ausführung von optischen Elementen mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften 61 dar, zu denen ein binärer Zahlenwert 60 zugeordnet ist. Dasselbe gilt für die 11b und 11c, die eine Massverkörperung darstellt, die 4 unterschiedlichen Wert, beziehungsweise 3 unterschiedlicher Werte ausweisen.
  • Die 11d eine weitere Anordnung einer Massverkörperung mit zwei unterschiedlichen Typ von optischer Elemente, die eine symmetrische fokalisierende Portion und eine ohne bündelnde Portion umfassen, die transparent, undurchsichtig oder spiegelnd sein können. Der Unterschied der Lichtstärke auf die Bildebene 7 macht es möglich mithilfe einer Gruppe von Empfängerelementen 6 den anwesenden Teilungstyp zu erkennen. Der Wert 60 kann von binärer Basis sein.
  • Eine Massverkörperung kann irgendeine Anzahl unterschiedlicher Typs anderer von optischen Elementen enthalten. Diese Zahl entspricht der mathematischen Basis des Zahlenwertes 60. Er ist aufgrund der Ausführung und der Herstellungstoleranzen limitiert.
  • Die 12a zeigt auf schematische Weise den Schnitt eines Massverkörperungsträgers 3, die asymetrische optischen Elemente 4 mit einem binärem Wert 60, der Bildebene 7, worauf 4 Empfängerelemente 6 nach dem Figur von 4 Teilung angeordnet sind. Die Linien 18 stellen den Rand der Teilung und die Pfeile 61 auf schematischer Weise die Richtung des Lichtflusses dar.
  • Die Detektionmöglichkeit dieser Anordnung besteht aus vier Zahlenwerte, die durch die Strichpunktlinie 63 eingerahmt sind, die eine Positionszahl 62 entsprechen, der durch die Empfängerelemente 6 festgestellt werden kann, die auch einer Gruppe oder einer Einheit von Empfängerelementen entsprechen kann.
  • Die Positionszahl 62 kann durch die Position des Massverkörperungsträgers 3 hinsichtlich des Trägers 8 gekennzeichnet werden. Die Länge der Positionszahl 62 kann irgendein sein und hängt von der Anzahl der Teilungen ab, die durch die Empfängerelemente auf der Bildebene 7 analysiert werden können. Die analysierten Teilungen können ein oder mehreren Massverkörperungen entsprechen.
  • Die 12b stellt das mathematische Verfahren dar, das möglich macht, eine Vorrichtung mit absoluter Messung mit der Verwendung eine Massverkörperung mit zwei Teilungstyp zu bauen. Die Anordnung der Teilung nach Zahlenwert wird in 64 dargestellt. Der Rahmen 63 wird eine Positionszahl 62 von 4 Bits erscheinen lassen, indem er sich von oben nach unten verschieben wird. Für jede Position des Rahmens gehört einen durch den Pfeil in Kolonne 65 angegebenen Wert. Dasselbe Verfahren wird für eine Positionszahl angewendet, die eine andere Anzahl von Bits umfasst.
  • Die 13a und 13b zeigt ein Massverkörperungsträger mit einer scheibenförmigen Teil 68 und einem Naben 69. Die scheibenförmige Teil enthält eine aus vorzugsweise identische optische Elementen ausgebildete Massverkörperung 67 und eine zweite mit Massverkörperungsegmenten ausgebildete Massverkörperung 66, die als Indexfunktion eingesetzt werden können. Jedes Segment kann ein oder mehrere optische Elemente enthalten.
  • Eine vorgezogene Anordnung würde mehrere optische Elementtypen enthalten, so dass jedem Segment eine Positionszahl 62 zugeordnet werden kann. Jedes Segment enthält vorzugsweise einen Referenzcode.
  • Ein Referenzcode enthält einer Massverkörperung, die mehrere Typs von optischen Elementen umfasst, deren ein Teil speziell gekennzeichnet ist, so dassdie Grundlage für die Bestimmung der 62 gewährleisten ist. Er kann sich um eine Kombination von spezifischer Typs von optischen Elementen handeln. Die Verwendung einer Zahl mit Basis zwei oder drei macht es möglich, einen solchen Referenzcode einfach zu erzeugen, der zum Beispiel ein im Positionszahl angeordnete Digit als Referenzpunkt reserviert. Der Referenzcode kann in Linien oder in eigener Massverkörperung angeordnet werden der Vorteil dieser Vorrichtung besteht darin quasi absolute Drehgeber zu bauen, die eine schnelle Lektüre eines Referenzpunktes ermöglicht.
  • Die 14 zeigt eine mögliche Anordnung der Empfängerelementen und der Detektionschaltung für den Bau einer absoluten Messvorrichtung mit 9 bits Auflösung. Die Vorrichtung umfasst eine Massverkörperung 78, die aus identischen optischen Elementen und eine Massverkörperung 79, die aus unterschiedlichen optischen Elementen gebildet ist. Die Massverkörperungen sind durch die Linien 18, die ihre Figur auf den Träger 8 darstellen, eine durch die Elemente 76, 72 und 73 dargestellte Detektionschaltung, die ein oder mehrere Speicherzone enthalten können, die Ausgangsschnittstellen durch 71a, 71b und 71c und die internen Verbindungen an der Detektionschaltung durch 74a, 74b 75a und 75b. Der Wert des Positionssignals bei der Ausgangsverbindungen 71b und 71c entspricht den Digit x0 x1 x2 x3 x4 x5 x6 x7 und x9 von Positionszahl 62.
  • Die erste Massverkörperung 78 wird mit identischen optischen Elementen ausgebildet. Eine erste Einheit von Empfängerelementen 56 enthält eine Gruppe von Empfängerelementen, die zwei Empfängerelemente umfassen, 6a und 6b. Eine zweite Einheit von Empfängerelementen 57, die hinsichtlich der ersten Einheit um ¼ einer Teilungslänge verschoben ist, enthält eine Gruppe von Empfängerelementen, die zwei Empfängerelemente umfassen, 6aa und 6bb.
  • Die zweite Massverkörperung 79 wird von einer Anreihung von Teilung ausgebildet, die aus zwei unterschiedlichen Typs von optischen Elementen besteht. (13a) Die Empfängerelemente werden in einer ersten Gruppe von sieben Einheiten Empfängerelemente 6ax verteilt, die sieben Teilungen entsprechen. Eine zweite Gruppe wird aus sieben Einheiten von Empfängerelementen gebildet, die um 1/4 einer Teilungslänge verschoben sind. Es werden durch eine Anreihung von Empfängerelementen 6bx dargestellt.
  • Die Empfängerelemente von Einheit 56 und 57 sind mit der Schaltkreis 76 verbunden, der mittels eines Resolver die digitalen Signale für die Kanälen „A" und „B" erzeugt. Die Detektionschaltung erzeugt die ersten Digit der Positionszahl 62, die die Position des Lichtspots hinsichtlich des Empfängerelemente 6a, 6b 6aa und 6bb kennzeichnet. In diesem Beispiel handelt es sich um die zwei erst Digit x0 und x1. Es kann um mehrere Digit handeln je nach Auflösung der Resolver.
  • Jede Gruppe von Empfängerelementen 6ax und 6cx, die eine Teilung untergordnet ist, ist an Schaltkreis 72 angeschlossen, der es ermöglich, die Position der Lichtspots zu lokalisieren. Zu jeder Gruppe von Empfängerelementen entspricht ein erstes Positionssignal 74a oder 74b, das durch den Schaltkreis 72 erzeugt wird.
  • Die Werte werden 74a und 74b werden durch den Schaltkreis 73 aufgenommen. Jeder Schaltkreis 73 erhält die Signale 75a und 75b, die den Ausgangssignalen 71a oder einem Positionssignal entsprechen können. Der Positionssignal kann die relative Position einer Teilung der Massverkörperung 78 zum Trägers 8 feststellen. Jeder Schaltkreis 73 kann durch eine logische Analyse den Zahlenwert der Teilung auf Grund der Positionssignale 74a 74b 75a und 75b ermitteln, die durch ein Positionssignal 62 zum Ausgang 71c nach dem Beispiel der 14 gegeben ist. Die Funktion der Schaltkreis 73 macht es möglich das Lesen der Zahlenwert aus der Massverkörperung 79 mit den Positionssignalen aus der Massverkörperung 78 zu synkronisieren.
  • Zu jedem Schaltkreis 73 gehört eine Teilung und eine Ausgang 71c für ein Digit „xn" des Positionssignals 62. Zur Massverkörperung 78 können mehrere Digits von Positionszahl 62 gehören.
  • Zu Massverkörperung 79 können mehrere Massverkörperungen mit optischen Elementen unterschiedlicher Typen gehören. Zu einer Teilung der Massverkörperung 79 können mehrere Gruppe von Empfängerelementen und jeder Gruppe kann mehrere Empfängerelemente umfassen.
  • Zu jeden Massverkörperungen können mehrere Einheiten von Empfängerelementen gehören, die in mehreren Gruppen entlang der Massverkörperung verteilt werden können, und jeder Gruppe von Empfängerelementen kann entsprechen mehrere Empfängerelemente gehören. Die Teilungslänge kann von einer Massverkörperung zur anderen verschieden sein.
  • Die 15a zeigt die Anordnung und das Verfahren für die Aufklärung der Funktion von Schaltkreis 73.
  • Die Rechtecke 80a 80b 80c und 80d beschreiben Bereiche bei denen die Position des Zentrums einer Teilung von Massverkörperung 78 und/oder 79 betrachtet wird. Die zwei Linien 18 zeigt die Abgrenzung einer Teilung in Bezug zu den Empfängerelementen 6a und 6aa, die die Massverkörperung 78 untergeordnet sind, dessen Lichtfluss durch den Pfeil 61a dargestellt ist. Die Empfängerelemente 6ax und 6aax und der Lichtfluss 61b oder 61c beziehen sich zur Massverkörperung 79. Der dem Lichtfluss zugeteilte Zahlenwert kann 1 für 61b und 0 für 61c betragen.
  • Das Empfängerelement 6ax wird für die numerische Bewertung der Teilung bei der Stellung 80a und 80c, das Element 6cx bei der Stellung 80b und 80d. Zu einer Stellung 80a gehört ein umgekehrtes Signal 74a, zu einer Stellung 80b eine umgekehrtes Signal 74b, zu einer Stellung 80c ein Signal 74a, zu einer Stellung 80d ein Signal 74b. Die anderen Kombinationen werden nicht genutzt. In der Tat nur ein Teil der Breite des Empfängerelements wird tatsächlich für die Bestimmung der Positionszahl 62 benutzt. Der benutzte Teil der Empfängerelemente 6ax und 6cx wird mit einem leeren Rechtecks 77c dargestellt.
  • Ein Absolutdrehgeber ist mit einem Umdrehungszähler vollständig, der vorzugsweise durch eine Batterie gepuffert wird. Ein solcher Umdrehungszähler wird nicht im obigen Schaltkreis dargestellt.
  • Die 15b zeigt eine andere Anordnung der Empfängerelemente nach der Massverkörperung 79, wo zu jeder Teilung lediglich ein Empfängerelement 6ax untergeordnet ist. Die Positionsbereiche 81a 81b 81c und 81d entsprechen den Positionsbereiche 80a 80b 80c und 80d von 15a. Dieselbe Überlegung, die sich auf die logische Funktion von Schaltkreis 73 bezieht, kann auch nachgezogen werden. An den Positionen 81b und 81d kann der Einfluss des Lichtflusses 61b oder 61c in einem Punkt des Empfängerelements zwei unterschiedliche Signale 74 produzieren, was keine korrekte Bestimmung der Positionszahl 62 garantieren kann. Der benutze Teil des Empfängerelements 6ax wird durch 77b dargestellt.
  • Eine Reduzierung des benutzten Teil 76b des Empfängerelements 6ax macht es möglich diese Fehler zu eliminieren. Die Bestimmung der Positionswert 62 erfolgt dann nur beim 81a und 81c. Der Wert der Signale 71c kann in Schaltkreis 73 gespeichert werden. Diese Anordnung stellt einen praktischen Nachteil dar, weil beim Aufschalten der Vorrichtung, eine Bestimmung der absoluten Position bei der Stellungen 81b und 81d nicht garantiert ist. Die absolute Position kann erst durch eine kleine Bewegung gesucht werden.
  • Eine weitere Möglichkeit besteht darin, in mehreren Speicherzellen die Änderungen der Positionszahl 62 zu verfolgen. Eine Positionsänderung kann aufgrund dieser Informationen freigemacht oder gewährleistet werden. Eine Tabelle kann zum Beispiel drei Positionszahlen enthalten, den derzeitigen Wert und die zwei benachbarten Zahlen. Die benachbarten Positionszahlen können je nach Bedarf berechnet werden. Diese Bestimmung kann den Nachteil eines möglichen Verlustes des absoluten Wertes umgehen.
  • Die Anordnung der Empfängerelemente, der Teilungen und Zahlenwerte in den erwähnten Beispielen können anders zugeteilt werden.
  • Für eine Anpassung des Schaltkreises an mehreren Ausführung von Massverkörperung, da die Entwicklung von integrierten Schaltkreisen komplex und kostspielig ist, wird es wünschenswert sein, einen Schaltkreis zu planen, der eine Menge von Empfängerelementen enthält, die durch Bonding oder durch metallische Verbindungen verbunden werden können, die zu nur ein lithographischer Maske gehören.
  • Die 16 zeigt eine an der Vorrichtung angepasster neuronischer Schaltkreises, die für den Bau der oder eines Teiles der Detektionschaltung eingesetzt werden kann. Der Schaltkreis umfasst ein neuronische Netz 148 mit diesen bestimmten Knoten 149, an denen einen Schaltkreis 147 angebunden wird, der ein Empfängerelement 6 und einen Ausgang für das digitalen Signals enthält, der den in 15 dargestellten Verbindungen 71a 71b 74a und 74b entsprechen können. Jeder Knoten des Netzes ist vorzugsweise mit seinem Nachbar durch einen Widerstand 150 verbunden, und in Richtung der Masse durch vorzugsweise eine leitfähige Bauteile 151. Die Bauteile 150 und 151 können eine oder mehrere Widerstände und/oder Transistoren darstellen, die vorzugsweise eine lineare Eigenschaft haben. Die Verbindungsspannung kann durch ein oder mehrere Schaltkreise gebracht werden, die auf der Figur nicht dargestellt wurden, die gegebenenfalls von Schaltkreis 147 abhängen können. Die Wahl der Werte von Leitfähigkeiten und/oder von Widerstand ist für die Empfindlichkeit der Detektionsschaltung entscheidend.
  • Der Schaltkreis 147 umfasst ein Empfängerelement, das einen Strom 152 erzeugt. Die Anordung der Transistoren 161, 162 und 163 erzeugt einen Strom 153 und 156 ebenso Wert wie 152. Der Strom 157 ergibt sich aus der Summe der Ströme, die durch die Empfängerelemente geliefert werden. Die Anordnung der Transistoren 164 und 165 definiert Strom 154, der den Unterschied zwischen den Strom 153 und 155 darstellt, der durch einen Bewertungsschaltkreis 158 (threshold) in binärem Wert umgewandelt wird.
  • Dieser Schaltkreistyp hat den Vorteil, eine grosse Anzahl von Empfängerelementen kontrollieren zu können, indem die Empfängerelemente auf demselben Träger 8 mitintegriert werden können. Es ist für die Konstuktion der Detektionschaltung einer absoluten Kodiereinrichtung besonders interessant.
  • Die 17a und 17b stellt ein Verfahren dar, das möglich macht, die durchschnittliche Position einer oszillierenden Vorrichtung 84 zu berechnen, die maximale Amplitude der drei letzten Oszillationen 85a 85b und 85c. Ein Rotationsregister 86 speichert die 3 Werte 85a 85b und 85c. Der durchschnittliche Wert 85c und 85a wird durch 87 berechnet, und der durchschnittliche Wert 87 und 85b durch 88, was es möglich macht, den realen Wert sofort nach der Erfassung eines neuen Wertes 85c zu registrieren
  • Dieses Verfahren macht es möglich, einen Sensor für eine schnelle Bestimmung der Positionsdaten ohne dass es notwendig wird auf einen Dämpfvorrichtung zurückzugreifen.
  • Die 18a 18b 18c 18d 18. und 18f zeigen unterschieldiche Anordnung der Lichtquelle 1, des Massverkörperungsträgers 3, der die halbe Schnitt eines kreisförmige Massverkörperungsträger 30 darstellt, der optischen Elementen 91, des Lichtflusses 90 und ein oder mehrerer Empfängerelemente 6.
  • Die Vorteile dieser Erfindung sind:
    • – der Bau von Messzellen, die sehr hohen Auflösungen von bis 0.0005° von Winkeln mit einem einfachen Schaltkreis aufweisen,
    • – der Bau von Sensoren, die stabile Messungen über die Zeit, auch bei erhöhte Veränderungen von Temperatur und Feuchtigkeit aufweisen.
    • – der Bau von Bewegungsensor für Fahrzeuge mit niedrige eigenschwingungswert:
    • – die zusätzlich zu den obigen Vorteilen eine grosse Qualität bei der Messung von kleinen Beschleunigungen um 0.5 mg aufweisen.
    • – die eine kostengünstige Bauweise für die Automobilbranche ermöglichen.
    und möglich macht den Bau von Digitalpotentiometer mit einer Auflösung von 10 bis 16 bits in kleinen Abmessungen und zu wettbewerbsfähigen Preisen.
  • In der 19 zeigt eine Zusammenstellung eines Gravitationssensors mit seinem Schaltkreis, der umfasst ein Gehäuse 201, ein oszillierendes mechanisches System 231 mit einer exzentrisch angeordnete Schwergewicht 204 und eine Scheibe 202, auf die ein oder mehrere Massverkörperungen 203 angeordnet werden kann, die es möglich machen, die Position oder die Winkelbewegung des oszillierenden Systems 231 durch ein oder mehrere Empfängerelemente 250 zu lesen.
  • Das oszillierende mechanische System 231 liegt auf einem Lager schwacher Reibungswert mit limitierter Winkelbewegungen 207 solidarisch zu Achse 208, derjenige mittels einer abgelegenen Schwergewicht 206 ein zweites oszillierendes mechanisches System bildet, das vorzugsweise auf zwei Lagern Ebenheiten 209 und 210 aufgestellt wird, die Körper mit Gehäuse 201 machen. Die Lager Uhrmachertyp 209 und 210 machen Körper mit dem Gehäuse und sind vorzugsweise von stossfester Typ.
  • Ein oder mehrere Leseköpfe 250 oder Gruppe von Empfängerelement 6 werden vorzugsweise abstandsgleich auf einem Umfang angeordnet, der den Abmessungen des Massverkörperung entsprichen. Der dargestellte Lesekopf 250 umfasst eine Lichtquelle 211, eine optische Vorrichtung 220 und ein oder mehrere auf eine integrierte Schaltung 205 oder Träger 8 angeordnete Empfängerelemente.
  • Die zwei Leseköpfe werden vorzugsweise um 180° einen des anderen angeordnet sein, die so möglich machen, die Exzentrizitätsfehler des Massverkörperung 203 zur Drehzentrum des oder der Lager des Sensors während des Lesen durch Aufzählen der Impulse zu kompensieren, die aus den zwei Systemen stammen. Die Lichtquelle 211 stellt eine leuchtende Diode oder andere Lichtquelle zum Beispiel am Tritium aktivierte Radioluminezenz dar, das die notwendige Energie liefert, um die Bewegung der Massverkörperung 203 mithilfe der integrierten Schaltung 205 zu bestimmen.
  • Das optische System 220 hat die Aufgabe, eine gute Lesung der Position des Massverkörperung zu gewährleisten. Wenn die Teilung des Massverkörperung klein wird, wird die Distanz zwischen der Scheibe und der Detektionschaltung kritisch. Die Bondingsfäden und die mechanische Montage werden nicht ermöglichen, Bedingungen für optimale Lesung umzusetzen. Es wird dann notwendig, zum Beispiel, ein optisches Element einzuführen, das sich aus ein oder mehreren Linsen zusammensetzt, die das Bild des Lichtflusses auf dem Bildebene, wo die Empfängerelemente angeordnet sind, Figildet. Eine andere Möglichkeit beruht auf den Einsatz einen bund von Lichtleitfasern, die mehrere nebeneinander angeordnete Lichtfasern umfassen, die vorzugsweise gestellt oder auf die Oberfläche der Empfänger geklebt wird.
  • Die Massstab 203 oder die Massverkörperung wird aus einer Anreihung von optischen Elementen bestehen. Diese optischen Elemente können durch Kunststoffspritzen oder durch mechanischen Abdruck in einem metallischen oder aus Plastik hergestellten Träger gebaut werden. Die Scheibe 231 kann auch auf Lager 209 und 210 beruhen, was dagegen die mechanische Auflösung des Empfängers reduzieren wird. An Stelle der Gleitlager 209 und 210 können Miniaturrolllagern, Lager mit gewöhnlicher Reibung und/oder kontrollierte Magnetlager, das heisst, deren Position elektrisch kontrolliert werden kann. Der Einsatz von permanenten Magnetlagern ist mit zu diesem Zweck angepassten Materialien auch denkbar.
  • Der Einsatz von mehreren Massverkörperung 203 hat den Vorteil, einen Übergang von einem Messsystem zu einem anderen, zum Beispiel von mm/m in Gradwinkel (360 Teilungen) oder anderen Werten zu ermöglichen, ohne dass es notwenig wird, diese Werte durch Berechnung zu konvertieren.
  • Ein digitaler Schaltkreis 212, der vorzugsweise ein Mikroprozessorsystem darstellt, der von ein oder mehreren Leiter 217 mit der integrierten Schaltung 205 verbunden ist, ist verantwortlich für die Verwaltung der gemessenen Werte, für das Anzeigen auf einen optischen Indikator 213 oder durch akustische Methode 214, die Verwaltung ein oder mehrerer Druckknöpf 215 und andere ins System zu integrierender Aufgaben. Vorzugsweise wird eine Batterie 216 den Stromkreis versorgen.
  • Die 20 zeigt ein Gleitlager, die Welle 219 von Durchmesser „d", der auf einem Lager 18 von Durchmesser „D" beruht. Der Punkt 220a stellt den Schwerpunkt des osziellenden Systems dar. Der Punkt 220b stellt die extreme Stellung des Schwerpunkts vor Rutschen der Welle 219 auf dem Lager 218 dar. Das Vektor 224 stellt das Gewicht der Scheibe „G" dar und das Vektor 223 die maximale Reibungskraft, die μ × D/2 × G entspricht. Der Wert „e" stellt die Distanz zwischen der Drehachse und dem Schwerpunkt des oszillierenden Systems dar.
  • Die Anordnung der zwei Vektoren zeigt den Beziehung zwischen der Kräften, die in Spiele vor dem Rutschen der zwei Teile hineingehen. Die extreme Position des Schwerpunkts 220b und der Wert des Lagerdurchmessers 219 sowie des Reibungskoeffizienten bestimmen die minimale mechanische Winkelauflösung des Systems, die entspricht: – 2 × arctan ((μo × D)/(2 × e)) Das heisst zum Beispiel wird die minimale mechanische Winkelauflösung mit Werten von D= 70μm, μo = 0.12, e = 5 0.096 Grad betragen.
  • Ein anderer Lagertyp besteht in einem segmentierten Gleitlager, dessen entsprechende Durchmesser sehr niedriger Wert wie beispielsweise zu 10μm reduziert werden kann, ohne dass der Widerstand oder die Herstellung unmöglich werden. Eine Auflösung mit den Werten von D = 10μm, μo = 0.12, e = 5 beträgt 0.014 Grad.
  • Ein anderer Lagertyp besteht in einem Rollenl mit sehr schwacher Reibung, deren minimale mechanische Winkelauflösung ist: = 2 × arctan (0.00066·√(d/2)/(e)). Die minimale mechanische Auflösung mit Werten von D = 200 μm, d = 180μm, μo = 0.12, e = 5 beträgt 0.00454 Grad.
  • Ein anderen Lagertypen besteht in der Benutzung eines flexiblen Stückes vorzugsweise eine Feder, die es möglich macht, eine Suspension eines begrenzten Winkelausschlags zu bauen, der mit geringer Reibung funktioniert, aber, die den Nachteil aufweist, eine Kraft einzuführen, die zur Winkelausschlag proportional ist.
  • Die Benutzung eines Lagers mit geringer Reibung mit einem eingeschränkten Winkelausschlag, der mit einem zweiten oszillierenden System 230 (19) kombiniert wurde, ermöglicht die Vorteile des Ersten zu nutzen. Das erste oszillierende System 231 19, wird so ausgelegt, dass er von einem Winkelwert oszillieren kann, der wenigstens höher ist als der mechanische Winkelauflösungswinkels des zweiten oszillierenden Systems 230.
  • Die 21a zeigt eine einfache Form des Rollenlagers, das eine Welle 219 umfasst, auf der ein Lager 218 gestellt wird, dessen Winkelausschlag mittels eines Stiftes oder eines mit Welle 219 solidarischen Fingers 221, die sich innerhalb einer mit Lager 218 solidarischen Öffnung 222 verschieben kann. Die zwei Rollflächen der Stücken 219 und 218 können glatt oder vorzugsweise ganz oder teilweise verzahnt, so dass ein relatives Rutschen um einen Winkel der zwei oszillierenden Systeme vermieden werden kann. Eine Verzahnung wird eine zusätzliche Reibung auf Kosten der Vorteile des Systems einführen. Die Verwendung einer evolventen Verzahnung mit einem grossem Druckwinkel wird ermöglichen diesen Nachteil zu reduzieren. Die Verwendung eines anderen Verzahnungsprofils kann auch in Betracht gezogen werden.
  • Die 21b stellt eine starrere Lösung dar, die dagegen mehr Reibung entwickelt, die eine Welle 219 einer Radius „r" und ein Lager 218 einer Radius „R" umfasst. Diese Anordnung hat zum Vorteil, die Winkelposition zwischen den zwei oszillierenden Systemen 231 und 230 zu garantieren. Der Ausschlagwinkel kann durch das Lager oder durch einen zusätzlichen in 21a beschriebenen Anschlag kontrolliert werden.
  • Die 22 zeigt eine Scheibe mit vorzugsweise konstanter Dicke 225, einer Welle 226, die in einem Lager mit höheren Durchmesser gelagert ist, eine Öffnung 229, die ermöglicht, den Schwerpunkt 227 auf einer Abstand „e" zur Drehachse der Scheibe 225 oder der gesamte Massverkörperung 228,22 zu verschieben, die ermöglich, die Winkelbewegung der Scheibe 225 zu bestimmen.
  • Der Abstabd des Schwerpunkts „e" zum Drehpunkt des Lagers und die Trähigkeitsmasse der Scheibe sind zwei wichtige Werte, die die Eigenfrequenz des Systems definieren. Ein kleiner Wert „e" reduziert die Eigenfrequenz, aber dagegen reduziert auch die mechanische Auflösung. Für der Bau von Sensoren mit geringen Eigenfrequenz wird es notwendig Lager mit geringer Reibung und einem zweiten oszillierenden System 230 zu wählen.
  • Die 23 zeigt ein Neigungmessgerät mit elektronischem Blasen, das einen Körper 232 mit einer Referenzseite 234 umfasst. Ein Gravitationssensor 235, wie oben beschrieben ist, wird mechanisch direkt oder mit einer elastischen Zwischenverbindung oder Antischockbefestigung auf dem Körper von Gerät 232 festgemacht und mit einer Detektionschaltung 236 elektrisch verbunden, die zum Beispiel dem Benutzer über die gemessenen Werte über eine oder mehrere numerischer Anzeige 237 mitteilen wird, und/oder ein oder mehrere akustische Signalgeber 251 und/oder ein oder mehrere optische Signalbauteile 252 und/oder ein verstellbares Anzeiger 255. 233 stellt eine Seitenansicht des Messgerätes dar.
  • Der Anzeige 255 kann manuell und/oder über ein oszillierendes System, das dem oszillierenden System 235 ähnlich ist, gerichtet werden. Die Mitteilung der Signale für den Anzeiger kann durch metallische Kontakte und/oder durch infrarote und/oder induktive Übertragung erfolgen.
  • Dieses Messgerät wird fähig sein, mit grosser Genauigkeit die Neigung einer Ebene in Beziehung zum Lot zu messen und/oder die Neigung eines Ebene mit einem anderen zu vergleichen.
  • Die 24 zeigt das Blockschema eines Kilometerzählers dar, der in der internationalen Patentnachfrage PCT/EP 93/02415 ( WO 9.406.100 ) in Figioldung 3a und 3b beschrieben wurde, das ein Gehäuse 238 umfasst, eine erste Ermittlungseinheit 239 mit einem Signaleingang 242 und einem Schaltkreis für die Verarbeitung dieses Signals 243, mit dem vorzugsweise ein kilometrisches Impulssignal verbunden wird. Eine zweite Ermittlugnseinheit 240, die eine Sensoreinheit 244, vorzugsweise eine Beschleunigungsensor-einheit, umfasst, und ein Schaltkreis für die Verarbeitung dieses Signals 245, ein Vergleicher 246, ein digitaler Schaltkreis zum Beispiel ein Mikroprozessor 247, eine Speichereinheit 248 und ein Datenschnitstelle 249 für die Übertragun der Daten nach Aussen.
  • Die Verwendung eines wie oben beschriebenen Gravitationssensors macht es möglich, die Bedingungen, die durch die Vorrichtung in 24 gefordert wurden, in einfache Weise und mit geringen Kosten zu erfüllen. Die Verarbeitung der Daten erfolgt digital, dadurch wird die Ausführung von Algorythmen stark vereinfacht und die Verarbeitungszeit für die zweite Ermittlungseinheit 245 sowie des angrenzenden elektronischen Schaltkreises reduziert. Er hat insbesondere den Vorteil leicht durch einfaches Nullsetzen des Zählers geeicht zu werden.
  • Die Werte aus dem Beschleunigunsgsensor 244 und aus der Streckensensor 242 werden in 245 und 243 in Beschleunigungswert oder Streckenwerte umgewandelt und in 246 verglichen. Aufgrund der Tatsache, dass ein Fahrzeug nicht immer nach den horizontalen Ebene gerichtet wird, sind die Vergleichsdaten mit Fehler behaftet. Eine Analyse durch statistische Methode der Vergleichswerte wird trotzdem möglich machen, ob die kilometrischen Impulswerte konstant oder korrekt sind.
  • Dieses Verfahren ermöglicht, den Wert der kilometrischen Impulse automatisch zu quantifizieren, dies durch Vergleich der Streckenimpulse während der Beschleunigungsperiode, was die Montage des Geräts auf dem Fahrzeug vereinfachen wird. Er kann überwacht werden, ob das Fahrzeug während dem Fahren die Streckenimpulse dem Erfassungssystem abliefert und/oder ob diese Impulsewerte korrekt oder nicht sind. Die kontrollierten Werte werden im Speicher abgelegt und gleichzeitig mit der Kilometerdaten eine EDV-Anlage überreicht. Die EDV-Anlage wird die gespeicherten Daten auswertet.
  • Der Einsatz eines Sensor mit absoluter Massverkörperung wird die Zuverlässigkeit des Systems erhöhen können, da die Messungen aufstützend auf einer unveränderten Lot basiert werden, was die Zuverlässigkeit des Algorythmen zur Kontrolle der Erfassung erhöhen wird. Dieselbe Berechnungsbasis wird nach einer Stromabschaltung aufrechterhalten bleiben können.
  • Die 25 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines Drehgeber, das einen Massverkörperungsträger 2, der auf eine Hohlwelle 261 angeordnet ist, einen Träger 8, wo die Empfängerelemente angeordnet sind, eine Lichtquelle 1, ein Gehäuse 230, 236 und Rollenlager 262 umfasst.

Claims (29)

  1. Verfahren zur Bestimmung einer relativen oder absoluten Lage einer Massverkörperungsträgers nach einer bestimmten Bewegungsrichtung (25) relativ zu einem weiteren träger (8) mit Hilfe eines Lichtbündels, der eine Vorrichtung zugehört, die enthält: a- eine Lichtquelle (1) zur Erzeugung eines Lichtflusses (12) b- eine Massverkörperungsträger (3) mit einer in sich enthaltenden Massverkörperung (30), die im Lichtfluss angeordnet ist und diesen modifiziert, c- einen Träger (8) mit einem oder mehreren Empfängerelementen, die den modifizierten Lichtfluss (13) auffangen können, d- ein oder mehrere Empfängerelemente (6), die die aufgefangene Lichtintensität in einen physikalischen Effekt umwandeln können. e- und eine Detektionschaltung (59), die ein elektronisches Signal generieren kann (22 und/oder 23), dadurch gekennzeichnet, dass die Massverkörperung (30) durch eine Reihe von optischen Elementen (4) gebildet ist, die jeweils einen fokussierenden Teil (31) enthalten, und dass der Lichtfluss eine Reihe von optischen Elementen (4) überstreicht, die durch Fokussierung auf den die Empfängerelemente (6) enthaltenden Träger (8) mehrere Lichtspots (11) erzeugen, dass jedes optisches Element (4) einen einzigen Lichtspot erzeugt, und dass eine maximaler oder minimaler Wert eines alternierenden Signals (22) entspricht.
  2. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass die durch die optischen Elemente erzeugten Lichtspots eine längliche oder eine im Wesentlichen rechteckige Form haben.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein ersten Positionssignal (74a, 7ab), der eine Teilung zugeordnet ist, die aus einer oder mehreren aus unterschiedlichen Typen von optischen Elementen (4) ausgebildeten Massverkörperungen (79) untergeordnet ist, einem zweiten Positionssignal (71c) übereinstimmt, der vom dem oder mehreren Positionssignalen (74a, 74b) abhängig ist, die durch eine zum mindesten mit einem aus mehreren identischen optischen Elementen (4) ausgebildete Massverkörperung gekennzeichnet ist, dessen optische Elemente fähig sind, die relative Lage zwischen einer Teilung (4) gegenüber einer zum Träger (8) zu bestimmen und die von einem oder mehreren ersten Positionssignal (74a,74b) untergeordnet ist, der genannten zweiten Positionssignal (71c) einen Ziffer einer Positionszahl (62) entspricht, der die Möglichkeit bietet, der absolute Positionswert zwischen der Massverkörperung (3) und dem Träger (8) zu bestimmen.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass ein oder mehrere Positionszahlen (62) und/oder ein oder mehrere Positionssignale (71), die mit der absoluten Position zwischen dem Massverkörperungsträger (3) und dem Träger (8) übereinstimmen, in einem Speicher abgelegt werden um eine korrekte Bestimmung der Positionszahl (62) sicherzustellen.
  5. Vorrichtung zur Bestimmung der relativen oder absoluten Lage einer Massverkörperungsträgers (3) relativ zu einem weiteren träger (8) in einer bestimmten Bewegungsrichtung mit Hilfe eines Lichtbündels, der Teil der Vorrichtung ist, die enthält: a- eine Lichtquelle (1) zur Erzeugung eines Lichtflusses (12) b- eine Massverkörperungsträger (3) mit einer in sich enthaltenden Massverkörperung (30), die im Lichtfluss angeordnet ist und diesen modifiziert, c- einen Träger (8) mit einem oder mehreren Empfängerelementen, die den modifizierten Lichtfluss (13) auffangen können, d- ein oder mehrere Empfängerelemente (6), die die aufgefangene Lichtintensität in einen physikalischen Effekt umwandeln können. e- und eine Detektionschaltung (59), die ein elektronisches Signal generieren kann (22 und/oder 23). Dadurch gekennzeichnet, dass die Massverkörperung (30) durch eine Reihe von optischen Elementen (4) oder Division gebildet ist, die jeweils wenigstens einen fokussierenden Teil (31) enthalten, und dass der Lichtfluss eine Reihe von optischen Elementen überstreicht, die durch Fokussierung auf den die Empfängerelemente (6) enthaltenden Träger (8) mehrere Lichtspots (11) erzeugen, und dass jedes optisches Element (4) einen einzigen Lichtspot entspricht.
  6. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass die optischen Elementen (4) länglich oder im Wesentlichen rechtwinklich sind.
  7. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass die abgebildete Fläche (34), die mit der Figur der Fläche des fokussierten Teils (31) des optischen Elements (4) auf dem Träger (8) übereinstimmt, grösser als die Fläche (37), die zur Schnittfläche zwischen der Fläche von zumindest einer der Empfängerelementen (6) und der Fläche 34, ist und dadurch dass die Breite (9) von zumindest eines Empfängerelementes (6) kleiner als die Breite (35) der Projektionsfläche des fokalisierenden Teils (31).
  8. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass zu einer Portion des maximalen Wertes (22a) des alternierenden Signals (22) ein oder mehrere Empfängerelemente (6a oder 6b und 6c) und zu einer Portion des minimalen Wertes (22b) des alternierenden Signals (22) ein oder mehrere Empfängerelemente (6a oder 6b und 6d) entsprechen, wobei durch einen Vergleich der Signale, die von wenigsten zwei Empfängerelemente (6a und 6b oder 6c und 6d) erhalten werden, ein alternierendes Signal erzeugt werden kann, dessen Wert unabhängig vom Lichtfluss aus der Lichtquelle (1) ist.
  9. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass einer Teilung mehrere Gruppen von Empfängerelementen (6) entprechen derart, dass die Einheitsauflösung grösser als die Auflösung der Massverkörperung ist.
  10. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (1) und/oder der von der Lichtquelle ausgestrahlte Querschnitt der (21), eine längliche, vorzugsweise eine rechteckige Form und/oder eine ähnliche Form wie die Empfängerelemente (6) hat.
  11. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 oder 10 dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (1) auf die Endebene (5), über welche hinausgehend die Abmessung der Figur auf der Bildebene (7) nicht mehr verkleinert werden kann, oder zwischen der Endebene (5) und dem Massverkörperungsträger (3) angeordnet ist, damit die Breite B,11 des oder der auf die Empfängerelemente fallende lichtspots definiert werden kann.
  12. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen 5, 8 oder 9 dadurch gekennzeichnet, dass zwei Empfängerelemente oder zwei Gruppe von Empfängerelemente (56, 57) auf einem selben Ebene mit einem parallel zur Mittellinie (32) gemessenen Abstand von, einer Länge einer Einheitsauflösung angeordnet sind, und dass zu diesen Empfängerelementen oder Gruppe von Empfängerelementen zwei Signalen, die einen Vektor (26) definieren können, dessen Vektoren eine kreisförmige Linie 27 und ein Winkel bildet, wobei eine genaue Lage des Massverkörperungsträgers (3) durch Analyse der beiden Signals zu einem bestimmten Punkt und/oder Zeitpunkt bestimmt werden kann.
  13. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass der Massverkörperungsträger (3) aus einem einzigen Material ausgebildet ist und dass die Massverkörperung durch einem Spritz- und/oder Pressverfahren hergestellt wir, wobei die Fläche der Massverkörperung mit einem Reflexionsschicht beschichtet sein kann.
  14. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen 5 oder 13 dadurch gekennzeichnet, dass der Massverkörperungsträger (3) eine oder mehrere Massverkörperungen (79) enthält, die aus ähnlichen Typ von optischen Elementen (4) ausgebildet sind, wobei der fokalisierende Teil der Massverkörperung den Lichtfluss (13, 12) verändert, so dass die Form und/oder die Position des Lichtspots (11) im Verhältnis zum Umfang (33), der durch eine Figur der Fläche eines optischen Elements (4) auf dem Träger (6) definiert ist, identisch für jeder Teilung ist, und/oder dass der Massverkörperungsträger (3) eine oder mehrere Massverkörperung (79) enthält, die aus unterschiedlichen Typ von optischen Elementen (4) ausgebildet sind, wobei der fokalisierende Teil der Massverkörperung den Lichtfluss (13, 12) verändert, so dass die Form und/oder die Position des Lichtspots (11) im Verhältnis zum Umfang (33), der durch eine Figur der Fläche eines optischen Elements (4) auf dem Träger (8) definiert ist, von einer Teilung zu einer anderen unterschiedlich ist, wobei möglich wird, jeder Teilung oder optisches Element ein numerischer Wert (60) zu zu ordnen, der so genannte numerische Wert auf eine mathematische Base von 2, 3 oder sonstiger Wert aufgebaut sein kann.
  15. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen 5 oder 14 dadurch gekennzeichnet, dass der Massverkörperungsträger (3) eine Massverkörperung enthält, die aus ähnlichen Typ von optischen Elementen (4) ausgebildet sind, und zum mindesten einer zweiten Massverkörperung, die aus unterschiedlichen Typ von optischen elementen (4) ausgebildet ist, wobei die erste Massverkörperung zur Synchronisierung bei der Bestimmung des numerischen Wert einer Teilung (62) mittels einem Lichtspot (11) stammend aus einer weiteren Massverkörperung, die aus unterschiedlichen Typ von optischen Elementen (4) ausgebildet ist.
  16. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen 5, 13, 14 oder 15 dadurch gekennzeichnet, dass der Massverkörperungsträger (3, 68) zumindest eine Massverkörperung (66) enthält, die aus einem oder mehreren Massverkörperungssegmente (66), die ein oder mehrere Referenzindex enthält.
  17. Vorrichtung nach dem Anspruch 16 dadurch gekennzeichnet, dass ein oder mehrere Massverkörperungssegmente (66) eine Anreihung von unterschiedlichen optischen Elementen, wobei an jeder Segment ein Positionszahl (62) für zum Beispiel jeder Referenzindex zugeordnet werden kann.
  18. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein optischer Element (4) einer Massverkörperung (30) einen fokalisierenden Element (31) aufweist, wobei der optischen Element eine Linse mit einer vorzugsweise zylindrischen Form mit einer rechteckigen oder trapezförmigen Grundform, die rechtwinklich zur Bewegungsrichtung angeordnet ist.
  19. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 oder 17 dadurch gekennzeichnet, dass die optische Achse eines fokalisierenden Teils von zum mindesten einem der optischen Elementen (4) aus einer Massverkörperung (30), nicht mit der Symetrieachse (17) einer Teilung übereinstimmt.
  20. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen 18 oder 19 dadurch gekennzeichnet, dass der fokalisierenden Element (31) in Richtung der Breite (21) verbeugt ist, so dass die Figur auf den Bildebene (7) ist kürzer als die Länge (21) des optischen Elements (4).
  21. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen 5, 13, 18 oder 19 dadurch gekennzeichnet, dass der Massverkörperungsträger (3) zumindest einen reflektierenden Element ist und/oder einen optischen Element (4) mit einem fokalisierenden Teil (31) die teils auf Reflexion arbeitet.
  22. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass ein fokalisierendes Element (31) eine Frensel Linse, binaire oder diffraktionnelle Linse sein kann.
  23. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand der Bildebene (7) in etwa durch die Fokallänge der optischen Elementen (4) bestimmt ist oder ein Mehrfach dieser Fokallänge.
  24. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Empfängerelemente (6) oder die Schaltung (147), die zum mindesten einen Empfängerelement enthält, unter anderem durch ein leitendes und/oder resistives Element (150) verbunden sind, um eine neuronale Schaltung auszubilden.
  25. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass eine Schaltung, die eine Massverkörperung mit unterschiedlichen Typ von optischen Elementen enthält, einen Speicherbereich enthält, der zur Speicherung eines oder mehreren Positionssignal (71, 74) und/oder Positionszahl (62) eingesetzt wird.
  26. Vorrichtung nach dem Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass der Massverkörperungsträger (3) und/oder der Träger 8 ein oder mehrere optischen Elementen (91) enthält, wobei der Lichtstrahl (90) für eine bessere Anordnung der Lichtquelle (1) und von zum mindesten einem Empfängerelement (6) im Verhältnis zu der Massverkörperungträger umgelenkt werden kann.
  27. Gravitationssensor mit einer runden Massverkörperung (4, 225), dessen Schwerpunkt (227) ausserhalb seines eigenes Drehpunkts liegt und dadurch ein oszillierendes System bildet dadurch gekennzeichnet, dass er enthält: a) mindestens eine Massverkörperung (30, 66) nach einem der vorgehenden Ansprüche. b) ein oder mehrere Empfängerelemente oder Gruppe von Empfängerelemente (6) nach einem der vorgehenden Ansprüche, c) eine Massverkörperungsträger (225) mit einem Schwerpunkt (227), der nicht dem Rotationspunkt übereinstimmt, der genannten Träger auf zum mindestens einem Lager, der zum Gehäuse (201) des Sensors gehört, oder zum mindestens ein Lager mit niedrigem Reibungswert, vorzugsweise mit einem eingeschränkten Rotationsbereich, der auf einem zweiten oszillenden System aufliegt, dass auf zum mindestens einem Lager, das vorzugsweise das Gehäuse (201) des Sensors gehört.
  28. Vorrichtung oder elektronsiche Wasserwaage für die messung von Neigungen einer Fläche gegenüber dem Lot gekennzeichnet durch ein Gravitationssensors mit einer Massverkörperung, die unterschiedliche Typen von optischen Elementen enthält, und einen Körper mit einer Referenzfläche (234) für die Messung der Neigung einer Ebene.
  29. Vorrichtung zum Bestimmen, registrieren und wenn möglich für die Auswertung von Daten betreffend der Einsatz eines Fahrzeuges, die zum mindestens anteilsmässig, direkt oder indirekt, auf einen dieses Fahrzeug angebaut ist, der enthält: a) zwei unabhängige Ermittlungseinheiten, b) eine digitale Schaltung, vorzugsweise ein Mikroprozessorsystem für die Berechnung, den vergleich und/oder die Verwaltung von Daten, die zum mindestens aus einem der beiden Ermittlungseinheiten erfasst werden, c) einen Speicher für die Speicherung der erfassenden Daten, d) und vorzugsweise eine Kommunikationsschaltung zur Übertragung von Daten aus der Vorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass eine der zwei Ermittlungseinheiten (239 und 240) zu mindestens ein Gravitationssensor mit relativer oder absoluter Messung nach einem der vorhergehenden Ansprüche enthält.
DE69535479T 1994-09-15 1995-09-15 Verfahren und vorrichtung zur positions- und bewegungsmessung Expired - Lifetime DE69535479T2 (de)

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH280594 1994-09-15
CH280594 1994-09-15
CH101895 1995-04-10
CH101895 1995-04-10
CH244895 1995-08-28
CH244895 1995-08-28
PCT/EP1995/003643 WO1996008693A1 (fr) 1994-09-15 1995-09-15 Dispositif et procede de mesure de mouvement ou de positionnement

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69535479D1 DE69535479D1 (de) 2007-06-06
DE69535479T2 true DE69535479T2 (de) 2008-01-03

Family

ID=27172608

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69535479T Expired - Lifetime DE69535479T2 (de) 1994-09-15 1995-09-15 Verfahren und vorrichtung zur positions- und bewegungsmessung

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6172753B1 (de)
EP (1) EP0781398B1 (de)
AT (1) ATE360799T1 (de)
DE (1) DE69535479T2 (de)
WO (1) WO1996008693A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015022128A1 (de) * 2013-08-13 2015-02-19 Zf Friedrichshafen Ag Sensor und verfahren zum erfassen einer position in zwei raumrichtungen

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7089672B2 (en) * 2002-02-08 2006-08-15 Robert Bosch Gmbh Optical angle and torque sensor
DE10217726A1 (de) * 2002-04-17 2003-11-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Optische Positionsmesseinrichtung
US20080189072A1 (en) * 2007-02-01 2008-08-07 Nescom Inc. High resolution encoder within a swivel
JP5153466B2 (ja) * 2008-06-11 2013-02-27 日本発條株式会社 ディンプル位置検出方法
DE102011008149A1 (de) * 2011-01-08 2012-07-12 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Messvorrichtung für insbesondere ein Lager
DE102016226073A1 (de) * 2016-12-22 2018-06-28 Deckel Maho Pfronten Gmbh Vorrichtung zum einsatz in einer numerisch gesteuerten werkzeugmaschine zur verwendung in einem verfahren zum vermessen der numerisch gesteuerten werkzeugmaschine

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2156972B (en) * 1984-04-06 1988-07-06 Plessey Co Plc Improvements relating to the manufacture of optical devices
AU572330B2 (en) * 1984-04-06 1988-05-05 Gec-Marconi Limited Fabricating optical sensing devices
GB8616240D0 (en) * 1986-07-03 1986-08-13 Renishaw Plc Opto-electronic scale reading apparatus
DE3905508A1 (de) * 1989-02-23 1990-08-30 Messerschmitt Boelkow Blohm Mikromechanisches bauelement
DE9104157U1 (de) * 1991-04-06 1991-07-25 Hohner Elektrotechnik Kg, 7200 Tuttlingen, De
DE59101604D1 (de) * 1990-08-09 1994-06-16 Hohner Elektrotechnik Kg Optoelektronische Abtasteinrichtung.
DE4230405B4 (de) * 1991-09-12 2005-11-17 Mitsubishi Denki K.K. Positions-Detektor
US5424553A (en) * 1994-05-16 1995-06-13 Eastman Kodak Company Method for aligning a lenticular material for printing
US5543918A (en) * 1995-01-06 1996-08-06 International Business Machines Corporation Through-the-lens confocal height measurement
US5689340A (en) * 1995-12-06 1997-11-18 Eastman Kodak Company Apparatus and method for measuring alignment in lenticular media

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015022128A1 (de) * 2013-08-13 2015-02-19 Zf Friedrichshafen Ag Sensor und verfahren zum erfassen einer position in zwei raumrichtungen

Also Published As

Publication number Publication date
DE69535479D1 (de) 2007-06-06
EP0781398A1 (de) 1997-07-02
WO1996008693A1 (fr) 1996-03-21
US6172753B1 (en) 2001-01-09
EP0781398B1 (de) 2007-04-25
ATE360799T1 (de) 2007-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102007007311B4 (de) Abtasteinheit für eine Positionsmesseinrichtung zur Detektion von optischen Maßverkörperungen sowie entsprechende Positionsmesseinrichtung
EP1979769B1 (de) Bilderfassungssystem und verfahren zur herstellung mindestens eines bilderfassungssystems
DE4030049C2 (de) Gerät zur fotoelektrischen Ermittlung der Verschiebung eines Verschiebungsglieds
DE3737278C2 (de)
DE112010000957B4 (de) Verbesserungen an Verfahren zur Erzeugung von Linsenarrays
EP2394143B1 (de) Optoelektronische lagemesseinrichtung und optoelektronisches lagemessverfahren
DE10296644T5 (de) Absolute Positionsmessung
DE4226683B4 (de) Optischer Bewegungsaufnehmer
EP1081457A2 (de) Optische Positionsmesseinrichtung
EP2606314A2 (de) Positionsmessvorrichtung und verfahren zur ermittlung einer absoluten position
DE69535479T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur positions- und bewegungsmessung
EP2150780A2 (de) Optoelektronisches lagemessverfahren und optoelektronische lagemesseinrichtung
DE10217726A1 (de) Optische Positionsmesseinrichtung
EP0978708B1 (de) Rotatorische Positionsmesseinrichtung
DE102018200449A1 (de) Positionsmesseinrichtung
US6703602B1 (en) Optical encoder with at least one lenticular sheet
DE1905392A1 (de) Vorrichtung zum Erzeugen von elektrischen Signalen mittels eines Skalengitters,das relativ zu einem Indexgitter bewegbar ist
DE102020003758B4 (de) Gitterteil und herstellungsverfahren hierfür
EP1467185A1 (de) Linsenanordnung für einen optischen Encoder
EP1477774A1 (de) Positionsmesseinrichtung
EP0901611B1 (de) Optischer sensor zur bestimmung des drehwinkels einer drehachse
DE2307482C3 (de) Verfahren zum Schreiben einer zusätzlichen Information in einen nur auszulesenden Speicher
DE202011110543U1 (de) Sensor, insbesondere Kamera, zum Bestimmen von Entfernungen
DE10116599A1 (de) Optische Positionsmesseinrichtung
EP1607722A2 (de) Optischer Kodierer mit strahlablenkenden Kodierelementen

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ELESTA RELAYS GMBH, BAD RAGAZ, CH