DE69504024T2 - Direkte elektrostatische Druckvorrichtung (DEP) mit einer Druckkopfstruktur mit einem maximalen Stromfluss von 50 microA zwischen der Steuerelektrode und der Abschirmelektrode - Google Patents

Direkte elektrostatische Druckvorrichtung (DEP) mit einer Druckkopfstruktur mit einem maximalen Stromfluss von 50 microA zwischen der Steuerelektrode und der Abschirmelektrode

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