DE69330420D1 - Verfahren zum Betrieb eines ballistischen Heteroübergang-Transistors - Google Patents
Verfahren zum Betrieb eines ballistischen Heteroübergang-TransistorsInfo
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
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