DE69320347T2

DE69320347T2 - Steuerung eines laserstrahls während der ätzung von optischen servospuren für magnetplatten

Info

Publication number: DE69320347T2
Application number: DE69320347T
Authority: DE
Inventors: James Ogden Ut 84403 Bero; Fred Charles Kaysville Ut 84037 Thomas; Don W. Layton Ut 84040 Wallentine; Scott Westminster Co 80030 Wilson
Original assignee: Minnesota Mining and Manufacturing Co
Current assignee: 3M Co
Priority date: 1992-06-10
Filing date: 1993-06-10
Publication date: 1999-04-22
Anticipated expiration: 2013-06-11
Also published as: DE69320347D1; EP0645044A1; EP0645044A4; EP0645044B1; WO1993026007A1; JPH07508119A; US5283773A

Description

Diese Erfindung betrifft das Ätzen optischer Servospuren auf Magnetplatten und insbesondere das Lenken des Laserstrahls während der mechanischen Bewegung der Optik zum Ätzen der Servospuren in den gewünschten konzentrischen Mustern.
Sogenannte "Floppy"-Disk-Speichersysteme für Computer in "Desktop"-Größe sind im Fachgebiet allgemein bekannt. Solche Systeme verwenden magnetische Speicherscheiben oder Speicherplatten mit einen Durchmesser von entweder 5,25" (130 mm) oder 3,5" (89 mm). Herkömmliche magnetische Speicherplatten für Floppy-Disk-Laufwerke besitzen eine Spurdichte die von acht- undvierzig (48) bis hundertfünfundreißig (135) Spuren pro Inch (TPI) (1,9 bis 5,3 Spuren/mm) reicht. Im Gegensatz dazu erreichen optische Speicherplatten für optische Speichersysteme Spurdichten größer als 15000 TPI (590 Spuren/mm). Die größere Spurdichte optischer Platten wird durch die Verwendung optischer Servos erreicht, welche eine Feinpositionierung des optischen Lese/Schreib-Kopfes über den Datenspuren auf der Platte gewährleisten. Typischerweise werden konzentrische optische Servospuren auf der optischen Platte für die Führung des Servomechanismus voraufgezeichnet.
Neuere Fortschritte bei Bariumferrit-Magnetmedien haben es ermöglicht, daß die Bitdichten magnetischer Speicherungsplatten die Bitdichten optischer Platten übersteigen. Wie vorstehend erwähnt sind jedoch die Spurdichten magnetischer Medien (48 bis 135 TPI, d. h. 1,9 bis 5,3 Spuren/mm) viele Male niedriger als die ihrer optischen Gegenstücke. Dieses schränkt die Gesamtkapazität der magnetischen Platten im Vergleich zu optischen Platten ein. Herkömmliche magnetische Plattensysteme verwenden einen magnetischen Servomechanismus und magnetisch voraufgezeichnete Servospuren auf den Platten für die Führung des Lese/Schreibkopfes. Magnetische Servosysteme können nicht die feine Positionierung bereitstellen, die optische Systeme bereitstellen können.
In letzter Zeit wurden Floppy-Disk-Systeme entwickelt, welche magnetische Plattenaufzeichnungsverfahren mit der hohen Spurkapazität optischer Servos kombinieren, die man bei optischen Plattensystemen findet. Ein derartiges System ist in AN INTRODUCTION TO THE INSITE 325 FLOPTICAL® DISK DRIVE, Godwin, in einer bei dem SPIE Optical Data Storage Topical Meeting (1989) präsentierten Veröffentlichung beschrieben. Im wesentlichen wird ein optisches Servomuster auf einer magnetischen Floppy-Disk voraufgezeichnet. Das optische Servomuster besteht typischerweise aus einer großen Anzahl in gleichem Abstand konzentrisch um die Rotationsachse der Platte herum angeordneter Spuren. Daten werden in den magnetischen "Spuren" zwischen den optischen Servospuren unter Anwendung herkömmlicher magnetischer Aufzeichnungsverfahren aufgezeichnet. Ein optischer Servomechanismus ist für die genaue Führung des magnetischen Lese/Schreib-Kopfes über den Daten zwischen den optischen Servospuren vorgesehen. Durch Nutzung optischer Servo-Verfahren sind wesentlich höhere Spurdichten auf dem relativ preiswerten austauschbaren magnetischen Medium erzielbar.
Wie erwähnt, besteht das optische Servomuster aus einer großen Anzahl in gleichem Abstand konzentrisch um die Rotationsachse der Platte herum angeordneter Spuren. Wie in dem U.S.Patent Nr. 4,961,123 offenbart, kann jede Spur nur eine zusammenhängende Rille (Fig. 3) sein, eine Vielzahl in gleichem Abstand angeordneter kreisförmiger Vertiefungen oder "Pits" (Fig. 8), oder eine Vielzahl in Abständen angeordneter kurzer Rillen oder Striche (Fig. 9) sein. Es existieren verschiedene Verfahren und Systeme für das Einschreiben der optischen Servospuren in das magnetische Medium.
Beispielsweise offenbart das U.S.Patent Nr. 5,067,039 mit dem Titel "High Track Density Magnetic Media with Pitted Optical Servo Tracks and Method for Stamping the Tracks an the Media" ein Verfahren zum "Pressen" der Servospuren auf dem magnetischen Medium. Im wesentlichen wird eine "Master"- Preßplatte erzeugt, welche eine Schablone des optischen Servomusters trägt. Diese Master-Platte wird dann unter einem Druck von mehreren Tonnen pro cm² gegen die magnetische Floppy-Platte gedrückt. Der erhebliche Druckaufwand überträgt das Servospurmuster von der Master-Platte auf die Floppy-Platte.
Das U.S.Patent Nr. 4,633,451 mit dem Titel "Optical Servo for Magnetic Disks", offenbart ein Verfahren zur Erzeugung einer optischen Servoinformation auf einem magnetischen Medium, das aus einem mehrlagigen Film besteht. Die optischen Servospuren werden auf dem mehrlagigen Film mittels Lasererwärmung der Struktur zum Bewirken einer Reaktion oder des Auftritts einer Diffusion zwischen den Schichten ausgebildet. Die Reaktion erzeugt einen Reflektivitätskontrast von etwa acht Prozent (8%) zwischen belichteten oder unbelichteten Bereichen. Weitere Verfahren zur Herstellung der Servospuren einschließlich Kontaktdruck-, Präge- und Lithographie-Verfahren werden erwähnt.
Das U.S.Patent Nr. 4,964,123 mit dem Titel "Magnetic Information Media Storage with Optical Servo Tracks", offenbart ein bevorzugtes Verfahren und ein Gerät zum Ätzen des Musters auf einer Platte unter Anwendung eines fokussierten Lichtstrahls. Die magnetische Platte wird auf einer Walzen/Spindel-Anordnung angeordnet und gedreht. Ein Lichtstrahl wird auf einen kleinen Punkt der sich drehenden Platte fokussiert. Der fokussierte Strahl weist eine ausreichende Intensität für einen Abtrag der Plattenoberfläche an dem Punkt des Auftreffens auf, wodurch die Reflektivität der Oberfläche an diesem Punkt verringert wird. Der Strahl kann während einer gesamten Umdrehung eingeschaltet bleiben, um eine zusammenhängende Rille zu erzeugen, oder er kann während einer Umdrehung ein/aus-moduliert werden, um ein Stich- bzw. Strichmuster zu erzeugen. Dieses Verfahren weist mehrere Vorteile auf. Erstens kann die Intensität des fokussierten Lichtstrahls für verschiedene Typen magnetischer Medien angepaßt werden. Zweitens können unterschiedliche Strichmuster geätzt werden, indem die Ein/Aus-Zeit des Strahls variiert oder die Drehgeschwindigkeit der Platte variiert wird. Zusätzlich entfällt die Notwendigkeit, eine Master-Platte wie bei dem Stempelverfahren zu erzeugen.
Wie vorstehend erwähnt, weist das optische Servomuster oft eine Anzahl in gleichen Abständen angeordneter konzentrische optischer Servospuren um die Rotationsachse der Platte auf. Eine einzelne Platte kann bis zu 900 konzentrische Servospuren enthalten. Zusätzlich kann jede optische Servospur eine zusammenhängende Rille aufweisen, oder kann mehrere in gleichen Abständen angeordnete Striche aufweisen. Wenn ein Strichmuster verwendet wird, kann die Anzahl der Stricke in jeder optischen Servospur 1600 überschreiten, wobei jede Spur dieselbe Anzahl von Strichen aufweist. Es ist für eine einwandfreie Servopositionierung entscheidend, daß jeder Strich von der Servooptik ausreichend detektierbar ist. Wie bereits erwähnt, besteht ein bevorzugtes Verfahren zum Erzeugen eines Strichmusters darin, einen Lichtstrahl auf eine rotierende Platte zu fokussieren, und den Strahl ein/aus zu modulieren. Der Strahl weist, wenn er auf die Oberfläche auftrifft und einwandfrei fokussiert ist, eine ausreichende Intensität zum Ätzen der Oberfläche und dadurch zum Erzeugen eines Striches mit reduzierter Reflektivität auf.
Der Lösungsweg nach dem Stand der Technik zum Erzeugen dieser Spuren besteht in der Positionierung der Laseroptik direkt über dem zu ätzenden Zylinder. Dann wird der Strahl unter Verwendung einer von der Rotation der Platte gesteuerten Taktquelle moduliert. Dieses Verfahren wurde erfolgreich angewendet, weist aber einen niedrigen Durchsatz auf und erfordert einen hohen Wartungsaufwand für die bewegliche Optik und die mechanischen Elemente. Dieses beruht darauf, daß das optische System nahezu 1000-mal für jede Platte zu einer Position hin beschleunigt und abgebremst werden muß. Diese Auf zeichnungsverfahren für optische Servospuren nach dem Stand der Technik lassen keine flexiblen Aufzeichnungsmuster zu.
Die Aufgaben der vorliegenden Erfindung werden durch die Merkmale der Ansprüche gelöst.
In Übereinstimmung mit der, vorliegenden Erfindung wird ein zum Ätzen von Servospuren auf einer magnetischen Platte verwendeter Lichtstrahl mittels einer akustooptischen Einrichtung gelenkt, um den Strahl in konzentrischen kreisförmigen Mustern zu halten, während sich die Optik, welche den Lichtstrahl erzeugt, kontinuierlich radial zu der Platte bewegt. Konzentrische Spuren werden geätzt, indem der Laserstrahl in einer Weise gelenkt wird, welche die durch die Optik bedingte kontinuierliche mechanische Bewegung des Strahls kompensiert.
Sätze digitaler Signale werden in einem Speicher mit wahlfreiem Zugriff für die Steuerung der Lenkung gespeichert. Sätze dieser digitalen Signale werden unter der Steuerung eines Mikroprozessors und als Reaktion auf die radiale Position des Strahls ausgewählt. Diese Sätze von Signalen werden an die akustooptische Einrichtung angelegt, um den Strahl in konzentrischen Mustern zu halten. Die Bewegung des optischen Systems mit konstanter Geschwindigkeit während der Lenkung des Laserstrahls mit einer Masse von Null mittels einer geeigneten akustooptischen Einrichtung beseitigt viele Probleme nach dem Stand der Technik. Der Laser wird ausgehend von den natürlichen spiralförmigen Format, welche sich ohne Lenkung ergeben würde, in ein Zylinderformat umgesteuert. Die Lenkung wird mittels eines geschlossenen Regelkreissystems durchgeführt, welches die Position der Optik in Bezug auf die Platte ermittelt, die Lenkungsdaten aus eines Speicher-basierenden Tabelle herausholt und die Daten an die akustooptische Lenkungseinrichtung für den Laserstrahl sendet. In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ist die benötigte Lenkungsspannung, um den Strahl auf einem Zylinder mit konstanten Radius zu halten, in einem Speicher festgelegt oder zugeordnet. Die im Speicher zugeordneten Signale werden dann zum Lenken des Laserstrahls verwendet, wodurch sich die Zeit für den Such- und Einstellvorgang der optischen Komponenten erübrigt, die anderenfalls erforderlich wäre, um den Strahl auf das Medium zu fokussieren.
In Übereinstimmung mit einem weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung sind digitale Intensitätssignale in einem weiteren Speicher mit wahlfreiem Zugriff gespeichert und werden unter des Steuerung eines Mikroprozessors und als Reaktion auf eine radiale Position des Strahls aus dem Speicher geholt. Die Intensitätssignale werden an die akustooptische Einrichtung zum Variieren der Intensität des Einfallsstrahls angelegt, um eine von dem Strahl bei allen Radien der Platte gelieferte konstante Energiedichte einzuhalten.
Ein Laser-Doppler-Meßeinrichtung wird zum Kodieren der radialen Position der Optik in Bezug auf die Platte verwendet. Die kodierte Position wird als Adresse für den Speicher mit dem wahlfreien Zugriff verwendet, der die Intensitäts- und Lenkungssignale enthält. Der Lösungsweg der Speicherzuordnung der vorliegenden Erfindung ergibt eine Flexibilität bei dem Typ und der Rate von Servomustern, die aufgezeichnet werden können.
Die vorstehende Zusammenfassung sowie die nachstehende detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform werden besser verständlich, wenn sie in Verbindung mit beigefügten Zeichnungen gelesen werden. Zum Zwecke der Darstellung der Erfindung ist in den Zeichnungen eine Ausführungsform dargestellt, wobei jedoch selbstverständlich sein dürfte, daß die Erfindung nicht auf die offenbarten spezifischen Verfahren und Hilfsmittel beschränkt. In den Zeichnungen ist:
Fig. 1 eine Draufsicht auf eine magnetische Platte mit konzentrischen magnetischen Datenspuren und optischen Servospuren, die jeweils mehrere in gleichen Abständen angeordnete Stiche bzw. Striche aufweisen;
Fig. 2 eine Querschnittsansicht der magnetischen Platte von Fig. 1 entlang einer Linie 2-2 in Fig. 1;
Fig. 3 eine vergrößerte Draufsicht auf einen Teil der magnetischen Platte von Fig. 1, welche die geätzten Stiche bzw. Striche detaillierter darstellt;
Fig. 4 eine Blockdarstellung eines Gerätes zum Ätzen optischer Servoinformation auf ein magnetisches Medium und zum Lenken des Einfallsstrahls in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung;
Fig. 5 eine graphische Darstellung der Lenkung eines Einfallsstrahls in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 6 eine Blockdarstellung, welche weitere Details der akustooptischen Einrichtung von Fig. 4 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung darstellt.
Gemäß detaillierter Bezugnahme auf die Zeichnungen, in welchen gleiche Bezugszeichen durchgängig gleiche Elemente bezeichnen, ist in Fig. 1 eine Draufsicht auf eine magnetische Platte 10 mit konzentrischen optischen Servospuren 12 um die Rotationsachse 16 der Platte 10 dargestellt. Jede Servospur 12 weist mehrere in gleichen Abständen angeordnete geätzte Stichen bzw. Strichen 18 auf. Konzentrische magnetische Datenspuren 20 (d. h., nicht geätzte Bereiche) liegen zwischen jedem benachbarten Paar von Servospuren 12, um magnetische Daten auf der Platte 10 aufzuzeichnen. In der bevorzugten Ausführungsform weist jede Platte 900 konzentrische Servospuren auf, und jede Servospur 12 weist 1666 in gleichem Abstand angeordnete geätzte Stiche bzw. Striche 18 auf.
In Fig. 2 ist nun eine Querschnittsansicht der magnetischen Platte 10 von Fig. 1 entlang einer Linie von 2-2 von Fig. 1 dargestellt. Die Platte 10 weist ein Substrat 22 mit einer Dicke T, und eine magnetische Beschichtung 24 auf der Oberfläche des Substrats 22 auf. Die magnetische Beschichtung besitzt eine Dicke t. Wie es nachstehend noch detaillierter beschrieben wird, werden die Striche oder Rillen 18 durch Ätzen der magnetischen Beschichtung 24 mit einem Lichtstrahl erzeugt. Sobald sie geätzt sind, sind die Striche 18 nicht mehr löschbar. Jede Rille oder jeder Strich 18 in jeder Servospur 12 weist eine Breite w und eine Tiefe d auf. Obwohl die Striche 18 in Fig. 2 mit einer sauber definierten nahezu gleichmäßigen Tiefe d dargestellt sind, müssen sie nicht so gleichförmig sein. Beispielsweise kann jeder Strich lediglich ein rauher "narbiger" Bereich auf der Oberfläche der magnetischen Beschichtung sein. Die nicht geätzten Bereiche, welche die magnetischen Datenspuren 20 bilden, besitzen eine Breite m, welche den Abstand zwischen benachbarten optischen Servospuren darstellt.
Die Striche oder Rillen 18 bilden mehrere konzentrische optische Servospuren 12 jeweils mit einem Radius r gemessen von der Rotationsachse 16 der Platte 10 zu dem Mittelpunkt der geätzten Striche 18. Gemäß Darstellung in Fig. 2 ist der äußerste Radius mit r0 und der innerste Radius mit r1 bezeichnet. Ähnlich besitzen die nicht geätzten Bereich zwischen benachbarten Servospuren 12, welche die konzentrischen magnetischen Datenspuren 20 bilden, einen Radius x gemessen von der Achse 16 der Platte 10 zu dem Mittelpunkt der Datenspur 20.
In Fig. 3 ist nun eine vergrößerte Draufsicht auf einen Teil der magnetischen Platte von Fig. 1 darstellt. Gemäß Darstellung in Fig. 3 weisen die Striche 18 in jeder Servospur 12 eine Länge ln auf und in einer gegebenen Spur 12 aufeinanderfolgende Striche weisen einen Abstand sn zwischen diesen auf. In der bevorzugten Ausführungsform ist für jede Spur die Länge ln jedes Striches und der Abstand sn zwischen aufeinanderfolgen Strichen gleich, wobei jedoch die Länge ln größer oder kleiner als der Abstand sn zwischen aufeinanderfolgenden Strichen sein kann.
Wie vorstehend erwähnt weist jede optische Servospur 12 eine gleiche Anzahl von Strichen 18 auf, welche in der bevorzugten Ausführungsform 1666 ist. Da der Radius r von der äußerten zur innersten Spur hin abnimmt, müssen zur Beibehaltung derselben Anzahl von Strichen 18 pro Spur der Strichabstand sn und die Strichlänge ln von der äußerten zur innersten Spur hin abnehmen.
In der bevorzugten Ausführungsform weist jeder Strich 18 eine Breite w von etwa 4,8 um auf und die optischen Servospuren 12 sind alle 20,4 mm auf der Platte abgelegt.
In Fig. 4 ist eine bevorzugte Ausführungsform eines Gerätes 39 für die Ätzung der Oberfläche eines magnetischen Mediums dargestellt, um dessen Reflektivität zu reduzieren und konzentrische Servospuren zu erzeugen. Insbesondere dient das Gerät 39 zum Ätzen mehrerer konzentrischer optischer Servospuren um die Rotationsachse einer magnetischen Speicherplatte, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist, wobei jede Spur mehrere in gleichen Abständen angeordnete Striche aufweist.
Gemäß Darstellung in Fig. 4 weist das Gerät 39 eine Lichtquelle 40 zum Erzeugen eines kollimierten Einfallsstrahls des Lichts 42 auf. Die Lichtquelle 40 weist eine (nicht dargestellte) Einrichtung zum linearen Polarisieren des Lichteinfallsstrahls in einer ersten Polarisationsrichtung auf. Die Richtung der linearen Polarisation, d. h., die erste Polarisationsrichtung ist nicht kritisch. In der bevorzugten Ausführungsform ist die Lichtquelle 40 ein Laser, der auf eine Wellenlänge abgestimmt ist, die für das Ätzen der Oberfläche geeignet ist. Somit ist der Einfallsstrahl stark kollimiert und monochromatisch. Unterschiedliche Wellenlängen können für magnetische Medien mit unterschiedlichen Eigenschaften verwendet werden. Zwei (nicht dargestellte) Brewster-Fenster in der Laserröhre bilden die Einrichtung zum linearen Polarisieren des Einfallsstrahls.
Das Gerät 39 weist ferner eine akustooptische Einrichtung 44 für die Einstellung der Intensität des Einfallsstrahls und zum Lenken des Strahls aus Gründen auf, welche hierin nachstehend noch ersichtlich werden. Akustooptische Modulatoren sind allgemein in Wilson & Hawkes, OPTOELECTRONICS: AN INTRO- DUCTION, pp. 111 bis 116 (Prentice/Hall 1983) beschrieben. Die akustooptische Einrichtung (A0) 44 wird nachstehend noch detaillierter beschrieben. Kurz zusammengefaßt empfängt die Einrichtung 44 digitale Frequenzdaten an einem ersten Eingang 43 und analoge Spannungsdaten an einem zweiten Eingang 45.
Die Frequenzdaten und Spannungsdaten steuern die Frequenz und Amplitude einer an einen doppeltbrechenden Kristall angelegten Ultraschallwelle, welche den Brechungsindex des Kristalls in einer Richtung verändert. Frequenzänderungen der Ultraschallwelle erzeugen Ablenkungen des Einfallsstrahls bei dessen Durchtritt durch den Kristall, Amplitudenänderungen der Ultraschallwelle erzeugen entsprechenden Änderungen in der Intensität des Strahls.
Ein Spiegel 50 führt den linear polarisierten Strahl durch einen Strahlteiler 52. Der Strahlteiler 52 weist eine Einrichtung zum Durchlassen von Licht, das in der ersten Polarisationsrichtung (wie z. B. der des Einfallsstrahls) linear polarisiert ist, und zum Ablenken von Licht, das in einer Richtung senkrecht zu der ersten Polarisationsrichtung linear polarisiert ist, auf. In der bevorzugten Ausführungsform ist die Einrichtung zum Durchlassen von Licht, das in der ersten Polarisationsrichtung linear polarisiert ist, und zum Ablenken von Licht, das in einer Richtung senkrecht dazu polarisiert ist, eine mehrlagige dielektrische Dünnfilm-Laser-Linienbeschichtung 53, die entlang der Hypotenuse des Strahltrenners 52 angeordnet ist.
Der Strahltrenner 52 läßt den linear polarisierten Einfallsstrahl passieren, und Spiegel 51, 55 leiten den durchgelassenen Einfallsstrahl zu einer Objektivlinse 54. Die Linse 54 fokussiert den Einfallsstrahl auf einen Punkt 57 auf einer zu ätzenden magnetischen Speicherplatte 61. In der bevorzugten Ausführungsform ist der Fokuspunkt im wesentlichen kreisförmig, obwohl er im wesentlichen nicht kreisförmig sein muß. Der Fokuspunkt könnte beispielsweise auch länglich sein.
Eine Walzen/Spindel-Anordnung 59 dreht die Platte 61 um ihre Rotationsachse. Die Linse 54 ist so positioniert, daß die rotierende Platte im wesentlichen in der Brennebene der Linse 54 liegt. Der fokussierte Einfallsstrahl reagiert mit dem rotierenden magnetischen Medium 61 an dem Punkt 57 so, daß er einen (nicht dargestellten) Strich mit reduzierter Reflektivität auf dem Medium 61 erzeugt. Ein Teil des fokus sierten Strahl wird reflektiert. Da der Einfallsstrahl auf einen feinen Punkt auf dem magnetischen Medium fokussiert wird, geht das reflektierte Licht effektiv von einer Punktquelle aus. Gemäß vorstehender Beschreibung liegt die rotierende Platte 61 in der Brennebene der Linse 54, und daher liegt die Punktquelle des reflektierten Lichts im Brennpunkt der Linse 54. Demzufolge wirkt die Linse so, daß sie das reflektierte Licht kollimiert und einen reflektierten Strahl über die Spiegel 51, 55 auf den Strahltrenner 52 zurückleitet. Der reflektierte Strahl wird zur Verifikation verwendet und ist detaillierter in WO 93/26004 mit dem Titel "Apparatus for and Method of Verifying Etching of Optical Servo Information of Magnetic Media" beschrieben.
Eine Schwingspulen-Betätigungseinrichtung 72 bewegt die Optik 71, welche den Lichtstrahl erzeugt, in der Weise, daß sich der Strahl radial zur Platte bewegt, um jede konzentrische Servospur zu ätzen. In der bevorzugten Ausführungsform wird der Lichtstrahl kontinuierlich radial zur Platte 61 bewegt. Die Betätigungseinrichtung 72 wird durch ein Positionierungssystem mit einem geschlossenen Regelkreis bewegt, welches einen Aufwärts/Abwärts-Zähler 75, einen Zähler 76, einen Digital/Analog-Wandler 77 und eine Laser-Doppler- Meßeinrichtung 79 aufweist. Zur Initialisierung der Bewegung lädt der Mikroprozessor 81 einen Wert in den Aufwärts/Abwärts-Zähler 75. Der Aufwärts/Abwärts-Zähler 75 erzeugt eine Impulsfolge mit einer vorgegebenen Impulsanzahl bei einer gegebenen Geschwindigkeit für die Angabe der wünschten Position. Dieses Impulse inkrementieren oder dekrementieren abhängig von der gewünschten Bewegungsrichtung den Zähler 76. Das Ausgangssignal des Zählers 76 steuert den Digital/Analog-Wandler 77, welcher eine Fehlerspannung erzeugt. Ein Verstärker 78 läßt Strom durch die Schwingspulen- Betätigungseinrichtung 72 fließen, was die Betätigungseinrichtung zu einer Bewegung in die gewünschte Richtung veranlaßt. Diese Bewegung wird von der Laser-Doppler- Meßeinrichtung 79 gemessen, welche die neue Position zurück gibt. Dieses Signal veranlaßt den Zähler 76 zu einer Inkrementation oder Dekrementation auf die Nullstellung zu.
Wie erwähnt wird der Einfallsstrahl in der bevorzugten Ausführungsform kontinuierlich radial zu der Platte 61 bewegt. Verfahren nach dem Stand der Technik zum Ätzen von konzentrischen Servospuren halten den Einfallsstrahl während der Ätzung einer gegebenen Spur fest und bewegen den Einfallsstrahl nur zur Neupositionierung für das Ätzen der nächsten Spur. Indem der Einfallsstrahl kontinuierlich radial zu der Platte bewegt wird, erhöht die vorliegende Erfindung den Durchsatz. Da sich die Optik 71, welche den Einfallsstrahl erzeugt, kontinuierlich radial zu der Platte bewegt, wird die akustooptische Einrichtung 44 zur Lenkung des Einfallsstrahls verwendet, um den Strahl in dem konzentrischen Muster der Spur zu halten, welche gerade geätzt wird.
Bei einer kurzen Bezugnahme auf Fig. 5 ist eine graphische Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens der Strahllenkung dargestellt. Gemäß Darstellung weisen benachbarte optische Servospuren 12 einen Spurabstand dt auf. Wie vorstehend erwähnt, ist in der bevorzugten Ausführungsform dt etwa 20,4 um. Somit bewegt sich die Optik 71 während des Ätzens jeder Spur kontinuierlich radial (in der Richtung des Pfeils) über eine Strecke von 20,4 um. Demzufolge muß der Einfallsstrahl in einem Winkel α gelenkt werden, um den Strahl in dem konzentrischen Muster der Spur 12 zu halten, welche gerade geätzt wird. Gemäß Darstellung ist der Lenkungswinkel a eine Funktion der radialen Position der Optik 71 in Bezug auf die Platte 61.
Gemäß nochmaligen Bezug auf Fig. 4 wird die radiale Position der Optik 71 während der Ätzung einer gegebenen Servospur (d. h., während eines Ätzzyklusses) durch die Laser- Doppler-Meßeinrichtung 79 kodiert. Ein bidirektionaler Laserstrahl 65, welcher auf einen Rückstrahler 63 auf der Optik 71 auftrifft, liefert eine Positionierungsinformation an die Laser-Doppler-Meßeinrichtung 79. Die Auflösung der Laser-Doppler-Meßeinrichtung 79 ist einstellbar. In der bevorzugten Ausführungsform ist die Laser-Doppler-Meßeinrichtung 79 so eingestellt, daß sie eine Bewegung der Optik 71 in Inkrementen von 1/516-tel des Spurabstandes td unterscheidet. Wenn sich die Optik 71 radial über jedes 1/516-tel-Inkrement während der Ätzung einer Spur bewegt, inkrementiert die Laser- Doppler-Meßeinrichtung 79 einen Spurpositionszähler 85. Der Spurpositionszähler 85 enthält daher einen Zählstand, welcher die radiale Position der Optik 71 während jedes Zyklusses angibt. Der Zähler 85 wird mit dem Beginn jedes Ätzzyklusses zurückgesetzt.
Aus der von dem Spurpositionszähler 85 gelieferten Information bezüglich der radialen Position kann der Lenkungswinkel α berechnet werden. Es könnte eine Schaltung für die kontinuierliche Neuberechnung des Strahlwinkels α und die Bereitstellung eines geeigneten Lenksignals für die akustooptische Einrichtung 44 vorgesehen werden. Eine derartige Schaltung wäre jedoch komplex und schwierig zu implementieren. In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wird ein Speicherzuordnungsverfahren verwendet.
Eine akustooptische Einrichtung 44, welche zum Lenken des Strahls verwendet wird, wird von Sätzen digitaler Lenkungssignale gesteuert, die aus einem ersten Speicher mit wahlfreien Zugriff (RAM) 98 geholt werden. Jedes in dem ersten RAM 98 gespeicherte digitale Lenkungssignal stellt den Strahlwinkel α dar, welcher für eine spezifische radiale Position der Optik 71 während jedes Ätzzyklusses benötigt wird. In der bevorzugten Ausführungsform sind 516 Lenkungssignale in dem ersten RAM 98 - eines für jede der von der Laser- Doppler-Meßeinrichtung 79 während jedes Zyklusses kodierten 516 Positionen - gespeichert. Das Ausgangssignal des Spurpositionszählers 85 liefert die Speicheradresse des entsprechenden gespeicherten Signals für eine gegebene radiale Position. Die akustooptische Einrichtung 44 reagiert auf die geholten Lenkungssignale, indem es den Strahl so lenkt, daß der Strahl in dem konzentrischen Muster der Spur gehalten wird, welche gerade geätzt wird.
Gemäß der vorliegenden Erfindung dreht die Spindel 59 die magnetische Platte 61 mit einer konstanten Drehzahl (U/min). Bei einer konstanten Drehzahl variiert die von dem Einfallsstrahl an den Punkt 57 auf der Platte 61 gelieferte Energiedichte ED mit unterschiedlichen Spurradien. Wenn dieses nicht korrigiert wird, ergeben sich nicht hinnehmbare Strichbreitenveränderungen. Die von dem Strahl gelieferte Energiedichte ED ist proportional zu der Intensität des Strahls Io innerhalb des Fokuspunktes 57, dividiert durch die Fläche des Punktes 57 A0 multipliziert mit der Lineargeschwindigkeit V&sub1; der Platte 61 an dem Fokuspunkt. Das heißt:
ED ~ Io/AoV&sub1;
In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wird die Intensität 10 des Einfallsstrahls, wenn die Optik welche den Strahl erzeugt und fokussiert, radial zu der Platte zum Ätzen verschiedener Servospuren bewegt wird, mittels einer akustooptischen Einrichtung so eingestellt, daß eine im wesentlichen konstante Energiedichte aufrechterhalten wird, die von dem Einfallsstrahl bei allen Radien geliefert wird. Insbesondere wird die akustooptische Einrichtung 44 verwendet, um die Intensität des Strahls einzustellen. Dieses Verfahren einer Strahlintensitätseinstellung ist Gegenstand der WO 93/25341 mit dem Titel "Acousto-Optical Intensity Control of Laser Beam During Etching of Optical Servo Information on Magnetic Media".
Die A/O-Einrichtung 44 wird von Sätzen digitaler Intensitätssignale gesteuert, die von einem zweiten Speicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM) 90 geholt werden. Die Sätze digitaler Signale werden unter der Steuerung des Mikroprozessors 81 und als Reaktion auf die radiale Position des Einfallsstrahls in Bezug auf die Platte 61 ausgewählt. Die digitalen Intensitätssignale werden durch einen Digital/Analog-Wandler (DAC) 92 in ein analoges Spannungssignal umgewandelt. Für nachstehend vollständiger beschriebene Zwecke passiert das analoge Spannungssignal einen Analogschalter 94, welcher eine Gatterfunktion als Reaktion auf das Ausgangssignal eines dritten Speichers mit wahlfreiem Zugriff (RAM) 96 durchführt. Das analoge Spannungssignal verläuft dann von dem Schalter 94 zu der A/O-Einrichtung 44. Die A/O-Einrichtung 44 reagiert auf die Amplitude des Analogsignals aus dem DAC 92 so, daß es die Intensität des durch die Einrichtung 44 durchgeführten Einfallsstrahls einstellt.
Die digitalen Intensitätssignale sind in einer Tabelle in dem zweiten RAM 90 als eine Funktion der radialen Position des Strahls gespeichert. Zusätzlich kann der Strahllenkungswinkel die von dem Strahl gelieferte Energiedichte beeinflussen, und kann daher ebenfalls die Strichbreite beeinflussen. Demzufolge sind die Intensitätssignale ebenfalls eine Funktion des Strahllenkungswinkels. Die Intensitätssignale werden (in der Form eines Analogsignals) geholt und an die Einrichtung 44 angelegt, indem ein Speicherzuordnungs-Lösungsweg ähnlich dem angewendet wird, wie er vorstehend für die Lenkungssignale beschrieben wurde.
Wie vorstehend erwähnt gibt es in der bevorzugten Ausführungsform 900 konzentrische Servospuren mit einem eindeutigen Radius rn. Somit könnten zur Kompensation der unterschiedlichen Radien potentiell 900 verschiedene Intensitätssignale in dem zweiten RAM 90 - eines für jede Spur - gespeichert werden. Gemäß vorstehender Beschreibung wird jedoch der Strahl über 516 Winkel während der Ätzung einer gegebenen Spur gelenkt und jeder Winkel erfordert auch eine Intensitätseinstellung.
Da der Strahl für jede Spur durch denselben Satz von Winkeln gelenkt wird, wiederholt sich der auf dem Winkel basierende Einstellungsfaktor für jede Spur. Jedoch muß der Gesamtintensitätswert während der Ätzung für jede Spur variieren, um die unterschiedlichen Radien zu kompensieren. Somit könnten zum Kompensieren sowohl des Strahlwinkels als auch des Spurradius 516 eindeutige Intensitätssignale für jede der 900 Servospuren gespeichert werden, wobei jedes Signal einen Ein stellungsfaktor auf der Basis des Lenkungswinkels und einen Einstellungsfaktor auf der Basis des Spurradius darstellt. Die Kosten des Speichers für eine derartig große Anzahl von Signalen können prohibitiv sein.
Demzufolge wird in der bevorzugten Ausführungsform der auf dem Spurradius basierende Intensitätseinstellungsfaktor für Gruppen benachbarter Spuren konstant gehalten. Für jede Gruppe wird der Intensitätseinstellungsfaktor über die gesamte Gruppe gemittelt und bleibt konstant. Somit werden dieselben 516 Intensitätssignale für jede Spur in der Gruppe verwendet und die Radiusveränderung innerhalb der Gruppe wird ignoriert. Dieses kann hingenommen werden, da benachbarte Servospuren relativ nahe beieinander liegen (20,4 um) und demzufolge relativ ähnliche Radien aufweisen. Die Verwendung derselben 516 Intensitätssignale für eine Gruppe benachbarter Spuren führt solange nicht zu einer nicht hinnehmbaren Strichbreite, wie die Gruppe klein genug ist, daß die Strichbreite innerhalb hinnehmbarer Toleranzen bleibt.
In der bevorzugten Ausführungsform, gehören 16 Spuren zu einer Gruppe. Jedesmal wenn der Spurpositionszähler 85 zurückgesetzt wird, wird eine Spur 84 von dem Spurgruppenzähler gezählt. Das Ausgangssignal des Spurgruppenzählers 84 und des Spurpositionszählers 85 werden kombiniert, um die Datenadresse für die in dem zweiten RAM 90 gespeicherten Intensitätssignale zu bilden. Somit kombinieren sich der Spurgruppenzähler 84 und der Spurpositionszähler 85 für jede Gruppe von 16 Spuren die Adresse eines Satzes von 516 Intensitätssignalen für die Spuren in dieser Gruppe. Da der Strahl dazu verwendet wird, die Platte 61 von der Außenseite zur Innenseite der Platte 61 hin zu ätzen, wird die Gesamtintensität für jede Gruppe reduziert, wenn sich der Strahl von den außenseitigen zu den innenseitigen Spurgruppen bewegt. Obwohl in der bevorzugten Ausführungsform die Intensität des Strahls den Gruppen der Servospuren entsprechend variiert wird, kann die Intensität, wenn genügend Speicher zur Verfügung steht, auch auf einer spurweisen Basis variiert werden.
Wie erwähnt werden die geholten Intensitätssignale einem Digital/Analog-Wandler 92 zugeführt, welcher ein analoges Spannungssignal mit einer Amplitude erzeugt, welche sich proportional zu den geholten Intensitätssignalen verändert. Das Analogsignal wird durch den Schalter 94 hindurch dem analogen Eingang 45 der A/O-Einrichtung 44 zugeführt. Die A/O-Einrichtung reagiert auf das analoge Spannungssignal so, daß es die Intensität des Einfallsstrahls proportional zu der Amplitude des Spannungssignal ändert. Durch Ändern der Intensität des Einfallsstrahls zur Kompensation der Veränderung der radialen Position der Optik 71 in Bezug auf die Platte 61 und zur Kompensation der Veränderung im Strahlwinkel, hält die vorliegende Erfindung eine im wesentlichen konstante Energiedichte aufrecht, die von dem Strahl während der gesamten Ätzung der Platte an die Platte geliefert wird.
In Übereinstimmung mit einem weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung wird der Strahl während eines Ätzzyklusses ein/aus-moduliert, um das Stich bzw. Strichmuster der optischen Servospuren zu erzeugen. Wie erwähnt, gibt es bei der bevorzugten Ausführungsform 1666 in gleichen Abständen angeordnete Stiche bzw. Striche in jeder Servospur. Somit muß der Einfallsstrahl beim Vorbeirotieren an dem Strahl ein/ausmoduliert werden, um das Stich- bzw. Strichmuster zu erzeugen. Zu diesem Zweck wird die Winkelposition der Spindel 59 mit einem Motorwellenkodierer 73 kodiert. Der Motorwellenkodierer 73 erzeugt 1666 Einzelimpulse während einer Umdrehung, welche die Winkelposition der Spindel 59 angeben. Das Ausgangssignal des Kodierers 73 wird an einen Phasenregelkreis 82 angelegt, welcher die Frequenz digital vervielfacht, aber das Ausgangssignal zu dem Wellenkodierer 73 in Phase hält. In dem betrachteten Beispiel ist das Ausgangssignal des Phasenregelkreises das 64-fache der Frequenz des Ausgangssignals des Motorwellenkodierers 73. Dieses erhöht die Winkelauflösung des Kodierers auf 1/64-tel eines Striches. Das Signal des Phasenregelkreises wird an einen Winkelzähler 83 angelegt, welcher als Reaktion auf die von dem Phasenregelkreis 82 ausgegebenen Impulse inkrementiert wird. Somit stellt der digitale Wert in dem Winkelzähler 83 die Winkelposition der Platte 61 während eines Ätzzyklusses dar. Der Zähler 83 wird einmal pro Umdrehung zurückgesetzt.
Das Ausgangssignal des Zähler 83, welches die Winkelposition der Platte 61 angibt, stellt eine Speicheradresse für einen dritten Speicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM) 96 bereit. Das dritte RAM 96 enthält Sätze digitaler Mustersignale für die Ein/Aus-Modulation des Einfallsstrahls. Insbesondere sind die Mustersignale in einer Tabelle in dem dritten RAM 96 als eine Funktion der Winkelposition der Platte 61 während eines Ätzzyklusses gespeichert. Die in dem dritten RAM 96 gespeicherten Signale geben an, ob der Einfallsstrahl bei einer gegebenen Winkelposition ein- oder ausgeschaltet werden sollte. Das Ausgangssignal des dritten RAM 96 steuert den Analogschalter 94. Somit wird bei einer gegeben Winkelposition ein Mustersignal adressiert und aus dem RAM 96 geholt. Das geholte Signal stellt entweder Strahl-EIN oder Strahl-AUS dar. Wenn das geholte Signal Strahl-EIN darstellt, wird der Schalter 94 geschlossen, was einen Durchtritt des analogen Intensitätssignals aus dem DAC 92 zu dem Eingang 45 der A/O-Einrichtung 44 zuläßt. Wenn jedoch das geholte Signal Strahl-AUS darstellt, wird der Schalter 94 geöffnet und eine 1-Volt- Signal an den Eingang 45 der A/O-Einrichtung 44 angelegt. Ein an den Eingang 45 angelegtes 1-Volt-Signal schaltet die Einrichtung 44 wirksam aus. Auf diese Weise wird der Ein/Aus- Tastverhältnis des Strahls so gesteuert, daß das gewünschte Strichmuster für jede Servospur erhalten wird.
Wie vorstehend erwähnt, ist in der bevorzugten Ausführungsform die Länge jedes Striches ln und der Abstand zwischen aufeinanderfolgenden Strichen sn gleich, was einem Tastverhältnis von 50% entspricht. Wie erwähnt, stellen jedoch der Phasenregelkreis 82 und der Winkelzähler 83 eine Winkelauflösung von etwa 1/64-tel eines Striches bereit. Somit ist durch Änderung des Musters von Signalen im dritten RAM 96 das Strichmuster in hohen Maße an Kundenwünsche anpaßbar.
Der Lösungsweg der Speicherzuordnung für die Steuerung der Lenkung, der Intensität und des Ein/Aus-Musters des Einfallsstrahls ergibt eine große Flexibilität und ermöglicht eine leichte Anpassung des Gerätes 39 an unterschiedlich geätzte Servospurenmuster und Plattengrößen. Der Mikroprozessor 81 und weitere (nicht dargestellte) Logik stellen die Gesamtsteuerung der Speicheradressierung und der Zeittaktfunktionen bereit.
In Fig. 6 ist nun die akustooptische Einrichtung 44 von Fig. 4 detaillierter dargestellt. Die Einrichtung 44 empfängt die aus dem RAM 98 (Fig. 4) geholten 16-Bit-Signale an einem ersten Eingang 43. Die akustooptische Einrichtung 44 empfängt das analoge Spannungssignal aus dem Schalter 94 (Fig. 4) an einem zweiten Eingang 45. Die 16-Bit-Signale (d. h., Worte) werden von der Steuerelektronik 100 aufgenommen und einem Digital/Richtungs-Frequenzsynthesizer 102 zugeführt. Der Digital/Richtungs-Frequenzsynthesizer 102 erzeugt ein Oszillationssignal fester Amplitude mit einer Frequenz, welche als Reaktion auf und proportional zu den Digitalwerten der 16-Bit- Signale aus dem RAM 98 (Fig. 4) variiert. Das Oszillationssignal wird einer Modulator/Mischer-Schaltung 104 zugeführt.
Das analoge Spannungssignal wird von einer Steuerelektronik 106 aufgenommen, welche das Signal aufbereitet und das Signal dem Modulator 104 zuführt. Die Amplitude des analogen Signals variiert von 0 bis 1 Volt. Der Modulator/Mischer 104 moduliert das Oszillationssignal aus dem Synthesizer 102 mit den analogen Spannungssignal in der Amplitude. Das Ausgangssignal des Modulator/Mischers 104 wird einem Verstärker 108 zugeführt, welcher das Signal verstärkt und es einem Transducer 110 zuführt, welcher mit einem Doppelbrechungskristall 112 verbunden ist. Der Transducer 110 erzeugt eine Ultraschallwelle mit denselben Frequenz/Amplituden-Eigenschaften wie das elektronische Signal aus dem Modulator/Mischer 104. Die Ultraschallwelle wird an den Doppelbrechungskristall 112 angelegt. Der Einfallsstrahl wird durch den Kristall 112 geführt. Die Ultraschallwelle ändert den Brechungsindex des Kristalls in einer Richtung. Die Frequenz der Ultraschallwelle steuert die Ablenkung oder Lenkung des Einfallsstrahls bei seinem Weg durch den Kristall, während die Amplitude der Ultraschallwelle die Intensität des Strahls verändert, der aus dem Kristall austritt.
Somit steuern gemäß vorstehender Beschreibung die 16-Bit- Signale aus dem RAM 98 (Fig. 4) den Lenkungswinkel des Einfallsstrahls bei seinem Weg durch die Einrichtung 44. Das von dem Digital/Analog-Wandler 92 als Reaktion auf die aus dem RAM 90 geholten Signale erzeugte analoge Signal steuert die Intensität des Einfallsstrahls.
Die Einrichtung 44 wurde von Neos Corp., Melbourne, Fl. hergestellt. Typischerweise verwenden akustooptische Einrichtungen einen spannungsgesteuerten Oszillator (VCO) zum Steuern der Frequenz des dem Transducer 110 zugeführten Signals. In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wurde jedoch der typischerweise verwendete VCO durch den Digital/Richtungs-Frequenzsynthesizer 102 ersetzt. Der Synthesizer 102 erreicht eine weitaus höhere Frequenzstabilität und damit Strahllenkungsstabilität über der Zeit und Temperatur. Ein solche verbesserte Frequenz/Lenkungs-Stabilität ist erforderlich, um die engen Strichbreiten- und Plazierungstoleranzen zu erreichen, die in Verbindung mit der vorliegenden Erfindung erforderlich sind.
Obwohl eine spezifische Ausführungsform der Erfindung dargestellt und beschrieben wurde, gibt es verschiedene Modifikationen innerhalb des Schutzumfangs der Erfindung. Die beigefügten Ansprüche sollen daher alle derartigen Modifikationen mit abdecken.

Claims

1. Verfahren zum Ätzen mehrerer konzentrischer kreisförmiger optischer Servospuren (12) um die Rotationsachse einer magnetischen Speicherplatte (61) in Bezug auf magnetische Spuren (20) auf der Platte, mit:

Erzeugen eines Lichtstrahls zum Ätzen jeder der optischen Servospuren;

gekennzeichnet durch:

mechanisches Bewegen der Optik (71), welche den Lichtstrahl erzeugt, in der Weise, daß sich die Optik (71) kontinuierlich radial zu der Platte bewegt; und

Lenken des Lichtstrahls in einer radialen Richtung zu der Platte mittels einer akustooptischen Einrichtung (44), während sich die Optik (71) kontinuierlich radial zu der Platte bewegt, um den Strahl in einem konzentrischen kreisförmigen Muster auf der Platte zu halten, während jede konzentrische kreisförmige optische Servospur geätzt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Schritte der Lenkung aufweisen:

Speichern von Sätzen digitaler Lenkungssignale zum Steuern der Lenkung;

Auswählen der Sätze unter der Steuerung eines Mikroprozessors und als Reaktion auf die radiale Position des Strahls; und

Anlegen der Signalsätze an die akustooptische Einrichtung, um den Strahl in konzentrischen Mustern zu halten.

3. Verfahren nach Anspruch 2, ferner aufweisend:

Drehen der Platte auf einer Spindel, während die Servospuren (12) geätzt werden;

Kodieren der radialen Position der Optik, um ein die radiale Position der Optik (71) in Bezug auf die Spindel (59) repräsentierendes Signal zu erzeugen;

Anlegen des die radiale Position repräsentierenden Signals, um die gespeicherten digitalen Lenkungssignale auszuwählen.

4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Schritt der mechanischen Bewegung der Optik (71) aufweist:

Bewegen der Optik (71) mittels einer Schwingspulen- Betätigungseinrichtung (72); und

Zurückführen einer Positionsinformation in einem geschlossenen Regelkreis der Schwingspulen-Betätigungseinrichtung (72).

5. Verfahren nach Anspruch 1, ferner aufweisend:

Speichern von Sätzen digitaler Intensitätssignale für die Steuerung der Intensität des Lichtstrahls; und

Anlegen der digitalen Intensitätssignale an die akustooptische Einrichtung, um die Intensität des Strahls zu steuern.

6. Verfahren nach Anspruch 5, ferner aufweisend:

Drehen der Platte auf einer Spindel (59), während die Servospuren (12) geätzt werden;

Anlegen des die radiale Position repräsentierenden Signals, um die gespeicherten digitalen Intensitätssignale auszuwählen.

7. Vorrichtung zum Ätzen mehrerer konzentrischer kreisförmiger optischer Servospuren (12) um die Rotationsachse einer magnetischen Speicherplatte (61) in Bezug auf magnetische Spuren (20) auf der Platte, mit:

einer Gotik (71) zum Erzeugen eines Lichtstrahls zum Ätzen jeder der optischen Servospuren (12);

gekennzeichnet durch:

eine Einrichtung zum mechanischen Bewegen der Optik (71), welche den Lichtstrahl erzeugt, in der Weise, daß sich die Optik (71) kontinuierlich radial zu der Platte bewegt; und

eine akustooptische Einrichtung(44) zum Lenken des Lichtstrahls in einer radialen Richtung zu der Platte, während sich die Optik (71) kontinuierlich radial zu der Platte bewegt, um den Strahl in einem konzentrischen kreisförmigen Muster auf der Platte zu halten, während jede konzentrische kreisförmige optische Servospur (12) geätzt wird.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, ferner mit:

einem Speicher (98) zum Speichern von Sätzen digitaler Lenkungssignale zum Steuern der Lenkung;

einem Mikroprozessor (81) zum Auswählen von Sätzen der digitalen Lenkungssignale als Reaktion auf die radiale Position des Strahls in Bezug auf die Platte; und

einer Einrichtung zum Anlegen der Sätze digitaler Signale an die akustooptische Einrichtung (44), um den Strahl in konzentrischen Mustern zu halten.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, ferner mit:

einer Spindel (59) zum Drehen der Platte;

einem Kodierer (79) zum Kodieren der radialen Position der Optik (71) in Bezug auf die Spindel (59);

einer Einrichtung zum Anlegen des die radiale Position repräsentierenden Signals, um die gespeicherten digitalen Lenkungssignale auszuwählen.

10. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Einrichtung zum mechanischen Bewegen der Optik aufweist:

eine Schwingspulen-Betätigungseinrichtung (72); und

einen geschlossenen Rückkopplungs-Regelkreis (75, 76, 77, 79) zum Zurückführen einer Positionsinformation an die Schwingspulen-Betätigungseinrichtung (72).

11. Vorrichtung nach Anspruch 7, ferner mit:

einem Speicher (90) zum Speichern von Sätzen digitaler Intensitätssignale für die Steuerung der Intensität des Lichtstrahls; und

einer Einrichtung (92, 94) zum Anlegen der digitalen Intensitätssignale an die akustooptische Einrichtung (44), um die Intensität des Strahls zu steuern.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, ferner mit:

einer Spindel (59) zum Drehen der Platte;

einem Kodierer (79) zum Kodieren der radialen Position der Optik (71) in Bezug auf die Spindel (59); und

einer Einrichtung zum Anlegen des die radiale Position repräsentierenden Signals, um die gespeicherten digitalen Intensitätssignale auszuwählen.