DE69220638D1 - Verfahren zur Reinigung des reflektierenden Spiegels eines optischen Taupunktdetektors und optischer Taupunktdetektor mit einer Reinigungsanordnung - Google Patents

Verfahren zur Reinigung des reflektierenden Spiegels eines optischen Taupunktdetektors und optischer Taupunktdetektor mit einer Reinigungsanordnung

Info

Publication number
DE69220638D1
DE69220638D1 DE69220638T DE69220638T DE69220638D1 DE 69220638 D1 DE69220638 D1 DE 69220638D1 DE 69220638 T DE69220638 T DE 69220638T DE 69220638 T DE69220638 T DE 69220638T DE 69220638 D1 DE69220638 D1 DE 69220638D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
dew point
point detector
cleaning
optical dew
reflecting mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69220638T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69220638T2 (de
Inventor
Junichi Nishizawa
Takahiko Kijima
Edward Ezell
Akira Makihara
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Osaka Oxygen Industries Ltd
Original Assignee
Osaka Oxygen Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osaka Oxygen Industries Ltd filed Critical Osaka Oxygen Industries Ltd
Publication of DE69220638D1 publication Critical patent/DE69220638D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69220638T2 publication Critical patent/DE69220638T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0064—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by temperature changes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/56—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content
    • G01N25/66—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by investigating dew-point
    • G01N25/68—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by investigating dew-point by varying the temperature of a condensing surface

Landscapes

  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
DE69220638T 1991-04-18 1992-04-17 Verfahren zur Reinigung des reflektierenden Spiegels eines optischen Taupunktdetektors und optischer Taupunktdetektor mit einer Reinigungsanordnung Expired - Fee Related DE69220638T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8690091 1991-04-18
JP3357408A JP2863663B2 (ja) 1991-04-18 1991-12-01 光学式露点計の反射鏡の洗浄方法及び洗浄装置付き光学式露点計
PCT/JP1992/000493 WO1992018855A1 (en) 1991-04-18 1992-04-17 Method of cleaning reflector mirror in optical dew point meter and an optical dew point meter equipped with a cleaning device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69220638D1 true DE69220638D1 (de) 1997-08-07
DE69220638T2 DE69220638T2 (de) 1997-10-16

Family

ID=26427973

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69220638T Expired - Fee Related DE69220638T2 (de) 1991-04-18 1992-04-17 Verfahren zur Reinigung des reflektierenden Spiegels eines optischen Taupunktdetektors und optischer Taupunktdetektor mit einer Reinigungsanordnung

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0535252B1 (de)
JP (1) JP2863663B2 (de)
CA (1) CA2085612A1 (de)
DE (1) DE69220638T2 (de)
WO (1) WO1992018855A1 (de)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996013713A1 (en) * 1994-10-31 1996-05-09 Osaka Sanso Kogyo Ltd. Method of measuring the dew point and/or frost point of a gaz having low water content
DE102004005353B4 (de) * 2004-02-03 2016-08-11 CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH Verfahren zur Bestimmung der Parameter von Gasen
GB0418555D0 (en) * 2004-08-19 2004-09-22 Michell Instr Ltd Apparatus for measuring dew point of a gas stream
KR100965308B1 (ko) * 2008-03-07 2010-06-22 한국표준과학연구원 수정미소저울 노점센서를 이용한 극저노점 측정방법
JP5230508B2 (ja) * 2009-03-31 2013-07-10 アズビル株式会社 湿度センサの劣化診断方法
JP5643602B2 (ja) * 2010-10-27 2014-12-17 アズビル株式会社 鏡面冷却式センサ
JP5914152B2 (ja) * 2012-05-10 2016-05-11 アズビル株式会社 露点温度計測システム
JP5890247B2 (ja) * 2012-05-10 2016-03-22 アズビル株式会社 鏡面冷却式露点計
JP5890246B2 (ja) * 2012-05-10 2016-03-22 アズビル株式会社 鏡面冷却式露点計
JP5914187B2 (ja) * 2012-06-06 2016-05-11 アズビル株式会社 露点温度計測システム
CN105181747B (zh) * 2015-10-14 2018-08-14 国网新疆电力公司检修公司 一种适用冷镜式精密露点仪镜面的检测清洁装置及应用
DE102016120423B4 (de) * 2016-10-26 2018-12-27 Pro-Chem Analytik GmbH & Co. KG Vorrichtung zur optischen Taupunktmessung
CN107037082B (zh) * 2017-06-07 2019-10-18 中石化炼化工程（集团）股份有限公司 一种酸露点检测装置及方法
CN111069187A (zh) * 2019-12-27 2020-04-28 安徽富乐德科技发展有限公司 一种oled有机蒸镀设备自动化激光清洗设备和方法
CN112525847B (zh) * 2020-12-03 2022-12-30 中国科学院上海技术物理研究所 一种宽温区可凝挥发物实时光谱测试装置和测试方法
CN113649361B (zh) * 2021-08-18 2022-09-16 沈阳工业大学 一种基于热通量的激光清洗质量在线检测系统及方法
CN114558847B (zh) * 2022-02-16 2023-11-21 内蒙古新创环境科技有限公司 一种玻璃涂层的激光清洗装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4155245A (en) * 1975-06-18 1979-05-22 Land Pyrometers Limited Dewpointmeters
US4216669A (en) * 1978-10-06 1980-08-12 General Eastern Instruments Corporation Contaminant error reduction system for dew point hygrometers
EP0127643A1 (de) * 1982-12-06 1984-12-12 Hughes Aircraft Company Verfahren zum reinigen von gegenständen mit überkritischen gasen
JPH0622224B2 (ja) * 1988-03-05 1994-03-23 大阪酸素工業株式会社 パーティクルが少ないか又は含まない液化二酸化炭素の供給

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0599846A (ja) 1993-04-23
JP2863663B2 (ja) 1999-03-03
WO1992018855A1 (en) 1992-10-29
CA2085612A1 (en) 1992-10-19
EP0535252B1 (de) 1997-07-02
EP0535252A1 (de) 1993-04-07
DE69220638T2 (de) 1997-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69220638T2 (de) Verfahren zur Reinigung des reflektierenden Spiegels eines optischen Taupunktdetektors und optischer Taupunktdetektor mit einer Reinigungsanordnung
DE69113199D1 (de) Verfahren und Gerät zur Erzeugung einer tragbaren optischen Anzeige.
DE69402281T2 (de) Verfahren und Gerät zur absoluten Messung der geometrischen oder optischen Struktur eines optischen Bestandteiles
DE69215942D1 (de) Verfahren und System zur optischen Projetkionsbelichtung
DE59206208D1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Detektion von Kanten und Bohrungen mit einem optischen Tastkopf
DE69230515T2 (de) Optische Baugruppe zur Justierung eines aktiven optischen Bauelements und einer optischen Faser und Verfahren zur Herstellung der Baugruppe
DE69208421D1 (de) Optisches Messsystem zur Ermittlung des Profils eines Gegenstandes
DE69212575T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters
DE69112320D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Abtastung.
DE69528647D1 (de) Apparat zur topometrischen erfassung eines optischen elementes
DE69124046T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur des Lochkantenabstands einer optischen Aufzeichnungs/Wiedergabeeinrichtung
DE69318598T2 (de) Vorrichtung zur Aufzeichnung auf einer optischen Platte
DE69319203D1 (de) Verfahren zur Steuerung eines optischen Plattenspielers
DE69215585D1 (de) Linsenantriebsvorrichtung in einem optischen Abtastkopf und Verfahren zur Herstellung derselben
DE59103804D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der optischen Qualität einer transparenten Platte.
DE69425897T2 (de) Verfahren und Struktur zur elektronischen Messung des Parameter eines Strahls
DE69314082T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauelements
DE69114256T2 (de) Verfahren und Apparat zur optischen Messung.
DE69122784D1 (de) Verfahren und Gerät zur Ablenksteuerung eines Lichtstrahles
DE69228028T2 (de) Verfahren und Anordnung zur Erzeugung eines ungebeugten Strahles von einer vom optischen Element fernliegenden Stelle und eine Anwendung hierzu
DE69322593D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Aufzeichnung
DE59209430D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung von Distanzen
DE69211042T2 (de) Vorrichtung zur Messung einer optischen Wellenform
DE69529452D1 (de) Vorrichtung und Methode zur Messung der Grösse eines abtastenden Lichtflecks
DE3769431D1 (de) Verfahren zur vermessung der optischen achse eines leitstrahlprojektors und einrichtung zur durchfuehrung des verfahrens.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee