DE69208233D1 - Optische Beschichtungen mit einer Mehrzahl vorgegebener Eigenschaften sowie Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents

Optische Beschichtungen mit einer Mehrzahl vorgegebener Eigenschaften sowie Verfahren zu deren Herstellung

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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4303975A1 (de) * 1993-02-11 1994-08-18 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Teilungsträger
DE4314251C2 (de) * 1993-04-30 2002-02-21 Unaxis Deutschland Holding Verfahren und Vorrichtung zum Aufdampfen absorbierender dünner Schichten auf ein Substrat
JPH0790593A (ja) * 1993-09-17 1995-04-04 Hitachi Ltd 成膜装置および成膜方法
US5772861A (en) * 1995-10-16 1998-06-30 Viratec Thin Films, Inc. System for evaluating thin film coatings
US6478875B1 (en) * 1999-03-03 2002-11-12 The Research Foundation Of State University Of New York Method and apparatus for determining process-induced stresses and elastic modulus of coatings by in-situ measurement
GB0026868D0 (en) * 2000-11-03 2000-12-20 Isis Innovation Control of deposition and other processes
US6688945B2 (en) * 2002-03-25 2004-02-10 Macronix International Co. Ltd. CMP endpoint detection system
US7075103B2 (en) 2003-12-19 2006-07-11 General Electric Company Multilayer device and method of making
GB2456937B (en) 2006-10-24 2011-07-13 Bradley Fixtures Corp Capacitive sensing for washroom fixture
KR102404575B1 (ko) * 2015-10-12 2022-06-03 삼성디스플레이 주식회사 증착 장치와 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4837044A (en) * 1987-01-23 1989-06-06 Itt Research Institute Rugate optical filter systems
JPS63273205A (ja) * 1987-05-01 1988-11-10 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気ヘツドのスパツタリング方法
JP2529267B2 (ja) * 1987-06-22 1996-08-28 キャノン電子株式会社 成膜装置
US5154810A (en) * 1991-01-29 1992-10-13 Optical Coating Laboratory, Inc. Thin film coating and method

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