DE69125231D1 - Verfahren und Vorrichtung zum optischen Detektieren der Lage eines Gegenstandes - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum optischen Detektieren der Lage eines GegenstandesInfo
- Publication number
- DE69125231D1 DE69125231D1 DE69125231T DE69125231T DE69125231D1 DE 69125231 D1 DE69125231 D1 DE 69125231D1 DE 69125231 T DE69125231 T DE 69125231T DE 69125231 T DE69125231 T DE 69125231T DE 69125231 D1 DE69125231 D1 DE 69125231D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- optically detecting
- optically
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7049—Technique, e.g. interferometric
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2238186A JP2778231B2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 位置検出装置 |
JP2339908A JPH04207013A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 位置検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69125231D1 true DE69125231D1 (de) | 1997-04-24 |
DE69125231T2 DE69125231T2 (de) | 1997-08-07 |
Family
ID=26533565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1991625231 Expired - Fee Related DE69125231T2 (de) | 1990-09-07 | 1991-09-04 | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Detektieren der Lage eines Gegenstandes |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0474487B1 (de) |
DE (1) | DE69125231T2 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9547231B2 (en) | 2013-06-12 | 2017-01-17 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Device and method for making photomask assembly and photodetector device having light-collecting optical microstructure |
JP6953242B2 (ja) * | 2017-09-06 | 2021-10-27 | 株式会社ディスコ | 高さ検出装置、及びレーザー加工装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4037969A (en) * | 1976-04-02 | 1977-07-26 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Zone plate alignment marks |
JPS58193547A (ja) * | 1982-05-07 | 1983-11-11 | Hitachi Ltd | 縮小投影露光装置 |
US4928008A (en) * | 1987-12-11 | 1990-05-22 | The Boeing Company | Variable light transmission filter and optical analog position sensor |
-
1991
- 1991-09-04 DE DE1991625231 patent/DE69125231T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-09-04 EP EP19910308120 patent/EP0474487B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0474487B1 (de) | 1997-03-19 |
DE69125231T2 (de) | 1997-08-07 |
EP0474487A3 (en) | 1993-06-09 |
EP0474487A2 (de) | 1992-03-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69033269T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Position und Stellung eines Gegenstandes | |
DE69129045D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung eines Zuflusses während des Bohrens | |
DE69217413T2 (de) | Verfahren und Gerät zum Fühlen der Nähe eines Objekts unter Benutzung von Nahfeldeffekten | |
DE69027088D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Leistung eines Industrietechnikers | |
DE69123451T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum erzeugen der topographie eines gegenstands | |
DE3854028D1 (de) | Apparat und Verfahren zur Detektion der Versprödung eines Messobjekts. | |
DE69413042D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum feststellen der verschiebung eines gegenstandes | |
DE69031262T2 (de) | Verfahren und Gerät zum Erfassen der Transduktorlage | |
DE69103719D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Testen eines Drosselklappenpositionssensors. | |
DE68903572D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum kalibrieren eines messsystems von optischen merkmalen. | |
DE69113462D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum suchen eines gegenstands. | |
DE3861973D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum messen des schwerpunktes eines flugzeuges. | |
DE3676651D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum ermitteln der abmessungen eines laenglichen pruefobjektes. | |
DE69025139T2 (de) | Verfahren und Gerät zur Abstandsmessung und Gerät zum Festellen der relativen Lage | |
DE69736165D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Höhe eines Gegenstands | |
DE69003750D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Spannung eines bewegenden Fadens. | |
DE418446T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum nachweis der position eines koerpers. | |
DE69415389T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der relativen Position mehrerer Objekte | |
DE69211287T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Determinieren der Orientation eines Objektes | |
DE69223544D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Profils eines Objekts | |
DE59209124D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Entfernungen | |
DE68925139T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen der Position | |
DE69125231D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Detektieren der Lage eines Gegenstandes | |
DE69128869T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Verschiebungen | |
DE69117103T2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Ätzgeschwindigkeit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |