DE69125231D1 - Verfahren und Vorrichtung zum optischen Detektieren der Lage eines Gegenstandes - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum optischen Detektieren der Lage eines Gegenstandes

Info

Publication number
DE69125231D1
DE69125231D1 DE69125231T DE69125231T DE69125231D1 DE 69125231 D1 DE69125231 D1 DE 69125231D1 DE 69125231 T DE69125231 T DE 69125231T DE 69125231 T DE69125231 T DE 69125231T DE 69125231 D1 DE69125231 D1 DE 69125231D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optically detecting
optically
detecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69125231T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69125231T2 (de
Inventor
Minoru Yoshii
Kenji Saitoh
Shigeyuki Suda
Naoto Abe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2238186A external-priority patent/JP2778231B2/ja
Priority claimed from JP2339908A external-priority patent/JPH04207013A/ja
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Application granted granted Critical
Publication of DE69125231D1 publication Critical patent/DE69125231D1/de
Publication of DE69125231T2 publication Critical patent/DE69125231T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7088Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7049Technique, e.g. interferometric

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
DE1991625231 1990-09-07 1991-09-04 Verfahren und Vorrichtung zum optischen Detektieren der Lage eines Gegenstandes Expired - Fee Related DE69125231T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2238186A JP2778231B2 (ja) 1990-09-07 1990-09-07 位置検出装置
JP2339908A JPH04207013A (ja) 1990-11-30 1990-11-30 位置検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69125231D1 true DE69125231D1 (de) 1997-04-24
DE69125231T2 DE69125231T2 (de) 1997-08-07

Family

ID=26533565

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1991625231 Expired - Fee Related DE69125231T2 (de) 1990-09-07 1991-09-04 Verfahren und Vorrichtung zum optischen Detektieren der Lage eines Gegenstandes

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP0474487B1 (de)
DE (1) DE69125231T2 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9547231B2 (en) 2013-06-12 2017-01-17 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Device and method for making photomask assembly and photodetector device having light-collecting optical microstructure
JP6953242B2 (ja) * 2017-09-06 2021-10-27 株式会社ディスコ 高さ検出装置、及びレーザー加工装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4037969A (en) * 1976-04-02 1977-07-26 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Zone plate alignment marks
JPS58193547A (ja) * 1982-05-07 1983-11-11 Hitachi Ltd 縮小投影露光装置
US4928008A (en) * 1987-12-11 1990-05-22 The Boeing Company Variable light transmission filter and optical analog position sensor

Also Published As

Publication number Publication date
EP0474487B1 (de) 1997-03-19
DE69125231T2 (de) 1997-08-07
EP0474487A3 (en) 1993-06-09
EP0474487A2 (de) 1992-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69033269T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Position und Stellung eines Gegenstandes
DE69129045D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung eines Zuflusses während des Bohrens
DE69217413T2 (de) Verfahren und Gerät zum Fühlen der Nähe eines Objekts unter Benutzung von Nahfeldeffekten
DE69027088D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Leistung eines Industrietechnikers
DE69123451T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum erzeugen der topographie eines gegenstands
DE3854028D1 (de) Apparat und Verfahren zur Detektion der Versprödung eines Messobjekts.
DE69413042D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum feststellen der verschiebung eines gegenstandes
DE69031262T2 (de) Verfahren und Gerät zum Erfassen der Transduktorlage
DE69103719D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Testen eines Drosselklappenpositionssensors.
DE68903572D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum kalibrieren eines messsystems von optischen merkmalen.
DE69113462D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum suchen eines gegenstands.
DE3861973D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum messen des schwerpunktes eines flugzeuges.
DE3676651D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum ermitteln der abmessungen eines laenglichen pruefobjektes.
DE69025139T2 (de) Verfahren und Gerät zur Abstandsmessung und Gerät zum Festellen der relativen Lage
DE69736165D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Höhe eines Gegenstands
DE69003750D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Spannung eines bewegenden Fadens.
DE418446T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum nachweis der position eines koerpers.
DE69415389T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der relativen Position mehrerer Objekte
DE69211287T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Determinieren der Orientation eines Objektes
DE69223544D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Profils eines Objekts
DE59209124D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Entfernungen
DE68925139T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen der Position
DE69125231D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Detektieren der Lage eines Gegenstandes
DE69128869T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Verschiebungen
DE69117103T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Ätzgeschwindigkeit

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee