DE69123008T2 - Verfahren und Vorrichtung zum Abdecken des Innenraums einer Vakuumkammer - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Abdecken des Innenraums einer VakuumkammerInfo
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US56839490A | 1990-08-16 | 1990-08-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69123008D1 DE69123008D1 (de) | 1996-12-12 |
DE69123008T2 true DE69123008T2 (de) | 1997-05-07 |
Family
ID=24271108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69123008T Expired - Fee Related DE69123008T2 (de) | 1990-08-16 | 1991-08-14 | Verfahren und Vorrichtung zum Abdecken des Innenraums einer Vakuumkammer |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0472112B1 (de) |
JP (1) | JP2539966B2 (de) |
KR (1) | KR920005245A (de) |
DE (1) | DE69123008T2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006047705B4 (de) * | 2006-10-09 | 2011-01-05 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Sicherheitseinrichtung für eine Austrittsöffnung eines Vakuumbehälters |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6105435A (en) | 1997-10-24 | 2000-08-22 | Cypress Semiconductor Corp. | Circuit and apparatus for verifying a chamber seal, and method of depositing a material onto a substrate using the same |
KR100444719B1 (ko) * | 2001-06-15 | 2004-08-16 | 동부전자 주식회사 | 자기장을 이용한 반도체 공정 반응실 고정 장치 |
TWI613412B (zh) * | 2013-03-11 | 2018-02-01 | 應用材料股份有限公司 | 高溫處理室蓋體 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1888623U (de) * | 1964-03-05 | Dr. Schnabel a Co. K.G., Limburg/Lahn | Abdichtung von mit Polytetrafluoräthylen ausgekleideten Bauteilen und Konstruktionselementen | |
DE62753C (de) * | Firma C. HECKMANN in Breslau | Verschlufsvorrichtung für Vakuum- 1 koch- und ähnliche Apparate | ||
US4469335A (en) * | 1982-07-22 | 1984-09-04 | American Sterilizer Company | Sealing apparatus with sealing device operable under pressure differential established thereacross |
DE8405991U1 (de) * | 1984-02-28 | 1984-07-05 | Aesculap-Werke Ag Vormals Jetter & Scheerer, 7200 Tuttlingen | Sterilisierbehaelter |
JPS63283737A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-21 | Babcock Hitachi Kk | 真空用反応容器 |
-
1991
- 1991-08-13 JP JP3202814A patent/JP2539966B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-14 DE DE69123008T patent/DE69123008T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-08-14 EP EP91113672A patent/EP0472112B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-16 KR KR1019910014116A patent/KR920005245A/ko active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006047705B4 (de) * | 2006-10-09 | 2011-01-05 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Sicherheitseinrichtung für eine Austrittsöffnung eines Vakuumbehälters |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0472112B1 (de) | 1996-11-06 |
DE69123008D1 (de) | 1996-12-12 |
EP0472112A3 (en) | 1993-05-26 |
KR920005245A (ko) | 1992-03-28 |
EP0472112A2 (de) | 1992-02-26 |
JP2539966B2 (ja) | 1996-10-02 |
JPH04281833A (ja) | 1992-10-07 |
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