DE69117761T2 - Konfokales abbildungssystem für die mikroskopie - Google Patents
Konfokales abbildungssystem für die mikroskopieInfo
- Publication number
- DE69117761T2 DE69117761T2 DE69117761T DE69117761T DE69117761T2 DE 69117761 T2 DE69117761 T2 DE 69117761T2 DE 69117761 T DE69117761 T DE 69117761T DE 69117761 T DE69117761 T DE 69117761T DE 69117761 T2 DE69117761 T2 DE 69117761T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- scanning
- slit
- beams
- mask
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000010226 confocal imaging Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 title description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000000799 fluorescence microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000399 optical microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
- G02B21/0048—Scanning details, e.g. scanning stages scanning mirrors, e.g. rotating or galvanomirrors, MEMS mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/02—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
- G02B17/06—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror
- G02B17/0647—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using more than three curved mirrors
- G02B17/0652—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using more than three curved mirrors on-axis systems with at least one of the mirrors having a central aperture
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0028—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders specially adapted for specific applications, e.g. for endoscopes, ophthalmoscopes, attachments to conventional microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0032—Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Surgery (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
- Diese Erfindung bezieht sich auf ein konfokales Bilddarstellungssystem für die Mikroskopie und insbesondere auf ein solches System zur Verwendung mit einem optischen Mikroskop und das eine Schlitz-Abtastung verwendet.
- Das Prinzip der konfokalen Bilddarstellung wurde zuerst von Minsky (siehe US-Patent Nr. 3 013 467) beschrieben. Konfokale Bilddarstellungssysteme mit einem sich bewegenden Schlitz sind von Baer (US-Patent Nr. 3 547 512) und Lichtman (siehe Lichtman, J.W., Sunderland, W.J., und Wilkinson, R.S. (1989) in The New Biologist 1, 75-82) beschrieben worden. Formen eines konfokalen Mikroskops, bei dem ein schlitz- oder strichförmiges Lichtmuster über der Probe hin und her geführt und ein Bild dieses durch Reflexion oder Emission von der Probe gebildeten Musters auf eine ortsfeste schlitzförmige Öffnung fällt, sind beschrieben worden. Diese Anwendung eines ortsfesten Schlitzes ist ein Merkmal der von Koester (Koester, C.J. (1980) Appl. Optics 19, 1749-1757), Burns et al. (Burns, D.H., Hatangadi, R.B. und Spelman, F.A. (1990) Scanning. 12, 156-160) beschriebenen Systeme und der Konstruktion von Brakenhoff und Visscher (Brakenhoff, G.J. & Visscher, K. (1990) Trans. Roy. microsc. Soc. 1, 247-250). Ein reflektierendes, selbstkollimierendes System mit keinen primären Abbildungsfehlern wurde von Offner (siehe A. Offner, Optical Engineering (1975), 14, 131) beschrieben.
- Konfokale Bilddarstellungssysteme haben sich in der optischen Mikroskopie als ein wirkungsvolles Mittel zum Ausschalten einer außerhalb des Brennpunktes liegenden Interferenz erwiesen. Bei diesen Systemen wird nur eine sehr kleine Fläche in der Objektebene zu jedem Zeitpunkt beleuchtet. Die Beleuchtung in der Objektebene kann in der Form eines einzelnen Punktes, einer Anordnung von Punkten, einer einzigen Linie oder einer Anordnung von Linien bestehen. Eine Maske mit der gleichen geometrischen Form wie das beleuchtete Muster wird in einer mit der Objektebene konjugierten Ebene eingeschlossen, so daß nur Signale aus der unmittelbaren Nachbarschaft der beleuchteten Gebiete durch die Maske in das Betrachtungssystem eingelassen werden. Auf diese Weise werden von den beleuchteten Gebieten ausgehende interferierende Signale beseitigt. Ein vollständiges Bild wird durch Abtasten des Beleuchtungsmusters in einer solchen Weise aufgebaut, daß die Gesamtheit der Fläche der Objektebene abgedeckt wird, während die Maske mit der Beleuchtung in Deckung gehalten wird.
- Die Verwendung eines Schlitzes oder einer Schlitzanordnung statt eines einzelnen Punktes als Beleuchtungsmuster hat Vorteile. Zum Beispiel läßt sich ein vollständiges Bild schneller bilden, und die an einem einzigen Punkt in der Probe erforderliche augenblickliche Beleuchtungsstärke läßt sich herabsetzen. Ein Anstieg in der Geschwindigkeit des Ausbildens der Bilder (Bildgeschwindigkeit) ist von besonderem Wert, da sie unter unmittelbarer visueller Beobachtung mit dem Eindruck einer stetigen Bilddarstellung angewendet werden kann. Bei Verwendung eines Schlitzes ist eine Veränderung von dessen Breite in der Maske gegenüber der der beleuchteten schlitzförmigen Fläche erwünscht. Bei manchem Stand der Technik, wie zum Beispiel dem von Lichtmann, ist dies nicht möglich, da ein und dieselbe Maske zum Ausbilden sowohl der Beleuchtung als auch der Detektionsfläche dient. Der in dieser Hinsicht am nahesten kommende Stand der Technik ist der von Koester, Burns et al. und von Brakenhoff und Visscher, bei denen das System so aufgebaut ist, daß die Detektionsmaske ortsfest ist, so daß sich die Maske während des Betriebes des Mikroskopsystems leicht in einer kontinuierlichen Weise einstellen läßt. Das System von Koester sieht die Verwendung der vollen Öffnung der Objektivlinse des Mikroskops nicht vor und muß daher bei der Bildgüte einen Kompromiß eingehen. Bei seinem Betrieb hängt das System von Baer von einer chromatischen Dispersion ab und eignet sich daher nicht für das Hauptanwendungsgebiet konfokaler Mikroskope, das heißt der Prüfung der Fluoreszenz bei Proben.
- Der naheste Stand der Technik (das heißt der von Burns et al. und Visscher und Brakenhoff) erfordert zum Übertragen des Bildes in dem Gerät Linsen. Dies bietet beträchtliche Schwierigkeiten, da das chromatische Verhalten der Linsen außerhalb eines begrenzten Wellenlängenbereiches, für den sie berechnet sind, schwach ist. Um das Gerät annehmbar klein zu gestalten, müssen die Übertragungslinsen eine hohe numerische Öffnung aufweisen. Dies erschwert ihre Berechnung und verteuert ihre Herstellung.
- Gemäß der Erfindung ist ein konfokales Bilddarstellungssystem zur Verwendung mit einem optischen Mikroskop vorgesehen, umfassend Mittel zum Ausbilden eines schlitz- oder strichförmigen Beleuchtungsstrahles oder einer Anordnung solcher Strahlen, ein stahlzerteilendes Mittel, durch das das Licht des Beleuchtungsstrahls auf ein optisches Abtastmittel gerichtet wird, wodurch der Beleuchtungsstrahl oder die Beleuchtungsstrahlen zum Abtasten ausgerichtet wird oder werden, und zum Lenken des abtastenden Lichtstrahls in die Objektivlinse eines Mikroskops zum Abtasten einer Probe, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Abtastmittel aus einem vollständig reflektierenden optischen System besteht, um sowohl zum Bündeln des Beleuchtungsstrahles oder der Beleuchtungsstrahlen als auch zum Abtasten der Probe durch den Strahl oder die Strahlen beizutragen, und daß das reflektierende System ein ringförmiges Offner-Feldobjektiv aufweist, das dadurch abgeändert ist, daß sein Innenspiegel rotierend schwingt.
- Vorzugsweise bewirkt das gleiche reflektierende optische System, daß der von der Probe emittierte oder reflektierte Strahl angehalten (das heißt in einen ortsfesten Zustand verbracht) und über das strahlzerteilende Mittel auf eine ortsfeste konfokale Maske, wie zum Beispiel einen Schlitz mit veränderlicher Breite oder eine Anordnung solcher Schlitze, gebündelt wird.
- Das von der Maske begrenzte ortsfeste Schlitzbild kann dann mit einem zweiten, vollständig reflektierenden optischen system erneut abgetastet und mit einem Okular oder auf der lichtempfindlichen Oberfläche einer Videokamera als ein zweidimensionales Bild gebündelt werden.
- In einer bevorzugten Ausführungsforrn besteht das zuerst erwähnte reflektierende System und gleichermaßen das zweite reflektierende System aus einem ringförmigen Offner-Feldobjektiv, das so abgeändert ist, daß das Innenelement des Offner- Systems synchron mit dem Innenspiegel des ersten ringförmigen Offner-Feldobjektivs schwingt. Diese Abänderung wandelt das bekannte Offner-Relay in ein einzigartiges reflektierendes Abtastsystem um.
- Die Verwendung von reflektierenden Elementen zum Bündeln an geeigneten Punkten in dem System ist auch eine Verbesserung gegenüber dem Stand der Technik, da diese Elemente unaufwendig herzustellen sind und über einem sehr breiten Wellenlängenbereich gut arbeiten können.
- Das konfokale Bilddarstellungssystem gemäß der vorliegenden Erfindung wird in der folgenden Beschreibung unter Bezug auf die einzige Figur der Zeichnungen, in der ein bevorzugtes System schematisch dargestellt wird, erläutert.
- Das System liegt zwischen dem Objektiv (OBJ) und dem Okular (EYE) eines herkömmlichen Mikroskops. Es enthält zwei abgeänderte ringförmige Offner-Feldobjektive (A1, B1 und A2, B2).
- Ein ringförmiges Offner-Feldobjektiv besteht aus zwei Spiegeln mit einem Verhältnis ihrer Kurvenradien von 1:2. Der Spiegel mit dem kleineren Halbmesser ist konvex, der andere konkav. Wie von Offner beschrieben wird, arbeitet dieses System bei Reflexion von Licht in der in der Zeichnung gezeigten Weise wie ein 1:1 optisches Relais. Das aus den Spiegeln A1 und B1 bestehende Objektiv bündelt den Schlitz C in der als gestrichelte Linie gezeigten Ebene im Okular (EYE). Das andere aus den Spiegeln A2 und B2 bestehende Offner-Objektiv bildet konjugierte Brennpunkte in der Ebene OP und auf der Mittelebene MP am Schlitz C und in der Linse L1. Im vorliegenden Zusammenhang liegt der Wert der Offner-Objektive in der Einfachheit der Herstellung, totalem Achromatismus und dem Fehlen von primären Abbildungsfehlern.
- Die Beleuchtung erfolgt über einen Strahlzerteiler (BS). Das Licht könnte über einen beleuchteten Schlitz eingeleitet werden. In der bevorzugten Ausführungsforrn wird ein Schlitz jedoch nicht benutzt. Statt dessen wird ein paralleler Laserstrahl durch eine zylinderformige Linse (CL) und dann durch eine herkömmliche sphärische Linse (L2) geleitet unter Ausbildung einer gebündelten Laserlichtlinie in der Ebene OP, die mit der Objektebene konjugiert ist. Der Beleuchtungsstrahl wird proximal zum Mikroskop durch das Offner-Objektiv (B2, A2) geleitet.
- Gemäß der Erfindung werden die Offner-Objektive so abgeändert, daß die konvexen Spiegel B1 und B2 beide um eine zu der Ebene des Schaubildes senkrecht verlaufende Achse schwingen, wodurch der Strahl zu einer Abtastung veranlaßt wird. Die beiden in Fig. 1 gezeigten konvexen Spiegel liegen in den Öffnungsebenen im Bezug zum Mikroskop statt in den Bildebenen und sind damit in ihrer Funktion als Abtastelemente ideal placiert.
- Aus B2 tritt das Licht in einem Abtastzustand aus und tritt in die Objektivlinse (OBJ) über eine Kupplungslinse L1 ein, die die Öffnung des Objektivs in eine mit der Ebene von B2 konjugierte Ebene zurückführt.
- Das von dem beleuchteten Objekt ausgehende Signal durchquert dann diesen Pfad in umgekehrter Richtung und wird von dem Spiegel B2 abgetastet. Dann durchläuft es den Strahlzerteiler BS zu dem eine Maske bildenden Schlitz C, in dem es gebündelt wird und den Schlitz durchläuft. Interferierende Signale, die aus den von der beleuchteten Linie abgelegenen Gebieten ausgehen, werden vom Schlitz abgegeben. In seiner Breite ist dieser einstellbar und ermöglicht das Ausüben von genauen konfokalen Bedingungen (enger Schlitz) oder die Ausbildung eines helleren Bildes mit einer weniger ausgeprägten konfokalen Natur (breiter Schlitz). Der schwingende Spiegel B1 in dem zweiten Offner-Objektiv tastet das Signal erneut ab, erzeugt in der Mittelebene (MP) erneut ein ortsfestes zweidimensionales Bild, das mit dem Okular unmittelbar beobachtet werden oder in einer Kamera aufgezeichnet werden kann.
- Die Bewegung der konvexen Spiegel B1 und B2 kann jede das gesamte Feld abtastende Form annehmen, aber Abtastungen mit gleichförmiger Winkelgeschwindigkeit in beiden Richtungen werden vorgezogen, da dies die Totzeit verringert und zu einem Bild mit gleichförmiger Helligkeit führt. In der bevorzugten Ausführungsform arbeitet der Spiegel B2 synchron mit, aber in Gegenphase zu dem oszillierenden Spiegel B1.
- Der Strahlzerteiler BS könnte entweder eine ein beliebiges Verhältnis zwischen reflektierten und übertragenen Lichtstärken erzeugende einfache Vorrichtung sein oder alternativ ein dichromatischer Reflektor (dichroitisch), wie er in der Fluoreszenzmikroskopie üblich ist.
Claims (10)
1. Ein konfokales Bilddarstellungssystem zur Verwendung mit
einem optischen Mikroskop, umfassend Mittel (CL, L2) zum
Ausbilden eines schlitz- oder strichförmigen
Beleuchtungsstrahles oder einer Anordnung solcher Strahlen, ein
stahlzerteilendes Mittel (BS), durch das das Licht des
Beleuchtungsstrahls auf ein optisches Abtastmittel
gerichtet wird, wodurch der Beleuchtungsstrahl oder die
Beleuchtungsstrahlen zum Abtasten ausgerichtet wird oder
werden, und zum Lenken des abtastenden Lichtstrahls in
die Objektivlinse (OBJ) eines Mikroskops zum Abtasten
einer Probe, dadurch gekennzeichnet, daß das optische
Abtastmittel aus einem vollständig reflektierenden
optischen System besteht, um sowohl zum Bündeln des
Beleuchtungsstrahles oder der Beleuchtungsstrahlen als auch zum
Abtasten der Probe durch den Strahl oder die Strahlen
beizutragen, und daß das reflektierende System ein
ringförmiges Offner-Feldobjektiv (A2, B2) aufweist, das
dadurch abgeändert ist, daß sein Innenspiegel (B2)
rotierend schwingt.
2. Ein System wie in Anspruch 1 beansprucht, dadurch
gekennzeichnet, daß das gleiche reflektierende optische System
(A2, B2) bewirkt, daß der von der Probe emittierte oder
reflektierte Strahl angehalten und durch das
strahlzerteilende Mittel auf eine ortsfeste konfokale Maske (C)
gebündelt wird
3. Ein System wie in Anspruch 2 beansprucht, dadurch
gekennzeichnet, daß die Maske (C) ein Schlitz mit
veränderlicher Breite ist.
4. Ein System wie in Anspruch 2 oder Anspruch 3
beansprucht, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Maske
(C) begrenzte ortsfeste Bild mit einem zweiten
vollständig reflektierenden optischen System erneut abgetastet
und zum Betrachten oder Aufzeichnen auf einen Brennpunkt
gebracht wird.
5. Ein System wie in Anspruch 4 beansprucht, wobei das
zweite reflektierende System ein ringförmiges
Offner-Feldobjektiv (A1, B1) ist, das dadurch abgeändert ist, daß
sein Innenspiegel (B1) synchron mit dem Innenspiegel
(B2) des ersten ringförmigen Offner-Feldobjektivs (A2)
rotierend schwingt.
6. Ein System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
die jeweiligen Innenspiegel (B2, B1) der beiden
reflektierenden Systeme synchron, aber in Antiphase schwingen.
7. Ein System wie in Anspruch 6 beansprucht, dadurch
gekennzeichnet, daß die jeweiligen Innenspiegel (B2, B1) mit
gleichförmiger Winkelgeschwindigkeit in alternierendem
Drehsinne schwingen.
8. Ein System wie in irgendeinem der Ansprüche 1 bis 7
beansprucht, dadurch gekennzeichnet, daß das Mittel zum
Ausbilden des schlitz- oder strichförmigen Strahls eine
zylinderförmige Linse (CL) enthält, die den Strahl durch
Beugung formt.
9. Ein System wie in Anspruch 8 beansprucht, dadurch
gekennzeichnet, daß das Mittel zum Ausbilden des schlitz- oder
strichförmigen Strahls einen Laser zum Erzeugen des
Beleuchtungsstrahls enthält.
10. Ein System wie in irgendeinem vorhergehenden Anspruch
beansprucht, dadurch gekennzeichnet, daß die volle Öffnung
der Objektivlinse (OBJ) verwendet wird.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB909016632A GB9016632D0 (en) | 1990-07-28 | 1990-07-28 | Confocal imaging system for microscopy |
PCT/GB1991/001268 WO1992002838A1 (en) | 1990-07-28 | 1991-07-26 | Confocal imaging system for microscopy |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69117761D1 DE69117761D1 (de) | 1996-04-11 |
DE69117761T2 true DE69117761T2 (de) | 1996-09-19 |
Family
ID=10679843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69117761T Expired - Fee Related DE69117761T2 (de) | 1990-07-28 | 1991-07-26 | Konfokales abbildungssystem für die mikroskopie |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5452125A (de) |
EP (1) | EP0541625B1 (de) |
JP (1) | JPH05509178A (de) |
AT (1) | ATE135116T1 (de) |
CA (1) | CA2088267A1 (de) |
DE (1) | DE69117761T2 (de) |
GB (1) | GB9016632D0 (de) |
WO (1) | WO1992002838A1 (de) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5923466A (en) * | 1993-10-20 | 1999-07-13 | Biophysica Technologies, Inc. | Light modulated confocal optical instruments and method |
GB9408688D0 (en) * | 1994-04-30 | 1994-06-22 | Medical Res Council | Scanning confocal optical microscope |
US5880465A (en) * | 1996-05-31 | 1999-03-09 | Kovex Corporation | Scanning confocal microscope with oscillating objective lens |
DE19654208C2 (de) * | 1996-12-24 | 2001-05-10 | Leica Microsystems | Mikroskop |
US20030036855A1 (en) * | 1998-03-16 | 2003-02-20 | Praelux Incorporated, A Corporation Of New Jersey | Method and apparatus for screening chemical compounds |
US6388788B1 (en) | 1998-03-16 | 2002-05-14 | Praelux, Inc. | Method and apparatus for screening chemical compounds |
US6548796B1 (en) | 1999-06-23 | 2003-04-15 | Regents Of The University Of Minnesota | Confocal macroscope |
DE60037682T2 (de) * | 2000-09-04 | 2009-01-02 | Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu | Abbildungsvorrichtung |
US6309078B1 (en) | 2000-12-08 | 2001-10-30 | Axon Instruments, Inc. | Wavelength-selective mirror selector |
US6856457B2 (en) * | 2001-03-27 | 2005-02-15 | Prairie Technologies, Inc. | Single and multi-aperture, translationally-coupled confocal microscope |
WO2003019242A2 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-06 | Musc Foundation For Research Development | Line scanning confocal microscope |
WO2005083352A1 (en) * | 2004-02-11 | 2005-09-09 | Filmetrics, Inc. | Method and apparatus for high-speed thickness mapping of patterned thin films |
US20050237530A1 (en) * | 2004-04-26 | 2005-10-27 | Schnittker Mark V | Imaging apparatus for small spot optical characterization |
US7221449B2 (en) * | 2004-06-28 | 2007-05-22 | Applera Corporation | Apparatus for assaying fluorophores in a biological sample |
DE102004034970A1 (de) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Lichtrastermikroskop und Verwendung |
US7173686B2 (en) | 2004-09-02 | 2007-02-06 | Agilent Technologies, Inc. | Offner imaging system with reduced-diameter reflectors |
US7315352B2 (en) | 2004-09-02 | 2008-01-01 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Offner imaging system with reduced-diameter reflectors |
US7545446B2 (en) * | 2005-08-27 | 2009-06-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Offner relay for projection system |
FR2903785B1 (fr) * | 2006-07-13 | 2008-10-31 | Beamind Soc Par Actions Simpli | Procede et dispositif de deflexion d'un faisceau lumineux pour balayer une surface cible |
KR20140093818A (ko) * | 2013-01-17 | 2014-07-29 | 삼성전자주식회사 | 프로파일 측정 시스템 |
DE102019115931A1 (de) * | 2019-06-12 | 2020-12-17 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Optische Anordnung für ein Mikroskop |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3669522A (en) * | 1970-03-20 | 1972-06-13 | Singer Co | Reflective relay optical system for two-axis deflection |
US3951546A (en) * | 1974-09-26 | 1976-04-20 | The Perkin-Elmer Corporation | Three-fold mirror assembly for a scanning projection system |
US4170398A (en) * | 1978-05-03 | 1979-10-09 | Koester Charles J | Scanning microscopic apparatus with three synchronously rotating reflecting surfaces |
US5032720A (en) * | 1988-04-21 | 1991-07-16 | White John G | Confocal imaging system |
JP2594470B2 (ja) * | 1988-07-06 | 1997-03-26 | メディカル リサーチ カウンシル | 無彩色走査装置 |
US5020891A (en) * | 1988-09-14 | 1991-06-04 | Washington University | Single aperture confocal scanning biomicroscope and kit for converting single lamp biomicroscope thereto |
US5035476A (en) * | 1990-06-15 | 1991-07-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Confocal laser scanning transmission microscope |
US5225923A (en) * | 1992-07-09 | 1993-07-06 | General Scanning, Inc. | Scanning microscope employing improved scanning mechanism |
-
1990
- 1990-07-28 GB GB909016632A patent/GB9016632D0/en active Pending
-
1991
- 1991-07-26 WO PCT/GB1991/001268 patent/WO1992002838A1/en active IP Right Grant
- 1991-07-26 AT AT91913800T patent/ATE135116T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-07-26 EP EP91913800A patent/EP0541625B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-07-26 DE DE69117761T patent/DE69117761T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-07-26 JP JP3512831A patent/JPH05509178A/ja active Pending
- 1991-07-26 CA CA002088267A patent/CA2088267A1/en not_active Abandoned
- 1991-07-26 US US07/969,142 patent/US5452125A/en not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-02-13 US US08/388,145 patent/US5561554A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0541625B1 (de) | 1996-03-06 |
US5561554A (en) | 1996-10-01 |
EP0541625A1 (de) | 1993-05-19 |
US5452125A (en) | 1995-09-19 |
WO1992002838A1 (en) | 1992-02-20 |
GB9016632D0 (en) | 1990-09-12 |
CA2088267A1 (en) | 1992-01-29 |
JPH05509178A (ja) | 1993-12-16 |
ATE135116T1 (de) | 1996-03-15 |
DE69117761D1 (de) | 1996-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69117761T2 (de) | Konfokales abbildungssystem für die mikroskopie | |
EP1372011B1 (de) | Mikroskop, insbesondere Laserscanningmikroskop mit adaptiver optischer Einrichtung | |
DE69112394T2 (de) | Konfokal-mikroskop. | |
DE69530072T2 (de) | System zur fluoreszenzabbildung unter verwendung eines objektivs mit makroabtastung | |
EP1248132B1 (de) | Verfahren und Anordnung zur tiefenaufgelösten optischen Erfassung einer Probe | |
DE69728572T2 (de) | Mikroabbildungssystem | |
DE69325075T2 (de) | Bildwiedergabegerät | |
EP0866993B1 (de) | Konfokales mikroskop mit einem doppelobjektiv-system | |
DE69635628T2 (de) | Konfokales Mikroskop | |
EP1664888B1 (de) | Rastermikroskop mit evaneszenter beleuchtung | |
DE102013017468B4 (de) | Verfahren zum Erstellen eines Mikroskopbildes und Mikroskopievorrichtung | |
DE10004191A1 (de) | Hochleistungs-Grossfeld-Rastermikroskop | |
GB2416453A (en) | Zoom optics for a confocal laser scanning microscope | |
EP1882969A1 (de) | Laser-Scanning-Mikroskop | |
DE4326473C2 (de) | Konfokales Mikroskop | |
EP1617269A1 (de) | Lichtrastermikroskop mit Linienscanner | |
EP3948392B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum erfassen von verlagerungen einer probe gegenüber einem objektiv | |
EP1128200A2 (de) | Mikroskop-Aufbau | |
EP1496386A2 (de) | Anordnung zur optischen Erfassung von in einer Probe angeregter oder rückgestreuter Lichtstrahlung mit Doppelobjektivanordnung | |
DE10321885B4 (de) | Anordnung und Verfahren zur hochdynamischen, konfokalen Technik | |
DE10010154C2 (de) | Doppelkonfokales Rastermikroskop | |
DE3853637T2 (de) | Achromatisches abtastsystem. | |
DE69420569T2 (de) | Konfokales Durchlichtlasermikroskop | |
DE102017124548B3 (de) | Mikroskop mit einer OCT-Einrichtung und einer Wellenfrontmesseinrichtung | |
DE4102404C2 (de) | Optische Abtasteinrichtung zur Erzeugung einer zweidimensionalen Abbildung der dreidimensionalen Oberfläche eines Objektes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |