DE69103783D1 - Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicke einer Schicht. - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicke einer Schicht.

Info

Publication number
DE69103783D1
DE69103783D1 DE69103783T DE69103783T DE69103783D1 DE 69103783 D1 DE69103783 D1 DE 69103783D1 DE 69103783 T DE69103783 T DE 69103783T DE 69103783 T DE69103783 T DE 69103783T DE 69103783 D1 DE69103783 D1 DE 69103783D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
thickness
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69103783T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69103783T2 (de
Inventor
Akira Inoue
Yoichi Ishiguro
Haruhiko Aikawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP4096290A external-priority patent/JPH03245005A/ja
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE69103783D1 publication Critical patent/DE69103783D1/de
Publication of DE69103783T2 publication Critical patent/DE69103783T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE69103783T 1990-02-23 1991-01-16 Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicke einer Schicht. Expired - Fee Related DE69103783T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4096290A JPH03245005A (ja) 1990-02-23 1990-02-23 膜厚測定方法
JP18952990 1990-07-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69103783D1 true DE69103783D1 (de) 1994-10-13
DE69103783T2 DE69103783T2 (de) 1995-01-12

Family

ID=26380474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69103783T Expired - Fee Related DE69103783T2 (de) 1990-02-23 1991-01-16 Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicke einer Schicht.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5208645A (de)
EP (1) EP0443322B1 (de)
KR (1) KR910021571A (de)
AU (1) AU639970B2 (de)
CA (1) CA2034162A1 (de)
DE (1) DE69103783T2 (de)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9119253D0 (en) * 1991-09-09 1991-10-23 York Technology Ltd Measuring geometry of optical fibre coatings
US5408308A (en) * 1993-01-29 1995-04-18 Corning Incorporated Method for monitoring hermetically-coated fibers
US5436719A (en) * 1993-11-05 1995-07-25 Lasermike, Inc. Fiber optic flaw detector system and calibration apparatus
US5469252A (en) * 1993-11-05 1995-11-21 Lasermike, Inc. Fiber optic flaw detector and identification system
SE503513C2 (sv) * 1994-11-17 1996-07-01 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande och anordning för bestämning av tjocklek och koncentricitet hos ett skikt pålagt på en cylindrisk kropp
EP0718624A3 (de) * 1994-12-19 1997-07-30 At & T Corp Vorrichtung und Verfahren zur Beleuchtung durchsichtiger und halbtransparenter Materialien
US5754291A (en) * 1996-09-19 1998-05-19 Molecular Dynamics, Inc. Micro-imaging system
US5943126A (en) * 1997-03-11 1999-08-24 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for detecting surface qualities on an optical fiber
FR2766481B1 (fr) * 1997-07-24 1999-09-24 Alsthom Cge Alcatel Dispositif de fibrage d'une fibre optique comportant un capteur de diametre a precision de mesure amelioree
US6314765B1 (en) 1998-10-06 2001-11-13 Alcatel Method and apparatus for controlling the shape and position of a deformable object
DE19928171B4 (de) * 1999-06-19 2011-01-05 Leybold Optics Gmbh Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der optischen Schichtdicke von Beschichtungen
US6661502B1 (en) 1999-10-28 2003-12-09 Fitel Usa Corp. Method and apparatus for measuring the diameter and/or eccentricity of a coating layer of a coated optical fiber
KR100594061B1 (ko) * 2004-03-03 2006-06-30 삼성전자주식회사 고속 인출용 광섬유 및 코팅 동심도 모니터
US8314408B2 (en) 2008-12-31 2012-11-20 Draka Comteq, B.V. UVLED apparatus for curing glass-fiber coatings
EP2388239B1 (de) 2010-05-20 2017-02-15 Draka Comteq B.V. Härtungsvorrichtung mit in einem Winkel gerichteter UV-LEDs
US8871311B2 (en) 2010-06-03 2014-10-28 Draka Comteq, B.V. Curing method employing UV sources that emit differing ranges of UV radiation
DK2418183T3 (en) 2010-08-10 2018-11-12 Draka Comteq Bv Method of curing coated glass fibers which provides increased UVLED intensity
GB201300016D0 (en) 2013-01-02 2013-02-13 Proton Products Ltd Measurement of industrial products manufactured by extrusion techniques
US9733193B2 (en) 2015-03-12 2017-08-15 Proton Products International Limited Measurement of industrial products manufactured by extrusion techniques
MX2018008322A (es) 2016-01-07 2018-09-21 Arkema Inc Metodo independiente de la posicion del objeto para medir el espesor de recubrimientos depositados en objetos curvados moviendose a altas velocidades.
EP3400431B1 (de) 2016-01-07 2022-03-23 Arkema, Inc. Optisches verfahren zur messung der dicke von auf substraten aufgetragenen beschichtungen
US11125549B2 (en) 2016-01-07 2021-09-21 Arkema Inc. Optical intensity method to measure the thickness of coatings deposited on substrates
EP3324194B1 (de) * 2016-11-22 2019-06-26 Anton Paar GmbH Abbildung eines spalts zwischen probe und sonde eines rastersondenmikroskops in einer im wesentlichen horizontalen seitenansicht
DE102019112238A1 (de) * 2019-05-10 2020-11-12 HELLA GmbH & Co. KGaA Verfahren zur Kontrolle der Beschichtung eines elektronischen Bauteils
CN111156911A (zh) * 2019-08-12 2020-05-15 长飞光纤光缆股份有限公司 一种光纤涂覆层直径测量系统和测试方法
CN110849278A (zh) * 2019-12-19 2020-02-28 大连理工大学 一种基于法珀光纤阵列的钢筋长期腐蚀监测传感器
EP4098633A4 (de) * 2020-01-30 2023-12-06 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Beschichtungszustandsdetektionsverfahren, beschichtungszustandsdetektionsvorrichtung und herstellungsverfahren für optische fasern
CN113617594B (zh) * 2021-09-02 2022-09-13 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 一种光纤自动涂覆装置及系统

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3017512A (en) * 1959-06-29 1962-01-16 American Can Co Coating thickness gauge
US4882497A (en) * 1986-08-15 1989-11-21 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method and apparatus of measuring outer diameter and structure of optical fiber
EP0284197A1 (de) * 1987-02-20 1988-09-28 Tanabe Seiyaku Co., Ltd. Organische Platinkomplexe und Verfahren zu deren Herstellung
EP0294889A1 (de) * 1987-06-10 1988-12-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Vorrichtung zur Durchführung von Messungen an einem durchsichtigen Gegenstand, Verfahren zur Herstellung einer Faser und mit einem derartigen Verfahren hergestellte Faser
US4859861A (en) * 1988-05-16 1989-08-22 Becton, Dickinson And Company Measuring curvature of transparent or translucent material
US4952226A (en) * 1989-02-27 1990-08-28 American Telephone And Telegraph Company Lightguide coating control
US4957526A (en) * 1989-06-02 1990-09-18 At&T Bell Laboratories Optical fiber coating control process

Also Published As

Publication number Publication date
DE69103783T2 (de) 1995-01-12
EP0443322B1 (de) 1994-09-07
AU639970B2 (en) 1993-08-12
EP0443322A3 (en) 1991-12-11
KR910021571A (ko) 1991-12-20
CA2034162A1 (en) 1991-08-24
AU6943991A (en) 1991-08-29
EP0443322A2 (de) 1991-08-28
US5208645A (en) 1993-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69103783D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicke einer Schicht.
DE69019385D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen und Kontrollieren des Gewichts einer Schicht.
DE69017947D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Filme.
DE3785185D1 (de) Geraet und verfahren zum messen der stroemungscharakteristika einer petroleumstroemung.
DE3854348D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Form einer dreidimensional gekrümmten Oberfläche.
DE69124495D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum erkennen der sauberkeit einer oberfläche
DE69222742T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten
DE69213301D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Eigenschaften einer Mehrphasenströmung
DE69408608D1 (de) Verfahren zum Messen der Schichtdicken einer mehrschichtigen Probe
DE3484083D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen in einer erdoelbohrung.
DE3778453D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der streureflexion einer oberflaeche.
DE69033269T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Position und Stellung eines Gegenstandes
DE69111672D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Schwingung einer Schmelzenoberfläche.
DE69909432D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum bestimmen der dicke einer bewegten linearen textilformation
DE69911927D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen der substrattemperatur
DE69532249D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen der herzschlagfrequenz
DE3877191D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen einer dreidimensionalen gekruemmten oberflaeche.
DE3684594D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen der blickrichtung.
DE69717575D1 (de) Verfahren und Vorrichtungen zum Messen der Abweichung einer Oberfläche
DE69511402T2 (de) Vorrichtung zum on-line messen der dicke einer kontinuierlich erzeugten folie
DE3784383D1 (de) Verfahren zum messen von filmdicken und vorrichtung dafuer.
DE69002085D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der geschwindigkeit einer fluessigkeit.
DE3767041D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen der freien oberflaeche einer fluessigkeit.
DE3887880D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur gleichzeitigen Messung der Dicke und Zusammensetzung einer dünnen Schicht.
DE69112162D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Berechnen der thermischen Sensibilität.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee