DE69012482T2

DE69012482T2 - Verbesserte Akusto-elektrische Oberflächenwellenanordnung.

Info

Publication number: DE69012482T2
Application number: DE69012482T
Authority: DE
Inventors: Jean-Louis Foure; Benoit Noel
Original assignee: Dassault Electronique SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 1989-08-10
Filing date: 1990-03-23
Publication date: 1995-02-02
Anticipated expiration: 2010-03-24
Also published as: NO176590B; NO901387D0; EP0412854A1; US5142185A; EP0412854B1; NO901387L; FR2650919B1; FR2650919A1; DE69012482D1

Description

Die Erfindung betrifft Einheiten von elektroakustischen Wandlern mit Oberflächenwellen.
Zu ihrer Herstellung geht man von einem dünnen, ebenen piezoelektrischen Substrat aus. Durch Mikrolithographie oder andere Techniken der Mikrobearbeitung werden auf einer Hauptfläche dieses Substrats zwei Reihen aus feinen Leiterfingern hergestellt, die in jeder Reihe zueinander parallel sind.
Unter bestimmten Bedingungen tritt dann zwischen den beiden Reihen eine Kopplung durch Oberflächenwellen auf, die sich in dem piezoelektrischen Substrat fortpflanzen. Diese Kopplung weist Zeit- und Frequenzcharakteristika auf, die von der Geometrie der Finger, hauptsächlich von ihrer Breite, sowie von akustischen Fortpflanzungsphänomenen von einer Fingerreihe zur nächsten abhängen.
Bis heute wurden diese Vorrichtungen vor allem für relativ schmale Bandbreiten verwendet. Dann liefern sie zufriedenstellende Leistungen, und ihr Verhalten läßt sich vernünftig voraussehen.
Ganz anders verhält es sich bei Anwendungen mit Breitband oder mit sehr breitem Band, für die sich die Anmelderin interessiert. "Sehr breites Band" bedeutet hier, daß das Nutzband praktisch den Wert seiner Bandmittenfrequenz abdecken kann.
Bei diesen Breitbandanwendungen (US-A-3 800 247) sind die beiden Fingerreihen im allgemeinen zur Senkrechten zur Richtung der Finger geneigt. Darüberhinaus ist die mittlere Richtung dieser Reihen meist kurvenförmig. Es wird nämlich versucht, die Anzahl der Finger der einen und der anderen Reihe zu begrenzen, die zur Lieferung der akustischen Kopplung zusammenwirken; dies für jeden gegebenen Frequenzwert innerhalb des Arbeitsbandes.
Bei einer der bekannten Strukturen, einer sogenannten Struktur mit einfachen Fingern ist die Breite eines Fingers gleich dem Viertel der akustischen (lokalen) Momentanwellenlänge für die zugeordnete Frequenz. Ebenso verhält es sich für die Entfernung zwischen nebeneinanderliegenden Fingern. Die Grenzen der herkömmlichen Mikrolithographie bedingen, daß diese Strukturen gegenwärtig bis zu etwa 2 GHz (Grundfrequenz) arbeiten. Sie können ein gute Frequenz- und Phasenreaktion aufweisen, leiden aber an einer parasitären Zeitreaktion, dem sogenannten Dreifachecho, die etwa 20 bis 25 dB unter dem Nutzsignal Liegt.
Man hat bereits ins Auge gefaßt, sogenannte Strukturen "mit halbierten Fingern" zu verwenden, bei denen die Breite der Finger das Achtel der akustischen Momentanwellenlänge ist. Dann läßt sich die Zeitstörung des Dreifachechos bis auf 40 bis 45 dB unter dem Nutzsignal absenken. Allerdings sind diese Strukturen schwierig herzustellen. Sie ermöglichen bei gleicher Präzision in der Mikrolithographie im Submikronbereich nur das Erreichen von Frequenzen, die zweimal niedriger sind als bei den Strukturen mit einfachen Fingern.
Darüberhinaus regt die Verwendung von halbierten Fingern ihrerseits eine parasitäre Frequenzreaktion mit der dritten Harmonischen an, die bis zu -15 dB unter der Grundreaktion liegen kann, und deren Band dreimal breiter als dasjenige der Grundfrequenzreaktion ist.
Der Fachmann kennt die Nachteile, die sich aus den oben gemachten Bemerkungen ergeben, sehr gut.
Demnach gibt es gegenwärtig keine wirklich zufriedenstellende Lösung, wenn man im Breitband arbeiten will, vor allem wenn man darüberhinaus die Frequenz bei reduziertem Pegel des zeitlichen Dreifachechos erhöhen möchte.
Die Erfindung soll für dieses Problem eine Lösung bieten.
Wie oben angegeben, ist die Erfindung auf elektro-akustoelektrische Oberflächenwandler des Typs anzuwenden, die auf einer Hauptfläche eines ebenen piezoelektrischen Substrats eine erste Reihe von parallelen Leiterfingern sowie eine zweite Reihe von parallelen Leiterfingern aufweisen, wobei diese beiden Reihen voneinander beabstandet sind, um durch die Fortpflanzung von akustischen Oberflächenwellen eine Kopplung zwischen den Fingern der ersten Reihe und denjenigen der zweiten zu ermöglichen, wobei die Finger dieser beiden Reihen zur Fortpflanzungsrichtung dieser akustischen Oberflächenwellen geneigt sind, wobei die Finger der beiden Reihen entsprechend von einer Reihe zur anderen individuelle Geometrien aufweisen, die lokal in Abhängigkeit von einer Arbeitsfrequenz gewählt und global über einen weiten Arbeitsfrequenzbereich gestaffelt sind, um eine akustische Kopplung mit breitem Frequenzbereich zwischen den beiden Reihen von Fingern zu ermöglichen, während die Anbringung der Finger entlang jeder Reihe einer vorbestimmten Sequenz in Kombination mit einem Maßstabsfaktor gehorcht, der mit der Arbeitsfrequenz verknüpft ist.
Nach einem Gesichtspunkt der Erfindung weist eine der beiden Reihen eine Ausnahme bezüglich der Sequenz auf, wobei diese Ausnahme entlang dieser Sequenz im wesentlichen periodisch wiederholt ist.
Es können zwar andere Anordnungen ins Auge gefaßt werden; die Anmelderin nimmt aber gegenwärtig an, daß nur eine einzige der beiden Anordnungen so modifiziert werden muß, wobei die andere eine streng regelmäßige Verteilung ihrer Finger behält, wobei prinzipiell ein Abstand zwischen den Fingern und eine Breite vorliegt, die beide etwa gleich dem Viertel der akustischen Wellenlänge sind.
Es ist zu bemerken, daß die oben erwähnte Charakteristik im wesentlichen die Finger und nur diese betrifft. Damit kann man sich zahlreiche Anordnungen der Reihen vorstellen, die erfindungsgemäß sind.
Sobald die Finger der beiden Reihen untereinander parallel sind, können ihnen individuelle Geometrien verliehen werden, die fortschreitend entlang jeder Reihe variieren, um ein sehr breites Frequenzband abzudecken, wobei sie sich gleichzeitig von einer Reihe zur anderen senkrecht zur Richtung der Finger entsprechen.
Mit anderen Worten, die Breite eines Fingers ist praktisch immer ein vorbestimmtes Untervielfaches der halben Länge der gewünschten akustischen Momentanwelle ist, im Prinzip das Untervielfache der zweiten Ordnung, d.h. das Viertel der Wellenlänge. Der Abstand zwischen nebeneinanderliegenden Fingern ist im wesentlichen gleich diesem Untervielfachen. Allerdings wird er ein Vielfaches, im Prinzip der zweiten Ordnung, an den "Orten", an denen die Befestigungsabfolge der Finger modifiziert ist.
Sehr vorteilhaft ist es, wenn diese "Orte" alle drei oder vier Finger vorgesehen sind.
Es wurde bereits darauf hingewiesen, daß sich die erste und die zweite Reihe allgemein entlang gekrümmter Achsen erstrecken. Allerdings können ihnen allgemeine Richtungen zugeordnet werden.
Bei einer ersten Familie von Vorrichtungen sind diese allgemeinen Richtungen unterschiedlich zur Senkrechten zur Richtung der Finger geneigt. Dann besitzt die Vorrichtung Charakteristika einer Dispersionsstrecke.
Bei einer weiteren Familie weisen die allgemeinen Richtungen der ersten und der zweiten Reihe im wesentlichen die gleiche Neigung zur Senkrechten zur Richtung der Finger auf. Dann besitzt die Vorrichtung Charakteristika einer nicht dispersiven Verzögerungsstrecke.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich nach Studium der folgenden detaillierten Beschreibung sowie der beigefügten Zeichnungen; darin zeigen:
- Fig. 1 ein Schema zur Veranschaulichung einer ersten Familie von Vorrichtungen, auf die die Erfindung angewendet werden kann;
- Fig. 2 ein Schema zur Veranschaulichung einer zweiten Familie von Vorrichtungen, auf die die Erfindung angewendet werden kann;
- Fig. 3 veranschaulichend eine sogenannte Struktur mit "einfachen Fingern", während Fig. 3A und 3B das parasitäre Dreifachecho dieser Struktur veranschaulichen;
- Fig. 4 veranschaulichend die sogenannte Struktur mit "halbierten Fingern", während Fig. 4 A ein Zeitdiagramm ist, das ihre Störreaktion auf der dritten Harmonischen veranschaulicht;
- Fig. 5 veranschaulichend ein Beispiel von perfektionierten Vorrichtungen nach der Erfindung; und
- Fig. 6 veranschaulichend ein weiteres Beispiel von perfektionierten Vorrichtungen nach der Erfindung.
Es ist klar, daß die Geometrie für die vorliegende Erfindung sehr wichtig ist. Darüberhinaus sind die Zeichnungen im wesentlichen als sehr bestimmt anzusehen. Folglich können sie als Bestandteil der Beschreibung gelten und können nicht nur zu ihrem bessern Verständnis dienen, sondern auch gegebenenfalls zur Definition der Erfindung beitragen.
Fig. 1 und 2 zeigen ein piezoelektrisches Substrat 1, dessen Dicke in der Größenordnung von 0,5 mm liegen kann. Seine anderen Abmessungen gehen von einigen Millimetern bis einigen zehn Millimetern oder sogar mehr.
Auf einer Hauptfläche des Substrats sind zwei Reihen 10 und 20 von Fingern angeordnet.
Hier ziehen sich an den Fingerreihen 10 zwei elektrisch getrennte leitende Bereiche 15 und 16 z.B. aus Aluminium entlang, die eine Dicke von 200 Nanometern aufweisen. Abwechselnd sind die Finger 11 an den Bereich 15 angeschlossen, während die Finger 12 an den Bereich 16 angeschlossen sind. Ebenso ist die Reihe 20 mit Bereichen 25 und 26 versehen, wobei abwechselnd die Finger 21 mit dem Bereich 25 und Finger 22 mit dem Bereich 26 verbunden sind.
Fig. 1 und 2 lassen ferner erkennen, daß die Finger im oberen Teil näher beieinanderliegen. Sie sind auch dünner; dies wird hier nicht in der Zeichnung gezeigt. Daraus ergibt sich, daß im oberen Teil von Fig. 1 und 2 die Kopplung zwischen den Fingern auf der gleichen horizontalen in den oberen Teil des betreffenden Frequenzbereichs wirksam ist. Dagegen sind die Finger im unteren Teil von Fig. 1 und 2 weiter beabstandet, und ihre Einzelbreiten sind größer. Folglich ist die Kopplung hier für den unteren Teil des betreffenden Frequenzbereichs von Interesse.
Der Unterschied zwischen Fig. 1 und 2 ist der folgende:
- In Fig. 1 sind die allgemeinen Richtungen der Reihen, in denen sich die Reihen 10 und 20 erstrecken, im wesentlichen parallel (insofern als man bei gekrümmten Richtungen von Parallelität sprechen kann). Folglich ist die Zeit der Fortpflanzung der Welle von der Reihe 10 zur Reihe 20 im wesentlichen für alle Frequenzen gleich. Die in Fig. 1 veranschaulichte Vorrichtung kann damit als nicht dispersive Verzögerungsstrecke betrachtet werden.
- Anders verhält es sich in Fig. 2, wo zu beobachten ist, daß der Abstand zwischen den Fingern fortschreitend abnimmt, wenn man vom unteren Teil der Figur, der für die niedrigen Frequenzen von Interesse ist, zum oberen Teil der Figur übergeht, die für die hohen Frequenzen von Interesse ist. Damit handelt es sich um eine Dispersionsstrecke, die Frequenzselektionseigenschaften aufweist.
Die Erfindung ist sowohl auf die oben beschriebenen Vorrichtungen (die in der angelsächsischen Literatur unter dem Namen "down chirp" bekannt sind) als auch auf sogenannte "up chirp"- Vorrichtungen, bei denen die Breite der Finger und der Abstand zwischen den Fingern fortschreitend zunehmen, wenn man vom unteren Teil der Figur (der dann für hohe Frequenzen von Interesse ist) zum oberen Teil der Figur übergeht (der dann für die niedrigen Frequenzen von Interesse ist).
Prinzipiell sind die beiden Reihen in allen Fällen bezüglich der Hauptfortpflanzungsrichtung der akustischen Wellen geneigt. Deshalb werden diese Strukturen oft SLT (für "SLanted Transducer") genannt oder haben sogar ihre alte Benennung "Slanted Acoustic Correlator" oder "SAC" behalten.
Die Anmelderin interessierte sich insbesondere für die Anwendung dieser Strukturen zur Bildung von Dispersionsstrecken und von nicht dispersiven Verzögerungsstrecken mit sehr breitem Band.
Fig. 3 veranschaulicht genauer eine Fingerreihe, die bei den Strukturen von Fig. 1 und 2 zu verwenden ist. Bei den oben angesprochenen Anwendungen wurden bis jetzt prinzipiell strikt identische Strukturen für die beiden Fingerreihen verwendet.
Hier, in Fig. 3, ist die verwendete Struktur vom sogenannten Typ mit einfachen Fingern. Dies bedeutet, daß die Breite der Finger ebenso wie der Abstand zwischen ihnen in der Größenordnung des Viertels der akustischen Momentanwellenlänge liegt. Hier handelt es sich um die Breite in der Fortpflanzungsrichtung der akustischen Wellen, d.h. in senkrechter Richtung zu den Fingern. Hier ist es nicht angezeigt, die Richtung zu berücksichtigen, in der sich die Reihe selbst erstreckt.
Fig. 3A zeigt schematisch, auf welchem Niveau das Dreifachecho zwischen zwei so gebildeten Fingerreihen liegen kann. Es ist nämlich zu verstehen, daß in Anbetracht der Geometrie der Finger leicht ohne einen hohen Verlust zwei Läufe zwischen zwei Wandlern stattfinden können. Fig. 3B zeigt, daß die Dreifachechoreaktion zu einem Zeitpunkt 3t auftritt, der das Dreifache der Grundreaktion ist, während ihr Pegel STE bei 20 bis 25 dB unter dem Pegel der Hauptreaktion liegt.
Es ist klar, daß eine solche Reaktion zumindest für bestimmte Anwendungen äußerst störend sein kann.
Die Struktur mit einfachen Fingern, die demnach ansonsten die am einfachsten zu herstellende ist, weist also einen gewissen Nachteil auf.
Strukturen mit halbierten Fingern wie diejenigen von Fig. 4 sind ebenfalls bekannt.
In diesem Fall betragen die Breite sowie der Abstand der Finger das Achtel der Momentanwellenlänge.
Wie bereits angegeben, läßt sich dadurch die Verwendung von zwei Strukturen mit halbierten Fingern für die Reihen 10 und 20 die Unterdrückung des Dreifachechos bis auf 40 bis 45 dB senken, was ausreichend wäre. Leider regen die halbierten Finger eine parasitäre Frequenzreaktion mit der dritten Harmonischen an (Fig. 4A), die nicht nur etwa 15 dB von der Grundreaktion entfernt ist, sondern auch eine Bandbreite von 3B aufweist, wobei B die Bandbreite der Grundreaktion ist.
Dieser Nachteil kann beim schmalen Band völlig annehmbar sein, wenn die Minimalfreguenz des Bandes deutlich über dem Drittel seiner maximalen Frequenz liegt. Sie ist unannehmbar, wenn im Breitband gearbeitet werden soll.
Darüberhinaus erreichen bei festliegender Leistung der mikrolithographischen Techniken die Strukturen mit halbierten Fingern nur die Hälfte der Frequenz, die durch Strukturen mit einfachen Fingern erreicht werden kann.
Gegen die natürliche Tendenz, zwei identische Strukturen für die beiden Reihen zu verwenden, wenigstens wenn man im Breitband arbeiten will, hat die Anmelderin festgestellt, daß es unter bestimmten Bedingungen möglich war, unterschiedliche Geometrien für die Finger der beiden Reihen zu verwenden.
Genauer gesagt, wird die individuelle Geometrie der Finger nicht grundlegend verändert.
Lediglich die Verteilung der Finger in einer Reihe, genauer die Abfolge ihrer Befestigung wird in einer der beiden Reihen (und prinzipiell nur in einer der beiden Reihen) verändert.
Dies ist in Fig.5 veranschaulicht, wo links der Wandler mit einfachen Fingern von Fig. 3 zu sehen ist.
Rechts ist teilweise die neue Struktur der vorliegenden Erfindung dargestellt.
Sie zeichnet sich dadurch aus, daß man periodisch den Abstand zwischen bestimmten nebeneinanderliegenden Fingern auf die halbe Längenwelle gehen läßt und die Befestigungsabfolge der Finger verändert.
Dadurch wird es möglich, die globale Reaktion der Vorrichtung zu verbessern, denn man profitiert von der hervorragenden Frequenzfilterung der Struktur mit einfachen Fingern, während die neue Struktur rechts zwar eine komplexere harmonische Reaktion, aber dafür eine hervorragende Zeitreaktion aufweist.
Demnach gelangt man zu aufeinanderfolgenden Gruppen von Fingern, die die folgenden Eigenschaften besitzen:
- Zwei aufeinanderfolgende Gruppen wie 31 bis 33 und 34 bis 36 sind an den gleichen leitenden Bereich angeschlossen; hier sind jeweils für einen an den Bereich 26 angeschlossenen Finger zwei Finger an den Bereich 25 angeschlossen.
- Umgekehrt kommt man bei den folgenden Gruppen mit den Fingern 37 bis 49 und 40 bis 42 zur gleichen Struktur, allerdings mit symmetrischem Anschluß, d.h. nur ein einziger Finger ist an dem leitenden Bereich 25 angebracht, während zwei Finger an dem leitenden Bereich 26 angebracht sind.
Das eben unter Bezug auf Fig. 5 Beschriebene gilt für Dreiergruppen von Fingern.
Allerdings lassen sich eben diese Prinzipien genauso mit Gruppen von vier Fingern oder mehr anwenden. Ein Beispiel mit vier Fingern ist in Fig. 6 dargestellt. Die Anmelderin hat zum Vergleich zwei Verzögerungsstrecken hergestellt, die an Basisstrukturen mit einfachen Fingern, d.h. deren Breite ein Viertel der Momentanwellenlänge beträgt, angelenkt sind.
Die elementare Verteilung oder Abfolge der Befestigung nach Fig. 3 kann durch die periodische Folgen von Zahlen
1, 0, -1, 0, 1, 0, 1, 0 dargestellt werden, worin 1 einen oben angebrachten Finger, 0 einen Raum mit der Breite eines Viertels der Momentanwellenlänge und -1 einen unten angebrachten Finger mit einer Fingerbreite von einem Viertel der Momentanwellenlänge bezeichnen.
Diejenige von Fig. 4 (halbierte Finger) weist dann die folgende Form auf:
1, 0, 1, 0, -l, 0, -1, 0, 1, 0, 1, 0, -1, 0, -1, 0
bei einer Fingerbreite von einem Achtel der Momentanwellenlänge.
Die vorgeschlagenen neuen Strukturen weisen die Fingerbreite einer Viertelwelle, aber mit modifizierter Befestigungsabfolge auf, insbesondere mit höherer räumlicher Periodizität:
- in Fig. 5 (rechts "Gruppen von 3")
1, 0, -1, 0, 1, 0, 0, 1, 0, -1, 0, 1, 0, 0
-1, 0, 1, 0, -1, 0, 0, -1, 0, 1, 0, -1, 0, 0, usw.
- in Fig. 6 (rechts "Gruppen von 4")
1, 0, -1, 0, 1, 0, -1, 0, 0, 1, 0, -1, 0, 1, 0, -1, 0, 0 -1, 0, 1, 0, -1, 0, 1, 0, 0, -1, 0, 1, 0, -1, 0, 1, 0, 0
Diese elementaren Abfolgen werden daraufhin sooft wiederholt, bis die für die Vorrichtung gewünschten Dispersionscharakteristika erhalten werden.
Eine erste Verzögerungsstrecke wurde mit zwei Strukturen mit streng einfachen Fingern realisiert. Eine zweite Verzögerungsstrecke wurde mit einer Struktur mit einfachen Fingern und einer neuen Struktur nach der Erfindung hergestellt, wie dies in Fig. 5 veranschaulicht ist (wobei bemerkt sei, daß die neue Struktur ebensogut nach links und die herkömmliche Struktur nach rechts gesetzt werden könnte).
Die Pegel des Dreifachechos lagen bei -24 dB für die herkömmliche Verzögerungsstrecke gegenüber -50 dB für die neue Verzögerungsstrecke nach der vorliegenden Erfindung. Die neue Verzögerungsstrecke weist ferner eine hervorragende Amplitudenfrequenzreaktion ohne die üblichen Schwingungen aufgrund des Dreifachechos auf.
Es war eine sehr geringe Schwankung der Gruppenzeit auf dem gesamten Nutzband zu beobachten, was bis jetzt schwer zu erreichen war.
Selbstverständlich kann das, was vorstehend im Hinblick auf die Strukturen mit einfachen Fingern beschrieben wurde, auch auf Strukturen mit halbierten Fingern angewendet werden.
Darüberhinaus ist die Erfindung keineswegs auf die beschriebenen speziellen Ausführungsbeispiele der Anmeldung beschränkt. Sie kann sich vielmehr auf jede beliebige Vorrichtung beziehen, die Reihen von durch Oberflächenwellen gekoppelten Fingern zum Zweck der elektromagnetischen Signalverarbeitung verwendet.

Claims

1. Akustoelektrische Oberflächenwellenvorrichtung, die auf einer Hauptfläche eines ebenen piezoelektrischen Substrats eine erste Reihe (10) von parallelen Leiterfingern sowie eine zweite Reihe (20) von parallelen Leiterfingern aufweist, wobei diese beiden Reihen voneinander beabstandet sind, um durch die Fortpflanzung von akustischen Oberflächenwellen (HF, NF) eine Kopplung zwischen den Fingern der ersten Reihe (11, 12) und denjenigen der zweiten (21, 22) zu ermöglichen, wobei die Finger zur Fortpflanzungsrichtung dieser akustischen Oberflächenwellen geneigt sind,

wobei die Finger der beiden Reihen entsprechend von einer Reihe zur anderen individuelle Geometrien aufweisen, die lokal in Abhängigkeit von einer Arbeitsfrequenz gewählt und global über einen weiten Arbeitsfrequenzbereich gestaffelt sind, um eine akustische Kopplung mit breitem Frequenzbereich zwischen den beiden Reihen von Fingern zu ermöglichen,

während die Anbringung der Finger entlang jeder Reihe einer vorbestimmten Sequenz in Kombination mit einem Maßstabsfaktor gehorcht, der mit der Arbeitsfrequenz verknüpft ist,

dadurch gekennzeichnet,

daß eine (20M) der beiden Reihen eine Ausnahme bezüglich der Sequenz aufweist, wobei diese Ausnahme entlang dieser Sequenz im wesentlichen periodisch wiederholt ist.

2. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Finger der beiden Reihen (10, 20) untereinander parallel sind und daß sie individuelle Geometrien aufweisen, die fortschreitend entlang jeder Reihe variieren, um ein sehr breites Frequenzband abzudecken, wobei sie sich gleichzeitig von einer Reihe zur anderen senkrecht zur Richtung der Finger entsprechen.

3. Wandler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite eines Fingers (11, 12, 21, 22) im wesentlichen ein vorbestimmtes Untervielfaches der halben Länge der zugeordneten akustischen Momentanwelle ist, während der Abstand zwischen angrenzenden Fingern im wesentlichen gleich diesem Untervielfachen oder ein Vielfaches davon ist.

4. Wandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnahme alle drei oder vier Finger eine Verbreiterung des Abstands zwischen den Fingern umfaßt.

5. Wandler nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die mittleren Richtungen der ersten und der zweiten Reihe (10, 20) unterschiedlich zur Senkrechten zur Richtung der Finger geneigt sind, wodurch dem Wandler Charakteristika einer Dispersionsstrecke verliehen werden.

6. Wandler nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die mittleren Richtungen der ersten und der zweiten Reihe (10, 20) im wesentlichen die gleiche Neigung zur Senkrechten zur Richtung der Finger aufweisen, wodurch dem Wandler Charakteristika einer nicht dispersiven Verzögerungsstrecke verliehen werden.

7. Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem wenigstens für eine (20M) der Reihen (10, 20) die Finger jeweils mit wenigstens zwei leitenden Bereichen (15, 16; 25, 26) verbunden sind, die sich beiderseits der Reihe erstrecken, dadurch gekennzeichnet, daß es die Reihe (20M) ist, welche mit den Bereichen versehen ist, die die Ausnahme aufweist, welchselbige die Tatsache umfaßt, daß im wesentlichen periodisch entlang der Sequenz zwei aufeinanderfolgende Finger (33, 34; 39, 40) an den gleichen leitenden Bereich angeschlossen sind.

8. Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem für die beiden Reihen (10, 20) die Finger jeweils mit wenigstens zwei leitenden Bereichen (15, 16; 25, 26) verbunden sind, die sich beiderseits der Reihe erstrecken, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnahme die Tatsache umfaßt, daß aufeinanderfolgende Gruppen von Fingern (31 bis 36; 37 bis 42) symmetrische Bilder des Anschlusses an die Bereiche aufweisen.

9. Wandler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß jede Gruppe (31 bis 36) zwischen zwei Fingern einen vergrößerten Raum aufweist, wobei sie damit aus zwei hintereinanderfolgenden, identischen Bildern des Anschlusses an die Bereiche (31 bis 33; 34 bis 36) besteht.