DE69011640T2 - Thermischer Tintenstrahldruckkopf. - Google Patents

Description

• Die Erfindung betrifft ein Tintenstrahl-Drucksystem und insbesondere einen Druckkopf mit einem darin aufgenommenen temperatur-empfindlichen (auf Temperatur ansprechenden) Material, welches als Temperaturfühler zur Steuerung von während des Druckvorganges erzeugter Warme dient.
• Bläschen-Tintenstrahl-Drucken ist eine bedarfsbereite Art von Tintenstrahl-Drucken, die thermische Energie benutzt, um ein Dampfbläschen in einem mit Tinte oder Farbe gefüllten Kanal zu erzeugen, das ein Tröpfchen ausstößt. Ein thermischer Energieerzeuger ist in den Kanälen in der Nähe einer Düse mit einem vorbestimmten Abstand von dieser angeordnet. Eine Vielzahl von Widerständen wird individuell mit einem Stromimpuls adressiert, um Tinte in dem Kanal augenblicklich zur Bildung eines Bläschens zu verdampfen, welches ein Tintentröpfchen ausstößt. Wenn das Bläschen wächst, wird Tinte aus einer Düse ausgeworfen und wird durch die Oberflächenspannung der Tinte in einer Ausbeulung zurückgehalten. Wenn das Bläschen zusammenzufallen beginnt, beginnt die in dem Kanal zwischen der Düse und dem Bläschen noch vorhandene Tinte sich zu dem zusammenfallenden Bläschen hin zurück zu bewegen, wodurch ein Zurücksaugen der Tinte an der Düse verursacht wird, was eine Abtrennung eines Tintentröpfchens von der zurückkehrenden Tinte ergibt. Die Beschleunigung der Tinte aus der Düse versorgt das Tröpfchen mit Impuls und Geschwindigkeit in einer im wesentlichen geraden Linie zu einem Aufzeichnungsmedium wie Papier. US-A-4 532 530 beschreibt einen derartigen Bläschenstrahl-Drucker.
• Ein Problem beim Betrieb bekannter Druckköpfe ist der Temperaturanstieg, den ein Druckkopf während eines Betriebszustandes erfährt. Bei anhaltender Betätigung beginnt sich der Druckkopf aufzuheizen und der Durchmesser der Tintentröpfchen beginnt anzusteigen, wodurch sich eine außerordentliche Tropfenüberdekkung an dem Aufzeichnungsmedium ergibt und die Bildqualität verschlechtert. Wenn der Druckkopf einen weiteren Wärmeaufbau erfährt, kann die Temperatur der Tinte oder Farbe bis zu einem Punkt ansteigen, bei dem die Luftverzehrung an der Düse die Tropfenbildung vollständig unterbindet. Man hat gefunden, daß bei etwa 65º für eine typische Tinte oder Druckfarbe der Druckkopf-Betrieb unzuverlässig wird. Es gibt auch eine untere Temperaturgrenze für zuverlässigen Betrieb, die sich für unterschiedliche Tinten und Geräte-Geometrien ändert. Diese Grenze kann beispielsweise bei etwa 20ºC für eine Tinte und ein Gerät liegen, das für eine zuverlässige Funktion bis zu beispielsweise 60ºC ausgelegt ist. Gleichzeitig ist es erwünscht, einen erweiterten Bereich einer Betriebs-Umgebungstemperatur anzubieten, wie 5º bis 35º, so daß es notwendig ist, für eine Aufwärmung des Druckkopfs zu sorgen. Es ist auch erwünscht, die Zeit zum Aufwärmen des Druckkopfs so kurz wie möglich zu halten, so daß die Zeit bis zum Ausdrucken der ersten Kopie (des ersten Druckes) akzeptabel wird. Die Druckkopf-Eigenschaften und die Anforderungen an die Maschinenumgebung haben die nachfolgende Auswirkung auf die thermische Auslegung des Systems. Die Wärmerzeugung während des Betriebs (die ein größeres Problem wird, wenn die Druck-Geschwindigkeit, die Druckdauer und die Druckdichte ansteigen) macht es notwendig, daß der Druckkopf mit einer Wärmesenke verbunden wird, die wirksam Wärme von dem Druckkopf abführt. Die Wirksamkeit der Wärmeabfuhr von dem Druckkopf wird verbessert, je kühler die Wärmesenke relativ zum Druckkopf ist. Wegen des anzutreffenden Bereiches von Umgebungstemperaturen (der mit 5ºC bis 35ºC angenommen wird, jedoch nicht auf diesen Bereich begrenzt ist) und wegen der Anforderung an die Temperatur-Gleichmäßigkeit, und da es weiter weniger kompliziert und weniger kostenträchtig ist, die Temperatur durch Heizen statt durch Kühlen zu beeinflussen, ist es vorteilhaft, die Nenntemperatur für den Druckkopfbetrieb bei oder in der Nähe der maximalen anzutreffenden Umgebungstemperatur anzusetzen. Wegen der gewünschten minimalen Ausgabezeit für die erste Kopie (den ersten Druck) wie auch wegen der gewünschten Wirksamkeit der Wärmesenke ist es auch vorteilhaft, einen Temperaturfühler und einen Heizer (thermisch) so dicht wie möglich an dem Druckkopf und (thermisch) so weit wie möglich von der Wärmequelle weg anzuordnen.
• Temperaturregelung wird typischerweise erreicht durch Benutzen einer Kombination aus einem Temperaturfühler und einem Heizer in einer Regelschleife, die an der Stromversorgung des Druckkopfs angebunden ist. Beispielsweise beschreibt US-A-4 250 512 eine Heizeinrichtung für einen Mosaik-Recorder, die sowohl aus einem Heizer als auch einem Temperaturfühler besteht, welche in unmittelbarer Nähe von Tintenleitungen in einem Aufzeichnungskopf angeordnet sind. Der Heizer und der Fühler funktionieren zur Überwachung und Regelung der Temperatur eines Aufzeichnungskopfes während des Betriebs. In Spalte 3, Zeilen 7-24 wird beschrieben, wie ein Temperaturfühler, ein Thermistor, ein Heizelement und ein Widerstand zusammenwirken, um den Aufzeichnungskopf bei einer optimalen Betriebstemperatur zu halten und den Druckwirkungsgrad so groß wie möglich zu halten. US-A-4 125 845 beschreibt eine Tintenstrahl-Druckkopftemperatur-Steuerschaltung, die einen Heizer und ein Temperaturfühlergerät benutzt, um eine Aufzeichnungskopf-Temperatur über dem vorgegebenen Temperaturpegel zu halten. Ein Ausgangssignal des Temperatur-Erfassungsgerätes steuert einen elektrischen Heizer an, der die Aufzeichnungskopf-Temperatur regelt. Das Temperatur- Erfassungsgerät ist ein an dem Druckkopf mit Dickfilm-Verfahren angebrachtes Widerstandselement. US-A-4 704 620 beschreibt ein Temperatur-Steuersystem für einen Tintenstrahldrucker, bei dem die Temperatur eines Tintenstrahl-Druckkopfs durch einen Heizer und einen Temperaturfühler gesteuert wird, die zusammen die Wärmeübertragung regulieren, um einen Tintenstrahl-Druckkopf innerhalb eines Temperaturbereiches für optimal stabile Entladung zu halten. Die Temperatur-Steuerschaltung benutzt, wie in Fig. 7 dieser Patentschrift gezeigt, ein Ausgangssignal eines Komparatorkreises und Steuersignale von einer Signal-Bearbeitungsschaltung, um die Druckkopf-Temperatur aufgrund des Ausgangssignals vom Temperaturfühler zu regeln. US-A-4 791 435 beschreibt ein thermisches Tintenstrahldruckkopf-Temperatursteuersystem, welches die Temperatur eines Druckkopfs über ein Temperatur-Erfassungsgerät und ein Heizelement regelt. Das Temperatur-Erfassungsgerät, das entweder aus einer Ansammlung von Transduktoren oder einem Einzelthermistor besteht, bewertet sehr eng die Temperatur des Tintenstrahl-Druckkopfs und gleicht eine unannehmbar niedrige Druckkopf-Temperatur entweder durch Kühlen oder Heizen des Druckkopfs aus, wie nötig. US-A-4 686 544 offenbart ein Temperatur-Steuersystem für "bedarfsbereite" Tintenstrahl-Drucker, bei denen eine zwischen Schichten aus Isolier- und Widerstandsmaterial eines Druckkopf-Substrates angeordnete Wärmeerzeugungs-Elektrode die Temperatur des Druckkopfs während des Betriebs steuert, und beschreibt in Spalte 4, Zeilen 7-25, wie ein elektrothermischer Wandler die erforderliche Wärme liefert, um den Tintenstrahl-Druckkopf auf einem opti-malen Temperaturniveau zu halten, um die Druckleistung wirksam zu maximieren. Die US-A-4 636 812 beschreibt zwar einen thermischen Druckkopf, lehrt jedoch die Benutzung eines Heizers und eines Temperaturfühlers, der innerhalb einer laminierten Schicht in der Nähe der Markierungswiderstände gehalten ist.
• US-A-4 738 871 beschreibt einen auf Wärme reagierenden Aufzeichnungskopf, der von lasergefertigten Löchern Gebrauch macht, um den Widerstandswert der Wärmewiderstände zu steuern. Diese lasergefertigten Löcher werden auch benutzt, um die Temperatur zu steuern, die direkt auf den Widerstandswert bezogen ist. Ein Verfahren zur Herstellung der Laserlöcher ist ebenfalls beschrieben.
• US-A-4772 866 beschreibt ein Gerät, das einen Temperaturfühler enthält. Der Temperaturfühler benutzt das Halbleitermaterial (Polysilizium), das bereits Teil des Gerätes ist.
• US-A-4 449 033 beschreibt ein Thermo-Druckkopftemperatur- Erfassungs- und -Steuersystem. Ein Fühler besteht aus einem Thermowiderstandsmaterial (Spalte 5, Zeilen 23-24), das parallel zu den Druckkopf-Leitungen verläuft. Mittel sind vorgesehen für die Temperatur-Steuerschaltung für den Druckkopf. Der Fühler kann auch eine Temperaturänderung eines einzelnen Druckkopf-Elements erfassen (Spalte 1, Zeile 55). Der Fühler liegt über den Druckkopf-Leitungen und ist von ihnen durch Glas getrennt (Fig. 2, Bezugszeichen 10, 11).
• Die angeführte Belege beschreiben verschiedene Arten von diskreten Temperaturfühlern, welche eine Empfindlichkeit für das jeweilige System, in dem sie verwendet werden, schaffen. Jedoch kann eine präzisere Temperaturerfassung und Heizersteuerung bei gewissen Drucksystemen erforderlich sein, in Abhängigkeit von der Druckkopf-Geometrie, den Druck-Geschwindigkeiten und dem Temperaturbereich der Betriebsumgebung. Eine optimale physikalische Anordnung für einen Heizer und Fühler ist enge Nachbarschaft zum Druckkopf. Vom Standpunkt der Herstellung und der Wirtschaftlichkeit ergibt sich ein optimales Material, wenn der Temperaturfühler aus dem gleichen Material gebildet wird wie die Widerstands-Heizelemente im Druckkopf. Dieses Ziel wurde jedoch nicht erreicht, weil die Herstellungs-Toleranzen für den Widerstand nicht für den Zweck der Ausbildung ausreichend genauer Thermometer an einer Vielzahl von Druckköpfen ausreichen. Mit anderen Worten, es ist bisher nicht möglich gewesen, eine Vielzahl von Druckköpfen, die für ein bestimmtes Drucksystem bestimmt sind, so zu fertigen, daß sich jeder Temperaturfühler für jeden Druckkopf innerhalb eines bestimmten und verträglichen Temperatur-Toleranzbereiches befindet. Ein typischer Temperatur-Koeffizient des Widerstandes für Polysilizium ist 1 x 10-3/ºC und eine typische Widerstandstoleranz ist ± 5%. So wird ein in der Nähe der Widerstands-Anordnung ausgebildeter Thermistor in einem Bereich von ± 50ºC ungenau sein. In Abhängigkeit von dem Temperatursteuerungs- und Druckkopf-Verhalten und der Temperaturempfindlichkeit bei einem bestimmten System müßte ein Thermometer eine Genauigkeit von ±1-5ºC bringen.
• So ist es bisher nicht möglich gewesen, einen Thermistor in enger Nachbarschaft zu dem Druckkopf aus dem gleichen Material wie dem der Heizer oder des Druckkopfs selbst auszubilden. Nach der vorliegenden Erfindung hat es sich jedoch gezeigt, daß ein Thermistor aus dem gleichen Material wie die Druckkopf-Heizelemente so verbessert werden kann, daß seine Genauigkeit innerhalb des gewünschten Temperaturbereichs (von 1-5ºC) liegt, durch Trimmen des Thermistors oder durch Trimmen eines externen Widerstands, der in Reihe mit dem Thermistor liegt, während der Druckkopf bei einem gewünschten Einsetzpunkt der Temperatursteuerung gehalten wird. Genauer gesagt, die folgende Erfindung ist gerichtet auf einen thermischen Tintenstrahl- Druckkopf, welcher enthält: ein Stütz-Substrat; eine innerhalb des Substrats angeordnete Tintenaufheiz-Widerstandsschicht, die einzelne Heizelemente in Fluidverbindung mit benachbarten tintengefüllten Kanälen umfaßt; und eine zweite temperaturempfindliche Widerstandsschicht, die innerhalb des Substrats und nahe den Widerstandsschichten angeordnet ist, wobei die temperaturempfindliche Schicht elektrische Verbindung mit einer Temperaur-Steuerschaltung besitzt.
• Die vorliegende Erfindung wird beispielsweise mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in welchen zeigt:
• Fig. 1 eine schematische perspektivische Ansicht eines Bläschenstrahl-Tintendrucksystems, das die vorliegende Erfindung verkörpert;
• Fig. 2 eine vergrößerte schematische perspektivische Ansicht des Druckkopfs aus Fig. 1;
• Fig. 3 eine Querschnitts-Seitenansicht des in Fig. 2 gezeigten Druckkopfs;
• Fig. 4 eine Draufsicht auf den Druckkopf aus Fig. 3, und
• Fig. 5 eine alternative Ausführung des in Fig. 4 gezeigten Druckkopfs.
• Ein typisches Schlitten-Bläschenstrahl-Tintendruckgerät 10 ist in Fig. 1 gezeigt. Eine Linearanordnung aus tröpfchen-erzeugenden Bläschenstrahl-Kanälen ist in dem Druckkopf 11 einer hinund hergehenden Schlittenanordnung 29 untergebracht. Tröpfchen 12 werden zu einem Aufzeichnungsmedium 13 hin ausgestoßen, das durch einen Schrittmotor 16 mit vorgewähltem Abstand in Richtung des Pfeils 14 jedesmal zeilenweise vorgeschoben wird, wenn der Druckkopf in einer Richtung das Aufzeichnungsmedium in Richtung des Pfeils 15 überquert. Das Aufzeichnungsmedium, wie Papier, ist auf einer Vorratsrolle 17 aufgespeichert und wird durch den Schrittmotor 16 schrittweise auf eine Rolle 18 aufgewickelt.
• Der Druckkopf 11 ist fest an einem Stützgrundteil 19 angebracht, das durch zwei parallele Führungsschienen 20 zur Hin- und Herbewegung eingerichtet ist. Der Druckkopf und das Grundteil bilden die hin- und herbewegbare Schlittenanordnung 29, die über das Aufzeichnungsmedium in einer dazu parallelen Richtung und senkrecht zu der Richtung, in der das Aufzeichnungsmedium zeilenweise angetrieben wird, hin- und herbewegt wird. Die Hin- und Herbewegung des Druckkopfs wird durch ein Seil 21 und zwei drehbare Seilscheiben 22 erreicht, von denen eine durch einen reversiblen Motor 23 angetrieben ist.
• Die Stromimpulse werden über Leiter 24 von der Steuerung 25 an die einzelnen Bläschenerzeugungs-Widerstände in jedem Tintenkanal angelegt, welche die in dem Druckkopf 11 untergebrachte Anordnung bilden. Die Stromimpulse, welche die Tintentröpfchen erzeugen, werden in Abhängigkeit von digitalen Daten-Signalen erzeugt, die durch die Steuerung 25 über den Leiter 26 erhalten werden. Die Tintenkanäle werden während des Betriebs über den Schlauch 27 vom Tintenvorrat 28 gefüllt gehalten.
• Fig. 2 ist eine vergrößerte, teilweise aufgeschnittene perspektivische Schemadarstellung der in Fig. 1 gezeigten Schlittenanordnung 29. Der Druckkopf 11 enthält ein Substrat 41, das die elektrischen Leitungen 47 und die Bläschenerzeugungs-Widerstände 44 enthält. Der Druckkopf 11 enthält auch eine Kanalplatte 49 mit Tintenkanälen 49A und einem Verteiler 49B. Obwohl die Kanalplatte 49 aus zwei getrennten Stücken bestehend dargestellt ist, kann sie auch integral aufgebaut sein. Die Tintenkanäle 49A und der Tintenverteiler 49B sind in dem Kanalplattenstück 31 ausgebildet, das an dem Ende jedes Tintenkanals gegenüber dem an dem Verteiler 49B anschließenden Ende Düsen 33 besitzt. Der Tintenzuführschlauch 27 ist an dem Verteiler 49B über einen Durchlaß 34 in dem Kanalplattenstück 31 angeschlossen, wie gestrichelt dargestellt. Das Kanalplattenstück 32 ist ein ebenes Teil, das das Kanalplattenstück 31 bedeckt und mit ihm den Tintenkanal 49A und den Tintenverteiler 49B bildet, wenn sie richtig ausgerichtet und fest an dem Substrat 41 angebracht sind.
• In den Fig. 3 und 4 zeigt Fig. 3 eine (nicht maßstabsgerechte) Querschnittsansicht des Substrats 41 der Fig. 2. Das Substrat 41 ist aus einem kristallinen Material wie Silizium gebildet. Eine Widerstands-Thermistorschicht 50, die auf dem Siliziumsubstrat durch Standard-Dünnfilm- oder Fertigungs-Verfahren für integrierte Schaltungen gebildet ist, ist über Elektrodenleitungen 54 an einer außerhalb befindlichen Temperatur- Steuerschaltung 52 angeschlossen. Die Widerstands-Heizelemente 44 sind durch gemeinsame Elektroden 51 verbunden, die durch längs der Elektroden 47 geschickte Signale impulsförmig beaufschlagt werden, um Tinte aus der jeweiligen Düse 33 auszustoßen.
• Nach einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird die Widerstands-Thermistorschicht 50 auf einen vorgewählten Widerstandswert getrimmt durch einen Lasertrimmvorgang, der zu dem Zeitpunkt ausgeführt wird, an dem der Druckkopf auf dem interessierenden Temperatur-Einstellpunkt gehalten wird. Da ein Lasertrimmvorgang genaue Toleranzen erfordert, kann ein vereinfachter Trimmvorgang ausgeführt werden durch Benutzen der in Fig. 5 gezeigten Ausführung. Da ist ein Dickfilm- oder alternativ ein Dünnfilm-Widerstandselement 58 an der Oberfläche des (nicht dargestellten) Substrats oder dem Substrat benachbart ausgebildet und in Reihe mit der Thermistorschicht 50 geschaltet. Der Trimmvorgang wird dann an dem Widerstandselement 58 ausgeführt, bis der gewünschte Widerstandswert erhalten wird. Für diese Ausführung ist dann der Gesamtfehler des Temperaturwert es durch Instabilität oder Temperaturänderung des getrimmten Widerstands in der Größenordnung von 1ºC oder weniger, ausreichend genau für einen für das Thermo-Tintenstrahl-Drucken bestimmten Thermistor. Der zu trimmende externe Widerstand kann als Teil einer Hybridschaltung gebildet werden, die auch elektrische Verbindung zur Druckkopfform schafft. Alternativ kann der zu trimmende Widerstand 58 als ein diskreter Chip-Widerstand hinzugefügt werden, der sich auf einem benachbarten Substrat befindet. Für dieses Beispiel kann der Druckkopf als Chipträger aufgebaut sein.
• Es ist einzusehen, daß die angeführte Technik die Beseitigung von Widerstandswert-Unterschieden bei einer Vielzahl von Druckköpfen ergibt, die im gleichen System benutzt werden, da alle Thermistoren miteinander übereinstimmend an dem gewünschten eingestellten Temperaturpunkt arbeiten.
• Für die Ausführung der Fig. 4 ist der Nenn-Widerstand des Polysilizium-Thermistors 50 etwa 20 kΩ und sein Widerstands-Temperaturkoeffizient beträgt etwa 1 x 10-3/ºC (d.h.eine Anderung von 1ºC entspricht einer Widerstandsänderung des Thermistors von 20 Ω. Da die Toleranz des Polysilizium-Widerstands 44 innerhalb etwa ±5% von Teil zu Teil und Los zu Los gehalten werden muß, wird der Thermistor auch annähernd so gleichmäßig sein (er kann geringfügig weniger gleichmäßig sein wegen seines hohen Länge/Breite-Verhältnisses). Um den Gesamtwiderstandswert an dem Einstellpunkt gleichmäßig zu machen, muß sich der getrimmte Widerstand über einen Bereich von etwa 2 kΩ, z.B. von 3 kΩ (für Geräte, in denen das Polysilizium seinen maximalen Widerstandswert hat) bis 5 kΩ (für Geräte, bei denen das Polysilizium seinen minimalen Widerstandswert hat) verändern. Nach den Widerstands-Lieferbedingungen beträgt die Stabilität eines lasergetrimmten Widerstands während seiner Lebenszeit (unter Last und im heißen Zustand) typischerweise 0,2%. Ein getrimmter 5 kΩ-Widerstand sollte während seiner Lebenszeit auf 10 Ω gleichmäßig sein, was einer scheinbaren Temperaturänderung von 0,5ºC entspricht. Der Temperatur-Koeffizient des Widerstandswertes des Dickfilm-Widerstands wird angegeben mit 0 ± 1 x 10-4/ºC. Der Temperaturbereich des Substrates, auf dem der externe Widerstand 58 sitzt, wird fast sicher während des Druckbetriebs ± 20ºC nicht überschreiten. Das entspricht einer Widerstandsänderung, die ± 10 Ω nicht überschreitet, entsprechend einer scheinbaren Temperaturänderung von ± 0,5ºC. So wird der Gesamttemperaturfehler infolge Anderungen beim extern getrimmten Widerstand in der Größenordnung von 1ºC oder weniger liegen.
• Zwar ist hier ein Schlitten mit Einzel-Druckkopf gezeigt, jedoch kann die Erfindung auch bei anderen Gestaltungen, z.B. bei einem Zeilendrucker (mit eine Zeilenbreite überdeckendem Druckkopf) Verwendung finden.

Claims (4)

1. Thermischer Tintenstrahl-Druckkopf, welcher enthält:

ein Silizium-Substrat (41);

eine auf dem Substrat abgeschiedene Schicht (44) aus einem polysilizium-Elektrowiderstands-Material, die einzelne Heizelemente in Fluidverbindung mit benachbarten tintengefüllten Kanälen umfaßt;

einen Körper (50) aus einem temperaturempfindlichen Polysilizium-Material, das innerhalb des Substrats und nahe der Heizschicht angeordnet ist, wobei der Widerstandswert des Körpers durch einen Trimmvorgang eingestellt ist, der ausgeführt wurde, während der Druckkopf sich auf seiner Betriebstemperatur befand, und

eine elektrisch mit dem temperaturempfindlichen Körper verbundene Temperatur-Steuerschaltung.

2. Thermo-Tintenstrahl-Druckkopf, welcher enthält:

ein Silizium-Substrat (41);

eine auf dem Substrat abgeschiedene Schicht (44) aus einem Polysilizium-Elektrowiderstands-Material, die einzelne Heizelemente in Fluidverbindung mit benachbarten tintengefüllten Kanälen umfaßt;

einen innerhalb des Substrats und nahe der Heizschicht angeordneten Körper (50) aus einem temperaturempfindlichen Polysilizium-Material;

einen an der Oberfläche des Substrats oder ihm benachbart ausgebildeten Widerstand (58), der mit dem Körper (50) in Reihe geschaltet ist, wobei der Widerstandswert des Widerstands eingerichtet ist durch einen Trimmvorgang, der ausgeführt wurde, während der Druckkopf sich auf seiner Betriebstemperatur befand, und

eine elektrisch mit dem Widerstand verbundene Temperatur- Steuerschaltung.

3. Verfahren zur Aufrechterhaltung genauer Temperatur-Meßwerte eines thermischen Tintenstrahl-Druckkopfs, mit den Schritten:

Ausbilden einer Tintenheizschicht (44) aus Elektrowiderstandsmaterial an einem Silizium-Substrat (41), wobei die Schicht einzelne Heizelemente in Fluidverbindung mit benachbarten tintengefüllten Kanälen umfaßt;

Ausbilden eines Körpers (50) von temperaturempfindlichem Elektrowiderstandsmaterial innerhalb des Substrats und in der Nähe der Heizschicht;

Halten des Druckkopfes auf einer gewünschten Betriebstemperatur, während der Körper auf einen gewünschten Widerstandswert getrimmt wird, und

Schaffen einer elektrischen Verbindung zwischen dem Körper und einer Temperatur-Steuerschaltung.

4. Verfahren zur Aufrechterhaltung genauer Temperatur-Meßwerte eines thermischen Tintenstrahl-Druckkopfs, mit den Schritten:

Ausbilden einer Tintenheizschicht (44) aus Elektrowiderstandsmaterial an einem Silizium-Substrat, wobei die Schicht einzelne Heizelemente in Fluidverbindung mit benachbarten tintengefüllten Kanälen umfaßt;

Ausbilden eines Körpers (50) von temperaturempfindlichem Elektrowiderstandsmaterial innerhalb des Substrats und in der Nähe der Heizschicht;

Ausbilden eines Widerstandes (58) in Reihe mit dem Körper, und

Trimmen des Widerstands auf einen gewünschten Widerstandswert, während der Druckkopf auf einer gewünschten Betriebstemperatur gehalten wird.