DE68923018D1 - Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines Zwischenraumes zwischen zwei Objekten. - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines Zwischenraumes zwischen zwei Objekten.Info
- Publication number
- DE68923018D1 DE68923018D1 DE68923018T DE68923018T DE68923018D1 DE 68923018 D1 DE68923018 D1 DE 68923018D1 DE 68923018 T DE68923018 T DE 68923018T DE 68923018 T DE68923018 T DE 68923018T DE 68923018 D1 DE68923018 D1 DE 68923018D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- objects
- gap
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7023—Aligning or positioning in direction perpendicular to substrate surface
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7049—Technique, e.g. interferometric
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3320688 | 1988-02-16 | ||
JP22581088 | 1988-09-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE68923018D1 true DE68923018D1 (de) | 1995-07-20 |
DE68923018T2 DE68923018T2 (de) | 1995-11-09 |
Family
ID=26371861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1989623018 Expired - Fee Related DE68923018T2 (de) | 1988-02-16 | 1989-02-16 | Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines Zwischenraumes zwischen zwei Objekten. |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0332300B1 (de) |
DE (1) | DE68923018T2 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2756331B2 (ja) * | 1990-01-23 | 1998-05-25 | キヤノン株式会社 | 間隔測定装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61111402A (ja) * | 1984-11-06 | 1986-05-29 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 位置検出装置 |
JPH0666241B2 (ja) * | 1985-10-14 | 1994-08-24 | 株式会社日立製作所 | 位置検出方法 |
DE3719538A1 (de) * | 1986-06-11 | 1987-12-17 | Toshiba Kawasaki Kk | Verfahren und vorrichtung zum einstellen eines spalts zwischen zwei objekten auf eine vorbestimmte groesse |
-
1989
- 1989-02-16 EP EP89301473A patent/EP0332300B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-02-16 DE DE1989623018 patent/DE68923018T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE68923018T2 (de) | 1995-11-09 |
EP0332300A2 (de) | 1989-09-13 |
EP0332300A3 (en) | 1989-10-11 |
EP0332300B1 (de) | 1995-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3881808D1 (de) | Verfahren zum messen eines walzenprofiles und vorrichtung dafuer. | |
DE69033269T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Position und Stellung eines Gegenstandes | |
DE68923249D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen und Steuern eines Flüssigkeitsdurchflusses. | |
DE3854348T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Form einer dreidimensional gekrümmten Oberfläche. | |
DE68916762D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum nivellieren einer die schwerkraft messenden anordnung. | |
DE69014428D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Überprüfen eines papierartigen Stückes. | |
DE68907614D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum kompensieren des messgeraetefehlers bei einem rotierenden verdraengungszaehler. | |
DE3877191T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum messen einer dreidimensionalen gekruemmten oberflaeche. | |
DE68923453D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum trocken eines bandes. | |
DE3684594D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum messen der blickrichtung. | |
DE69003750T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Spannung eines bewegenden Fadens. | |
DE69123267D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Spaltes zwischen zwei einander gegenüberliegenden Objekten | |
DE418446T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum nachweis der position eines koerpers. | |
DE69118873D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum messen der vorschubgeschwindigkeit eines gerätes im bohrloch | |
DE69124333D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Querschnittdimensionen eines Stahlprofils | |
DE69015735T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen von schmalen Spalten. | |
DE69000727D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum messen der linienbreite mit optischem abtasten. | |
DE69002601D1 (de) | Vorrichtung zum messen eines parameters. | |
DE58900942D1 (de) | Verfahren und einrichtung zum beruehrungslosen ausmessen eines werkstueckes. | |
DE68915363D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Einstellen der Klassifikationsgenauigkeit eines Münzprüfers. | |
DE69113696T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der dreidimensionalen Anordnung eines drahtartigen Objekts in kurzer Zeit. | |
DE59209124D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Entfernungen | |
DE68912424D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Anpassen der Funkenstrecke eines berührungsfreien Lithotriptors. | |
DE69701260T2 (de) | Verfahren, vorrichtung und gerät zum messen des abstands zwischen einem gegenstand und einem gerät | |
DE68923018D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines Zwischenraumes zwischen zwei Objekten. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |