DE6610041U - MEANDER-SHAPED LADDER SYSTEM, IN PARTICULAR AS READING LINE FOR THIN-LAYER STORAGE. - Google Patents

MEANDER-SHAPED LADDER SYSTEM, IN PARTICULAR AS READING LINE FOR THIN-LAYER STORAGE.

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DE6610041U
DE6610041U DE19686610041 DE6610041U DE6610041U DE 6610041 U DE6610041 U DE 6610041U DE 19686610041 DE19686610041 DE 19686610041 DE 6610041 U DE6610041 U DE 6610041U DE 6610041 U DE6610041 U DE 6610041U
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Description

SIEIE-IJS AKTIENGESELLSCHAFT München 2 2 2. 4. 88SIEIE-IJS AKTIENGESELLSCHAFT München 2 2 2. 4. 88

Wittelsbacherplatz PAWittelsbacherplatz PA

68/235068/2350

Meanderförniges Leitersystem, insbesondere als Leseleitung für DünnschichtspeicherMeander-shaped conductor system, especially as a reading line for thin-film storage

/Ke M BpIsI ViQ / Ke M BpIsI ViQ

Die bezieht sich auf einen meanderförmigen, eine vorgegebene Fläche überdeckenden Leitersug, der nit Hilfe von Masken auf eine isolierende Unterlage J) aufgebracht ist, sov/ie auf einen Satz Masken zur Herstellung eines solchen Leiterzugeo.This relates to a meander-shaped conductor line covering a predetermined area, which is applied to an insulating substrate J) with the aid of masks, so / ie to a set of masks for producing such a conductor line.

Derartige meanderförnige Leiterzüge v/erden insbesondere als Leccleitung für Speicher, speziell für supraleitende Dünnschichtspeicher verwendet. Insbesondere überdeckt ein solcher Leiterzug die Fläche mit einzelnen Teilstücken des Meanders, die zu einer der Flächendiagonalen parallel gerichtet sind.Such meandering conductor tracks are in particular grounded as a Lecc line for storage, especially for superconducting Thin film storage used. In particular, such a conductor track covers the area with individual ones Sections of the meander that are directed parallel to one of the surface diagonals.

Es sind bereits verschiedenartige Meanderführungen des Leitorzugeo für eine Leseleitung eines Dünnschichtspeichers angegeben worden. Aufgabe der vorliegenden SThere are already various meander guides of the Leitorzugeo for a read line of a thin-film storage system has been specified. Task of the present S

PA 9/501/34-0
Bts/Bi
PA 9/501 / 34-0
Bts / Bi

PA 9/501/340 - 2 - Γ PA 9/501/340 - 2 - Γ

Vejq
■ ist es, eine solche Leiterführung anzugeben, die eine geringe Induktivität hat, die geringe Störempfindlichkeit aufweist und deren Ausgänge insbesondere möglichst nahe beieinander liegen, wobei der Leiterzug mit nicht mehr als zwei Masken auf einer isolierenden Unterlage, insbesondere durch Aufdampfen hergestellt werden kann. .
Vejq
■ is to specify such a conductor run that has a low inductance, has low susceptibility to interference and whose outputs are in particular as close as possible to each other, wherein the conductor run can be made with no more than two masks on an insulating base, in particular by vapor deposition. .

Diese Forderungen erfüllt eine meanderförmige Leitungsführung, die geraäß dadurch gekennzeichnet xst, daß der Leiterzug in wesentlichen aus Teilstücken besteht, die geradlinig und zueinander parallel von einem r Rand der Fläche zu einem anderen Rand der Flache verlaufen und die so verteilt sind, daß ein Strom auf dem Wege von den einen Eingangsanschluß zum· anderen Eingangsanschluß in wesentlichen so verläuft, daß er als "äußere Schleifen" bezeichnete Schleifen durchläuft, von denen eine jede eine, als "innere Schleife" bezeichnete Schleife seines Weges fast vollständig ohne Überkreuzung umschließt, wobei mindestens ein Anteil einer solchen äußeren Schleife auch Anteil einer inneren Schleife ist. Insbesondere ist die Fläche durch das von einem der Singangs-These requirements are fulfilled by a meandering line guide xst geraäß characterized in that the conductor track is substantially of the portions, extend rectilinearly and parallel to each other from a r edge of the surface to another edge of the surface and which are distributed so that a current on The path from one input connection to the other input connection essentially runs in such a way that it passes through loops called "outer loops", each of which encloses a loop of its path called "inner loop" almost completely without crossing, with at least one Part of such an outer loop is also part of an inner loop. In particular, the area is determined by the one of the Singang-

anschlüsse ausgehende gradlinige Teilstück in zwei Hälften aufgeteilt, in denen der Leiterzug jeweils is wesentlichen parallel zu dieser Aufteilung verlaufend, die entsprechen-(_. de Hälfte von inne2i nach außen und wieder nach innen fortschreitend nit, wie oben beschrieben, abwechselnd sich einan der umgebenden Schleifen des Leiters überdeckt= Vorzugsweise liefen die Anschlüsse zueinander unmittelbar "benachbart am Rande der Fläche.Outgoing connections straight section in two halves divided, in which the ladder route is essential in each case running parallel to this division, which correspond to - (_. the half from inne2i outwards and again progressing inwards nit, as described above, alternately overlaps one of the surrounding loops of the conductor = preferably the connections ran directly adjacent to one another on the edge of the area.

Als Schleife ist im Sinne der ein wie aus den Figuren zu entnehmender TJ-förmiger Verlauf zu verstehenAs a loop is in and out of the Figures to be taken to understand TJ-shaped course

g
Zu der führte zunächst die Aufgabe, eine Meander führung ausfindig zu machen, die mit nur zwei Masken, vorzugsweise durch Aufdampfen, hergestellt werden kann. Dabei soll ,Jede der Masken nur solche Öffnungen aufweisen, die
G
The first task that led to this was to find a meander guide that can be produced with just two masks, preferably by vapor deposition. Each of the masks should only have openings that

PA 9/501/340 - 3 -PA 9/501/340 - 3 -

die Stabilität der Masken nicht beeinträchtigen. Solche Beeinträchtigungen treten z.B. auf, wenn die streifenförnigen Öffnungen eine lange Zunge oder ein ähnliches Gebilde in den abdeckenden Teil einer Maske bilden= Tatsächlich konnte ein. wie oben beschriebenes Prinzip für eine Me and erführung aufgefunden werden, nach-äQP der Leiterzug mit nur zwei Masken hergestellt werden kann, bei denen die ausgesparten Öffnungen nur geradlinige Streifen bilden, die miteinander auch keine Berührung haben und die entweder nur kurz im Verhältnis zu den linearen Abmessungen der Fläche sind (Maske 1) oder die ausschließlich parallel zueinander sind (Maske 2) . Solche Masken haben nicht nur eine große mechanische Stabilität, sondern damit verbunden, auch eine sehr viel größere Genauigkeit in ihren Abmessungen» Eine solche Einzelmaske 1 oder 2 kann natürlich für sich auch aus mehreren aufeinanderzulegenden Teilstücken bestehen, von denen z.B. eine mechanisch stabile^ dicke P3.atte mit größeren Aussparungen eine dünne, mit den genauen Aussparungen versehene Folie trägt und unterstützt«do not affect the stability of the masks. Such impairments occur, for example, when the strip-shaped Openings to form a long tongue or similar structure in the covering part of a mask = Indeed one could. as the principle described above for a measurement can be found, according to -QP The conductor run can be made with only two masks, in which the recessed openings are only rectilinear Form stripes that have no contact with each other and either only briefly in relation to each other to the linear dimensions of the surface (mask 1) or which are exclusively parallel to each other (mask 2). Such masks not only have great mechanical stability, they also have, associated with this, a Much greater accuracy in its dimensions »Such a single mask 1 or 2 can of course also be used on its own consist of several pieces to be laid one on top of the other, of which e.g. a mechanically stable ^ thick P3 larger gaps a thin film with the exact gaps bears and supports «

h ei* er n ηαςh ei * er n ηας

Dxe aufgefundene gemäße Leiterführung bringt dabei auch noch zwei Vorteile bezüglich ihrer elektrischen Sigenschaften, nämlich geringere Induktivität und The current conductor routing that has been found also brings two advantages with regard to its electrical properties, namely lower inductance and

C eine geringe Empfindlichkeit gegen elektromagnetische Störungen von außen.C low sensitivity to electromagnetic External interference.

ist es auch., daß nur noch zv/ei Masken, d.h. nui- noch zvrei aufeinanderfolgende Auftragvorgänge für die Leiter vorzunehmen sind, um einen vollständigen Leitersug herzustellen. Bas erspart beim Aufdampfen unter anderen Saun in Eezipienten der Auf dampf anlage. Alle für die Aufdaia^fuxig des vollständigen Leiterzuges erforderlichen Masken müssen nämlich bereita in dem einen Rezipienten exakt justiert angeordnet sein, denn auch in 'dem Zeitraum zwischen den zeitlich nacheinander vorzunehmenden Auföanmungen muß das Takuun stets aufrecht erhalten bleiben,it is also. that only two masks remain, i.e. only two consecutive application processes for the ladder must be made to ensure a complete ladder suction to manufacture. Bas saves the steaming system when steaming, among other saunas in eezipients. All for the Aufdaia ^ fuxig the complete ladder line required Masks have to be ready in the one recipient be arranged exactly adjusted, because also in 'the period between the consecutive The Takuun must always be maintained

161004128.1. η 161004128.1. η

PA 9/501/340 - 4 -PA 9/501/340 - 4 -

Ein weiterer, nicht unwesentlicher Vorteil der Erfindung ist die Verringerung der zur Herstellung der Muster für die jgenäßen Masken erforderlichen Zeichenarbeit am ,sogenannten Koordinatographen.A further, not insignificant advantage of the invention is the reduction in the drawing work required on the so-called coordinatograph to produce the patterns for the respective masks.

V/eitere Einzelheiten der gehen aus den Figuren bevorzugter Ausftmrungsbei spiele nach der grrinaung hervor.Further details can be found in the figures preferred examples after the discussion.

1 bezeichnet den raeanderförnigen Leitungszug mit den vorzugsweise unmittelbar benachbarten Anschlüssen 2 und 3. Wie aus Fig. 1 ersichtlich, teilen die von 2 und 3 ausgehenden,einander parallel verlaufenden Anfangsteile 4 und dec lei-i;erzuges ilen ganzen Leiterzug, in zwei zueinander in wesentlichen symmetrische Hälften 6 und 7 auf. In diesen Hälften verläuft der Leiter mit zueinander parallelen, zur Fläche diagonal gerichteten Teilstücken meanderförmig von der Mitte zu einer Ecke unä wieder zurück zur Mitte. Der Übergang von der einen Hälfte zur anderen Hälfte ist in dem Ausführungsbeispiel an der Stelle 8. Wie der Fig. 1 zu entnehmen ist, verlaufen Hin- und Herweg des Leiters in jeder Hälfte in siteinancler absreehaelsd voneinander fast völlig umschlossenen, sich nicht überkreuzenden Schleifen in ü-Form.1 denotes the rougher-shaped cable run with the preferably directly adjacent connections 2 and 3. As can be seen from FIG. 1, those from 2 and 3 share one another parallel starting parts 4 and dec lei-i; erzuges ilen whole conductor run, in two to each other essentially symmetrical halves 6 and 7. In these The conductor runs meandering from two halves, with parts parallel to each other and diagonally directed to the surface the middle to a corner and back to the middle again. The transition from one half to the other half is in that Exemplary embodiment at point 8. As can be seen from FIG. 1, the conductor runs back and forth in FIG each half in siteinancler absreehaelsd from each other almost completely enclosed, non-crossing loops in u-shape.

Bei den Ausführungsbeispiel ist der Träger 13 des Leitersystens z.S. eine Kunstotoffolie, die in einem Rahmen befestigt ist, der auch ü±q Ansciilufikontakte 11 und 12 für öle Leseleitiing sowie andere, je nach Verwendungszweck unterschiedliche, hiei.-nicht dargestellte Kontaktansehlüsse oder Abschirmungen trägt.In the embodiment, the support 13 of the Leitersystens zS, which also ü ± q Ansciilufikontakte 11 and 12 other different depending on the application, not hiei.-bearing a Kunstotoffolie which is mounted in a frame for oils Leseleitiing and Kontaktansehlüsse or shields illustrated.

Figur 2 zeigt ein weiteres AusführungsbeisBiel nach der -Sg-. Hier erstreckt sich der Hin- und Herweg mit ineisander verschlungenen Schleifen aui die gesamte zu überdeckende Fläche.Figure 2 shows a further AusführungsbeisBiel after -Sg-. Here the to and fro stretches with one another intertwined loops aui the entire to be covered Area.

• w w · www· * w * j.· * λ- !?.• w · www · * w * j. · * Λ-? .

PA 9/501/340 - 5 -PA 9/501/340 - 5 -

Von den Anschliioaen 2 und 3 auo verlaufen dio "beiden von dort ausgehenden, an ihren anderen Ende 18 .miteinander verbundenen Fäliten des Leitcrau^cc, wie es ^dk entspricht, ohne ÜbcrkrcusungBoth of them run from connections 2 and 3 auo from there emanating, at their other end 18. interconnected Fäliten des Leitcrau ^ cc, like es ^ dk corresponds to, without overriding

in abwechselnd ineinander verschlungenen Schleifenin alternating intertwined loops

Sc-Liut-zjSc-Liut-zj

$ 4 an Gi>r üche $ 4 to Gi> rüche

§. '"" /■-■■·■ §. '"" / ■ - ■■ · ■

S 2 PigurenS 2 Piguren

66100Α125Λ7366100Α125Λ73

Claims (2)

. Meanderfömiger, eine vorgegebene Pläche überdeckender Leiterzug, der mit Hilfe von Masken auf eine isolierende Unterlage aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Leiterzug in wesentlichen aus Teilstücken besteht, die gcr; dlinig und zueinander parallel von einen Rand der ?läche zu einen anderen Hand der Fläche vcrlaufesi und die so verteilt sind, daß ein Stron auf den Y/egc von ilen·1--einen Eingangsanschliiß zu den anderen Eingangs ana chluß des Lcitcrzugea in \veaentlichcn so verläuft, daß er äußere Schleifeii durchläuft, von denen eine jede eine innere Schleife seines Weges fast vollständig und ohne ijborkreusung umschließt, wobei nindestcnc ein Anteil einer solchen äußeren Schleife auch ein Anteil einer inneren Schlaife ist.. Meander-shaped, a predetermined surface covering conductor run, which is applied with the help of masks on an insulating base, characterized in that the conductor run consists essentially of parts that gcr; in a straight line and parallel to one another from one edge of the surface to another hand of the surface and which are distributed in such a way that a stream is inevitable on the Y / egc of ile1 - one input connection to the other input connection of the lite runs in such a way that it runs through outer loops, each of which encloses an inner loop of its path almost completely and without intersection, with at least a portion of such an outer loop also being a portion of an inner loop. 2. leiterzug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das von einen der Eingangsanschlüssc ausgehende geradlinige Toilctück die Fläche inv."\vGcentlichen in zwei Hälften aufteilt, in denen der leiterzug, jcv,rcils in wesentlichen parallel zu dieser Aufteilung verlaufend, die entsprechende Halfto von innen nach außen und wieder nach innen fortschreitend mit abwechselnd sich einander ungobendcn Schleifen des Leiters überdeckt .2. ladder assembly according to claim 1, characterized in that the rectilinear toilet outgoing from one of the input terminals divides the area inv. "\ vGcentlichen into two halves, in which the ladder, jcv, rcils are essentially parallel to running along this division, the corresponding half of inside outwards and again inwards progressing with alternating unobstructed loops of the conductor . 3· Leiterzug nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlüsse dos Lcitorzugcs an unmittelbar zueinander benachbarten Stellen an Rande der Plächc liegen.3 ladder run according to claim 1 or 2, characterized in that that the connections dos Lcitorzugcs to directly to each other adjacent places on the edge of the Plächc lie. 4» Liaskensatz zur Herstellung eines Loiterzuges nach einen der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß er nur aus zwei Einzclniasken besteht, in denen die für den Leiterzug ausgesparten Öffnungen in der einen I.Iaskc nur kur« in Vorhültnis si; dc-: linCL-.rcn Abmessungen der i'läche sind und in der anderen Iiacko die Öffiiungcn ausschließlich parallel zueinander sind.A set of lines for the production of a loiter train according to one of claims 1, 2 or 3, characterized in that it consists only of two individual clamps in which the openings for the ladder train are only briefly present in one of them; dc- : linCL-.rcn dimensions of the surface and in the other Iiacko the openings are exclusively parallel to one another.
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