Verfahren zur Herstellung von Hochvakuumgefäßen Beim Entlüften von
Entladungsgefäßen, die mit mehr oder weniger hohem Vakuum arbeiten, wird gewöhnlich
an die Elektroden betriebsmäßige Hochspannung gelegt. Auf diese Weise kann die jeweils
als Anode dienende Elektrode durch Elektronenbombardement von der jeweils als Kathode
dienenden Elektrode her erhitzt und so entgast werden. Diese Art der Entlüftung
ist mit mancherlei Nachteilen verbunden.. Insbesondere ist die meistens aus einem
dünnen Wolframdraht bestehende Glühkathode bei diesem Verfahren leicht der Zerstörung
ausgesetzt. Man hat daher beispielsweise zur Entlüftung von mit Ionenentladung arbeitenden
Röntgenröhren vorgeschlagen, die Elektroden mit Heizmitteln zu versehen, mit deren
Hilfe die direkte Erhitzung 'der Elektroden ohne Anlegung von Hochspannung vorgenommen
werden kann.Process for the manufacture of high vacuum vessels When venting
Discharge vessels that work with a more or less high vacuum are common
Operational high voltage is applied to the electrodes. In this way each
Electrode serving as anode by electron bombardment from each as cathode
serving electrode are heated forth and so degassed. This type of ventilation
is associated with various disadvantages. In particular, it is mostly from one
Thin tungsten wire existing hot cathode easily destroyed in this process
exposed. One therefore has, for example, to ventilate those working with ion discharge
X-ray tubes proposed to provide the electrodes with heating means, with their
Help the direct heating 'of the electrodes without the application of high voltage
can be.
Dieses Verfahren hat beim Betrieb von mit reiner Elektronenentladung
arbeitenden Entladungsgefäßen nicht zum gewünschten Erfolg geführt. Um das Verfahren
des hochspannungslosen Pumpens mit Erfolg auch bei Elektronenröhren anwenden zu
können, muß man sich erfindungsgemäß noch eines besonderen Hilfsmittels bedienen.
Bei Entladungsgefäßen der letztgenannten Art hat man beobachtet, daß sich immer
dann Aufladungen der Gefäßwand zeigten, wenn das Gefäß ohne Verwendung von Hochspannung
entlüftet war. Diese Aufladungen hatten die unangenehme Folge, daß sie infolge ihrer
regellosen Verteilung den Entladungsvorgang in unberechenbarer Weise beeinflussen
und bei Röntgenröhren auch Anlaß zu Änderungen in der Größe und Lage des Brennflecks.
auf der Anode geben, und daß sie an einzelnen Teilen der Glaswand Stellen bilden,
die bevorzugt zu Durchschlägen neigen. Daß diese Übelstände bei den gleichen Röhren,
die aber unter Verwendung von Hochspannung gepumpt wurden, nicht eintreten, hat
seinen .Grund darin, daß beim Pumpen unter Verwendung von Hochspannung stets eine
leichte kathodische Zerstäubung des Wolframdrahtes eintritt und sich infolgedessen
ein gleich dünner Metallniederschlag auf der Gefäßwandung in Höhe der Entladung
bildet. Die Leitfähigkeit dieses Überzugs ist gerade groß genug, die auf die Gefäßwandung
auffallenden Elektronen sofort gleichmäßig zu verteilen bzw. über geerdete Metallteile,
die an die Glaswand angrenzen, abzuleiten.This method has when operating with a pure electron discharge
working discharge vessels did not lead to the desired success. To the procedure
of high-voltage-free pumping can also be used successfully with electron tubes
can, one must use a special tool according to the invention.
In the case of discharge vessels of the last-mentioned type, it has been observed that always
then charges of the vessel wall showed when the vessel was not using high voltage
was vented. These charges had the unpleasant consequence that they were due to their
random distribution affect the discharge process in an unpredictable way
and in the case of X-ray tubes also give rise to changes in the size and position of the focal spot.
on the anode, and that they form places on individual parts of the glass wall,
which tend to break down. That these evils with the same tubes,
but which were pumped using high voltage, did not occur
its .Rund is that when pumping using high voltage always a
slight cathodic sputtering of the tungsten wire occurs and as a result
an equally thin metal deposit on the vessel wall at the level of the discharge
forms. The conductivity of this coating is just large enough to apply to the vessel wall
immediately distribute incident electrons evenly or via earthed metal parts,
which are adjacent to the glass wall to derive.
Erfindungsgemäß werden Hochspannungsvakuumgefäße, insbesondere Röntgenröhren
und Hochspannungsventilröhren, bei denen die Innenseite der Gefäßwand leitend gemacht
und dadurch Ableitung oder Verteilung der auffallenden Elektronen ermöglicht ist,
in der Weise hergestellt, daß die Röhren
bis zum Abschmelzen von
der Pumpe nicht an eine solche Hochspannung gelegt werden, die eine praktisch merkliche
Entgasung herbeiführt. Zu diesem Zweck kann die Gefäß=
auf der Innenseite der Gefäßwandung ein dünner Belag erzeugt werden, dessen Leitfähigkeit
gerade genügt, eine gleichmäßige Verteilung oder schnelle Ableitung von auffallenden
Elektronen zu erzielen. Trifft man diese Maßnahme, so kann man auch betriebssichere
Hochvakuumentladungsgefäße, die also mit reiner Elektronenentladung arbeiten, dadurch
entgasen, daß man ohne Anwendung von Hochspannung die Elektroden und die Gefäßwandung
während der Entlüftung erhitzt.According to the invention, high-voltage vacuum vessels, in particular X-ray tubes and high-voltage valve tubes, in which the inside of the vessel wall is made conductive and thereby enables the discharge or distribution of the incident electrons, are manufactured in such a way that the tubes are not connected to such a high voltage until the pump melts, which brings about a practically noticeable degassing. For this purpose the vessel =
A thin coating can be produced on the inside of the vessel wall, the conductivity of which is just sufficient to achieve a uniform distribution or rapid dissipation of incident electrons. If this measure is taken, it is also possible to degas reliable high-vacuum discharge vessels, which therefore work with pure electron discharge, by heating the electrodes and the vessel wall during venting without the use of high voltage.
Es ist an sich bekannt, in Entladungsgefäßen zur Bindung schädlicher
Gase ein Metall zu verdampfen, welches sich gewöhnlich an einer Stelle oder der
ganzen Gefäßwandung niederschlägt.It is known per se to be harmful to binding in discharge vessels
Gases to vaporize a metal, which is usually in one place or the
precipitates throughout the vessel wall.