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Die
vorliegende Erfindung betrifft den Bereich der Leuchtvorrichtungen.
Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung organische Festkörperlaser.
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Flächenemittierende
Vertical-Cavity-Laser (VCSEL) auf Basis anorganischer Halbleiter
(z.B. AlGaAs) werden seit Mitte der 80er Jahre entwickelt (K. Kinoshita
et al., IEEE J. Quant. Electron. QE-23, 882 [1987]). Mittlerweile
wurde ein Punkt erreicht, an dem AlGaAs-basierende VCSEL mit einer
Abstrahlung von 850 nm von mehreren Unternehmen hergestellt werden
und eine Lebensdauer von mehr als 100 Jahren aufweisen (K. D. Choquette
et al., Proc. IEEE 85, 1730 [1997]). Mit dem in den vergangenen
Jahren verzeichneten Erfolg dieser Nahinfrarot-Laser hat sich die
Aufmerksamkeit auf weitere Systeme aus anorganischen Materialien
zur Herstellung von VCSEL gerichtet, die Licht im sichtbaren Wellenbereich abstrahlen
(C. Wilmsen et al., Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers, Cambridge
University Press, Cambridge, 2001). Für sichtbare Laser gibt es zahlreiche
erfolgreiche Anwendungen, beispielsweise Anzeige, lesbare oder beschreibbare
optische Speicher und Telekommunikation über kurze Strecken unter Verwendung
kunststoffoptischer Fasern (T. Ishigure et al., Electron. Lett.
31, 467 [1995]). Trotz des weltweiten Bemühens zahlreicher industrieller
und akademischer Laboratorien ist es noch ein weiter Weg bis zur
Herstellung wirtschaftlicher Laserdioden (entweder kantenemittierender
LEDs oder VCSELs), die das sichtbare Spektrum umspannen.
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In
dem Bemühen
zur Herstellung von VCSELs mit sichtbarer Wellenlänge wäre es vorteilhaft, anorganische
Systeme aufzugeben und sich auf organische Lasersysteme zu konzentrieren.
Organische Materialien haben Eigenschaften, die sie für Verstärkungsmedien
in diesen Lasern geeignet machen, wie beispielsweise niedrige Streu-/Absorptionsverluste
und hohe Quanteneffizienz. Organische Laser bieten gegenüber anorganischen
Systemen insofern zahlreiche Vorteile, als dass sie relativ preisgünstig herzustellen
sind und so ausgelegt werden können,
dass sie über
den gesamten sichtbaren Bereich abstrahlen.
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Der übliche Weg
zur Herstellung eines wirtschaftlichen Laserdiodensystems besteht
in der Verwendung einer elektrischen Injektion im Unterschied zum
optischen Pumpen, um die notwendige Populationsinversion in der
aktiven Region der Vorrichtung zu erzeugen. Dies ist für anorganische
Systeme der Fall, da deren optisch gepumpte Schwellenwerte für großflächige Vorrichtungen
im Bereich von 104 W/cm2 liegen
(siehe P. L. Gourley et al., Appl. Phys. Lett. 54, 1209 [1989]).
Derartig hohe Leistungsdichten sind nur erreichbar, indem man andere
Laser als Pumpquellen verwendet, wodurch der Weg für anorganische
Laserkavitäten
ausgeschlossen ist. Ungepumpte organische Lasersysteme weisen stark
reduzierte kombinierte Streu-/Absorptionsverluste (~0,5 cm–1)
auf der Laserwellenlänge
auf, insbesondere wenn eine Kombination aus Wirt und Dotierung als aktives
Medium verwendet wird. Optisch gepumpte Leistungsschwellenwerte
unterhalb von 1 W/cm2 sollten daher erzielbar
sein, insbesondere wenn ein VCSEL-basierendes Mikrokavitätendesign
verwendet wird, um das aktive Volumen zu minimieren (das niedrigere
Schwellenwerte bewirkt). Bei diesen Leistungsschwellenwerten wird
es möglich,
organische Vertical-Laser-Cavities mithilfe inkohärenter Leuchtdioden
(LEDs) optisch zu pumpen. Dieses Ergebnis ist für amorphe organische Lasersysteme
von großer Bedeutung,
da deren Ansteuerung durch elektrische Injektion bis dato nicht
möglich
war, und zwar vorwiegend aufgrund der niedrigen Trägermobilität organischer
Materialien (N. Tessler et al., Appl. Phys. Lett. 74, 2764 [1999]).
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Um
Schwellenwerte unterhalb von 1 W/cm2 zu
erreichen, bedarf es einer optimalen Nutzung der Pumpenstrahlenergie.
Für anorganische
Vertical-Cavity-Lasersysteme beschrieben Brueck et al. (US-A-4,881,236)
und Coldren et al. (US-A-4,873,696), dass durch Ausrichten des Verstärkungsmediums
auf die Wellenbäuche
des elektromagnetischen Stehwellenfeldes des Lasers unerwünschte Spontanemission
erheblich reduziert und der Laserleistungs-Umwandlungswirkungsgrad
verbessert wird. Bislang wurden diese Ideen noch nicht auf organische
Lasersysteme angewandt.
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Kozlov
et al (US-A-6,160,828) beschreiben einen Laser mit einer gestapelten
Anordnung von OVCSEL-Strukturen.
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Der
vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine organische
flächenemittierende
Laseranordnung bereitzustellen, die insbesondere geeignet ist, um
eine Optimierung des organischen Aktivbereichs, eine Verbesserung
des Leistungsumwandlungswirkungsgrads und eine Beseitigung unerwünschter
parasitärer
Spontanemission zu ermöglichen.
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Diese
Aufgaben werden durch eine organische Vertical-Cavity-Laser-Array-Vorrichtung
gemäß den anliegenden
Ansprüchen
gelöst.
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Die
vorliegende Erfindung hat den Vorteil, den Betrieb einer Vertical-Cavity-Konstruktion
zu verbessern, die obere und untere dielektrische Stapel mit hohem
Reflexionsvermögen
umfasst sowie Verstärkungsbereiche,
die aus organischem Material mit niedriger Molmasse bestehen, wobei
die Verstärkungsbereiche
an den Wellenbäuchen
des elektromagnetischen Stehwellenfeldes des Lasers angeordnet sind.
Demzufolge wird der Leistungsumwandlungswirkungsgrad verbessert,
und auf Spontanemission zurückzuführende unerwünschte Ausgaben werden
erheblich reduziert.
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Die
Erfindung wird im folgenden anhand in der Zeichnung dargestellter
Ausführungsbeispiele näher erläutert.
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Es
zeigen:
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1 eine
schematische Seitenansicht eines optisch gepumpten, organischen
Vertical-Cavity-Lasers.
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2 eine
Kurve des berechneten Reflexionsvermögens des oberen und unteren
dielektrischen Stapels;
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3 eine
schematische Seitenansicht eines erfindungsgemäßen, optisch gepumpten organischen
Vertical-Cavity-Lasers mit Darstellung der Platzierung des Verstärkungsbereichs
innerhalb des Aktivbereichs;
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4 eine
Kurve eines berechneten elektrischen Stehwellenfeldes in der Laserkavität;
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5 eine
Kurve des gemessenen optischen Leistungsspektrums zum Vergleich
von Vertical-Cavity-Lasern mit einem massiven Verstärkungsbereich
einerseits und einem periodischen Verstärkungsbereich andererseits;
und
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6 eine
Kurve zur Darstellung der optischen Ausgangsleistung gegenüber der
Eingangsleistung eines organischen Vertical-Cavity-Lasers mit einem
periodischen Verstärkungsbereich.
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1 zeigt
eine schematische Darstellung einer organischen Vertical-Cavity-Laserstruktur 10. Das
Substrat 20 kann entweder lichtdurchlässig oder opak sein, je nach
vorgesehener Richtung des optischen Pumpens und der Laseremission.
Das lichtdurchlässige
Substrat 20 kann transparentes Glas oder transparenter
Kunststoff sein. Alternativ hierzu sind auch opake Substrate verwendbar,
beispielsweise, aber nicht abschließend, Halbleitermaterialien (beispielsweise
Silicium) oder keramische Materialien, falls optisches Pumpen und
Laserabstrahlung durch die gleiche Oberfläche erfolgen sollen. Auf dem
Substrat ist ein unterer dielektrischer Stapel 30 angeordnet,
gefolgt von einem organischen Aktivbereich 40. Anschließend wird
ein oberer dielektrischer Stapel 50 aufgebracht. Ein Pumpstrahl 60 pumpt
die Vertical-Cavity-Laserstruktur 10 optisch.
Die Pumpstrahlenquelle kann inkohärent sein, wie beispielsweise
die Strahlung von einer Leuchtdiode (LED). Alternativ hierzu kann
der Pumpstrahl aus einer kohärenten
Laserquelle stammen. Die Figur zeigt die Laseremission 70 durch
den oberen dielektrischen Stapel 50. Entsprechende Reflexionseigenschaften
des dielektrischen Stapels vorausgesetzt, könnte alternativ hierzu die
Laserstruktur optisch durch den oberen dielektrischen Stapel 50 gepumpt
werden, so dass die Laseremission durch das Substrat 20 erfolgt.
Im Falle eines opaken Substrats, z.B. Silicium, erfolgen das optische
Pumpen und die Laseremission durch den oberen dielektrischen Stapel 50.
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Die
unteren und oberen dielektrischen Stapel 30 bzw. 50 werden
vorzugsweise mittels herkömmlicher
Elektronenstrahlabscheidung aufgebracht und können abwechselnd dielektrische
Materialien mit hohem und niedrigem Index umfassen, beispielsweise
TiO2 bzw. SiO2.
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Andere
Materialien, wie Ta2O5 für die Schichten
mit hohem Index, sind ebenfalls verwendbar. Der untere dielektrische
Stapel 30 wird bei einer Temperatur von ca. 240°C aufgebracht.
Während
des Aufbringens des oberen dielektrischen Stapels 50 wird die
Temperatur bei ca. 70°C
gehalten, um ein Schmelzen der organisch aktiven Materialien zu
vermeiden. In einem alternativen Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung wird der obere dielektrische Stapel durch Aufbringen einer
reflektierenden Metallspiegelschicht ersetzt. Typische Metalle sind Silber
oder Aluminium mit einem Reflexionsgrad von über 90%. In diesem alternativen
Ausführungsbeispiel
würden
der Pumpstrahl 60 und die Laseremission 70 durch
das Substrat 20 treten. Der untere dielektrische Stapel 30 und
der obere dielektrische Stapel sind so ausgelegt, dass sie Licht über einen
vorbestimmten Wellenlängenbereich
zu reflektieren vermögen.
Es wurde durch Versuche festgestellt, dass das Reflexionsvermögen sowohl
des oberen als auch des unteren dielektrischen Stapels zur Erzielung
von Laserspitzen von kleiner als 1 nm (FWHM) (volle Breite bei halbem
Maximum) größer als
99% bei Laseremissionswellenlänge
sein muss. 2 zeigt als eine Funktion der
Wellenlänge
das berechnete Reflexionsvermögen 80 des
oberen dielektrischen Stapels und das Reflexionsvermögen 90 des unteren
dielektrischen Stapels für
eine Laserkavität, die
für eine
Laseremission von 660 nm ausgelegt ist. Für die Berechnung wurde angenommen,
dass der Pumpstrahl 60 und die Laseremission 70 durch
den oberen dielektrischen Stapel 50 treten. Der Konstruktion
aus dielektrischen Stapeln wurden weitere Schichten hinzugefügt, so dass
der untere dielektrische Stapel 30 gegenüber dem
Pumpstrahl (bei 404 nm) stark reflektierte, während der obere dielektrische
Stapel 50 gegenüber
dem Pumpstrahl 60 stark durchlässig war. Dementsprechend umfassten
der obere und untere dielektrische Stapel 25 bzw. 29 Schichten
aus SiO2 bzw. TiO2.
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3 zeigt
eine schematische Seitenansicht der organischen Vertical-Cavity-Laserstruktur 10 mit einer
detaillierteren Ansicht des organischen Aktivbereichs 40.
Der organische Aktivbereich 40 umfasst einen oder mehrere
periodische Verstärkungsbereiche 100 und
organische Abstandsschichten 110, die auf einer Seite der
periodischen Verstärkungsbereiche so
angeordnet sind, dass die periodischen Verstärkungsbereiche auf die Wellenbäuche des
elektromagnetischen Stehwellenfeldes der Vorrichtung ausgerichtet
sind. Dies wird in 3 gezeigt, in der das Muster 120 des
elektromagnetischen Stehwellenfelds in dem Aktivbereich 40 schematisch
dargestellt ist. Da die stimulierten Emissionen an den Wellenbäuchen am
höchsten
und an den Knoten des elektromagnetischen Feldes am kleinsten sind,
ist es vorteilhaft, den organischen Aktivbereich 40 wie
in 3 gezeigt auszubilden. Die organischen Abstandsschichten 110 sind
keiner stimulierten oder spontanen Emission unterworfen und absorbieren
weder die Laseremission 70 noch die Wellenlängen des Pumpstrahls 60.
Ein Beispiel einer Abstandsschicht 110 ist das organische
Material 1,1-Bis-(4-Bis(4-Methylphenyl)-Aminophenyl)-Cyclohexan
(TAPC). TAPC eignet sich gut als Abstandsmaterial, weil es weder
die Laseremission noch den Pumpstrahl absorbiert und weil sein Brechungsindex
etwas niedriger ist als der der meisten organischen Wirtsmaterialien.
Diese Brechungsindexdifferenz ist nützlich, da sie dazu beiträgt, die Überlagerung
zwischen den Wellenbäuchen
des elektromagnetischen Feldes und dem periodischen Verstärkungsbereich
oder den Verstärkungsbereichen 100 zu
maximieren. Wie nachstehend unter Bezug auf die vorliegende Erfindung
erläutert,
bewirkt die Verwendung periodischer Verstärkungsbereiche anstelle eines
massiven Verstärkungsbereichs
einen höheren
Wirkungsgrad der Energieumwandlung und eine deutliche Reduzierung der
unerwünschten
Spontanemission.
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Das
bevorzugte Material für
die periodischen Verstärkungsbereiche 100 ist
eine organische Kombination aus Wirts- und Dotierungsmittel mit
kleiner Molmasse, die typischerweise im Hochvakuum thermisch aufgedampft
wird. Diese Kombinationen aus Wirts- und Dotierungsmittel sind vorteilhaft,
weil sie im Verstärkungsmedium
nur sehr kleine ungepumpte Streu-/Absorptionsverluste
bewirken. Vorzugsweise weisen die organischen Moleküle eine
kleine Molmasse auf, da die Schichten gleichmäßiger aufgebracht werden können. Die
in der vorliegenden Erfindung verwendeten Wirtsmaterialien sind
vorzugsweise aus Materialien ausgewählt, die eine ausreichende
Absorption des Pumpstrahls 60 aufweisen und einen großen Prozentsatz
ihrer Anregungsenergie über
eine Förstersche
Energieübertragung
auf das Dotierungsmaterial zu übertragen
vermögen.
Fachleute sind mit dem Konzept der Försterschen Energieübertragung
vertraut, welche eine strahlungslose Übertragung von Energie zwischen
den Wirts- und Dotierungsmolekülen
umfasst. Ein Beispiel einer verwendbaren Kombination aus Wirts-
und Dotierungsmaterial für
rotemittierende Laser ist Alq [Aluminiumtris(8-Hydroxychinolin)]
als Wirtsmaterial und 1% DCJTB [4-(Dicyanmethylen)-2-t-Butyl-6-(1,1,7,7-Tetramethyljulolidyl-9-enyl)-4H-pyran]
als Dotierungsmittel. Andere Kombinationen aus Wirts- und Dotierungsmaterial
können
für die
Emission in anderen Wellenlängenbereichen
verwendet werden, wie z.B. im grünen
und blauen Bereich des sichtbaren Spektrums. Weitere organische
Materialien für
den Verstärkungsbereich
sind beispielsweise Polyphenylenvinylenderivate, Dialkoxy-polyphenylenvinylene,
Polyparaphenylenderivate und Polyfluorderivate, wie von Wolk et
al. in der Parallelanmeldung US-A-6,194,119 B1 und anderen hier
genannten Quellen beschrieben.
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Die
Anordnung der Verstärkungsbereiche wird
mithilfe des üblichen
Matrixverfahrens für
Optiken ermittelt (Corzine et al. IEEE J. Quant. Electr. 25, 1513
[1989]). 4 zeigt ein Bei spiel einer typischen Berechnung
für eine
organische Vertical-Cavity-Laserstruktur 10. Bei der Berechnung
wurde angenommen, dass der periodische Verstärkungsbereich 100 zwei
50 nm dicke Schichten enthielt (zusammengesetzt aus Alq mit 1% DCJTB),
wobei die Abstandsschichten 110 aus TAPC zusammengesetzt
sind. Um gute Ergebnisse zu erzielen, muss die Dicke der periodischen
Verstärkungsbereichsschichten
im Bereich von 50 nm oder darunter liegen. Die Spitzenreflexion
des unteren dielektrischen Stapels betrug ca. 99,98% bei 660 nm,
während
die des oberen Stapels ca. 99,9% bei 660 nm betrug, wobei die Laserkavität für Laseremissionen
durch den oberen dielektrischen Stapel ausgelegt war. In dieser
Figur markieren die beiden vertikalen Strichlinien 130 die
Position der periodischen Verstärkungsbereiche 100.
Die Dicke der umgebenden, optimierten TAPC-Abstandsschicht 110 betrug
(ausgehend von der Seite des unteren dielektrischen Stapels) 167,
146 bzw. 172 nm für
eine Emissionswellenlänge
von 660 nm. Wie in der Figur zu erkennen ist, fluchten die beiden
periodischen Verstärkungsbereiche
genau mit den mittleren Wellenbäuchen.
Außerdem
sei darauf hingewiesen, dass das elektromagnetische Feld in beiden
dielektrischen Stapeln abklingt, allerdings stärker in dem unteren dielektrischen
Stapel mit höherem
Reflexionsvermögen
auf der rechten Seiten von 4. Daher
dringt ein zu vernachlässigender
Anteil des Laserlichts in das Substrat ein, während ein Teil des Laserlichts durch
den oberen dielektrischen Stapel der Vorrichtung abgestrahlt wird.
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Die
folgenden Beispiele werden zum weiteren Verständnis der vorliegenden Erfindung
beschrieben und sind in keiner Weise einschränkend zu verstehen.
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Beispiel
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Um
die Vorrichtungen sowohl auf ihre Spektral- als auch auf ihre Leistungseigenschaften
zu testen, wurde eine organische Vertical-Cavity-Laserstruktur 10 auf
einem 10,16 cm großen
Siliciumsubstrat aufgebracht. Über
dem Substrat wurde mittels herkömmlicher
Elektronenstrahlabscheidung der untere dielektrische Stapel 30 aufgebracht,
der aus abwechselnden Schichten mit niedrigem und hohem Brechungsindex
aus SiO2 bzw. TiO2 bestand.
Der untere dielektrische Stapel wies ein Spitzenreflexionsvermögen von
ca. 99,95% bei 660 nm auf. Auf den unteren dielektrischen Stapel
wurde der Aktivbereich 40 im Hochvakuum thermisch aufgedampft. Es
wurden zwei Fälle
miteinander verglichen: (1) Der Aktivbereich besteht aus einem einzelnen
150 nm dicken Verstärkungsbereich
(aus Alq und 1% DCJTB); und (2) der Aktivbereich besteht aus zwei
20 nm dicken periodischen Verstärkungsbereichen
(Alq und 1% DCJTB) mit TAPC-Abstandsschichten, die auf jeder Seite
aufgebracht sind. Die TAPC-Abstandsschichten
wiesen eine Dicke von 188, 166 bzw. 192 nm auf, beginnend von der
Seite des unteren dielektrischen Stapels. Nach dem Aktivbereich
wurde der obere dielektrische Stapel aufgebracht, der aus wechselnden Schichten
aus SiO2 und TiO2 bestand,
so dass das resultierende, gemessene Spitzenreflexionsvermögen 99,85%
bei 660 nm betrug. Der obere dielektrische Stapel wurde mittels
Elektronenstrahlabscheidung bei einer mittleren Substrattemperatur
von 72°C
aufgebracht.
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Bei
dem Pumpstrahl 60 handelte es sich um die 404 nm Ausgabe
einer 5 mW Nichia-Laserdiode, die auf den oberen dielektrischen
Stapel in einem Winkel von ca. 30° zur
Senkrechten gerichtet wurde. Der Pumplaser erzeugte Laserimpulse
von 50 ns bei einer Frequenz von 5 kHz. Die Pumpstrahlintensität wurde
durch Kombination von zwei Neutraldichterädern eingestellt und auf die
Oberfläche
der Laserkavität
mittels einer Objektivlinse mit 50facher Vergrößerung fokussiert. Mithilfe
eines Nahfeldkamerasystems, das auf die Oberfläche der Vorrichtung fokussiert
war, wurde eine Punktgröße von ca.
2 × 3 μm gemessen.
Die Laseremission 70 der Kavität wurde auf den Eintrittsschlitz
eines Spex-Doppelmonochromators (0,22 m) durch Kombination einer
50 mm/F2-Linse und einer zum Schlitz gelegenen 100 mm/F4-Linse fokussiert
(was eine 2fache Vergrößerung des
Laser-Nahfeldbildes bewirkt). Die Auflösung des Monochromators betrug
ca. 0,45 nm; die Ausgabe wurde mit einer gekühlten Hamamatsu-Photovervielfacherröhre gemessen.
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5 zeigt
das Emissionsspektrum für
zwei verschiedene Laserkavitäten,
die mit derselben Pumpstrahlintensität angeregt wurden. Unter Verwendung
einer Sammellinse, die eine numerische Apertur von 0,25 NA aufwies,
hatten die Laserspitzen für
die beiden Proben (ein 150 nm dicker Verstärkungsbereich und zwei 20 nm
dicke Verstärkungsbereiche)
jeweils ein FWHM von 0,68 bzw. 0,66 nm. Sehr interessant ist, dass
trotz der 2,5 mal höheren Absorption
der Pumpstrahlintensität
(150 nm Dicke) die Laseremissionsspitze im massiven Aktivbereich nur
um einen Faktor von 1,4 größer ist.
Außerdem
lag das Signal der Spontanemission für die Vorrichtung mit zwei
20 nm dicken Verstärkungsbereichen
innerhalb des Hintergrundrauschens des Spektrometers, während der
massive Aktivbereich ein spürbares
Signal von ca. 585 nm aufwies. Dieses Ergebnis lässt sich unter Bezug auf 2 erklären, wo
das Reflexionsvermögen
des oberen dielektrischen Stapels bei 585 nm deutlich abzufallen beginnt,
wodurch jede vorhandene Spontanemission durchgelassen wird. Die
Verwendung von periodischen Verstärkungsbereichen verbessert
den Leistungsumwandlungswirkungsgrad, während das Signal der Spontanemission
deutlich verringert wird. Der Hauptgrund für das Fehlen eines messbaren
Spontanemissionssignals (bei Verwendung periodischer Verstärkungsbereiche)
ist der, dass die stimulierte Emission an den Wellenbäuchen ihren
höchsten
Wert erreicht, und angesichts der Tatsache, dass die stimulierte
Emissionsrate ca. um das Dreifache schneller als die der Spontanemission
ist, wird die gesamte verfügbare Energie
in den periodischen Verstärkungsbereichen in
stimulierte Emission umgewandelt. Das Spontanemissionssignal aus
einem 370 nm dicken massiven Verstärkungsbereich wurde ebenfalls
gemessen. Für diesen
Fall wurde eine Signalstärke
erreicht, die um den Faktor drei größer war als für den 150
nm dicken massiven Verstärkungsbereich.
Auch hier lag die Signalspitze der Spontanemission bei ca. 585 nm.
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6 zeigt
eine Kurve der Pumpstrahlleistung, abgetragen zur Laseremissionsausgangsleistung.
Wie in der Technik bekannt ist, hat der Laserübergang in der Leistungskurve
einen Knick. Wie anhand der Figur zu sehen ist, hat der Vertical-Cavity-Laser
eine Leistungsdichteschwelle von ca. 10 W/cm2.
Dieses Ergebnis ist um eine Größenordnung niedriger
als das bisher in der Literatur über
organische Laser beschriebene (M. Berggren et al., Nature 389, 466
[1997]). Der große
Abfall der Leistungsdichteschwelle geht auf die Verwendung einer
Mikrokavitätenkonstruktion
zurück,
die doppelte dielektrische Stapel verwendet, deren Aktivbereiche
periodische Verstärkungsbereiche
verwenden, die aus einer Kombination von organischen Wirts- und
Dotierungsmitteln zusammengesetzt sind. Die Fig. zeigt, dass die
Kurve nach einem scharfen Anstieg nach Erreichen des Laserschwellenwerts
erneut für
Eingangsleistungsdichten abfällt,
die eine Größenordnung über dem
Laserschwellenwert liegen. Die Mehrheit dieses Abfalls lässt sich
auf laserfremde Phänomene zurückführen, da
ein analoger Abfall ebenfalls bei Proben auftritt, die bei vergleichbaren
Leistungsdichtepegeln keine dielektrischen Stapel enthalten (und somit
nur Spontanemissionen erzeugen). Es sei darauf hingewiesen, dass
in anorganischen VCSELs diese Leistungssättigungseffekte auf lokale
Erwärmungsphänomene zurückzuführen sind
(S. W. Corzine et al., IEEE J. Quant. Electr. 25, 1513 [1989]).