DE60306892D1 - Verfahren und Anordnung zur Messung der Kopplungskapazität zwischen zwei Leiterbahnen - Google Patents

Verfahren und Anordnung zur Messung der Kopplungskapazität zwischen zwei Leiterbahnen

Info

Publication number
DE60306892D1
DE60306892D1 DE60306892T DE60306892T DE60306892D1 DE 60306892 D1 DE60306892 D1 DE 60306892D1 DE 60306892 T DE60306892 T DE 60306892T DE 60306892 T DE60306892 T DE 60306892T DE 60306892 D1 DE60306892 D1 DE 60306892D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
tracks
measuring
arrangement
coupling capacitance
capacitance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60306892T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60306892T2 (de
Inventor
Luca Bortesi
Loris Vendrame
Alessandro Bogliolo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SRL
Original Assignee
STMicroelectronics SRL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by STMicroelectronics SRL filed Critical STMicroelectronics SRL
Publication of DE60306892D1 publication Critical patent/DE60306892D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE60306892T2 publication Critical patent/DE60306892T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/02Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
    • G01R27/26Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
    • G01R27/2605Measuring capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2853Electrical testing of internal connections or -isolation, e.g. latch-up or chip-to-lead connections
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
    • G01R31/54Testing for continuity
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
    • G01R31/58Testing of lines, cables or conductors
DE60306892T 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren und Anordnung zur Messung der Kopplungskapazität zwischen zwei Leiterbahnen Expired - Lifetime DE60306892T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP03425282A EP1475642B1 (de) 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren und Anordnung zur Messung der Kopplungskapazität zwischen zwei Leiterbahnen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60306892D1 true DE60306892D1 (de) 2006-08-31
DE60306892T2 DE60306892T2 (de) 2007-08-30

Family

ID=32982039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60306892T Expired - Lifetime DE60306892T2 (de) 2003-05-02 2003-05-02 Verfahren und Anordnung zur Messung der Kopplungskapazität zwischen zwei Leiterbahnen

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7352192B2 (de)
EP (1) EP1475642B1 (de)
DE (1) DE60306892T2 (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MY140780A (en) * 2004-10-11 2010-01-15 Silterra Malaysia Sdn Bhd Via etch monitoring
KR100667314B1 (ko) * 2005-01-06 2007-01-12 삼성전자주식회사 초음파를 이용한 바이오결합 검출 장치 및 그 방법
US7394260B2 (en) * 2006-05-24 2008-07-01 Sun Microsystems, Inc. Tuning a test trace configured for capacitive coupling to signal traces
CN102169141A (zh) * 2010-02-25 2011-08-31 上海北京大学微电子研究院 电容测试方法
US10168313B2 (en) * 2013-03-15 2019-01-01 Agamatrix, Inc. Analyte detection meter and associated method of use
US10641804B1 (en) * 2015-09-17 2020-05-05 Pdf Solutions, Inc. Method for applying charge-based-capacitance-measurement with switches using only NMOS or only PMOS transistors
US9952268B1 (en) * 2015-09-17 2018-04-24 Pdf Solutions, Inc. Method for accurate measurement of leaky capacitors using charge based capacitance measurements
JP6822269B2 (ja) * 2017-03-29 2021-01-27 コニカミノルタ株式会社 光書き込み装置及び画像形成装置
CN108226654B (zh) * 2018-01-31 2020-06-30 深圳供电局有限公司 一种全自动介质损耗测量系统
CN113311230B (zh) * 2020-02-27 2022-12-06 成都纳能微电子有限公司 终端阻抗检测电路
US11146251B2 (en) 2020-03-06 2021-10-12 International Business Machines Corporation Performance-screen ring oscillator with switchable features
CN117272885A (zh) * 2022-06-14 2023-12-22 长鑫存储技术有限公司 电路噪声参数获取方法、装置与电子设备

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0672899B2 (ja) * 1988-04-01 1994-09-14 株式会社日立製作所 加速度センサ
FI93580C (fi) * 1993-10-08 1995-04-25 Vaisala Oy Menetelmä ja laitteisto epäsymmetrisen paine-eroanturin takaisinkytkemiseksi
FR2780162B1 (fr) * 1998-06-19 2000-09-08 St Microelectronics Sa Structure de test de circuit, circuit integre et procede de test
US7099808B2 (en) * 1999-08-26 2006-08-29 Mentor Graphics Corp. Capacitance and transmission line measurements for an integrated circuit
US6934669B1 (en) * 1999-08-26 2005-08-23 Roberto Suaya Capacitance measurements for an integrated circuit
US6856143B2 (en) * 2002-06-14 2005-02-15 Texas Instruments Incorporated System and method for measuring a capacitance of a conductor
TWI220693B (en) * 2003-07-28 2004-09-01 Winbond Electronics Corp Method and test structures for measuring interconnect coupling capacitance in an IC chip

Also Published As

Publication number Publication date
US7352192B2 (en) 2008-04-01
US20040227527A1 (en) 2004-11-18
DE60306892T2 (de) 2007-08-30
EP1475642A1 (de) 2004-11-10
EP1475642B1 (de) 2006-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE502004011733D1 (de) Verfahren und optisches system zur vermessung der topographie eines messobjekts
DE602004011785D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der reifengleichförmigkeit
FI20031476A (fi) Anturointi ihon pinnalta saatavien signaalien mittaamiseksi ja anturoinnin valmistusmenetelmä
DE60125683D1 (de) Anordnung und Verfahren zur Entfernungsmessung
DE602004004015D1 (de) Gerät zur Messung der bioelektrischen Impedanz
DE602005007823D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Form eines Objekts
DE60226077D1 (de) Gerät zum fördern einer medizinischen flüssigkeit mit kapazitätsfluidvolumenmessung und verfahren
DE502005007707D1 (de) Verfahren und Messvorrichtung zur Bestimmung der Übergangsimpendanz zwischen zwei Teilelektroden einer geteilten Neutralelektrode
DE60223787D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur verbesserung der genauigkeit nichtinvasiver hematokritmessungen
DE50214706D1 (de) Anordnung zur Winkelmessung
DE60030858D1 (de) Verfahren und anordnung zur anzeige der speziellen verwendung eines pdp kontexts
DE50304173D1 (de) Messeinrichtung zum messen der rundheit eines eisenbahnrades
DE50213797D1 (de) Verfahren und anordnung zur photogrammetrischen erfassung der raumform eines objekts
DE50213197D1 (de) Verfahren und Schaltungsanordnung zum Messen der Entfernung eines Gegenstandes
DE10291532T1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen des Kreuzkorrelationskoeffizienten zwischen Signalen
DE60129691D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der fluoreszenz
DE60306892D1 (de) Verfahren und Anordnung zur Messung der Kopplungskapazität zwischen zwei Leiterbahnen
DE60311054D1 (de) Verfahren und Gerät zum Messen des Drucks zwischen zwei Flächen
DE602004030471D1 (de) Verfahren zur messung der fehlausrichtung eines mehrstufigen walzwerks und messvorrichtung dafür
DE60139193D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der schmelzenhöhe
DE50214305D1 (de) Verfahren zur überprüfung der funktionsfähigkeit eines drucksensors
DE60324639D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Wellenlängenänderung in hochauflösenden Messsystemen
DE60326196D1 (de) Vorrichtungen und Verfahren zur Ermittlung der N-beste Ketten eines Automaten
DE50204178D1 (de) Verfahren zur auswertung eines messsignals und zugehörige schaltungsanordnung
DE60334990D1 (de) Verfahren zur messung des radstands eines autos

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition