DE60214483T2

DE60214483T2 - Variabler optischer Abschwächer mit planaren Wellenleitern

Info

Publication number: DE60214483T2
Application number: DE60214483T
Authority: DE
Inventors: Yokohama Works Hitoshi Sakae-ku Yokohama-shi Hatayama; Yokohama Works Chisai Sakae-ku Yokohama-shi Hirose
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2001-07-17
Filing date: 2002-07-08
Publication date: 2007-05-03
Anticipated expiration: 2022-07-09
Also published as: US20030016938A1; JP2003029219A; EP1278098A3; DE60214483D1; EP1278098A2; EP1278098B1; US6819859B2

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächer, der einen Mach-Zehnder-Interferometer verwendet und eine optische Länge mit einem Dünnfilmerhitzer nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 wie aus EP 0 382 461 A bekannt, anpasst.
2. Beschreibung des Stands der Technik
In Wellenlängenmultiplex-(WDM)-Optischer-Kommunikation werden optische Signale, die von einer Vielzahl von Lichtquellen emittiert werden und verschiedene Wellenlängen in dem Band von 1,55 μm aufweisen, durch eine einzelne optische Faserübertragungsleitung übertragen, und durch Lichtempfänger empfangen, die für jede Wellenlänge zugeteilt sind, womit eine optische Kommunikation mit großer Kapazität realisiert wird. Von entsprechenden Leistungen der optischen Signale bei den Lichtempfängern wird verlangt, dass sie einander gleich sind. Ein variabler optischer Abschwächer ist nötig, um dieses Erfordernis zu erfüllen.
Als variable optische Abschwächer sind eine planare Lichtwellenschaltungsart bekannt, die ein Mach-Zehnder-Interferometer verwenden, und eine optische Länge mit einem Dünnfilmerhitzer anpassen, ein volumenartiges optisches System, in dem ein optischer Filter durch einen Schrittmotor angetrieben wird und ein volumenartiges optisches System, das einen Faraday-Rotator verwendet. Von diesen optischen Abschwächern hat die planare Lichtwellenschaltungsart viele Vorteile über die anderen Arten: Sie kann verkleinert werden durch Integration und ist überlegen in Produktivität bzw. Herstellung für eine Massenproduktion, und sie hat kleinere Verluste.
1 zeigt einen herkömmlichen planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächer 1. Der dargestellt variable optische Abschwächer 1 enthält einen Mach-Zehnder-Interferometer 101, der zwei optische Wellenleiterarme 10, 20 umfasst, die in einer Auskleidung 70 eingegraben sind, die auf einem Substrat 100 gebildet ist, und zwei Richtungskoppler 50, 51 zum Koppeln der optischen Wellenlängenarme 10, 20 zusammen an ihren Enden. Ein Dünnfilmerhitzer 110 ist angeordnet auf der Oberfläche der Auskleidung 70, der sich entlang des optischen Wellenleiterarms 10 erstreckt. In 1 repräsentiert "I_in" eine optische Eingangsleistung und "I_out" repräsentiert eine optische Ausgangsleitung.
Eine elektrische Leistung W, die an den Dünnfilmerhitzer 110 zugeführt wird, wird gesteuert durch eine Steuereinheit 200 zum Anpassen der Temperatur des Dünnfilmerhitzers 110. Beim Erhitzen des Dünnfilmerhitzers 110, steigt die Temperatur des optischen Wellenleiterarms 10 und der Brechungsindex des optischen Wellenleiterarms 10 ändert sich mit dem thermooptischen Effekt. Als Ergebnis wird eine Differenz in der optischen Länge zwischen optischen Wellenleiterarmen 10 und 20 auch verändert, wodurch die optische Ausgangsleistung I_out variiert werden kann gemäß der optischen Interferenz.
Eine Differenz ΔL₀ zwischen den Armlängen unter einer Bedingung, in der keine elektrische Leistung zugeführt wird zu dem Dünnfilmerhitzer 110 wird auf Null gesetzt oder auf λ₀/2n_eff (λ₀ ist die Mittelwellenlänge eines Betriebswellenlängenbandes und n_eff ist der effektive Brechungsindex des optischen Wellenleiters), entsprechend zu einer Phasendifferenz 180°. Wenn die Armlängendifferenz ΔL₀ Null ist, wird die optische Eingangsleistung an einen Ausgangsanschluss ausgegeben, der in einer diagonalen Beziehung zu einem Eingangseinschluss positioniert ist. Wenn die Armlängendifferenz ΔL₀ λ₀/2n_eff ist, wird die optische Eingangsleistung ausgegeben an den Ausgangsanschluss, der auf der gleichen Seite wie der Eingangsanschluss positioniert ist.
Wenn der Dünnfilmerhitzer angeordnet ist auf der Auskleidung, ist der optische Wellenleiterarm empfänglich für Wärmedehnung in die vertikale Richtung, wegen einer Differenz in dem Wärmeexpansionskoeffizienten zwischen dem Kern und der Auskleidung. Die Wärmedehnung erzeugt eine Doppelbrechung in dem optischen Wellenleiterarm wegen einer Photoelastizität, und daher wird eine Polarisierungsabhängigkeit der optischen Eigenschaften erhöht. In dem optischen Abschwächer von 1 wird beispielsweise, wenn die Heiztemperatur des Dünnfilmerhitzers 110 sich erhöht, eine größere Abschwächung erhalten, aber ein polarisationsabhängiger Verlust (PDL, Polarisation Dependent Loss) wird auch zur gleichen Zeit erhöht.
Mit Bezug auf solche Probleme beschreibt eine Referenz "Proceedings of the 2001 Institute of Electronics, Information and Communication Engineers General Conference, C-3-64, Seite 229, Lower PDL of PLC Type Variable Attenuator", eine Technik zum Verringern des PDLs mittels Wärmedehnung, was auf beiden Seiten eines optischen Wellenleiterarms gebildeten Rillen freigibt.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächer zu schaffen, in dem ein kleiner PDL sogar dann aufrechterhalten wird, wenn eine Abschwächung groß ist.
Um die obige Aufgabe zu lösen, stellt die vorliegende Erfindung einen planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächer mit einem Mach-Zehnder-Interferometer, gebildet auf einem Substrat, bereit. Der Mach-Zehnder-Interferometer umfasst zwei optische Wellenleiterarme, die auf dem Substrat gebildet sind und Dünnfilmerhitzer, die entsprechend über den zwei optischen Wellenleiterarmen gebildet sind, wobei die zwei optischen Wellenleiterarme Längen aufweisen, die nicht einander gleich sind, und unter der Annahme, dass ein effektiver Brechungsindex der optischen Wellenleiterarme n_eff und eine Mittelwellenlänge eines Betriebswellenlängenbandes λ₀ ist, eine Differenz ΔL₀ zwischen den Längen der zwei optischen Wellenleiterarme die folgende Beziehung erfüllen kann: 0,36 × λ0/neff < ΔL0 < 0,47 × λ0/neff
Eine Abschwächung kann in dem Bereich von 7 bis 21 dB sein, wenn keine elektrischen Leistungen zugeführt werden an die Dünnfilmerhitzer zum Anpassen der optischen Längen der optischen Wellenleiterarme. Mehrere Gruppen von Mach-Zehnder-Interferometer können auf dem Substrat parallel gebildet werden.
Die vorliegende Erfindung wird ferner unten erklärt durch Bezugnehmen auf die begleitenden Zeichnungen. Die Zeichnungen werden nur bereitgestellt zwecks der Darstellung und sind nicht dafür vorgesehen, den Umfang der Erfindung zu begrenzen.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1A ist eine Draufsicht, die einen herkömmlichen planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächer zeigt, und 1A ist eine Schnittdarstellung entlang der gestrichelten Linie IB in 1A;
2A ist eine Draufsicht, die eine erste Ausführungsform eines planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächers der vorliegenden Erfindung zeigt, und 2B ist eine Schnittdarstellung entlang einer gestrichelten Linie IIB in 2A;
3 zeigt ein Schaubild, das die Ergebnisse zeigt, die durch Berechnung mit Bezug auf die Beziehung zwischen einer Abschwächung und einem PDL erhalten werden, wenn eine Differenz ΔL₀ zwischen Armlängen des variablen optischen Abschwächers verändert wird, der in 2A gezeigt ist;
4 zeigt ein Schaubild, das die Ergebnisse zeigt, die erhalten werden durch Berechnung mit Bezug auf die Beziehung zwischen der Armlängendifferenz ΔL₀ und einem Maximalwert des PDLs, wenn die Abschwächung innerhalb eines gewissen Bereichs bei dem in 2A gezeigten variablen optischen Abschwächer ist.
5 zeigt ein Schaubild, das die Ergebnisse zeigt, die erhalten werden durch Berechung mit Bezug auf die Beziehung zwischen der Armlängendifferenz ΔL₀ und der Abschwächung, wenn keine elektrische Leistungen zugeführt werden zu den Dünnfilmerhitzern in dem in 2A gezeigten variablen optischen Abschwächer; und
6 zeigt eine Draufsicht, die eine zweite Ausführungsform des planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächers gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden unten erklärt durch Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen. In den Zeichnungen beziehen sich gleiche Bezugszeichen auf gleiche Teile, um eine doppelte Erklärung zu vermeiden. Die Verhältnisse der Dimensionen in den Zeichnungen stimmen nicht notwendigerweise mit den Erklärungen überein.
Zu Beginn wird eine Abschwächung ATT(W) in einem Zustand einer elektrischen Leistung W, der an einen Dünnfilmerhitzer angelegt wird, definiert, wie durch die folgende Gleichung (1) ausgedrückt: ATT(W) (dB) = –10log (Iout/Iin) – Lmin (1)wobei L_min einen Minimalverlustwert eines optisches Abschwächers repräsentiert und hauptsächlich bestimmt wird abhängig von Streuverlusten der optischen Wellenleiter, die einen Mach-Zehnder-Interferometer darstellen.
Die Erfinder haben intensive Studien bezüglich der Beziehung zwischen einer Abschwächung und einem PDL ausgeführt, unter Verwendung eines planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächers, der aus einem Mach-Zehnder-Interferometer besteht, in dem zwei Dünnfilmerhitzer bereitgestellt werden, entsprechend über zwei optischen Wellenleiterarmen. Als Ergebnis haben die Erfinder herausgefunden, dass es einen optimalen Bereich einer Differenz ΔL₀ zwischen den Armlängen gibt, in dem der PDL sich nicht erhöht, selbst wenn die Abschwächung groß ist.
2A zeigt eine Draufsicht, die eine erste Ausführungsform eines planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächers der vorliegenden Erfindung zeigt. Der dargestellte variable optische Abschwächer 2 ist zusammengesetzt aus einem Mach-Zehnder-Interferometer 101, umfassend zwei optische Wellenleiterarme 10, 20, die in eine Auskleidung 70 eingegraben sind, die auf einem Substrat 100 gebildet wird, und eine Differenz ΔL₀ aufweisen zwischen den Längen der Arme bei einem effektiven Brechungsindex n_eff und zwei Y-Zweig-Koppler 60, 61 zum Koppeln der optischen Wellenleiterarme 10, 20 miteinander an ihren beiden Enden. Die sich entlang der optischen Wellenleiterarme 10, 20 erstreckenden Dünnfilmerhitzer 110, 120 werden auch auf der Oberfläche der Auskleidung 70 angeordnet. Elektrische Leistungen W₁, W₂ werden entsprechend zugeführt an die Dünnfilmerhitzer 110, 120, durch eine Steuereinheit 200 zum Anpassen entsprechender Temperaturen T₁, T₂, der optischen Wellenleiterarm 10, 20. 2A zeigt eine Schnittdarstellung entlang einer gestrichelten Linie IIB in 2A.
Der variable optische Abschwächer 2 wird beispielsweise wie folgt hergestellt. Eine untere Auskleidungsschicht wird auf dem Substrat 100, und eine Kernschicht wird auf der unteren Auskleidungsschicht gebildet. Die Kernschicht weist eine Dicke von ungefähr 7μm auf und wird aus Quarzglas mit hinzugefügtem GeO₂ hergestellt, so dass sie eine spezifische Brechungsindexdifferenz von ungefähr 0,45% aufweist. Danach wird ein Kernformmuster gebildet durch Photolithographie und reaktives Ionenstrahlabtragätzen (Reactive Ion Etching). Dann wird eine obere Auskleidungsschicht mit einer Dicke von ungefähr 30 μm gebildet. Nachfolgend nach einem Vaporphaseauftragen eines dünnen Chromfilms auf der gesamten Oberfläche der oberen Auskleidungsschicht, werden die Dünnfilmerhitzer 110, 120 entsprechend über den optischen Wellenleiterarmen 10, 20 durch Photolithographie und reaktives Ionenstrahlabtragätzen gebildet. Die Dünnfilmerhitzer 110, 120 werden mit der Steuereinheit 200 so verbunden, dass die Leistungen an die Dünnfilmerhitzer 110, 120 zugeführt werden können.
3 zeigt ein Schaubild, das die Ergebnisse zeigt, die erhalten werden durch eine Berechnung, die durchgeführt wird mit der Beziehung zwischen einer Abschwächung und einem PDL in den optischen Abschwächern, wobei die Armlängendifferenz ΔL₀ auf 0 μm, 0,27 μm, 0,45 μm und 0,53 μm gesetzt wird. In der Berechnung wird angenommen, dass das Material von jedem optischen Wellenleiterarm auf Quarzglas bzw. Silikatglas basiert und der effektive Brechungsindex n_eff 1,45 ist. Wenn die Armlängendifferenz ΔL₀ 0 μm ist, erhöht sich der PDL gemäß der Erhöhung in der Abschwächung. Wenn die Armlängendifferenz ΔL₀ 0,27 μm ist, ist der Trend des PDLs zur Erhöhung moderat, und zur gleichen Zeit tritt ein Zustand auf, in dem der PDL bei einem spezifischen wert der Abschwächung ATT Null wird. Wenn die Armlängendifferenz ΔL₀ 0,45 μm oder 0,53 μm ist, wird der Trend des PDLs zur Erhöhung weiter gemäßigt. Beispielswiese wird, wenn die Differenz ΔL₀ 0,45 μm ist, ein Wert der Abschwächung ATT, bei dem der PDL Null wird, verglichen mit dem Fall erhöht, in dem die Differenz ΔL₀ 0,27 μm ist. Wenn die Differenz ΔL₀ 0,53 μm ist, überschreitet ein Wert der Abschwächung ATT, bei dem der PDL Null wird, 20 dB und liegt nicht in dem Gebiet des Schaubilds.
4 zeigt ein Schaubild, das die Ergebnisse zeigt, die erhalten werden durch Berechnung, die mittels der Beziehung gemacht werden zwischen der Armlängendifferenz ΔL₀ und einem Maximalwert des PDLs, wenn die verwendete Wellenlänge 1,55 μm ist und die Abschwächung ATT innerhalb eines gewissen Bereichs ist. Die Berechnung wurde für zwei Fälle durchgeführt, in denen die Abschwächung gesetzt wurde auf den Bereich von nicht mehr als 10 dB und den Bereich von nicht mehr als 20 dB. In jedem Fall wird der Maximalwert des PDLs bei einem spezifischen Wert der Armlängendifferenz ΔL₀ minimiert. Wenn die Abschwächung ATT gesetzt wird auf den Bereich von nicht mehr als 10 dB, kann der PDL tiefgehalten werden bei einem Minimalwert durch Setzen der Armlängendifferenz ΔL₀ auf 0,38 μm. Wenn die Abschwächung ATT gesetzt wird auf den Bereich von nicht mehr als 20 dB, kann der PDL auch auf einem Minimalwert tiefgehalten bzw. niedrig gehalten werden durch Setzen der Armlängendifferenz ΔL₀ auf 0,52 μm. Da ein optischer Abschwächer mit einer Abschwächungsvariable in dem Bereich von 0 bis 20 dB verwendet wird in einer praktischen WDM-Optischen-Kommunikation, beträgt der Optimalbereich der Armlängendifferenz ΔL₀ 0,38 bis 0,52 μm.
In dem Fall, in dem die Mittelwellenlänge λ₀ eines Betriebswellenbands 1,3 μm ist, kann der PDL niedrig auf einem Minimalwert gehalten werden durch Setzen der Armlängendifferenz ΔL₀ auf 0,32 μm, wenn die Abschwächung ATT gesetzt wird auf den Bereich von nicht mehr als 10 dB, und er kann niedrig auf einem Minimalwert gehalten werden durch Setzen der Armlängendifferenz ΔL₀ auf 0,42 μm, wenn die Abschwächung ATT gesetzt wird auf den Bereich von nicht mehr als 20 dB. In der praktischen WDM-Optischen-Kommunikation beträgt der Optimalbereich der Armlängendifferenz ΔL₀ 0,32 bis 0,42 μm.
Als Nächstes wird der optimale Bereich der Armlängendifferenz ΔL₀ zum Halten des PDLs innerhalb eines niedrigen Bereichs abgeleitet bezüglich den Allgemeinparametern, das heißt, dem effektiven Berechnungsindex n_eff und der Mittelwellenlänge Δ₀ eines Betriebswellenlängenbands. In einem Mach-Zehnder-Interferometer gilt die durch die folgende Gleichung (2) ausgedrückte Beziehung unter einer Phasendifferenz ΔΦ, hervorgerufen zwischen den zwei optischen Wellenleiterarmen, dem effektiven Brechungsindex n_eff, der Mittelwellenlänge Δ₀ des Betriebswellenlängenbands und der Armlängendifferenz ΔL₀: ΔL0 = ΔΦ/2π × λ0/neff (2)
Gleichung (2) repräsentiert die Beziehung zwischen ΔL₀ und λ₀/n_eff und die Proportionalitätskonstante zwischen diesen kann berechnet werden unter Verwendung von numerischen Werten, die aus der oben beschriebenen Berechnung erhalten werden. Als Ergebnis wird der optimale Bereich der Armlängendifferenz ΔL₀ zum Halten des PDLs innerhalb eines niedrigen Bereichs abgeleitet, aus 0,36 × λ₀/n_eff bis 0,47 × λ₀/n_eff
5 zeigt ein Schaubild, das die Beziehung zwischen der Armlängendifferenz ΔL₀ und der Abschwächung ATT(0,0) unter einer Bedingung zeigt, unter der keine elektrischen Leistungen an die Dünnfilmerhitzer 110, 120 zugeführt werden. Sobald die Armlängendifferenz ΔL₀ sich erhöht, erhöht sich auch die Abschwächung ATT(0,0). Insbesondere kann gesehen werden, dass die Armlängendifferenz ΔL₀ von 0,38 bis 0,52 μm, was der optimale Bereich ist, wenn die Mittelwellenlänge λ₀ des Betriebswellenlängenbandes 1,55 μm ist, der Abschwächung von 7 bis 21 dB entspricht. Auch entspricht die Armlängendifferenz ΔL₀ von 0,32 bis 0,42 μm, welches der optimale Bereich ist, wenn die Mittelwellenlänge λ₀ des Betriebswellenlängenbandes 1,3 μm ist, ähnlich der Abschwächung von 7 bis 21 dB.
Daher wird, durch Bereitstellen der Dünnfilmerhitzer entsprechend über zwei optischen Wellenleiterarmen, die ein Mach-Zehnder-Interferometer darstellen und hervorrufen bei den zwei optischen Wellenleiterarmen, dass sie eine Differenz aufweisen zwischen Armlängen, ein vorbestimmter Wert der Abschwächung erhalten, wenn keine elektrischen Leistungen and die Dünnfilmerhitzer zugeführt werden. Dann kann, durch Erhitzen der Dünnfilmerhitzer auf der Seite des optischen Wellenleiterarms mit einer längeren optischen Länge, die größere Abschwächung ATT erhalten werden, und durch Erhitzen des Dünnfilmerhitzers auf der Seite des optischen Wellenleiterarms mit kurzer optischer Länge, kann die kleinere Abschwächung ATT erhalten werden. Selbst in einem Zustand, in dem die Abschwächung ATT relativ groß ist, können die Heizungstemperaturen T₁, T₂ der zwei Dünnfilmerhitzer so gesetzt werden, dass sie eine kleinere Differenz zwischen ihnen aufweisen. Daher wird eine Differenz zwischen Wärmedehnungen unterdrückt, die auf die zwei optischen Wellenleiterarme einwirken, und die Polarisierungsabhängigkeit der optischen Eigenschaften wird verringert.
In dem variablen optischen Abschwächer, der in der Referenz beschrieben wird, der im Stand der Technik zitiert wird, wird, um Wärmedehnung ausreichend freizugeben, von den auf beiden Seiten des optischen Wellenleiterarms gebildeten Rillen verlangt, eine Tiefe aufzuweisen, die sich von der Oberfläche der Auskleidung bis nahe der Grenze zwischen der Auskleidung und dem Substrat erstreckt. In allgemeinen Lichtwellenschaltungen ist diese Tiefe ungefähr 20 bis 50 μm. Gewöhnlich werden die Rillen gebildet durch Ätzen nach einem Bilden der oberen Auskleidungsschicht, und der Prozess eines Bildens der Rillen in dieser Tiefe benötigt bis zu ungefähr 5 bis 10 Stunden bei einer gewöhnlichen Ätzrate. Ferner wird, weil Teile des optischen Wellenleiterarms freiliegen in einer von drei Richtungen, die mechanische Stärke in diesen freiliegenden Teilen verringert, und der optische Wellenleiterarm kann brechen.
Andererseits werden in dieser Ausführungsform, da es keinen Bedarf eines Ätzens bzw. Etchens gibt, um die Rillen auf beiden Seiten des optischen Wellenleiterarms zu bilden, Probleme, wie zum Beispiel ein Benötigen einer langen Arbeitszeit und Hervorrufen einer Verringerung der mechanischen Stärke, eliminiert.
6 zeigt eine Gesamtdraufsicht eines planaren Lichtwellenschaltungs-artigen-variablen-optischen-Abschwächers 3 als zweite Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung. Mehrere Gruppen von Mach-Zehnder-Interferometer 101, 102 und 103, wobei jeder die in 2 gezeigte Zusammensetzung aufweist, werden parallel auf einem einzelnen Substrat 100 gebildet. Bei solch einer Anordnung kann ein variabler optischer Abschwächer einer kleinen Größe mit der variablen Abschwächungsfunktion für jede der optischen Leistungen I_in1, I_in2 und I_in3 von mehreren Kanälen erhalten werden.
Während die optischen Abschwächer von 2 und 6 die Y-Zweig-Koppler als optische Koppler in dem Mach-Zehnder-Interferometer verwenden, werden Richtungskoppler auch anwendbar auf einen Mach-Zehnder-Interferometer.
Das zum Bilden einer Lichtwellenschaltung verwendete Substrat kann, anstatt von Quarzglas aus Silizium, Aluminium, Multikomponentenglas oder ähnlichem hergestellt werden, wobei auf jedem derselben ein Glasdünnerfilm gebildet wird als eine obere Schicht. Auch kann ein optischer Wellenleiterarm, hergestellt aus einem Kern und einer Auskleidung, gebildet werden, unter Verwendung irgendeines passenden Halbleiters oder Polymer-basierten Materials, anstatt eines Quarzglases. Ferner ist Tantalnitrid verwendbar anstatt von Chrom als das Material des Dünnfilmerhitzers. Ein Peltier-Gerät kann verwendet werden anstatt des Dünnfilmerhitzers als ein thermooptischer Phasenverschieber.

Claims

Ein planarer Lichtwellenschaltungs-artiger-variabler-optischer-Abschwächer mit einem Mach-Zehnder-Interferometer (101), gebildet auf einem Substrat (100), wobei der Mach-Zehnder-Interferometer (101) umfasst: zwei optische Wellenleiterarme (10, 20), gebildet auf dem Substrat (100), und Dünnfilmerhitzer (110, 120), entsprechend gebildet über den zwei optischen Wellenleiterarmen; wobei die zwei optischen Wellenleiterarme (10, 20) Längen aufweisen, die nicht einander gleich sind, dadurch gekennzeichnet, dass der effektive Brechungsindex der optischen Wellenleiterarme n_eff ist, der Unterschied zwischen den Längen der optischen Wellenleiterarmen ΔL₀ ist, und die Mittelwellenlänge eines Betriebswellenlängenbandes λ₀ ist, wobei die folgende Beziehung erfüllt wird: 0,36 × λ0/neff ≤ ΔL0 ≤ 0,47 × λ0/neff
Ein planarer Lichtwellenschaltungs-artiger-variabler-optischer-Abschwächer nach Anspruch 1, wobei die optischen Wellelleiterarme (10, 20) aus Quarzglas gebildet sind, und der Unterschied zwischen den Längen der optischen Wellenleiterarme eingestellt ist, dass er in dem Bereich von 0,38 μm bis 0,52 μm ist.
Ein planarer Lichtwellenschaltungs-artiger-variabler-optischer-Abschwächer nach Anspruch 1, wobei die optischen Wellenleiterarme (10, 20) aus Quarzglas gebildet sind, und der Unterschied zwischen den Längen der optischen Wellenleiterarme eingestellt ist, dass er in dem Bereich von 0,32 μm bis 0,42 μm ist.
Ein planarer Lichtwellenschaltungs-artiger-variabler-optischer-Abschwächer nach Anspruch 1, wobei eine Abschwächung bzw. Dämpfung in dem Bereich von 7 bis 21 dB ist, wenn keine elektrischen Leistungen zu den Dünnfilmerhitzern zugeführt werden.
Ein planarer Lichtwellenschaltungs-artiger-variabler-optischer-Abschwächer nach Anspruch 1, wobei mehrere Gruppen von den Mach-Zehnder-Interferometern (101) parallel auf dem Substrat bereitgestellt sind.