DE60001578T2 - Optische verbindung für integrierte elektronische schaltkreise und anwendung in kreuzverbindungen von solchen schaltkreisen - Google Patents

Optische verbindung für integrierte elektronische schaltkreise und anwendung in kreuzverbindungen von solchen schaltkreisen Download PDF

Info

Publication number
DE60001578T2
DE60001578T2 DE60001578T DE60001578T DE60001578T2 DE 60001578 T2 DE60001578 T2 DE 60001578T2 DE 60001578 T DE60001578 T DE 60001578T DE 60001578 T DE60001578 T DE 60001578T DE 60001578 T2 DE60001578 T2 DE 60001578T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optical
electronic
circuit
connection
integrated electronic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60001578T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60001578D1 (de
Inventor
Serge Gidon
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of DE60001578D1 publication Critical patent/DE60001578D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE60001578T2 publication Critical patent/DE60001578T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/43Arrangements comprising a plurality of opto-electronic elements and associated optical interconnections

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Verbindung für integrierte elektronische Schaltkreise und insbesondere die Zusammenschaltungen solcher Schaltkreise.
  • Stand der Technik
  • Die Notwendigkeit immer schnellerer Arbeitstakte für den Betrieb von integrierten elektronischen Schaltkreisen führt bei diesen Schaltkreisen zu einer immer höheren Integration. Diese Integration stößt an ihre Grenzen aufgrund der unvermeidlichen Zunahme der Größe der Schaltkreise, die zu einer Kostensteigerung bei diesen letzteren führt (aufgrund eines Sinkens der Fabrikationsausbeute bzw. des Fabrikationsausstoßes). Ein Kompromiss besteht dann darin, integrierte elektronische Schaltungen von vernünftiger Größe zusammenzuschalten.
  • Man kann zwei integrierte Schaltkreise oder ICs ohne weiteres elektrisch verbinden, aber mit der Zunahme der Arbeitstakte dieser ICs (Taktfrequenzen über 500 MHz) treten zwischen parallelen elektrischen Leitern elektromagnetische Kopplungsphänomene auf, die eine Verschlechterung des Rauschabstand und Funktionsstörungen bewirken.
  • Man kennt auch optische Verbindungen anstelle der elektrischen Leiter, wobei diese optischen Verbindungen eine bessere Trennung zwischen Übertragungskanälen ermöglichen.
  • Solche optischen Verbindungen umfassen Lichtsender und -empfänger sowie Verbindungskanäle.
  • Die Verbindungskanäle können Hologramme oder schwach eingeschlossene Luft-Strahlen bzw. Luft-durchquerende Strahlen (faiscaux aériens) oder auch optische Fasern benutzen.
  • Die Lichtsender und -empfänger sind auf die ICs montiert, die man zusammenschalten möchte, und sind elektrisch mit ihnen verbunden.
  • Es sei präzisiert, dass die Sender generell Laser mit Emission durch die vertikale Resonatortläche ("vertical cavity surface emission laser") oder VCSELs sind, die auf den Substraten, auf die sie montiert sind, nur eine kleine Fläche einnehmen und einen kleinen Schwellenstrom haben.
  • Die 1 zeigt schematisch eine bekannte Zusammenschaltung von zwei ICs 2 und 4. Ein optoelektronisches Bauteil 6 ist durch. Lot-Mikrokugeln 8 mit dem IC2 elektrisch verbunden. Ein anderes optoelektronisches Bauteil 10 ist durch Lot-Mikrokugeln mit dem IC4 elektrisch verbunden. Ein weiteres optoelektronisches Bauteil 10 ist durch Lot-Mikrokugeln 12 mit dem IC4 elektrisch verbunden.
  • Ein IC 14, ausgebildet auf einem Substrat 15, einen Lichtwellenleiter 16 umfassend, ist vorgesehen, um die optoelektronischen Bauteile 6 und 10 miteinander zu verbinden.
  • Das Bauteil 6 ist zum Beispiel ein Lichtsender, während das Bauteil 10 ein Lichtempfänger ist.
  • Elektrische Signale, gesendet durch den IC 2, werden dann durch das Bauteil 6 in Lichtsignale umgewandelt. Diese Lichtsignale breiten sich in dem Lichtwellenleiter 16 aus und werden durch das Bauteil 10 detektiert, das diese Lichtsignale in elektrische Signale rückverwandelt. Der IC 4 empfängt diese letzteren: Man verfügt also sehr wohl über eine Verbindung zwischen den ICs 2 und 4.
  • Die optischen Zusammenschaltungen von ICs in der Art der in der 1 gezeigten Zusammenschaltung hat jedoch einen Nachteil: diese Zusammenschaltungen erfordern eine große Präzision bei der Ausrichtung, das heißt der optischen Kopplung der optischen Verbindungskanäle mit den Lichtsendern und -empfängern. Im Falle der 1 ist zum Beispiel eine große Genauigkeit nötig bei der optischen Kopplung zwischen dem optischen Wellenleiter 14 und dem Bauteil 6; ja sogar dem Baufeil 10.
  • Darstellung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung hat die Aufgabe, den oben genannten Nachteil zu beseitigen, indem sie eine Zusammenschaltung von ICs vorschlägt, die leichter zu realisieren ist wie die bekannten, weiter oben erwähnten Zusammenschaltungen, denn bei ihr müssen die Ausrichtungen nicht so genau sein.
  • Allgemein ausgedrückt, betrifft die vorliegende Erfindung eine optische Verbindung für einen IC, deren Realisierung eine Kopplung des elektrischen Typs benutzt, da die Genauigkeit bei elektrischen Kopplungen weniger kritisch ist als bei optischen Kopplungen.
  • EP 0 617 314 (Fujitsu Ltd) beschreibt optische Schaltkreise.
  • US 5 835 646 A (ISHITSUKA TAKESHI et al. beschreibt aktive optische Schaltkreise.
  • DE 195 23 580 A (MOTOROLA INC) beschreibt eine optoelektronische Zusammenschaltungsvorrichtung.
  • Die vorliegende Erfindung hat genau eine optische Verbindung für einen integrierten elektronischen Schaltkreis oder IC zum Gegenstand, wie definiert in Anspruch 1.
  • Die vorliegende Erfindung hat auch eine optische Verbindung zwischen ersten und zweiten integrierten elektronischen Schaltkreisen oder ICs zum Gegenstand, wie definiert in Anspruch 3.
  • Bei der Erfindung ist jeder elektronisch-optische Wandler ein Laser mit einem durch zwei Spiegel begrenzten Resonator, die in dem Lichtwellenleiter ausgebildet sind, und einem Verstärkermedium, angeordnet in einer Aussparung, die in dem Lichtwellenleiter zwischen den beiden Spiegeln vorgesehen ist.
  • Der erste und der zweite IC können jeweils auf verschiedenen Substraten ausgebildet sein oder, im Gegenteil, auf demselben.
  • Vorzugsweise ist die optische Schaltung und jeder elektronische Schaltkreis oder IC aus Materialen gefertigt, die im Wesentlichen gleiche Wärmeausdehnungskoeffizienten haben. Jede rein elektrische Verbindung kann durch Mikrokugeln aus einem schmelzbaren Material hergestellt werden.
  • Die beiden Spiegel des Lichtwellenleiters können Bragg-Gitter sein, photoinduziert oder geätzt.
  • Als Variante kann jeder Spiegel ein Schlitz sein, der den Lichtwellenleiter durchquert.
  • Vorzugsweise enthält der zwischen dem Verstärkermedium und der Wand der Aussparung enthaltene Raum einen Brechzahl-Adapter, zum Beispiel ein Fluid oder ein Gel.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Die vorliegende Erfindung wird besser verständlich durch die Lektüre der nachfolgenden Beschreibung von rein erläuternden und keinesfalls einschränkenden Ausführungsbeispielen, bezogen auf die beigefügten Figuren:
  • die 1 ist eine schematische Querschnittansicht einer bekannten, schon beschriebenen optischen Zusammenschaltung von zwei ICs,
  • die 2 ist eine schematische Querschnittansicht einer optischen Zusammenschaltung von zwei ICs nach der vorliegenden Erfindung, und
  • die 3, 4 und 5 sind schematische Querschnittansichten weiterer optischer Zusammenschaltungen nach der Erfindung.
  • Detaillierte Darstellung spezieller Ausführungsarten
  • In der vorliegenden Erfindung werden die Techniken der integrierten Optik angewendet, um optische Zusammenschaltungen von ICs zu realisieren.
  • Eine integrierte optische Schaltung dient als physische Verbindung zwischen diesen ICs.
  • Die Techniken der integrierten Optik ermöglichen, in einem Stapel geätzter Schichten (eventuell partiell geätzt) Lichtwellenleiter zu realisieren, deren . Dimensionen generell einige μm betragen. Zwei benachbarte Lichtwellenleiter können einer Diaphotie unterliegen, die schwach ist ab dem Moment, wo der Abstand zwischen diesen Lichtwellenleitern größer ist als die Ausdehnung des abklingenden Feldes, die im Allgemeinen 10 μm beträgt.
  • Zudem, da das Licht die natürliche Bestreben hat, sich geradlinige auszubreiten, kann man Kreuzungen bilden zwischen Lichtwellenleitern mit schwachen Kreuzungsverlusten und wenig Diaphotie.
  • Die Lichtwellenleiter sind bzw. werden also angepasst an die Realisierung von Verbindungen für die optischen Zusammenschaltungen.
  • Die Techniken der integrierten Optik können mit Materialien wie InP, AsGa, SiO2 und Si realisiert werden. Solche Materialien können bei der vorliegenden Erfindung verwendet werden, um die optische Schaltung zu bilden.
  • Es ist vorteilhaft, bei der Erfindung für die optische Schaltung und die ICs Materialien zu verwenden, die im Wesentlichen gleiche Wärmeausdehnungskoeffizienten haben. Wenn zum Beispiel die ICs aus Silicium sind, ist es vorteilhaft, die optische Schaltung ebenfalls aus Silicium herzustellen.
  • Die optische Zusammenschaltung der 2 ist dazu bestimmt, zwei ICs 18 und 20 mit einander zu verbinden. Diese optische Zusammenschaltung umfasst eine optische Schaltung 22, ausgebildet in einem Substrat 24, der einen Lichtwellenleiter 26 sowie zwei optoelektronische Bauteile 28 und 30 umfasst, die optisch jeweils mit zwei Enden des Lichtwellenleiters 26 gekoppelt sind und jeweils den ICs 18 und 20 zugeordnet sind.
  • Die optische Schaltung 22 ist mit diesen ICs 18 und 20 durch die Bauteile 28 und 30 verbunden, wobei diese Verbindungen rein elektrisch sind und zum Beispiel mittels Mikrokugeln 32 und 34 hergestellt werden, die aus einem schmelzbaren Material sind, zum Beispiel aus Indium. Es gibt auch noch andere Techniken, insbesondere die Verwendung von Polymeren mit anisotroper Leitung.
  • Der Raum, den man in der 2 zwischen den Mikrokugeln und der optischen Schaltung sieht, existiert in Wirklichkeit natürlich nicht: er dient in der 2 zur besseren Unterscheidung von der 1.
  • Man nimmt an, dass der IC 18 dazu dient, dem IC 20 Informationen bzw. Daten zu senden. In diesem Fall ist das Bauteil 28 ein elektronisch-optischer Wandler, zum Beispiel eine Laserdiode, die die elektrischen Signale, die sie von dem IC 18 dank der Mikrokugeln 32 erhält, in optische Signale umwandelt. Diese letzteren werden dann über den Leiter 26 zum Bauteil 30 übertragen, das in diesem Fall ein opto-elektrischer Wandler ist, zum Beispiel eine Photodiode. Diese letztere rückverwandelt diese optischen Signale in elektrische Signale, die dann dank der Mikrokugeln 34 vom IC 20 empfangen werden.
  • Wenn der IC 20 dazu bestimmt ist, Informationen bzw. Daten an den IC 18 zu senden, verwendet man als Bauteil 30 einen elektronisch-optischen Wandler und als Bauteil 28 einen opto-elektrischen Wandler. Die durch den IC 20 in Form von elektrischen Signalen gesendeten Informationen werden dann von dem IC 18 empfangen, nachdem sie durch das Bauteil 30 in optische Signale verwandelt wurden und dann durch das Bauteil 28 wieder in elektrische Signale.
  • Wenn die ICs 18 und 20 dazu bestimmt sind, Informationen miteinander auszutauschen, wobei der IC 18 Informationen an den IC 20 sendet und umgekehrt, verwendet man Bauteile 28 und 30 mit der Doppelfunktion des elektronisch-optischen und opto-elektrischen Wandlers. Man kann auch "absteigende" und "aufsteigende" Verbindungen vorsehen.
  • Die hybride Montage der Bauteile 28 und 30 auf ihren jeweiligen ICs 18 und 20, zum Beispiel mittels Mikrokugeln 32 und 34, erfordert weniger Genauigkeit als die Positionierung der optischen Schaltung 14 der 1 in Bezug auf die Bauteile 6 und 10.
  • Wenn die ICs und die optische Schaltung aus dem wegen seines indirekten Gaps zur Herstellung optischer Quellen ungeeigneten Silicium sind, dann empfiehlt es sich, hybridisierte optisch geschaltete Lichtemitter zu verwenden, zum Beispiel gebildet aus einem Halbleitermaterial mit direktem Gap, wie etwa GaAs. Für diese Hybridisierung kann man jede klassische Technik benutzen, zum Beispiel das Haften, Kleben oder Metallschmelzen.
  • In diesem Fall, um den Lichtemitter mit dem Lichtwellenleiter zu koppeln, sorgt man dafür, dass dieser Lichtwellenleiter spezifisch zur Lichtemission dieses Emitters beiträgt. Derart reduziert man die Positionierungszwänge des Emitters in Bezug auf den Lichtwellenleiter.
  • Dazu realisiert man einen Laser, dessen Resonator einen Teil des Lichtwellenleiters umfasst: man bildet die Spiegel dieses Resonators auf dem Lichtwellenleiter aus und man fügt ein Laserverstärkermedium in den Leiter ein.
  • Dies wird schematisch durch das Beispiel der 3 dargestellt, in der man einen IC 36 sieht, dazu bestimmt, einem anderen IC (nicht dargestellt) über eine optische Schaltung 38 Informationen zu liefern, die auf einem Substrat 40 ausgebildet ist und einen Lichtwellenleiter 42 sowie einen Laser 44 umfasst, der einen elektro-optischen Wandler bildet.
  • Dieser Laser 44 wird durch den. IC 36 gesteuert und ist mit diesem letzteren durch eine rein elektrische Verbindung verbunden, realisiert zum Beispiel mit Hilfe von Mikrokugeln 46 aus einem schmelzbaren Material.
  • Der Laser 44 umfasst einen durch zwei Spiegel 48 und 50 abgegrenzten Resonator, die auf dem Lichtwellenleiter 42 ausgebildet sind, sowie ein Halbleiter-Verstärkermedium 52, das sich in der Nähe des Leiters befindet, zum Beispiel in einer Aussparung 54 in der optischen Schaltung 38, die diesen Lichtwellenleiter 42 durchquert, zwischen den beiden Spiegeln 48 und 50.
  • Der Laser der 3 umfasst Elektroden (nicht dargestellt), dazu bestimmt, das Verstärkermedium zu erregen. Diese Elektroden sind mittels Mikrokugeln mit dem IC 36 verbunden.
  • Der zwischen dem Verstärkermedium und der Wand der Aussparung enthaltene Raum ist vorzugsweise mit einem Brechzahlanpassungsmaterial gefüllt, zum Beispiel einem Fluid oder Gel, um die optische Kopplung zwischen diesem Verstärkermedium und dem optischen Wellenleiter 42 zu verbessern.
  • Zur Bildung des Verstärkermediums 52 sind diverse Materialien möglich. Man kann zum Beispiel Halbleitermaterialien mit Quantenbrunnen bzw. -töpfen verwenden, von der Art derjenigen, die man bei den VCSELs benutzt und die mehrere Einschließungsschichten (Brunnen) umfassen.
  • Man kann vorsehen, dass diese Schichten mehr oder weniger geneigt sind in Bezug auf die Wand 54 der Aussparung 56 (4), um eine Positionierungstoleranz und die erwünschte Verstärkung des Lasers zu berücksichtigen. Diese Verstärkung hängt von dem Reflexionskoeffizienten der Spiegel ab, die den Resonator des Lasers begrenzen.
  • Wenn eine optische Integrationstechnik des Silicium-auf-Silicium-Typs gewählt wird, ist es vorteilhaft, Spiegel zu verwenden, die durch Bragg-Beugungsgitter 58 und 60 gebildet werden (4), die man in dem Lichtwellenleiter 42 photoinduziert.
  • Zum Thema der mittels Bragg-Gittern realisierten Spiegel kann man sich zum Beispiel auf das folgende Dokument beziehen: A. Goyal und M. Muendel, Photonics Spectra, September 1998, Seiten 116 bis 121. Wenn der Lichtwellenleiter aus einem Material mit einer hohen Brechzahl gebildet wird, zum Beispiel mittels der Silicium-auf-Isolator-Technik, bei dem eine Lichtleitschicht aus Silicium zwischen zwei Siliciumdioxidschichten enthalten ist, können die Spiegel Schlitze 62 und 64 sein (5), vorgesehen in der optischen Schaltung, den Lichtwellenleiter 42 unterbrechend, senkrecht zu diesem, beiderseits der Aussparung 54, in der sich das Verstärkermedium 52 befindet. Die Reflexionen des Lichts finden dann an den Luft-Schlitzwände-Grenzflächen statt.
  • Die Erfindung ist nicht begrenzt auf die Zusammenschaltung zweier ICs, ausgebildet auf zwei verschiedenen Substraten (Inter-Chip-Zusammenschaltung), wie dargestellt in der 2. Sie betrifft auch die Zusammenschaltung von zwei auf einem einzigen Substrat ausgebildeten ICs (Intra-Chip-Zusammenschaltung).
  • Zudem ist die Erfindung nicht auf die Zusammenschaltung zweier ICs begrenzt. Sie betrifft auch die optische Verbindung eines IC mit Hilfe einer in einem Substrat ausgebildeten optischen Schaltung, wieder mit einem Lichtwellenleiter sowie einem opto-elektronischen Bauteil, das optisch mit diesem Lichtwellenleiter gekoppelt ist und mit dem IC verbunden ist durch eine rein elektrische Verbindung zwischen diesem Bauteil und diesem IC.
  • Wenn das Bauteil als elektronisch-optischer Wandler verwendet wird, ermöglicht dies, elektrische Signale, die der IC aussendet, in Lichtsignale umzuwandeln, die sich dann in dem Lichtwellenleiter ausbreiten.
  • Wenn man das Bauteil hingegen als opto-elektrischen Wandler benutzt, ermöglicht dies diesem letzteren, Lichtsignale zu empfangen, die sich in dem Lichtwellenleiter ausbreiten, und sie in elektrische Signale umzuwandeln, die dann durch den IC empfangen werden.
  • Eine solche Verbindung findet Anwendungen bei den Eingängen/Ausgängen eines IC: irgend eine Einrichtung kann Lichtsignale in den Lichtwellenleiter einspeisen, die der IC in Form von elektrischen Signalen empfangen kann, oder umgekehrt kann dieser IC elektrische Signale aussenden, die dann in optische Signale umgewandelt werden, die sich in dem Lichtwellenleiter ausbreiten und dann von einem Photodetektor detektiert werden können, der durch irgendeine geeignete Einrichtung mit diesem Lichtwellenleiter optisch gekoppelt ist.

Claims (10)

  1. Optische Verbindung für einen integrierten elektronischen Schaltkreis (36), wobei diese optische Verbindung eine auf einem Substrat (40) ausgebildete optische Schaltung (38) mit einem Lichtwellenleiter (42) und einem optisch-elektronischen Bauteil (44) umfasst, das optisch mit dem Lichtwellenleiter gekoppelt ist und eine elektronisch-optische Umwandlerfunktion hat, und wo die optische Schaltung mit dem integrierten elektronischen Schaltkreis durch eine rein elektrische Verbindung (46) zwischen dem optisch-elektronischen Bauteil und dem integrierten elektronischen Schaltkreis verbunden ist, um elektrische Signale, gesendet durch den integrierten elektronischen Schaltkreis, in optische Signale umzuwandeln, die sich dann in dem Lichtwellenleiter ausbreiten, wobei die genannte optische Verbindung dadurch gekennzeichnet ist, dass das genannte optisch-elektronische Bauteil ein Laser ist, der einen Resonator umfasst, der durch zwei Spiegel (48–50, 58–60, 62–64) begrenzt wird, die an dem Lichtwellenleiter (42) ausgebildet sind, und ein Verstärkermedium (52) umfasst, angeordnet in einer Aussparung (54), die in dem Lichtwellenleiter vorgesehen ist, zwischen den beiden Spiegeln.
  2. Optische Verbindung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das optisch-elektronische Bauteil (44), das optisch mit dem Lichtwellenleiter gekoppelt ist, auch eine optisch-elektronische Umwandlerfunktion hat, die ermöglicht, die optischen Signale, die sich in dem Lichtwellenleiter ausbreiten, in elektrische Signale umzuwandeln, die dann von dem integrierten elektronischen Schaltkreis empfangen werden.
  3. Optische Verbindung zwischen ersten und zweiten integrerten elektronischen Schaltkreisen (18, 20), eine optische Schaltung (22) umfassend, ausgebildet auf einem Substrat (24) und einen Lichtwellenleiter (26) und erste und zweite optisch-elektronische Bauteile (28, 30) enthaltend, die optisch mit dem Lichtwellenleiter gekoppelt sind, wobei das erste elektrooptische Bauteil (28) wenigstens entweder eine optisch-elektronische Umwandlerfunktion hat, wenn das erste Bauteil die elektronisch-optische Umwandlerfunktion hat, oder eine elektronisch-optische Umwandlerfunktion hat, wenn das erste Bauteil die optisch-elektronische Umwandlerfunktion hat, und wo die optische Schaltung mit dem ersten und zweiten integrierten elektronischen Schaltkreis durch rein elektrische Verbindungen (32, 34) zwischen jeweils dem ersten und zweiten optisch-elektronischen Bauteil (28, 30) und den integrierten elektronischen Schaltkreisen (18, 20) verbunden ist, um elektrische Signale, gesendet durch den ersten und/oder zweiten integrierten elektronischen Schaltkreis, in optische Signale umzuwandeln, die sich dann in dem Lichtwellenleiter ausbreiten und anschließend wieder in elektrische Signale umgewandelt werden, die durch den zweiten und/oder ersten integrierten elektronischen Schaltkreis empfangen werden, wobei diese optische Verbindung dadurch gekennzeichnet ist, dass jedes optisch elektronische Bauteil ein Laser ist, der einen Resonator umfasst, der durch zwei Spiegel (48–50, 58–60, 62–64) begrenzt wird, die an dem Lichtwellenleiter (42) ausgebildet sind, und ein Verstärkermedium (52) umfasst, angeordnet in einer Aussparung (54), die in dem Lichtwellenleiter vorgesehen ist, zwischen den beiden Spiegeln.
  4. Verbindung nach Anspruch 3, bei der der erste und der zweite elektronische Schaltkreis (18, 20) auf jeweils verschiedenen Substraten ausgebildet sind.
  5. Verbindung nach Anspruch 3, bei der der erste und der zweite elektronische Schaltkreis (18, 20) auf demselben Substrat ausgebildet sind.
  6. Verbindung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der die optische Schaltung und jeder integrierte elektronische Schaltkreis aus Materialien gemacht sind, die im Wesentlichen den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten haben:
  7. Verbindung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei der jede rein elektrische Verbindung durch Mikrokugeln (32, 34, 46) aus einem schmelzbaren Material hergestellt wird.
  8. Verbindung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der die beiden Spiegel Bragg-Gitter (58, 60) sind, in den Lichtwellenleiter durch Ätzung oder Photoinduktion erzeugt.
  9. Verbindung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der jeder Spiegel ein Schlitz (62, 64) ist, der den Lichtwellenleiter durchquert.
  10. Verbindung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei der der zwischen dem Verstärkermedium (52) und der Aussparungswand (54) enthaltene Raum (56) einen Brechzahl-Adapter enthält.
DE60001578T 1999-06-29 2000-06-27 Optische verbindung für integrierte elektronische schaltkreise und anwendung in kreuzverbindungen von solchen schaltkreisen Expired - Lifetime DE60001578T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9908307 1999-06-29
FR9908307A FR2795872B1 (fr) 1999-06-29 1999-06-29 Connexion optique pour circuit electronique integre et application aux interconnexions de tels circuits
PCT/FR2000/001794 WO2001001181A1 (fr) 1999-06-29 2000-06-27 Connexion optique pour circuit electronique integre et application aux interconnexions de tels circuits

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60001578D1 DE60001578D1 (de) 2003-04-10
DE60001578T2 true DE60001578T2 (de) 2004-02-19

Family

ID=9547436

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60001578T Expired - Lifetime DE60001578T2 (de) 1999-06-29 2000-06-27 Optische verbindung für integrierte elektronische schaltkreise und anwendung in kreuzverbindungen von solchen schaltkreisen

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6718079B1 (de)
EP (1) EP1190270B1 (de)
DE (1) DE60001578T2 (de)
FR (1) FR2795872B1 (de)
WO (1) WO2001001181A1 (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002088812A1 (de) * 2001-04-30 2002-11-07 Infineon Technologies Ag Anordnung zur detektion von optischen signalen eines planaren optischen schaltkreises
US6599031B2 (en) 2001-09-12 2003-07-29 Intel Corporation Optical/electrical interconnects and package for high speed signaling
WO2003038492A2 (en) * 2001-10-26 2003-05-08 Massachusetts Institute Of Technology Hybrid integration of electrical and optical chips
US7079722B2 (en) * 2004-09-22 2006-07-18 Maxentric Technologies Llc Apparatus and method for transmitting electrical power through a transparent or substantially transparent medium
US7206471B2 (en) * 2004-12-23 2007-04-17 Lucent Technologies Inc. Integrated circuit having an optical core
US7856207B2 (en) 2007-12-28 2010-12-21 Echostar Technologies L.L.C. Apparatus and systems for electrically isolating and transmitting RF signals between two devices
KR20110017545A (ko) * 2009-08-14 2011-02-22 한국전자통신연구원 광 결합기
EP3373055A1 (de) * 2017-03-10 2018-09-12 Siemens Aktiengesellschaft Elektrooptische schaltung mit einer optischen übertragungsstrecke, elektrooptische baugruppe zum einbau in eine solche elektrooptische schaltung und verfahren zum erzeugen einer optischen schnittstelle einer elektrooptischen schaltung
US11493713B1 (en) 2018-09-19 2022-11-08 Psiquantum, Corp. Photonic quantum computer assembly having dies with specific contact configuration and matched CTE

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3828952A1 (de) * 1988-08-26 1990-03-15 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Wellenleiter-lasersystem
US5237434A (en) * 1991-11-05 1993-08-17 Mcnc Microelectronic module having optical and electrical interconnects
US5757989A (en) * 1992-09-10 1998-05-26 Fujitsu Limited Optical circuit system capable of producing optical signal having a small fluctuation and components of same
US5521992A (en) * 1994-08-01 1996-05-28 Motorola, Inc. Molded optical interconnect
US5835646A (en) * 1995-09-19 1998-11-10 Fujitsu Limited Active optical circuit sheet or active optical circuit board, active optical connector and optical MCM, process for fabricating optical waveguide, and devices obtained thereby
US5987050A (en) * 1998-11-16 1999-11-16 Lucent Technologies, Inc. Laser transmitter based on a coupler and having a controlled output port

Also Published As

Publication number Publication date
FR2795872B1 (fr) 2003-05-30
US6718079B1 (en) 2004-04-06
EP1190270B1 (de) 2003-03-05
EP1190270A1 (de) 2002-03-27
WO2001001181A1 (fr) 2001-01-04
DE60001578D1 (de) 2003-04-10
FR2795872A1 (fr) 2001-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69627086T2 (de) Wellenlängenselektive Bauteile mit SOI-Halbleiter
DE69937014T2 (de) Lichtwellenleiterverzweigung mit Reflektor
DE69815219T2 (de) Gerät für die Anregung eines optischen Faserlasers
DE69434104T2 (de) Optoelektronische Hybridintegrationsplattform und optisches Sub-Modul
DE60208225T2 (de) Integrierte optische schaltung mit einem integrierten wellenleiterarray (awg) und wenigstens einem integrierten optischen verstärker
DE60219815T2 (de) Monolitische elektronische mehrlagenanordnung und deren herstellungsverfahren
DE19819164C1 (de) Baugruppe
DE69836058T2 (de) Mehrkanaliges optisches Empfänger-/Sendersystem
EP2702364B1 (de) Vorrichtung zur messung von zustandsgrössen
DE102007057494A1 (de) Optische Kommunikation über parallele Kanäle unter Verwendung einer Modulatoranordnung und eines gemeinsam genutzten Lasers
EP0600267A1 (de) Bidirektionaler optischer Sende- und Empfangsmodul
DE4027024A1 (de) Faserkreisel
DE10150401A1 (de) Ausrichten eines optischen Bauelementsystems mit einem optischen Linsensystem
DE60001578T2 (de) Optische verbindung für integrierte elektronische schaltkreise und anwendung in kreuzverbindungen von solchen schaltkreisen
DE102014119717B4 (de) Integrierte optoelektronische Vorrichtung und System mit Wellenleiter und Herstellungsverfahren derselben
WO2004051335A1 (de) Optische sende- und/oder empfangsanordnung mit einem planaren optischen schaltkreis
DE4106721C2 (de)
DE10201126A1 (de) Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
WO1998041888A1 (de) Hermetisch dichtes optisches sendemodul
DE602005004945T2 (de) Herstellung einer optischen Verbindungsschicht auf einem elektronischen Schaltkreis
DE60130150T2 (de) Photonische signalmatrix in integrierter schaltung
WO1993013439A1 (de) Lichtleiterverbindung zum verkoppeln eines wellenleiters und einer faser
DE60300859T2 (de) Ramanverstärker
DE4308411A1 (de) Interferometer in integriert-optischer Bauweise
DE112018006281B4 (de) Adiabatisch gekoppelte photonische systeme mit vertikal abgeschrägten wellenleitern und verfahren

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition