DE4424236A1 - Verfahren zur Strukturierung der Oberfläche eines aus einem Polymer bestehenden Körpers und nach dem Verfahren hergestellte Anordnungen - Google Patents
Verfahren zur Strukturierung der Oberfläche eines aus einem Polymer bestehenden Körpers und nach dem Verfahren hergestellte AnordnungenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung der
Oberfläche eines aus einem Polymer bestehenden Körpers,
vorzugsweise einer Platte.
Auf zahlreichen technischen Gebieten, beispielsweise zur
Bildspeicherung, Bildverarbeitung, Sensorik und bei der
optischen Wellenleitung, werden optisch wirksame Strukturen
benötigt, deren Abmessungen in der Größenordnung von
Lichtwellenlängen liegen. Bei vielen Anwendungen dieser
Strukturen ist ferner eine genaue Einhaltung vorgegebener
Maße erforderlich.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur
Herstellung derartiger optisch wirksamer Strukturen
vorzuschlagen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Einwirkung
einer ionisierenden Strahlung auf zu vertiefende Teile der
Oberfläche gelöst. Dabei kann vorgesehen sein, daß die
Strahlung über eine die jeweilige Struktur darstellende
Maske auf die Oberfläche einwirkt oder daß die Strahlung in
Form eines auf die Oberfläche fokussierten Strahls einwirkt,
der entsprechend der zu erzielenden Struktur abgelenkt
und/oder intensitätsmoduliert wird.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren werden in den von der
ionisierenden Strahlung betroffenen Oberflächenschichten
chemische Bindungen in gezielter Form zerbrochen, woraus
sich ein Entweichen der Bruchstücke und ein Zusammensinken
(Kompaktierung) der restlichen Molekülteile ergibt. Dabei
können die kompaktierten Bereiche als Wellenleiter verwendet
werden. Für das erfindungsgemäße Verfahren sind verschiedene
Polymere geeignet. Erfolgreiche Versuche wurden mit
Polymethyl-Methacrylat durchgeführt.
Während an sich zur Durchführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens verschiedenartige ionisierende Strahlungen
geeignet sind, hat sich die Verwendung von ultravioletter
Strahlung als besonders günstig herausgestellt. Dieses ist
besonders vorteilhaft, da im Gegensatz zu anderer Strahlung
- wie beispielsweise mittelschnelle Ionen - die Erzeugung
eines Vakuums nicht erforderlich ist.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist vorgesehen,
daß die Wellenlänge der ultravioletten Strahlung kleiner als
280 nm ist. Vorzugsweise liegt die Wellenlänge im Bereich
von 250 nm bis 280 nm.
Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens
besteht darin, daß die für die meisten Anwendungsfälle
angestrebten Abmessungen der Strukturen durch eine leicht
realisierbare Bestrahlungsdosis erreicht werden.
Vorzugsweise ist bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
vorgesehen, daß die Tiefe der herzustellenden Struktur durch
die Dosis (Intensität, Einwirkungszeit) der Strahlung
gesteuert wird.
Eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens
besteht darin, daß auf die Oberfläche einer vorzugsweise
kreisscheibenförmig ausgebildeten Platte zu Zwecken der
Speicherung von Signalen mit dem Strahl Spuren geschrieben
werden und daß der Strahl mit den aufzuzeichnenden Signalen
moduliert wird. Hierdurch kann eine optische
Signalspeicherplatte hergestellt werden, die ähnlich wie die
weit verbreiteten "Compact-Discs" optisch abgetastet werden
kann.
Bei einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens ist vorgesehen, daß auf der Oberfläche in
regelmäßigen Abständen ein Beugungsgitter darstellende
streifenförmige Vertiefungen hergestellt werden. Durch
dieses Verfahren entsteht ein Phasengitter, das für
verschiedene Anwendungen, beispielsweise zur
Spektralanalyse, geeignet ist und einen wesentlich höheren
Beugungswirkungsgrad hat als ein Amplitudengitter, das aus
abwechselnd lichtundurchlässigen und lichtdurchlässigen
Streifen besteht.
Eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens sieht vor, daß die Vertiefungen Phasenhologramme
darstellen. Die somit hergestellten Phasenhologramme können
in an sich bekannter Weise zur Speicherung von Bildern
verwendet werden.
Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des
erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß mit der
Strahlung Strukturen erzeugt werden, die eine Mikrolinse
darstellen. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte
Mikrolinsen können vorzugsweise als Fresnelsche Zonenplatten
ausgebildet sein und besonders vorteilhaft bei der optischen
Nachrichtenübertragung verwendet werden.
Durch die in weiteren Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen
sind vorteilhafte mit dem im Hauptanspruch angegebenen
Verfahren hergestellte Erzeugnisse möglich.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung
an Hand mehrerer Figuren dargestellt und in der nachfolgenden
Beschreibung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines
Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen
Verfahrens,
Fig. 2 eine ebenfalls schematische Darstellung einer
Polymerplatte mit einer nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren strukturierten Oberfläche,
Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung einer mit dem
erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten
Vertiefung,
Fig. 4 einen Ausschnitt aus einem mit dem erfindungsgemäßen
Verfahren hergestellten Phasengitter,
Fig. 5 ein Diagramm zur Abhängigkeit der Tiefe der Struktur
von der Bestrahlungszeit,
Fig. 6 einen unter Anwendung des erfindungsgemäßen
Verfahrens hergestellten optischen Verzweiger und
Fig. 7 die Anwendung einer erfindungsgemäß hergestellten
Struktur zur optischen Kopplung eines auf einem
Substrat befindlichen Lichtleiters mit einer
Lichtleitfaser.
Gleiche Teile sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen
versehen.
Bei dem in Fig. 1 dargestellten Verfahren liegt auf einem
aus einem Polymer bestehenden Substrat 1 eine Maske 2, die
beispielsweise von einer auf einer Quarzglasscheibe 3
aufgebrachten Chromschicht 4 gebildet wird. An denjenigen
Stellen, an denen in der Oberfläche des Substrats 1
Vertiefungen erzeugt werden sollen, weist die Chromschicht 4
Aussparungen 5 auf. An diesen Stellen wird die Oberfläche
des Substrats einer UV-Strahlung 6 ausgesetzt. Dadurch
werden die Moleküle des Substrats aufgebrochen, wobei
kleinere Bruchstücke in Form von Gasen entweichen und die
restlichen Moleküle zusammenfallen.
Dieser Prozeß ist von der jeweils angewandten
Bestrahlungsdosis abhängig und kann beispielsweise bei
konstanter Intensität über die Bestrahlungsdauer gesteuert
werden. Das Ergebnis des im Zusammenhang mit Fig. 1
erläuterten Verfahrens ist in Fig. 2 schematisch
dargestellt. Es lassen sich Vertiefungen 7 mit einer Tiefe
zwischen 0 µm und 1,5 µm und mit lateralen Abmessungen bis
herab zu 1 µm bis 2 µm bei einer Genauigkeit von ±30 nm
herstellen.
An den Rändern der Vertiefungen 7 ergeben sich jedoch
Grenzeffekte, die in der vereinfachten Darstellung nach Fig. 2
nicht sichtbar sind. Fig. 3 zeigt eine Vertiefung 11,
deren Breite nicht wesentlich größer als die Tiefe d ist. In
den Grenzbereichen zwischen den bestrahlten und den
unbestrahlten Teilen des Substrats ergibt sich ein
allmählicher Übergang, so daß die Ränder der Vertiefungen
eine abgerundete Form aufweisen. Bei einer Breite der
Vertiefung, welche die Tiefe d nicht wesentlich
überschreitet (wie in Fig. 3 dargestellt), ergibt sich dann
eine insgesamt gerundete Vertiefung. Dieses kann jedoch in
geschickter Weise für verschiedene Anwendungen ausgenutzt
werden, beispielsweise bei der Signalaufzeichnung, wenn ein
unterschiedliches Reflexionsvermögen zwischen vertieften und
nicht vertieften Teilen der Oberfläche gewünscht wird.
Fig. 4 zeigt einen Ausschnitt aus einem mit dem
erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Phasengitter,
wobei die vertieften Streifen 12 durch eine teilweise
Schraffur gegenüber den dazwischenliegenden unbehandelten
Teilen 13 der Oberfläche hervorgehoben sind. In an sich
bekannter Weise ist der Dickenunterschied zwischen der
Platte an den vertieften Stellen 12 und an den nicht
vertieften Stellen 13 maßgebend für die zu erzielende
Beugung in Abhängigkeit von der Wellenlänge. Dieser Effekt
wird dadurch unterstützt, daß unter den Vertiefungen 12
kompaktierte Bereiche mit einem höheren Brechungsindex
liegen.
Fig. 5 zeigt die Zeitabhängigkeit der Tiefe d (Fig. 3) von
der Bestrahlungszeit t bei einer vorgegebenen
Strahlungsintensität. Aus Fig. 5 geht hervor, daß nach einem
im wesentlichen linearen Bereich bei einer Bestrahlungszeit
zwischen 0 und etwa 280 Minuten eine Sättigung auftritt, bei
der die Tiefe einem Grenzwert von 1,4 µm zustrebt.
Fig. 6 zeigt eine unter Anwendung des erfindungsgemäßen
Verfahrens herstellbare optische Anordnung, die als
Verzweiger und Umschalter für optische Signale dient. Die zu
verzweigenden optischen Signale werden in einem
Lichtwellenleiter 21 auf einem Substrat 22 zugeführt, was
durch einen Pfeil angedeutet ist. Ausgangsseitig sind
parallel drei Träger 23, 24, 25 vorgesehen, auf denen
jeweils zwei Lichtwellenleiter 26 bis 31 angeordnet sind.
Zwischen der Lichtaustrittsfläche des Lichtwellenleiters 21
und den Lichteintrittsflächen der Lichtwellenleiter 26 bis
31 sind zwei weitere Träger 32, 33 mit einer fresnelschen
Zonenplatte 34 und mit zwei fresnelschen Zonenplatten 35, 36
angeordnet. Das aus der Lichtaustrittsfläche des
Lichtwellenleiters 21 austretende Licht wird durch die
fresnelsche Zonenplatte 34 zu einem telezentrischen
Strahlengang 37 gebündelt. Die Zonenplatten 35, 36 sind
kleiner als die Zonenplatte 34 und dicht beieinander
angeordnet, so daß sich das Lichtbündel 37 auf beide
Zonenplatten 35, 36 verteilt. Diese fokussieren das Licht
auf die Eintrittsflächen der Lichtwellenleiter 28, 29, von
wo aus es in Pfeilrichtung weitergeleitet werden kann. Damit
ist ein für verschiedene Zwecke brauchbarer Verzweiger
angegeben.
Durch eine geeignete Bewegung der Träger 23 bis 25 oder des
Trägers 33 kann der Verzweiger ferner als Umschalter
verwendet werden. So kann beispielsweise das aus den Trägern
23 bis 25 bestehende Paket um jeweils einen Abstand zwischen
den Trägern in Richtung der Z-Achse verschoben werden. Es
ist auch eine Kippbewegung des Trägers 33 um die X-Achse
oder eine lineare Bewegung in Richtung der Z-Achse möglich,
um das Licht auf die Lichtwellenleiter eines anderen Trägers
zu leiten.
Durch Anordnung einer größeren Anzahl von Lichtwellenleitern
auf einem Träger, als Zonenplatten auf den Träger 33
vorhanden sind, können weitere Umschaltmöglichkeiten
geschaffen werden, beispielsweise durch Schiebung der Träger
23 bis 25 oder des Trägers 33 in Richtung der X-Achse oder
Kippen des Trägers 33 um die Z-Achse.
Eine weitere Abwandlung der in Fig. 6 dargestellten
Anordnung kann beispielsweise darin bestehen, daß nur eine
Zonenplatte auf dem Träger 33 vorgesehen ist, deren Größe
der Zonenplatte 34 entspricht, wobei durch die im
Zusammenhang mit Fig. 6 dargestellten Bewegungsmöglichkeiten
ein Umschalter ohne Verzweigerfunktion erfolgt. Eine
Umkehrung der Flußrichtung des Lichts ist ebenfalls möglich,
so daß eine Anordnung zum Zusammenfassen gebildet wird.
Fig. 7 zeigt eine ebenfalls unter Anwendung des
erfindungsgemäßen Verfahrens herstellbare Koppeleinrichtung
zwischen einem Lichtwellenleiter 41 auf einen Träger 42
(Chip) und einer Lichtleitfaser 43. Dazu wird auf dem Träger
42 mit dem erfindungsgemäßen Verfahren eine Zonenplatte
aufgebracht, die als Sammellinse das aus dem
Lichtwellenleiter 41 austretende Licht in die Lichtleitfaser
43 konzentriert.
Claims (19)
1. Verfahren zur Strukturierung der Oberfläche eines aus
einem Polymer bestehenden Körpers, vorzugsweise einer
Platte, gekennzeichnet durch die Einwirkung einer
ionisierenden Strahlung auf zu vertiefende Teile der
Oberfläche.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Strahlung über eine die jeweilige Struktur darstellende
Maske auf die Oberfläche einwirkt.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Strahlung in Form eines auf die Oberfläche fokussierten
Strahls einwirkt, der entsprechend der zu erzielenden
Struktur abgelenkt und/oder intensitätsmoduliert wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die ionisierende Strahlung eine
ultraviolette Strahlung ist.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Wellenlänge der ultravioletten Strahlung kleiner als
280 nm ist.
6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Wellenlänge im Bereich von 250 nm bis 280 nm liegt.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Tiefe der herzustellenden
Struktur durch die Dosis (Intensität, Einwirkungszeit) der
Strahlung gesteuert wird.
8. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
auf die Oberfläche einer vorzugsweise kreisscheibenförmig
ausgebildeten Platte zu Zwecken der Speicherung von Signalen
mit dem Strahl Spuren geschrieben werden und daß der Strahl
mit den aufzuzeichnenden Signalen moduliert wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß auf der Oberfläche in regelmäßigen
Abständen ein Beugungsgitter darstellende streifenförmige
Vertiefungen hergestellt werden.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die Vertiefungen Phasenhologramme
darstellen.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß mit der Strahlung Strukturen erzeugt
werden, die eine Mikrolinse darstellen.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Herstellung eines
Informationsträgers mit einer entsprechend der gespeicherten
Information strukturierten Oberfläche auf einem
Informationsträger aus einem Polymer die Strukturen von
Vertiefungen gebildet werden, unter denen das Polymer
gegenüber den nicht vertieften Teilen der Oberfläche
kompaktiert ist.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Herstellung eines Beugungsgitters
streifenförmige Vertiefungen, unter denen das Polymer
gegenüber den nicht vertieften Teilen der Oberfläche
kompaktiert ist, auf einen plattenförmigen Träger aus
Polymer aufgebracht werden.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Herstellung einer fresnelschen
Zonenplatte auf einer Scheibe aus Polymer mehrere
verschieden große im wesentlichen geschlossene, vorzugsweise
konzentrische kreisförmige Vertiefungen, unter denen das
Polymer gegenüber den nicht vertieften Teilen der Oberfläche
kompaktiert ist, aufgebracht werden.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Herstellung einer optischen
Anordnung zur Verzweigung oder Zusammenfassung von in
Lichtwellenleitern geführten Lichtwellen Stirnflächen der
Lichtwellenleiter, die als Lichteintritts- oder
Lichtaustrittsflächen dienen, jeweils fresnelsche
Zonenplatten gegenübergestellt werden, die das aus den
Lichtaustrittsflächen divergierend austretende Licht bündeln
und das in die Lichteintrittsflächen eintretende Licht
fokussieren, daß auf einer Seite der optischen Anordnung die
Stirnfläche eines Lichtwellenleiters und auf der anderen
Seite der optischen Anordnung in im wesentlichen einer Ebene
Stirnflächen mehrerer Lichtwellenleiter angeordnet werden.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß
den mehreren Stirnflächen mehrere Zonenplatten
gegenübergestellt werden, die auf Grund ihrer Größe und ihres
Abstandes untereinander von dem durch die der einen
Stirnfläche gegenüberstehenden Zonenplatte bestimmten
Lichtbündel erfaßt werden.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 oder 16, dadurch
gekennzeichnet, daß die mindestens eine den mehreren
Stirnflächen gegenüberstehende Zonenplatte beweglich
gelagert wird.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß
die mindestens eine bewegliche Zonenplatte mit Hilfe einer
piezoelektrischen Einrichtung kippbar angeordnet wird.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß zur optischen Kopplung einer
Lichtleitfaser mit einem auf einem Träger angeordneten
Lichtwellenleiter auf dem Träger ferner eine fresnelsche
Zonenplatte als Sammellinse zwischen gegenüberstehenden
Stirnflächen des Lichtwellenleiters und der Lichtleitfaser
angeordnet wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944424236 DE4424236A1 (de) | 1994-07-09 | 1994-07-09 | Verfahren zur Strukturierung der Oberfläche eines aus einem Polymer bestehenden Körpers und nach dem Verfahren hergestellte Anordnungen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944424236 DE4424236A1 (de) | 1994-07-09 | 1994-07-09 | Verfahren zur Strukturierung der Oberfläche eines aus einem Polymer bestehenden Körpers und nach dem Verfahren hergestellte Anordnungen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE4424236A1 true DE4424236A1 (de) | 1996-01-18 |
Family
ID=6522741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19944424236 Ceased DE4424236A1 (de) | 1994-07-09 | 1994-07-09 | Verfahren zur Strukturierung der Oberfläche eines aus einem Polymer bestehenden Körpers und nach dem Verfahren hergestellte Anordnungen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4424236A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19630705A1 (de) * | 1995-08-30 | 1997-03-20 | Deutsche Telekom Ag | Verfahren zur Herstellung von 3-dimensional strukturierten Polymerschichten für die integrierte Optik |
EP1598659A1 (de) * | 2004-05-21 | 2005-11-23 | Forschungszentrum Karlsruhe GmbH | Vorrichtung zur in-vivo Charakterisierung von Zellen und ihre Verwendung |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4140712A1 (de) * | 1991-03-28 | 1992-10-01 | Pioneer Electronic Corp | Optische platte und verfahren zu deren herstellung |
EP0547419A1 (de) * | 1991-12-14 | 1993-06-23 | BASF Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturkörpern |
DE4206328A1 (de) * | 1992-02-29 | 1993-09-02 | Sel Alcatel Ag | Verfahren zur herstellung optoelektronischer bauelemente |
DE4208278A1 (de) * | 1992-03-13 | 1993-09-16 | Bosch Gmbh Robert | Integriertes optisches bauelement |
DE4240266A1 (de) * | 1992-12-01 | 1994-06-09 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung optischer Polymerbauelemente mit integrierten vertikalen Koppelstrukturen |
DE4244195A1 (de) * | 1992-12-24 | 1994-06-30 | Basf Ag | Verfahren zur Herstellung von strukturierten Polymerschichten mit nichtlinear optischen Eigenschaften |
-
1994
- 1994-07-09 DE DE19944424236 patent/DE4424236A1/de not_active Ceased
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4140712A1 (de) * | 1991-03-28 | 1992-10-01 | Pioneer Electronic Corp | Optische platte und verfahren zu deren herstellung |
EP0547419A1 (de) * | 1991-12-14 | 1993-06-23 | BASF Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturkörpern |
DE4206328A1 (de) * | 1992-02-29 | 1993-09-02 | Sel Alcatel Ag | Verfahren zur herstellung optoelektronischer bauelemente |
DE4208278A1 (de) * | 1992-03-13 | 1993-09-16 | Bosch Gmbh Robert | Integriertes optisches bauelement |
DE4240266A1 (de) * | 1992-12-01 | 1994-06-09 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung optischer Polymerbauelemente mit integrierten vertikalen Koppelstrukturen |
DE4244195A1 (de) * | 1992-12-24 | 1994-06-30 | Basf Ag | Verfahren zur Herstellung von strukturierten Polymerschichten mit nichtlinear optischen Eigenschaften |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
KNITTEL, DIRK et al.: Oberflächenbehandlung polymerer Fasern durch UV-Laserlichtbestrahlung, In: Ang. Makromol. Chemie, 1990, 178, S. 143-151 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19630705A1 (de) * | 1995-08-30 | 1997-03-20 | Deutsche Telekom Ag | Verfahren zur Herstellung von 3-dimensional strukturierten Polymerschichten für die integrierte Optik |
US6291139B1 (en) | 1995-08-30 | 2001-09-18 | Deutsche Telekom Ag | Process for fabricating three-dimensional polymer layer structures |
EP1598659A1 (de) * | 2004-05-21 | 2005-11-23 | Forschungszentrum Karlsruhe GmbH | Vorrichtung zur in-vivo Charakterisierung von Zellen und ihre Verwendung |
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