DE4417170C1 - Gassensor bestehend aus Oberflächenwellen-Bauelementen - Google Patents
Gassensor bestehend aus Oberflächenwellen-BauelementenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einem Gassensor nach dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1, wie er aus der US 4 312 228 bekannt
ist.
Modifizierte akustische Oberflächenwellen oder Surface Acou
stic Wave (SAW) Bauelemente können für die chemische Sensorik
von Gasen oder Flüssigkeiten eingesetzt werden, indem man sie
mit einer entsprechend chemisch reaktiven Beschichtungen ver
sieht. Bei der Ab- oder Adsorption des Analyten verändern
sich die Masse der Beschichtung sowie deren elastische Para
meter, wodurch sich die Schallgeschwindigkeit der Oberflä
chenwelle ebenfalls verändert. Um die Änderung der Schallge
schwindigkeit einer Oberflächenwelle möglichst exakt und
trotzdem einfach zu messen ist es üblich, ein beschichtetes
SAW-Bauelement als frequenzbestimmendes Element einer Oszil
latorschaltung zu schalten. Dies ist aus H. Wohltjen, R.
Dessy: SAW Probe for Chemical Analysis, Parts 1-3; Analyti
cal Chemistry, 51(1979), 1458-1475. und H. Wohltjen: Mecha
nism of Operation and Design Considerations for SAW Device
Vapour Sensors; Sensors and Actuators, 5(1984) 307-325 be
kannt.
Aus der Schallgeschwindigkeitsänderung ergibt sich eine in
guter Näherung proportionale Änderung der Oszillations
frequenz, welche mit einer hohen Auflösung von typischerweise
10-6 gemessen werden kann. Durch eine entsprechende Wahl von
Sorptionsschichten lassen sich mit dieser Technik eine nahezu
beliebige Vielzahl von gasförmigen Analyten untersuchen.
Hauptinteresse finden hierbei solche Stoffe, die mit anderen
chemischen Mikrosensoren nur schwer einer qualitativen und
quantitativen Bestimmung zugänglich sind: Organische Lösungs
mittel, wie beispielsweise Kohlenwasserstoffe (Hexan, Oktan,
Decan, versch. Kraftstoffe), Alkohole (Methanol, Ethanol),
halogenierte Kohlenwasserstoffe (CKW′s, FCKW′s) und Aromaten
(Benzol, Toluol).
Um die oben genannten Stoffe analysieren zu können, werden
für die SAW-Bauelemente Substanzen ausgewählt, die mit dem
betreffenden Analyten eine reversible Sorptionsreaktion ein
gehen. Hierfür kommen meist Polymerfilme in Betracht, die je
nach Erfordernis mit verschiedenen Verfahren, wie Spin-Coa
ting, Sol-Gel-Beschichtung oder reaktive Abscheidung auf die
SAW-Substrate aufgebracht werden. Das Sorptions- und Lösungs
verhalten der Analyten in den betreffenden Beschichtungen
wird durch das jeweilige Verhältnis ihrer Polaritäten, Pola
risierbarkeiten, Aziditäten, Basizitäten und verschiedenen
Strukturparametern bestimmt. Allerdings weisen die meisten
verwendbaren beschichtungsfähigen Polymere eine zu geringe
Selektivität hinsichtlich verschiedener organischer Komponen
ten auf.
Aus der EP 0 509 328 A2 ist eine Anordnung von 3 SAW bekannt,
die jedoch hinter einander angeordnet sind. Dies führt zu un
terschiedlichen Strömungsverhältnissen in den einzelnen Sen
soren.
Des weiteren ist aus der EP 0477 684 A1 eine Anordnung von
mehr als 2 SAW mit unterschiedlicher Beschichtung bekannt.
Eine besondere Anordnung der Sensoren ist hier nicht vorgese
hen.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Gassensor der e. g. Art
zur Verfügung zu stellen, mit dem verschiedene Komponenten
gleichzeitig nachweisbar sind.
Gelöst wird diese Aufgabe durch die Merkmale des Pa
tentanspruchs 1. Die Unteransprüche beschreiben vorteilhafte
Ausgestaltungen des Gassensors.
Durch die Kombination mehrerer Sensoren mit Beschichtungen un
terschiedlicher Eigenschaften lassen sich Sensitivitätsmuster
gewinnen, die nach einer chemometrischen Auswertung (PLS-
Algorithmus) auch aus einer Analytenmischung die geforderte
qualitative und quantitative Bestimmung zulassen. Unter
Zuhilfenahme des Linear Solvation Energy Relationship (LSER)
Modells läßt sich zusätzlich eine theoretische Vorhersage der
Sorptionseigenschaften verschiedenster Schichtmaterialien
treffen. Dadurch wird eine gezielte Optimierung durch Auswahl
der Schichtsubstanzen bzw. deren Kombination möglich. Mit dem
so konzipierten Schichtsystem sind selektive Bestimmungen ei
ner großen Vielfalt von gasförmigen organischen Analyten
erreichbar.
Minimale Leitungslängen durch radiale Abgänge vom gemeinsamen
Knoten, bewirken geringere Signalverluste durch Dämpfung und
geringere Übersprechgefahr der einzelnen Kanäle.
Eine radiale Anordnung der Gaszuführung gestattet ebenfalls
in einfachster Weise eine äquivalente, parallele und syn
chrone Anströmung der Prüfgase. Dies ist ein entscheidender
Vorteil für die Signalauswertung bei den anzuwendenden chemo
metrischen Auswerteverfahren, sowie von Auswerteverfahren mit
Hilfe automatischer Reaktionsmustererkennung durch neuronale
Netze.
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbei
spiels mit Hilfe der Figuren näher erläutert.
Die Fig. 1 zeigt das Unterteil des Gehäuses, welches die
SAW′s und die elektronischen Module trägt und die Fig. 2, 3
und 4 zeigen Schaltpläne dieser Module.
Die Fig. 1 zeigt das Unterteil 1 des Gehäuses zusammen mit ei
nem Schnitt, von der Seite, welche die elektronischen Module
2, 3, 4 trägt. Die SAW′s befinden sich auf der anderen Seite
gegenüber den Modulen 2. Sie sind hier nicht dargestellt.
Dieses SAW-Sensoarray zur analytischen Bestimmung von Gasen
und Gasgemischen, besteht aus 9 SAW-Oszillatoren, wobei ein
Oszillator als gemeinsame Referenz für 8 Sensoroszillatoren
dient. Das Gerät ist jedoch erweiterbar auf n Oszillatoren
mit einer gemeinsamen Referenz und entsprechend n-1
Sensoroszillatoren, wobei n größer als 3 sein sollte.
Das Signal des Referenzoszillators wird über einen gemeinsa
men, impedanzangepaßten Knotenpunkt auf einzelne (n-1)
Mischstufen verteilt. Die Anordnung mit einem gemeinsamen
Knotenpunkt ermöglicht eine Ansteuerung der einzelnen
Mischereingänge mit gleichem HF-Pegel.
Das Gehäuseunterteil 1 und das nicht dargestellte
Gehäuseoberteil sind aus Metall gefertigt. Das Gehäuseober
teil enthält einen zentralen rotationssymmetrischen Gaszufüh
rungsraum, von welchem aus radial nach außen gleich ausgebil
dete Gaszuführungsleitungen zu Ausnehmungen zur Aufnahme der
SAW′s führen und Gasauslaßleitungen mit gleichem pneumati
schen Widerstand von allen Ausnehmungen nach außen.
Die hohe Temperaturleitfähigkeit des Metallgehäuses ermög
licht gleichmäßige Temperaturverteilung im gesamten Gehäuse,
bei niedrigen Herstellungskosten und mobile Einsatzmöglich
keiten durch kompakten Aufbau.
Geringe Probenvolumina bei paralleler Gasanströmung, bewirken
kurze Ansprechzeiten.
Durch den Aufbau der SAW-Oszillatoren in einem gemeinsamen
kompakten monolithischen Fräsgehäuse, bestehend aus einzelnen
Kammern, welche jeweils die einzelnen Oszillatorschaltungen
und davon getrennt in separaten Kammern die Mischstufen ent
hält, wird eine noch bessere Temperaturverteilung (hohe
Temperaturleitfähigkeit des Gehäuses), sowie geringes Über
sprechen und damit minimale Gefahr des gegenseitigen "Ein
lockens" der Oszillationsfrequenzen durch optimale Abschirmung
des auf Massepotential liegenden Gehäuses erreicht.
Üblicherweise bestehen die kommerziell gefertigte Transducer
aus Aluminium (beste akustoelektrische Eigenschaften), das
chemisch nicht ausreichend resistent ist, um einen längeren
stabilen Betrieb eines SAW-Chemosensors zu gewährleisten. Da
her ist beispielsweise Gold als Transducermaterial in der
SAW-Gassensorik besser geeignet. Eine andere Möglichkeit ist
die nachträgliche chemische Passivierung der Aluminiumtrans
ducer durch eine kontrollierte Oxidation des Aluminiums oder
mit einer inerten Beschichtung (z. B. Polyimid) der Transdu
cer.
Quarz als Substratmaterial für SAW-Bauelemente besitzt je nach
Wahl des Kristallschnittes eine bestimmte Temperatur mit
minimalstem Temperaturgang der Oberflächenwellenschall
geschwindigkeit, die sogenannte Kompensationstemperatur.
Wählt man nun gerade diese als Array-Betriebstemperatur, so
ergibt sich eine geringere Störempfindlichkeiten bezüglich
kleinen Temperaturschwankungen.
Entsprechend dem Linear Solvation Energy Relationship (LSER)-
Modell ergeben sich fünf verschiedene, energetisch unter
schiedliche Anteile, die für das Lösungsverhalten eines orga
nischen Lösungsmittels in eine feste Phase bestimmend sind.
Für die Bindungsenthalpien läßt sich ein analytischer Zusam
menhang formulieren (Formel 9, s 95 aus J. W. Grate, M. H.
Abraham: Solubility Interactions and the design of Chemically
Selective Sorbent Coatings for Chemical Sensors and Arrays;
Sensors and Actators B, 3(1991), 85-111).
Die einzelnen Energietherme lassen sich durch Löslichkeitspa
rameter charakterisieren, woraus sich fünf Parameter für die
gasförmige und fünf dazu jeweils korrespondierende Größen für
die feste Phase ergeben. Diese Parameter stellen gewisser
maßen eine Gewichtung der für den Lösungsprozeß verantwortli
chen Energieterme dar und sind für die verschiedenen Stoffe
unterschiedlich.
Ein optimales Schichtsystem ist nun dadurch gekennzeichnet,
daß Schichtsubstanzen mit möglichst unterschiedlicher Parame
terzusammensetzung gewählt werden. Dadurch lassen sich für
das Sensorarray mit einem solchen Schichtsystem möglichst
gute Differenzierungen erwarten.
Wenn es möglich ist Substanzen zu finden, für die jeweils
diese Parameter extremal bzw. idealerweise wenn nur einer ma
ximal, die anderen jeweils minimal sind, so läßt sich die An
zahl der zu Differenzierung notwendigen Schichten auf die An
zahl der verantwortlichen Parameter, nämlich fünf, reduzie
ren.
Die Tabelle zeigt beispielhaft Substanzen, für die diese Be
dingung zutrifft und repräsentiert damit eine Auswahl von
Substanzen. In der Mitte dargestellt sind die tatsächlichen
Werte. Der Wertevergleich auf der rechten Seite zeigt, wie
jeweils einige Werte maximal sind, während die
korrespondierenden Größen minimal sind. Trotz der niedrigen
Anzahl der Sensoren, lassen sich mit einem so bestückten SAW-
Sensorarray, prinzipiell die bestmöglichen Analysen mit Hilfe
einer chemometrischen Mustererkennung erzielen.
Bei der günstigen Anzahl von acht Sensoroszillatoren und ei
ner gemeinsamen Referenz im Array sollen die drei zusätzli
chen Sensoren speziell typische Störgrößen analysieren. Für
solche Stoffe wird damit eine größere Redundanz erzielt, wo
durch sich Gemische, welche Störkomponenten wie z. B. Wasser,
Stickoxide und Ammoniak enthalten, dann signifikanter bestim
men lassen.
Das Array und seine Auswertung ist für acht Signalgrößen
optimal, da eine digitale Auswerteelektronik mit handelsübli
chen Mikrochips ohnehin mit 8 Bit-multiplen Rastern arbeitet.
Wegen dem großen Temperatureinfluß auf die Oszillatorfrequen
zen, muß die Temperatur des Sensorkopfes hochkonstant gehal
ten werden. Durch den kompakten Aufbau des Sensorkopfes ist
es möglich mittels Peltierelemente die Temperatur des Meß
gases, sowie der Sensoren samt Ansteuerelektronik, in weiten
Bereichen präzise zu Regeln.
Die Gleichgewichtsverteilung zwischen Analyt in der Gasphase
und Analyt in der festen Phase (absorbiert) hängt von der
Temperatur ab. Bei niedrigen Temperaturen liegt die Gleichge
wichtseinstellung mehr bei der absorbierten Phase, wodurch
eine höhere Sensorempfindlichkeit erzeugt wird. Bei höheren
Temperaturen verhält es sich invers. Die
Gleichgewichtsverteilung liegt mehr bei der Gasphase und der
Sensor wird unempfindlicher. Dafür wird aber die Gleichge
wichtseinstellung schneller erreicht.
Somit kann durch die Wahl der Betriebstemperatur des Sensor
kopfes Empfindlichkeit und Ansprechverhalten nach geforderten
Spezifikationen angepaßt werden.
Vorteilhaft ist eine Thermostatisierung mittels
Peltierelementen direkt auf dem Gehäusedeckel. Die Verlust
wärme kann entweder mittels Konvektionswärmeübertrager direkt
am Element oder indirekt, jedoch effektiver, durch einen ge
pumpten Flüssigkeitskreislauf an die Umgebung abgegeben wer
den.
Bei Thermostatisierung mittels Flüssigkeitswärmeübertragers
(z. B. Wasser) wird das Wasser mit Hilfe einer externen Ther
mostatisier-Einheit temperiert und dem Übertrager im Kreis
lauf zu- und abgeführt.
Die einzelnen SAW-Sensoren im Array sitzen steckbar auf der
jeweiligen Oszillatorelektronik. Als Grundaufbau bieten sich
die für die käuflichen SAW-Bauelemente üblichen TO-Sockel
(z. B. TO-39) an. Das Array ist dann einfach, schnell und
preisgünstig für die verschiedenen Anwendungen
(Analytenzusammensetzung) umzurüsten. Die einzelnen Sensoren
sind dann für Wartungs- oder Kontrollarbeiten auch leicht zu
überprüfen.
Für die Beschichtung der Sensoren mit unterschiedlichen
Schichten ist das Spincoating-Verfahren günstig, da die auf
dem Sockel bereits montierten und mit den Anschlußstiften
verbondeten SAW-Bauelemente zentrisch auf die Drehachse eines
Spin-Coaters gesteckt werden können.
Es ist auch Beschichtung mit dem Spraying-Verfahren möglich.
Die Fig. 2 zeigt das Schaltbild für eine optimale SAW Oszilla
torschaltung 2, die ein besseres Signal- zu Rauschverhältnis
(höhere Empfindlichkeit), ein kleineres Detektionslimit und
eine bessere Langzeitstabilität der SAW-Sensoren ermöglicht
als die u. a. Oszillatorschaltung.
Es ist bereits aus A. Venema et al.: Design Aspects of SAW
Gas Sensors; Sensors and Actuators, 10(1986), S. 47-64,
eine für den Zweck der SAW-Gassensorik optimierte Oszillator
schaltung bekannt, die ein sogenanntes AGC (automatic gain
control) ausnützt. Unseres Erachtens bietet diese Schaltung
jedoch keine wesentlichen Vorzüge, da bei der
automatischen Anpassung des Verstärkungsfaktors Phasendriften
entstehen, die eine ungewollte Frequenzdrift im Oszillator
kreis bewirken. Die in diesem Beitrag angeblich notwendigen
Anpassung des Verstärkungsfaktors sind technisch nur bei Fre
quenzen unter 200 MHz ohne zu großen Aufwand realisierbar und
bei der Verwendung von SAW-Bauelementen mit geeigneter
Übertragungscharakterisik überhaupt nicht notwendig.
Für die Entwicklung eines SAW-Oszillators muß das spezielle
Verhalten von beschichteten und unbeschichteten SAW-Resonato
ren auf Quarz-Basis berücksichtigt werden. Beschichtete SAW′s
besitzen eine hohe Dämpfung und eine geringe Phasenänderung
im Resonanzpunkt. Die aktive Oszillatorelektronik muß nun so
ausgelegt werden, daß sie zum einen eine genügend hohe
Verstärkung besitzt, um die Dämpfung zu kompensieren und zum
anderen in ihrem Frequenz-Phasenverhalten der Änderung des
Frequenz-Phasenverhaltens der beschichteten SAW′s folgen kann
um die elektrische Oszillationsbedingung aufrecht zu erhal
ten.
Diese Bedingung erfüllt der MMIC-Verstärker INA-03184. Seine
S-Parameter bei 433 MHz ergeben in Kombination mit einer 47
nH-Spule eine optimale Übertragungscharakteristik des aktiven
Oszillatorelements bei einer Stromaufnahme von nur 7 mA. Über
die 220 pF Kondensatoren wird die Hochfrequenz in das SAW-
Bauteil ein- bzw. ausgekoppelt.
Die Oszillationsfrequenz wird am Ausgang des Oszillatorver
stärkers über einen 0,47 pF Kondensator mit hoher Impedanz
ausgekoppelt und einem nachgeschalteten Bufferverstärker
zugeführt. Dieser dient dazu durch seine hohe Rückwärtsisola
tion (S12) den empfindlichen Oszillationskreis elektrisch vom
Rest der Schaltung zu Trennen, damit der Einfluß von Störsi
gnalen oder Impedanzänderungen auf die Oszillationsfrequenz
minimal bleibt.
Die Oszillatorelektronik, befindet sich in unmittelbarer Nähe
der SAW-Sensoren. Die SAW-Bauelemente werden direkt auf die
Oszillatorelektronik gesteckt.
Ein Oszillatorkreis ist extrem empfindlich auf Schwankungen
der Phasenlage, welche durch minimale Impedanzänderungen im
Schwingkreis entstehen können. In der Praxis wird dies haupt
sächlich durch bewegliche Leitungen verursacht, weshalb auf
diese ganz verzichtet wurde.
In Abhängigkeit von den Beschichtungsparametern ändern sich
die elektroakustischen Parameter und damit Phasenlage und
Dämpfung der SAW-Sensoren. Die Oszillatorelektronik ist in
der Lage solche Parameteränderungen zu tolerieren und ohne
Neukalibration ein zufriedenstellende Frequenzstabilität (± 2
Hz, bei 433,92 MHz Oszillationsfrequenz) aufzuweisen.
Durch die gezielte Auswahl von Verstärkern mit minimalem
Phasengang und gleichzeitig auf die SAW-Sensoren abgestimmten
s-Parametern konnte die gewünschte Charakteristik erzielt
werden. Diese Bedingungen werden auch von Breitband-Verstär
kern wie beispielsweise verschiedenen Videoverstärkern er
füllt.
Die Fig. 3 zeigt die Schaltung für einen Dual-Gate-Mischer 3.
Die Frequenzen von Meßoszillatoren und Referenzoszillator
werden in Mischern in eine niederfrequente Zwischenfrequenz
heruntergemischt und durch eine nachfolgende Zählelektronik
gezählt.
Als Mischerschaltung wurde ein Dual-Gate-FET gewählt, mit
nachfolgender Kollektorschaltung als Impedanzwandler.
Diese bietet folgende Vorteile:
- a) es werden auch kleine Eingangssignale linear gemischt;
- b) die Impedanz der Mischereingänge kann durch die Gate- Widerstände in Grenzen frei gewählt werden;
- c) geringe Stromaufnahme (ca. 5 mA);
- d) kleiner Ausgangswiderstand (ca. 100 Ω);
- e) durch die hohe Steilheit der Mischereingänge ergibt sich gleichzeitig eine Verstärkung des Mischproduktes;
- f) in SMD oder Hybridtechnik realisierbar.
Fig. 4 zeigt die Schaltung für den Powersplitter 4.
Das Signal des Referenzoszillators wird verstärkt und einem
Sternpunkt mit der Impedanz 12.5 Ω zugeführt. Die Spule in
Reihe zum Verstärkerausgang dient zur Impedanzanpassung des
50 Ω Verstärkerausgangs an den Sternpunkt. Von diesem Stern
punkt ausgehend verteilt sich das Referenzsignal auf acht
Mischereingänge mit einer Eingangsimpedanz von je 100 Ω
Durch die Verwendung von geeigneten SAW-Bauelementen werden folgende Vorteile erreicht:
Durch die Verwendung von geeigneten SAW-Bauelementen werden folgende Vorteile erreicht:
- a) Hohe Phasensteilheit in Resonanzpunkt,
- b) geringe Zunahme der Einfügungsdämpfung mit Beschichtung. Dies wird vorwiegend von speziellen SAW-Verzögerungs leitungen erfüllt, die eine große Transducerlänge aufwei sen. Die Frequenzbestimmtheit erfolgt in diesem Fall durch die aktive Transducerstruktur und wird bei Beschichtung weniger stark negativ beeinflußt, wie dies bei den SAW- Resonatoren der Fall ist.
- c) allgemein geringe Einfügungsdämpfung unabhängig von der Beschichtung. Dies erlaubt eine entsprechend geringe Verstärkung im Oszillationskreis und damit ein besseres Signal- zu Rauschverhältnis des gesamten Oszillators,
- d) Verwendung von Bauelementen mit Transmissionsfrequenzen von 250-500 MHz. In diesem Meßbereich ergibt sich eine Optimum aus Empfindlichkeit (≈ f²), Signal- zu Rauschver hältnis (≈f) und Handhabbarkeit (≈ 1/f).
Durch die Verwendung elektronischer Bauelemente mit extrem
niedriger Leistungsaufnahme wird ein unerwünschtes Aufheizen
der SAW-Sensoren minimiert. Der oben erwähnte Verstärkertyp,
die meisten anderen (schlechteren) Alternativen und die
üblicherweise verwendeten Bauelemente für die Mischstufen,
die sogenannte "double balanced mixern" enthalten, weisen
einen relativ hohen Leistungbedarf auf. Dies führt zu einer
größeren thermischer Belastung der SAW-Sensoren. Sie wird
insbesondere hinsichtlich der Miniaturisierung eines ganzen
Arrays immer mehr zum Problem, da die notwendige thermische
Vorkonditionierung des Probegases beim Anströmen der Sensoren
ad absurdum geführt werden würde.
Eine niedrigere Leistungsaufnahme weisen sogenannte MMIC
(microwave monolithic integrated cicuits) Verstärker auf. Be
sonders vorteilhaft erwies sich hierbei der Typ INA03184 von
Advantec/USA, woraus sich eine Leistungsaufnahme von 120 mW
pro Oszillatormodul ergibt.
Mit einer aktiven Dual Gate FET-Mischerschaltung anstatt der
üblichen Schaltung mit "double balanced mixern" kann die
hierfür notwendige Ansteuerelektronik entfallen und die
Leistungsaufnahme pro Mischmodul auf 50 mW begrenzt werden.
Eine kompakte Bauform von etwa einer Fläche von 1 cm² kann
durch konsequente Anwendung von SMD-Bauteilen und durch opti
males Schaltungslayout erzielt werden. Durch diese Maßnahme
sind diese Schaltung gut geeignet für die Kombination mehre
rer SAW-Sensoroszillatoren zu dem beschriebenen Gassensor.
Claims (4)
1. Gassensor bestehend aus mindestens 2 Oberflächenwellen-Bau
elementen mit Treiber- und Verstärkerschaltungen in einem
Gehäuse mit Gaszuführung und Gasabführung gekennzeichnet
durch:
- a) mindestens vier Oberflächenwellenbauelemente (SAW), die in je einer Ausnehmung im Gehäuse angeordnet sind, wo bei die Ausnehmungen im Gehäuse radial ausgerichtet auf einem Kreis angeordnet sind,
- b) einem zentralen rotationssymmetrischen Gaszuführungs raum, von welchem aus radial nach außen gleich ausgebildete Gaszuführungsleitungen zu den Ausnehmungen führen und
- c) Gasauslaßleitungen mit gleichem pneumatischen Wider stand von allen Ausnehmungen nach außen.
2. Gassensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
sich in unmittelbarer Nähe der Oberflächenwellenbauele
mente auf der anderen Seite eines Unterteils (1) des Ge
häuses je eine Oszillatorschaltung (2) diesen gegenüber
befindet.
3. Gassensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Oberflächenwellenbauelemente so miteinander ver
schaltet sind, daß eines der Elemente als gemeinsame Refe
renz der übrigen dient.
4. Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß er aus neun Oberflächenwellenbauele
menten besteht.
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