DE4416607A1 - Vorrichtung zur Verdoppelung der Laserfrequenz einer Halbleiterlaserdiode mittels eines frequenzverdoppelnden Mediums, welches in den Resonatorraum der Halbleiterlaserdiode eingebracht wird - Google Patents

Vorrichtung zur Verdoppelung der Laserfrequenz einer Halbleiterlaserdiode mittels eines frequenzverdoppelnden Mediums, welches in den Resonatorraum der Halbleiterlaserdiode eingebracht wird

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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Verdopplung der Laserfrequenz einer Halbleiterlaserdiode nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs.
Gattungsmäßig liegt die Erfindung im Bereich der Nichtlinearen Optik.
In vielen Bereichen der Technik, z. B. optisches Einlesen von Daten (CD- ROM) oder Interferometrie, wird eine Laserlichtquelle mit möglichst kurzen Wellenlängen benötigt. Die Laserquelle soll zudem raumsparend, langle­ big, billig zu produzieren und energiesparend sein. Bei roten und infraro­ ten Wellenlängen werden alle diese Anforderungen von Halbleiterlaserdioden erfüllt. Momentan sind keine Materialien bekannt die diese Anforderungen für kürzere Wellenlängen (gelb bis ultraviolett) erfüllen.
Eine Möglichkeit diesen Mißstand zu beheben, besteht darin die emit­ tierte Wellenlänge einer Halbleiterlaserdiode zu halbieren bzw. ihre Frequenz zu verdoppeln. Da es sich bei der Verdopplung der Frequenz einer elek­ tromagnetischen Welle um einen nichtlinearen Prozeß handelt, werden hohe Lichtintensitäten benötigt, um hohe Konversionseffizienzen zu erzielen. In dem frequenzverdoppelnden Medium muß dabei Phasenanpassung herrschen, d. h. die Brechungsindizes für Grundwelle und frequenzverdoppeltem Licht müssen übereinstimmen. In doppelbrechenden Kristallen kann dies durch Wahl der Einstrahlrichtung und Polarisation erreicht werden.
Dazu wird nach heutigem Stand der Technik das frequenzverdoppelnde Medium in einen externen Resonator eingebracht. Damit die Resonanzfre­ quenzen der Laserquelle und des externen Resonators gleich sind, muß einer der beiden Resonatoren ständig mit extrem hoher Genauigkeit elektronisch nachgeregelt werden. In der Regel ist dies der externe Resonator. Die Dif­ ferenz in den optischen Weglängen beider Resonatoren darf dabei höchstens in der Größenordnung von Nanometern liegen.
Wünschenswert wäre eine Vorrichtung, die eine hohe Konversionseffizienz ermöglicht und auf die oben angesprochene hoch komplizierte Frequenzrege­ lung verzichtet. Hierzu werden in der vorliegenden Erfindung das Laserme­ dium und das frequenzverdoppelnde Medium gemeinsam in einem Resonator angeordnet. Wegen der hohen Verstärkung einer Halbleiterlaserdiode reicht die Reflexion an der Grenzfläche Halbleiter/Luft aus, um den Laserprozeß zu ermöglichen. Diese Reflexion muß unterbunden werden um das frequenzver­ doppelnde Medium in den Laserresonator einbringen zu können.
Dazu wird eine Halbleiterlaserdiode, wie in Abb. 1 erläutert, be­ stehend aus Lasermedium (2) mit aktiver Schicht (2a), Ohmschen Kontakt (3) und Kühlkörper mit zweitem Ohmschen Kontakt (1), mit einer dielektri­ schen Schicht (5) versehen die die Reflexion der Lasergrundwelle (nicht ver­ doppelte Frequenz) an der Grenzfläche Halbleiter (2)/frequenzverdoppelndes Medium (4) verhindert. Zur Erhöhung der Resonatorgüte, damit Erhöhung der Grundwellenintensität und damit automatisch Erhöhung der Konversi­ onseffizienz werden die der entspiegelnden Schicht gegenüberliegenden Sei­ tenflächen (6) und (7) für die Grundwelle verspiegelt. Die Schicht am fre­ quenzverdoppelnden Medium (7) muß dabei für die verdoppelte Frequenz durchlässig sein.
Eine weitere Erhöhung der Konversionseffizienz wird durch die Form­ gebung der Grenzflächen Halbleiter/frequenzverdoppelndes Medium und frequenzverdoppelndes Medium/Umgebung erreicht. Die Formgebung der Grenzfläche Halbleiter/frequenzverdoppelndes Medium ergibt einen Linsen­ effekt, der für einen konvergenten Strahlengang im frequenzverdoppelnden Medium sorgt. Die Grenzfläche frequenzverdoppelndes Medium/Umgebung ist so geformt, daß sie die Grundwelle in sich zurückreflektiert und somit die Resonatoreigenschaft der Vorrichtung aufrechterhält. Diese Form der Grenz­ fläche hat weiterhin den Vorteil, daß die Divergenz der emittierten Strahlung verringert wird.
Eine mögliche Ausführung der Erfindung wäre die folgende: Der Bre­ chungsindex des Schichtmaterials nS (5) ist das geometrische Mittel aus den Brechungsindizes des Lasermediums nL (2) und des frequenzverdoppelnden Medium nV (4), wobei alle Brechungsindizes für die Polarisation und Wel­ lenlänge der Grundwelle zu nehmen sind:
Die Dicke d der Schicht (5) beträgt ein Viertel der Grundwellenlänge des Lasermediums λG dividiert durch den Brechungsindex des Schichtmaterials nS:
Als Halbleiterlasermedium wird Galliumarsenid (GaAs) verwendet (nL = 3, 6). Damit ist die Wellenlänge der Grundwelle λG = 880 nm (infrarot) und die Wellenlänge der emittierten Strahlung λG2 = 440 nm. Als frequenzver­ doppelndes Medium wird Beta-Bariumborat (BBO nV = 1,66 bei 880 nm) verwendet. Um Phasenanpassung zu erhalten, muß der Winkel zwischen Einstrahlrichtung und Kristallachse des BBO 26,6° betragen. Damit ergibt sich für die dielektrische Schicht (5) ein Brechungsindex nS = 2,44 und eine Dicke d = 90 nm. Als Material kommt z. B. Zinkselenid (ZnSe) in Frage.
Da Gold für infrarotes Licht eine hohe Reflektivität besitzt, für blaues Licht jedoch durchlässig ist, werden für (6) und (7) dünne Goldschichten (circa 100 nm dick) verwendet.
Die Krümmungsradien der geformten Grenzflächen hängen von den Strahlparametern der Laserdiode ab. Die Radien müssen so klein sein, daß die Divergenz der aus der Laserdiode emittierten Strahlung mindestens kom­ pensiert wird.
Bezugszeichenliste
1 Kühlkörper mit Ohmschem Kontakt
2 Halbleiterlasermedium
2a aktive Schicht des Lasermediums
3 Ohmscher Kontakt
4 frequenzverdoppelndes Medium
5 dielektrische Schicht
6 für die Grundwelle verspiegelnde Schicht
7 wie 6, für verdoppelte Frequenz durchlässig
8 Strahlengang

Claims (1)

  1. Vorrichtung zur Verdopplung der Laserfrequenz einer Halbleiterlaserdiode mittels eines frequenzverdoppelnden Mediums, welches in den Resonator­ raum der Halbleiterlaserdiode eingebracht wird, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
    • a) direkt zwischen Laserdiode (2) und frequenzverdoppelndem Medium (4) wird eine dielektrische, für die nicht verdoppelte Laserfrequenz entspiegelnde Schicht (5) eingefügt,
    • b) die der entspiegelnden Schicht (5) gegenüberliegenden Seitenflächen wer­ den für die nicht verdoppelte Laserfrequenz verspiegelt, wobei die verspie­ gelnde Schicht (7) am frequenzverdoppelnden Medium für die verdoppelte Frequenz durchlässig ist.
    • c) die ver- bzw. entspiegelten Flächen sind derart geformt, daß im frequenz­ verdoppelnden Medium (4) ein konvergenter Strahlengang (8) erreicht wird und die Resonatoreigenschaft der Vorrichtung erhalten bleibt.
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EP1864954A2 (de) * 2006-06-06 2007-12-12 Kabushiki Kaisha Topcon Verfahren zum Verbinden von optischen Bauteilen, Struktur zum Integrieren von optischen Bauteilen und Laseroszillationsvorrichtung

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