DE4326696A1 - Vorrichtung zur Gasmischung und Einleitung - Google Patents
Vorrichtung zur Gasmischung und EinleitungInfo
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/10—Mixing gases with gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung, bei
der wenigstens ein Gas in einen in einer Hauptleitung
strömenden Haupt- bzw. Trägergasstrom eingeleitet, und
anschließend der zusammengeführte Gasstrom in einer
Verzweigung auf wenigstens zwei Zweigleitungen aufge
teilt wird.
Derartige Vorrichtungen werden insbesondere dazu be
nutzt, einen aus mehreren Gasen bestehenden Gasstrom
auf wenigstens zwei gleichartige Rezipienten oder zwei
gleichartige Einlaßöffnungen eines Rezipienten aufzu
teilen, in die die Gasströme mit gleichem Druck und
gleicher Flußrate eingeleitet werden sollen. Insbeson
dere können die Gasströme dazu dienen, in dem bzw. den
Rezipienten ein ausgedehntes Substrat oder eine Reihe
von gleichartigen Substraten zu beschichten.
Bei den bekannten gattungsgemäßen Vorrichtungen werden
die Leitungen möglichst lange gemacht, um eine gute
Durchmischung der Gasströme zu erreichen.
Dennoch wird - wie erfindungsgemäß erkannt worden ist -
mit den bekannten gattungsgemäßen Vorrichtungen in
einer Reihe von Fällen keine gute Durchmischung der
Gase erreicht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrich
tung, bei der wenigstens ein Gas in einen in einer
Hauptleitung strömenden Haupt- bzw. Trägergasstrom
eingeleitet, und anschließend der zusammengeführte
Gasstrom in einer Verzweigung auf wenigstens zwei
Zweigleitungen aufgeteilt wird, derart weiterzubilden,
daß auch bei kurzen Leitungslängen eine gute Durchmi
schung der Gase erreicht wird.
Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist im
Patentanspruch 1 gekennzeichnet. Weiterbildungen der
Erfindung sind Gegenstand der Ansprüche 2 folgende.
Erfindungsgemäß ist erkannt worden, daß sich bei den
bekannten gattungsgemäßen Vorrichtungen eine Grenz
schicht an der Rohinnenwand bildet, die eine vollstän
dige Durchmischung der Gase verhindert.
Deshalb ist erfindungsgemäß in der Hauptleitung vor der
Verzweigung wenigstens eine Leitungsbiegung vorgesehen,
die Turbulenzen in dem Gasstrom erzeugt, die eine
Gleichverteilung der Gase verhindernde Grenzschicht
auflösen. Die Leitungsbiegung kann bevorzugt vier 90°-
Rohrkniee aufweisen, die ein "U" bilden. Ferner können
auch die Zweigleitungen nochmals wenigstens einmal
geteilt werden. Darüberhinaus können auch in den Zweig
leitungen Leitungsbiegungen vorgesehen sein.
Die erfindungsgemäße Ausbildung ermöglicht eine gute
Durchmischung der Gase auch bei kurzen Leitungen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung
näher beschrieben.
Gase 1 und 2 (linkes kleines Bild) oder 1 bis 4 (rech
tes kleines Bild) werden in einer Einlaßeinheit in
einen Trägergasstrom eingelassen. Um eine gute Durch
mischung der Gase vor der Aufteilung in zwei oder mehr
Zweigleitungen, die die Gasmischung einer Reaktionskam
mer zuführen, zu erreichen, ist in der Hauptleitung vor
der ersten Verzweigung eine Leitungsbiegung bzw. eine
Umleitung vorgesehen, die bei dem Ausfüh
rungsbeispiel die Form eines "U" hat.
Diese Leitungsbiegung löst eventuelle Grenzschichten
auf, so daß auch bei kurzen Leitungslängen eine gute
Durchmischung erreicht wird.
Claims (5)
1. Vorrichtung, bei der wenigstens ein Gas in einen
in einer Hauptleitung strömenden Haupt- bzw. Trägergas
strom eingeleitet, und anschließend der zusammengeführ
te Gasstrom in einer Verzweigung auf wenigstens zwei
Zweigleitungen aufgeteilt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß in der Hauptleitung vor der Verzweigung wenigstens eine Leitungsbiegung vorgesehen ist, die Turbulenzen in dem Gasstrom erzeugt, die eine Gleichverteilung der Gase verhindernde Grenzschicht auflösen.
dadurch gekennzeichnet, daß in der Hauptleitung vor der Verzweigung wenigstens eine Leitungsbiegung vorgesehen ist, die Turbulenzen in dem Gasstrom erzeugt, die eine Gleichverteilung der Gase verhindernde Grenzschicht auflösen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Leitungsbiegung vier 90°-
Rohrkniee aufweist, die ein "U" bilden.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Zweigleitungen nochmals
wenigstens einmal geteilt werden.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß auch in den Zweigleitungen
Leitungsbiegungen vorgesehen sind.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Leitungen
kurz sind.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4326696A DE4326696A1 (de) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | Vorrichtung zur Gasmischung und Einleitung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4326696A DE4326696A1 (de) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | Vorrichtung zur Gasmischung und Einleitung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4326696A1 true DE4326696A1 (de) | 1995-02-16 |
Family
ID=6494772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE4326696A Ceased DE4326696A1 (de) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | Vorrichtung zur Gasmischung und Einleitung |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE4326696A1 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6964876B2 (en) | 2001-05-17 | 2005-11-15 | Aixtron Ag | Method and device for depositing layers |
| CN108722184A (zh) * | 2017-12-22 | 2018-11-02 | 上海明华电力技术工程有限公司 | 一种全负荷自适应调平的精准喷氨系统 |
| CN115346430A (zh) * | 2022-08-01 | 2022-11-15 | 东越厨电(苏州)股份有限公司 | 一种燃气实验配置器 |
-
1993
- 1993-08-09 DE DE4326696A patent/DE4326696A1/de not_active Ceased
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6964876B2 (en) | 2001-05-17 | 2005-11-15 | Aixtron Ag | Method and device for depositing layers |
| CN108722184A (zh) * | 2017-12-22 | 2018-11-02 | 上海明华电力技术工程有限公司 | 一种全负荷自适应调平的精准喷氨系统 |
| CN115346430A (zh) * | 2022-08-01 | 2022-11-15 | 东越厨电(苏州)股份有限公司 | 一种燃气实验配置器 |
| CN115346430B (zh) * | 2022-08-01 | 2023-09-26 | 东越厨电(苏州)股份有限公司 | 一种燃气实验配置器 |
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