DE4308695A1 - Flüchtige Seltenerdmetall-Alkoxide, insbesondere zur Herstellung von Seltenerdmetall-Oxiden, sowie Alkohole zum Synthetisieren von flüchtigen Verbindungen - Google Patents
Flüchtige Seltenerdmetall-Alkoxide, insbesondere zur Herstellung von Seltenerdmetall-Oxiden, sowie Alkohole zum Synthetisieren von flüchtigen VerbindungenInfo
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Description
Die Erfindung geht aus von flüchtigen Seltenerd
metall-Alkoxiden gemäß dem Oberbegriff des An
spruchs 1.
Flüchtige Alkoxide spielen als molekulare Vorstufen
für neue anorganische Materialien, die aus Ein-
oder Mehrkomponentenoxiden bestehen, eine große
Rolle (New Journal of Chemistry 11, 1987,
S. 663-675). Beispielsweise lassen sich damit
Keramiken, dünne Schichten, Katalysatoren oder
Membrane herstellen. Für viele Anwendungen ist es
dabei wichtig, daß die Oxide möglichst frei von
Verunreinigungen sind. Diese Eigenschaft ist bei
spielsweise bei elektronischen Materialien, insbe
sondere supraleitenden Keramiken, besonders wich
tig. Man ist daher in diesem Fall auf nichtwäß
rige Lösungen angewiesen, um ionische Verunreini
gungen zu vermeiden.
Als besonders geeignete Vorstufen für die Darstel
lung von Seltenerdmetall-Oxiden haben sich bisher
β-Diketonat-Komplexe dieser Metalle erwiesen.
Unter den Seltenerdmetallen sind im folgenden die
Elemente Sc, Y, La und die Lanthanoide Ce bis Lu
zu verstehen. Bei Verwendung von Alkoxiden als
Vorstufe tritt bisher die Schwierigkeit auf, daß
die Derivate polymerisieren und kinetische Instabi
litätsprobleme entstehen.
Die Abscheidung der Oxide aus den Vorstufen zur
Herstellung dünner Schichten erfolgt üblicherweise
entweder naßchemisch im Sol-Gel-Verfahren oder aus
der Gasphase mittels MOCVD-Technologie (Metal
Organic Chemical Vapour Deposition). Insbesondere
für diese Abscheidung aus der Gasphase spielt die
Flüchtigkeit der jeweiligen Vorstufen-Verbindung
neben ihrer Löslichkeit eine entscheidende Rolle.
Seltenerdmetall-Alkoxide sind entweder heterolep
tische Komplexe oder insbesondere homoleptische
Verbindungen, die üblicherweise der Formel M(OR)3
entsprechen. M steht für das Seltenerdmetall, R für
einen organischen Rest. Bisher finden hauptsächlich
Alkoxide unter ausschließlicher Verwendung von
Kohlenwasserstoffen ("CH") als organischen Resten
Beachtung, die man auch als M-(CH)-Alkoxide be
zeichnet.
Bei der stabilsten Oxidationsstufe III von M werden
drei Liganden benötigt. Dadurch treten erhebliche
Probleme mit der Koordinationssphäre auf, die die
Anwendung von Alkoxiden auf den ersten Blick als
aussichtslos erscheinen lassen. Es hat sich nämlich
gezeigt, daß die Benutzung von (CH)-Alkoxiden, die
von einfachen Alkoholen abgeleitet sind, nicht zum
Erfolg führt, weil sie entweder Oligomere (bei
Ableitung aus HOCH3 und HOC2H5) oder Cluster (bei
Ableitung aus HOipr und HOtBu) bilden und daher in
aliphatischen Kohlenwasserstoffen unlöslich und
schwerflüchtig sind.
Sterisch anspruchsvollere Alkohole, wie "H-Tritox"
und "H-Silox" (Tris(tert.-butyl)methanol bzw.
-silanol) ergeben zwar endlich die gewünschten
Monomere, die dementsprechend in aliphatischen
Kohlenwasserstoffen gut löslich sind. Sie eignen
sich daher ausgezeichnet für den Sol-Gel-Prozeß
(Chem. Rev. 89, 1989, S. 1317-1322), aber ihre
Anwendung für die MOCVD-Technik scheitert, da sie
nicht oder nur sehr schwer in die Gasphase gebracht
werden können. Ursache dieser Schwierigkeit ist der
sog. "CH-bulk". Dieser Ausdruck bezeichnet die
Möglichkeit, daß ein H-Atom und insbesondere das
β-Alkyl innerhalb des Liganden wandert. Es hat sich
gezeigt, daß die thermische Stabilität des (CH)-
Alkoxids sehr stark von der Zahl der C- und H-Atome
im Alkoxy-Liganden beeinflußt wird. Diese Anhäufung
von C- und H-Atomen muß deshalb so weit abgebaut
werden, daß das M-Alkoxid gerade noch monomer ist.
Es muß daher im Prinzip ein Austausch von Methyl
gruppen durch H-Atome im Liganden erfolgen. Ent
sprechende Versuche sind bisher im Fall der Sel
tenerdmetalle jedoch erfolglos geblieben.
Um den störenden "CH-bulk" abzubauen, wurden als
Alternative zu den elementaren (CH)-Alkoxiden daher
auch sog. (CHX)-Alkoxide untersucht. Der Aufbau
dieser sterisch anspruchsvollen Alkohole erfolgt
durch systematischen Austausch der Methyl-Gruppen
im Tritox-Derivat durch andere Atome X. Bei Verwen
dung von Fluoratomen (X=F) erhält man die bisher
flüchtigsten M-Alkoxide (Coord. Chem. Rev. 81,
1988, S. 133-202).
Eine zweite Alternative erhält man, wenn man in
Anlehnung an den sechsteiligen Ring der β-Diketona
te Donorfunktionalitäten (Do) in den CN-Liganden
einführt, so daß sog. (CHDo)-Alkoxide gebildet
werden. Im einfachsten Fall ergibt sich damit ein
quasi durch die freien Elektronenpaare des Donor
atoms Do abgeschlossener fünfteiliger Ring mit
folgender Struktur eines am Seltenerdmetall M
angekoppelten Liganden mit "organischen" (ein
schließlich H-Atomen) Resten R1-R4 (zusammenfassend
als Rc bezeichnet, da an Kohlenstoffatome gebunden)
bzw. organischen Resten RDo (an das Donoratom
gebunden):
Im folgenden soll für den Liganden die Kurzschreib
weise O-CR1R2-CR3R4-Do-RDo verwendet werden. Z.B.
wird für homoleptische Alkoxide des Typs M (OR)3
dieser Ligand dementsprechend dreimal eingesetzt.
Bisherige Versuche, bei Seltenerdmetallen
derartige (CHDo)-Liganden einzusetzen, sind
bislang nur im Hinblick auf den Sol-Gel-Prozeß
durchgeführt worden (Inorg. Chem. 29, 1990,
S. 2883-2885) und führten nur zu dem nicht
flüchtigen oligomeren Seltenerd-Komplex
(Y(OCH2CH2OCH3)3)10.
Andererseits ist es bisher lediglich gelungen, als
Metallzentren die Hauptgruppenmetalle Bi (III) und
Pb (II) und die äußeren Übergangsmetalle (d-Metal
le) Zn (II) und Cu (II) in flüchtige (CHDo)-
Alkoxide einzubauen, nicht jedoch Metalle der
Seltenen Erden (J. Am. Chem. Soc. 113, 1991,
1844-1845 und Polyhedron 9, 1990, 611-613 sowie
Polyhedron 10, 1991, 437-445).
Im Unterschied zu den bereits verwendeten äußeren
Übergangsmetallen, die zum einen zweiwertig sind
(Koordinationszahl vier) und einen sehr kleinen
effektiven. Kationenradius besitzen (typisch 0,6 A),
handelt es sich bei den Seltenerdmetallen um innere
Übergangsmetalle (f-Metalle einschließlich Y, La),
die für die Komplexbildung wesentlich ungünstigere
Voraussetzungen aufweisen.
Ein wesentlicher Unterschied zu dem dreiwertigen
Hauptgruppenelement Wismut besteht in der Oxophilie
der Elemente (sie ist mit bedingt durch die unter
schiedlichen Elektronegativitäten: Bi 1.67; Selten
erdmetalle 1.06-1.20).
Dies zeigt sich schon im Vorkommen der Elemente in
der Natur: Während die Lanthanoide ausschließlich
in sauerstoffhaltigen Erzen zu finden sind, trifft
man Wismut auch als Wismutglanz Bi2S3 (mit weichem
Gegenion S2-) an. Des weiteren wird die unter
schiedliche Affinität zu Sauerstoff verstärkt deut
lich, wenn man die Bildungsenthalpien für das
Metalloxid M2O3 betrachtet (Bi -574,3 kJ/mol;
Seltenerdmetalle typisch -1800 bis -1900 kJ/mol).
Die Donorbindung zu den "harten" Seltenerdmetallen
sollte daher erheblich stärker sein. Die Stärke der
Donorbindung hat entscheidenden Einfluß auf die
thermische Stabilität des Alkoxidkomplexes, d. h. ob
der Komplex unzersetzt sublimierbar ist.
Auf die thermische Labilität von Wismutkomplexen
mit CHDo-Alkoholen wird in Inorg. Chem. 29, 1990,
S. 358-360 ausdrücklich hingewiesen. Auch sind
β-Diketonat-Komplexe von Wismut erst seit kurzem
bekannt (Polyhedron 10, 1991, S. 437-445). Als
flüchtige Vorstufe für "1-2-3-Supraleiter" wurde
als Bi-Komponente bisher ausschließlich Wismuttri
phenyl verwendet.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, flüchti
ge Seltenerdmetall-Alkoxide, insbesondere zur
Herstellung von Seltenerdmetall-Oxiden, bereitzu
stellen, die als Monomere vorliegen und bei niedri
gen Temperaturen, insbesondere höchstens 175°C,
bevorzugt weniger als 155°C, unzersetzt in die
Gasphase gebracht werden können und die sich außer
dem erst bei Temperaturen über 200°C zersetzen.
Die Temperaturen beziehen sich dabei auf die Subli
mation des festen Stoffes bei einem Druck von
10-3 mbar.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merk
male des Anspruchs 1 gelöst. Bevorzugte Ausführun
gen der Alkoxide sowie ein vorteilhafter Weg zur
Herstellung der Oxide finden sich in den darauf
gerichteten Unteransprüchen.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist
es, Alkohole bereitzustellen, die sich besonders
gut für die Darstellung der Liganden von flüchtigen
und löslichen Metall-Alkoxiden eignen. Insbesondere
sollen sie für Seltenerdmetall-Alkoxide geeignet
sein. Eine weitere Aufgabe ist es, eine neue Klasse
von Alkoholen bereitzustellen, die sich für viel
fältige Zwecke eignen, insbesondere zur Synthese
von Verbindungen mit hoher sterischer Beanspru
chung. Diese Aufgaben werden durch die kennzeich
nenden Merkmale der Ansprüche 16 und 18 sowie 22
gelöst. Bevorzugte Ausgestaltungen finden sich in
den Unteransprüchen.
Die erfindungsgemäßen Alkoxide eignen sich hervor
ragend sowohl für den Sol-Gel-Prozeß als auch für
die MOCVD-Technik. Der besondere Vorteil der
MOCVD-Technik mit Alkoxiden liegt darin, daß ein
zusätzliches Reagens für die Abscheidung zum Oxid
nicht unbedingt benötigt wird. Hingegen ist bei
β-Diketonaten ein MOCVD-Prozeß nur unter Verwendung
einer zusätzlichen reaktiven Gaskomponente (z. B.
NO, "THF") möglich.
Die Bedeutung der vorliegenden Erfindung liegt in
folgendem Umstand:
Im Gegensatz zu den eingangs diskutierten Komplexen
der äußeren Übergangsmetalle, sind die Atome der
Seltenerdmetalle sehr groß, typische Werte des
effektiven Ionenradius liegen bei 0,85-1,05 A, und
weisen für komplexe Verbindungen eine hohe Koordi
nationszahl (bevorzugt sechs oder größer) auf. Das
Problem bei der Synthese ihrer Alkoxide ist deren
ausgeprägte Oligomerisierungstendenz. Verbindungen
sind aber nur dann flüchtig, wenn sie einen niedri
gen Oligomerisierungsgrad besitzen (bevorzugt
monomer). Die Forschung ist bisher andere Wege
gegangen, um flüchtige Vorstufen für Seltenerdme
talloxide herzustellen (β-Diketonate), da die
Erfolgsaussichten bei der Verwendung von Alkoxiden
sehr gering erschienen.
Überraschenderweise ist es mit der vorliegenden
Erfindung jedoch gelungen, eine Gruppe von
Alkoxy-Liganden zu finden, die einen optimalen
Kompromiß zwischen den verschiedenen Randbedingun
gen ermöglichen.
Das Zusammenwirken der organischen Reste Rc und RDo
ist dahingehend optimiert, daß sie einem vielfälti
gen Anforderungsprofil gerecht werden:
- - zum einen sollen die resultierenden Komplexe löslich und möglichst monomer sein (bei aus schließlicher Verwendung von H-Atomen als Reste Rc entstehen beispielsweise Decamere!)
- - zum anderen müssen diese Komplexe auch stabil genug sein, um überhaupt unzersetzt zu sublimie ren (Beseitigung des CH-bulks), woran die "har ten" Donoratome entscheidenden Anteil haben
- - und zum weiteren sollen diese Komplexe leicht genug sein, um bei möglichst niedrigen Temperatu ren (weniger als 175°C) zu sublimieren.
Das gleichzeitige Erfüllen aller drei Randbedingun
gen hat sich im Fall der Seltenerdmetalle als
besonders schwierig erwiesen.
Die hier vorgestellten (CHDo)-Alkoxide zeichnen
sich gegenüber den (CH)- und (CHX)-Alkoxiden da
durch aus, daß durch die Donorfunktionalitäten (Do)
zusätzliche Koordinationsstellen besetzt werden und
so Verhältnisse geschaffen werden, die denen bei
der Verwendung von β-Diketonaten ähneln. Die
(CHDo)-Alkohole ermöglichen jedoch gegenüber den
β-Diketonaten eine größere Flexibilität in der
Ligandensphäre. Erst durch das Zusammenwirken von
Donorfunktionalität und sterischer Beanspruchung
(die organischen Reste enthalten überwiegend oder
ausschließlich Alkylgruppen mit bis zu vier Kohlen
stoffatomen) werden die hervorragenden Eigenschaf
ten der erfindungsgemäßen Alkoxide erreicht. Durch
optimale Wahl der Kohlenstoffreste, der Donoratome
Do und der Donorreste RDo kann gezielt Einfluß auf
die sterische Sättigung und die Stabilität des
Komplexes genommen werden. Aus diesen Überlegungen
heraus kann auch ein optimaler Bereich für die
Masse des Liganden abgeleitet werden. Eine hohe
sterische Beanspruchung ergibt sich, wenn das
Atomgewicht des Liganden über 90 liegt. Je nach
Oxidationsstufe des Zentralmetalls ist auch eine
höhere Untergrenze (100 bzw. 110) vorteilhaft.
Andererseits läßt das Problem des CH-bulks ein
Atomgewicht über 210 (in Spezialfällen bei verrin
gerter Oxidationsstufe über 250) nicht mehr als
günstig erscheinen.
Jeder Ligand bildet mit M einen Metalla-Cyclus,
dessen Ringgröße nicht auf die Mindestzahl von
fünf Atomen beschränkt ist, sondern auch mehr Atome
umfassen kann, insbesondere sechs (oder auch sie
ben) Atome entsprechend folgender Struktur:
Die entsprechende Kurzschreibweise des Liganden
lautet dann: O-CR1R2-CR3R4-CR5R6-DoRDo.
Die hier vorgestellten Alkoxide und speziellen
Alkohole sind sehr gut löslich in n-Hexan, Toluol
und Ether in Übereinstimmung mit ihrer ausgezeich
neten Eignung für den Sol-Gel-Prozeß.
Die erfindungsgemäßen Alkoxide der Seltenerdme
talle zeichnen sich durch die folgende Liganden
struktur aus:
Die an Kohlenstoffatome gebundenen organischen
Reste Rc der Formel (1) bzw. (2), nämlich R1-
R4, bzw. auch R5 und R6 werden durch H, Me, Et, iPr
oder tBu besetzt unter Ausschluß einer gleichzeiti
gen Besetzung aller vier bzw. sechs Reste durch
H-Atome, während der organische Donorrest RDo durch
ein oder mehrere der Gruppen Me, Et, iPr oder tBu
besetzt wird.
Hierbei bedeuten
H = H-Atom
Me = Methylgruppe CH3
Et = Ethylgruppe C2H5
iPr = Isopropylgruppe C3H7
tBu = tert.-Butylgruppe C4H9.
H = H-Atom
Me = Methylgruppe CH3
Et = Ethylgruppe C2H5
iPr = Isopropylgruppe C3H7
tBu = tert.-Butylgruppe C4H9.
Bei gleichzeitiger Besetzung aller vier organischen
Reste durch H-Atome wäre der Effekt der Oligome
risierung durch Brückenbindung zu stark ausgeprägt.
Die organischen Reste Rc verschiedener an der Bil
dung des Alkoxid-Rings gemäß (1) oder (2) betei
ligter Kohlenstoffatome können auch miteinander als
Alkyliden-Ketten verbunden sein, so daß z. B. zwei
dieser Rc-Reste eine Cyclohexyl- oder auch Cyclo
pentyl-Gruppe aufbauen gemäß den folgenden Struk
turen (3) und (4):
Dabei können diese organischen Reste rein formal
als (-CH2-)n-Gruppen aufgefaßt werden (n = ganze
Zahl, bevorzugt ist n = 2 . . . 4). Die miteinander
verbundenen organischen Reste bieten eine gute
Möglichkeit der Einflußnahme auf die Löslichkeit
der Alkoxide, wobei als cyclische Reste nicht nur
H-Atome, sondern auch Alkyl-Reste wie Methyl oder
Ethyl in Frage kommen. Insbesondere können zwischen
zwei C-Atomen auch zwei Ringe ausgebildet sein (s.
Struktur (4a)).
Zur Erhöhung der Koordinationszahl kann einer (oder
zwei) der organischen Kohlenwasserstoff-Reste Rc
einen sog. Donorarm bilden, der eine weitere Donor
funktionalität enthält: CRaRb-DoRDo. Anders
ausgedrückt bildet dieser Donorarm in bezug auf das
Metallzentrum M einen zusätzlichen, mit dem ersten
Metalla-Cyclus verknüpften Metalla-Cyclus. Er hat
mit dem ersten Metalla-Cyclus zumindest das Frag
ment M-OCα gemein, wobei die Vorschrift für seinen
Aufbau - für sich allein betrachtet - wieder dem
für den ersten Metalla-Cyclus entspricht. Damit
läßt sich die Koordinationszahl des Seltenerdme
talls in seiner üblichen Oxidationsstufe (dreiwer
tig) von sechs auf neun erhöhen. Die Leistungsfä
higkeit der Erfindung wird eindrucksvoll dadurch
unterstrichen, daß sich die erfindungsgemäße Kon
zeption auch auf anomale Oxidationsstufen der
Seltenerdmetalle (zweiwertig bzw. vierwertig)
erweitern läßt. Insbesondere bei zweiwertigen
Komplexen stellen zusätzliche Donorfunktionalitäten
eine elegante Technik dar, um die Koordinationszahl
von vier auf sechs oder sogar acht zu erhöhen.
Bevorzugt werden dabei die organischen Reste des
α-ständigen Kohlenstoffatoms des Alkoxid-Liganden
mit einer (oder auch zwei) zusätzlichen Donorfunk
tionalitäten ausgestattet. Dabei sollte im Fall der
Verwendung einer zweiten Donorfunktionalität diese
aus sterischen Überlegungen heraus vorteilhaft
einen verlängerten Ring (unter Einschluß des zen
tralen Metallatoms also einen Sechs- oder Sieben
ring) bilden. Möglich ist jedoch auch die Anbindung
der Donorfunktionalität an das β-ständige Kohlen
stoffatom. Dies gilt insbesondere für die zweite
zusätzliche Donorfunktionalität, wobei u. U. auf
einen verlängerten Ring verzichtet werden kann.
Bei der vierwertigen Oxidationsstufe kann auf
zusätzliche Donorfunktionalitäten verzichtet wer
den. Vorteilhaft ist hier die Verwendung leichter
Liganden, deren Atomgewichte bevorzugt zwischen 90
und 150 liegen. Höhere Atomgewichte sind jedoch
nicht ausgeschlossen.
Als Donoratom für die "harten" Kationen der Selte
nen Erden eignen sich entsprechend harte Donorfunk
tionalitäten, wie O oder N. Andere Atome, z. B. das
weiche P, haben sich als ungeeignet erwiesen.
Die Vertreter der erfindungsgemäßen (CHDo)-Alkoxide
zeigen eine niedrigere Molekülsymmetrie als die
β-Diketonatkomplexe. Dies äußert sich in einer
weniger dichten Packung im Kristallgitter und in
einer möglichen höheren Flüchtigkeit. Besonders
vorteilhaft können als organische Reste optisch
aktive Gruppen eingebaut werden, welche sich erheb
lich einfacher realisieren lassen als im Fall der
β-Diketonate. Bei Verwendung von Racematen der
optischen Isomeren ergibt sich eine Schmelzpunktab
senkung gemäß dem bekannten Raoultschen Gesetz. Die
optische Aktivität ist daher ein wichtiges zusätz
liches Kriterium, um die Flüchtigkeit der Alkoxide
durch geeignete Wahl der organischen Reste zu
optimieren. Insbesondere eignen sich optisch aktive
Kohlenstoffatome (C*) in der α-Position (siehe
Tabelle 1, Alkohole 1a, 1b, 1c/d) und evtl. zusätz
lich in der β-Position (siehe Tabelle 1, Alkohol
1i). Auch die cyclischen Verbindungen 1j-l aus
Tabelle 1 sind optisch aktiv.
Cyclische Verbindungen haben zudem weitere Vortei
le. Der CH-bulk ist weniger problematisch. Das
Donoratom ist sterisch sehr gut fixiert, d. h. die
Ringgeometrie ist schon durch den Liganden festge
legt. Die räumliche Struktur der cyclischen Verbin
dungen gestattet es, daß der Metallkern von den
Alkoxy-Liganden ideal umschlossen ist.
Die hier vorgestellte Klasse von Liganden erlaubt
es, für jedes Seltenerdmetall ein spezielles,
maßgeschneidertes Ligandensystem zu schaffen.
Beispielsweise hat sich für Neodym und Yttrium als
Metallkern der Ligand OCiPr2CH2OEt als sehr vor
teilhaft erwiesen. Der Sublimationspunkt (bei
10-3 mbar) des homoleptischen Alkoxids liegt bei
nur 115°C für Nd und 95°C für Y als Metallkern.
Die Verbindungen sublimieren nahezu rückstandslos
und unzersetzt, d. h. die analytischen Werte des
Sublimates stimmen mit denen der Ausgangsverbindung
überein, z. B. elementaranalytische Werte für
Ein weiteres wichtiges Kriterium für die Flüchtig
keit erhält man durch das Auftreten des Molekül-
Peaks im Massenspektrum (siehe Fig. 1 und 2).
Im folgenden sollen mehrere Ausführungsbeispiele
für Alkohole und daraus hergestellte Alkoxy-Ligan
den angegeben werden sowie das Herstellverfahren
näher erläutert werden.
Fig. 1 und 2 zeigen das Massenspektrum von
Nd(OCtBu2CH2OEt)3 und Y(OCiPr2CH2OEt)3.
In Tabelle 1 sind Beispiele für besonders geeignete
Alkohole aufgeführt. In Anlehnung an die daraus
herstellbaren (CHDo)-Alkoxide sollen sie hier als
(CHDo)-Alkohole bezeichnet werden.
Als besonders günstig für die Herstellung von
Alkoxiden hat sich die Verwendung der neuen CHDo-
Alkohole 1a-1d erwiesen, die gewissermaßen für die
Herstellung von Seltenerdmetall-Komplexen ideale
Voraussetzungen vorweisen, jedoch auch für die
Synthese anderer Verbindungen eingesetzt werden
können.
Die Charakterisierung der jeweiligen Verbindung
erfolgte mit IR-Spektren, NMR- und Massenspektro
skopie sowie elementaranalytisch. In diesem Zusam
menhang ist es von besonderer Bedeutung, als orga
nische Reste auch Phenylgruppen zu verwenden, da
damit bestückte Verbindungen sehr leicht einer
Röntgenstrukturanalyse zugänglich sind und daher
Rückschlüsse auf die Struktur verwandter phenyl
freier Verbindungen zulassen.
Die CHDo-Alkohole 1a-i lassen sich aus der entspre
chenden Carbonylverbindung bzw. Epoxid leicht
darstellen. Sie sind destillativ sehr gut zu reini
gen und in guten Ausbeuten erhältlich. 1c erfordert
aufgrund der enormen sterischen Beanspruchung lange
Reaktionszeiten. Die Alkohole 1j-l werden ebenfalls
aus Carbonylverbindungen erhalten.
Im einzelnen erfolgt die Herstellung der vier
Alkohole 1a-1d folgendermaßen, wobei die Synthese
gaschromatographisch und massenspektrometrisch
verfolgt wurde.
Ungefähr 70 ml (45 mmol) ClMgCH2OC2H5-THF-Lösung
werden bei -25°C in einem kühlbaren Schlenkrohr
vorgelegt. Dann werden bei -15°C 4.0 ml (3.17 g,
36 mmol) Pivaldehyd, mit Ether ergänzt auf 20 ml,
innerhalb von 30 min zugetropft. Für die später
erfolgende Trennung der organischen und wäßrigen
Phase ist die Verwendung von Ether vorteilhaft, da
sich THF sehr gut mit Wasser vermischt. Eine GCMS-
Analyse zeigt nach 2 h schon vollständige Umsetzung
an. Nach Erwärmen der Reaktionslösung von -15°C
auf -5°C wird auf 50 g Eis gegossen. Danach wird
so viel gesättigte NH4Cl-Lösung zugegeben, bis sich
gerade alles löst. Die organische Phase wird mit je
30 ml gesättigter NaHCO3 und zweimal Eiswasser
gewaschen und die vereinigten Wasserphasen nochmals
mit Ether gewaschen. Danach werden die vereinigten
organischen Phasen über MgSO4 getrocknet. Fraktio
nierte Destillation liefert 1a in sehr guten Aus
beuten (88°C/55 mbar, 92%).
6.5 g (66 mmol) 3,3-Dimethyl-1,2-butanoxid werden
zusammen mit einem Gemisch aus 20 ml tBuoH und
5 ml H2O in einem 100 ml-Zweihalsrundkolben vorge
legt. Bei 0°C werden 9 ml (123 mmol) Diethylamin
zugetropft. Da bei dieser Temperatur noch keine
Umsetzung erfolgt, wird die Reaktionslösung 24 h
bei 60°C gerührt. Die anschließende fraktionierte
Destillation liefert den Alkohol in guten Ausbeuten
(65°C/ 15 mbar; 80%).
Ungefähr 70 ml (44 mmol) ClMgCH2OC2H5 (x-molare
Lösung in THF) werden bei -25°C in einem kühlbaren
Schlenkrohr vorgelegt. Dann werden bei -15°C 5.0 g
(35 mmol) DitButylketon, mit Ether ergänzt auf
30 ml, sehr langsam zugetropft. Nach 4 h Reaktions
zeit liegt das Produkt/Keton-Verhältnis bei 1:16.5.
Nach 93 h Rühren, währenddessen die Reaktionsmi
schung kontinuierlich auf -5°C erwärmt wird,
beträgt das Verhältnis 1.1:1. Die Reaktion wird
durch Ausgießen auf 50 g Eis gestoppt. Es wird 50
viel gesättigte NH4Cl-Lösung zugegeben, bis sich
alles löst. Dann wird die organische Phase mit je
30 ml gesättigter NaHCO3-Lösung und zweimal mit
Eiswasser gewaschen. Die vereinigten Wasserphasen
werden nochmals mit 50 ml Ether gewaschen und die
vereinigten organischen Phasen über MgSO4 getrock
net. Destillation bei 68°C/4 mbar liefert 1c als
farblose Flüssigkeit mit dem typischen "Tritox-H-
Geruch" (50%).
In einem kühlbaren Schlenkrohr werden ungefähr
65 ml (60 mmol) ClMgCH2OC2H5 bei -20°C vorgelegt.
Bei -15°C werden unter kräftigem Rühren 8.5 ml
(6.8 g 59.5 mmol) Diipropylketon, mit Ether ergänzt
auf 35 ml, innerhalb 1 h zugetropft. Nach erfolgter
Zugabe wird weiterhin 48 h bei dieser Temperatur
gerührt, wobei ein weißer Niederschlag entsteht und
das Keton vollständig umgesetzt wird. Innerhalb von
4 h läßt man die Reaktionsmischung auf -5°C erwär
men und gießt dann auf 75 ml Eis. Es wird so viel
gesättigte NH4Cl-Lösung hinzugegeben, bis zwei
klare Phasen vorliegen. Die organische Phase wird
mit je 30 ml gesättigter NaHCO3-Lösung und zweimal
Eiswasser gewaschen. Die vereinigten Wasserphasen
werden mit 50 ml Ether gewaschen und die vereinig
ten organischen Phasen über MgSO4 getrocknet.
Vorsichtige fraktionierte Destillation (Badtemp.
max. 60°C, sonst Dehydratisierung!) liefert 1d in
hohen Ausbeuten (53°C/1 mbar, 95%).
In Tabelle 2 sind die Sublimationspunkte (bei
10-3 mbar) von vier ausgewählten Alkoxiden angege
ben. Als Seltenerdmetall ist repräsentativ Neodym
bzw. Yttrium verwendet. Diese beiden Elemente
überdecken hinsichtlich ihres Kationenradius das
bei den Seltenerdmetallen vorhandene Spektrum. Bei
Sechsfach-Koordination beträgt der effektive Katio
nenradius der Seltenerdmetalle zwischen (1,032 A
(La) und 0,861 A (Lu)). Im Fall des Neodyms liegt
er bei 0,983 A, für Yttrium bei 0,900 A.
In ähnlicher Weise lassen sich auch die anderen in
Tab. 1 aufgeführten Alkohole in Alkoxide (M(OR)3
umsetzen. Das Atomgewicht dieser Liganden unter
scheidet sich um eine Einheit von dem der zugehöri
gen Alkohole.
Diese Verbindungen können ohne Zersetzung subli
miert werden in Temperaturbereichen vergleichbar
denen der β-Diketonat-Komplexe. Diese neuen Sel
tenerdmetall-Alkoxide müssen zudem den wenigen
Vertretern chelatstabilisierter homoleptischer
organometallischer Metallverbindungen zugeordnet
werden.
Die hier beschriebenen Nd- und Y-Komplexe sind
extrem luft- und feuchtigkeitsempfindlich. Sie
müssen daher in einer Atmosphäre von Reinstargon
und unter Einsatz der hierfür üblichen Arbeitstech
nik (Schlenk-, Hochvakuum-, Glove-Box-Technik)
behandelt werden.
Die Alkoxide werden nach der an sich bekannten
"Silylamid"-Route gemäß Formel (5) hergestellt
(Ln = Lanthanoid-Metallkern).
Beispielsweise erhält man durch Zugabe der Alkohole
1a-d zu der hellblauen Suspension des Ln-Amids 2,
z. B. Nd(N(Si(CH3)3)2)3, in wenig Hexan klare
blaugefärbte Lösungen in stark exothermer Reaktion.
Nach Entfernen des Lösungsmittels bleiben blaue Öle
von 3a-d (mehrere Stereoisomere!) zurück, die
unterschiedlich schnell kristallisieren.
1. Tris(1-ethoxy-3.3-dimethyl-2-butoxy)neodym(III)
(3a). In einer Glove-Box werden 0.86 g (1.38 mmol)
Nd-Amid 2a (Ln = Nd) und 0,61 g (4.17 mmol) Alkohol
1a zusammen in einen 100 ml-Rundkolben abgewogen.
Bei Zugabe des Amids 2a zum Alkohol 1a erhält man
eine tiefviolette Suspension unter stark exothermer
Reaktion. Es werden sofort 30 ml Hexan in einer
Hochvakuum-Apparatur aufkondensiert. Es geht fast
alles in Lösung.
Anschließend wird 22 h bei Raumtemperatur gerührt.
Von dem leichten samtigen weißen Niederschlag wird
abfiltriert und das Lösungsmittel vom blauvioletten
Filtrat im Vakuum (1 mbar) entfernt. Nach 2 h
Trocknen bei 10-4 mbar erhält man 3a als einen
blauen hochviskosen Rückstand.
2. Tris(1-diethylamino-3.3-dimethyl-2-butoxy)
neodym(III) (3b). In einer Glove-Box werden 0.90 g
(1.44 mmol) Nd-Amid 2a in einen 100 ml-Rundkolben
abgewogen. Es werden 30 ml frisch umkondensiertes
Hexan dazupipettiert und 5 min gerührt. Zu dieser
hellblauen Suspension werden 0.75 g (4.33 mmol)
des Alkohols 1b getropft. Die Suspension klart
während der Zugabe zu einer blauvioletten Lösung
auf. Nach 40 h Rühren bei Raumtemperatur hat die
Farbe nach blaßviolett umgeschlagen; es liegt immer
noch eine klare Lösung vor. Das Hexan wird im
Vakuum (1 mbar) entfernt und der hochviskose Rück
stand 4 h im Vakuum (10-3 mbar) getrocknet.
3. Tris(3-ethoxy-2.2,4.4-tetramethyl-3-pentoxy)
neodym(III) (3c). 0.81 g (1.30 mmol) Nd-Amid 2a
werden in einer Glove-Box in einen 100 ml-Rundkol
ben eingewogen. Mit einer Pipette werden 30 ml
frisch umkondensiertes Hexan dazugegeben. Die
hellblaue Suspension wird 5 min gerührt. Dann
werden 0.79 g (3.90 mmol) Alkohol 1c zugetropft.
Während der Alkoholzugabe beobachtet man Aufklaren
der Suspension zu einer blauvioletten Lösung. Nach
25 h Rühren bei Raumtemperatur ist die Lösung immer
noch klar und die Farbe unverändert. Das Reaktions
gefäß wird aus der Glove-Box genommen und das
Lösungsmittel im Vakuum (1 mbar) entfernt. Die
Hexanphase enthält nur freies Amin. Der hellblaue,
ölige Rückstand wird 2 h im Vakuum (10-3 mbar)
getrocknet (quantitative Umsetzung). Die Verbindung
wird über Nacht in der Glove-Box fest und kann bei
125°C/10-3 mbar unzersetzt als hellblaue Verbin
dung 3c sublimiert werden.
In Fig. 1 ist ein Massenspektrum der Verbindung 3c
gezeigt. Klar erkennbar ist vor allem der Molekül-
Peak bei 748, der zeigt, daß es sich bei 3c tat
sächlich um ein stabiles Monomer handelt. Die Peaks
niedrigerer Masse rühren von Molekülfragmenten her
(z. B. 690 = M. - C4H9).
4. Tris(3-ethoxy-2.4-dimethyl-3-pentoxy)
neodym(III) (3d). In einer Glove-Box werden 0.53 g
(0.85 mmol) des Nd-Amids 2a (Ln = Nd) in einen
50 ml-Rundkolben abgewogen. Frisch vakuumtransfe
riertes n-Hexan wird in der Glove-Box auf -35°C
gekühlt und dann zu 2a gegeben (25 ml). Zu der
hellblauen Suspension wird vorsichtig 0.47 g
(2.67 mmol) des Alkohols 1d getropft. Die Reak
tionsmischung klart sich schon während des Zutrop
fens vollständig zu einer blauvioletten Lösung auf.
Die Lösung wird 24 h bei Raumtemperatur gerührt.
Danach wird das Lösungsmittel im Vakuum entfernt
(1 mbar) und der ölige Rückstand noch 4 h im Hoch
vakuum (10-3 mbar) getrocknet. Die Hexanphase
enthält nur freies Amin. 3d kann ab 115°C/
10-3 mbar rückstandslos und unzersetzt sublimiert
werden.
5. Tris(3-ethoxy-2.4-dimethyl-3-pentoxy)
yttrium(III) (3e). In einer Glove-Box werden zu
1.03 g (1.81 mmol) des Y-Amids 2b (Ln = Y) suspen
diert in 30 ml n-Hexan (frisch vakuumtransferiert,
-35°C) 0.94 g (5.37 mmol) Alkohol 1d getropft. Die
resultierende farblose Lösung wird 40 h bei Raum
temperatur gerührt. Danach wird das Lösungsmittel
im Vakuum (1 mbar) entfernt und der hochviskose
Rückstand im Hochvakuum (10-3 mbar) 5 h getrocknet.
Dieser kristallisiert über Nacht analysenrein aus
und kann ab 95°C/10-3 mbar sublimiert werden.
In Fig. 2 ist ein Massenspektrum der Verbindung 3e
dargestellt. Charakteristisch ist der Molekül-Peak
bei 609, der wieder die Existenz des stabilen
Monomers beweist. Das wichtigste Molekülfragment
liegt bei 565 (= M. - C3H7).
Die Alkoxide gemäß der Erfindung eignen sich auf
grund ihrer exzellenten Löslichkeit in Ether, THF,
n-Hexan und Toluol für den Sol-Gel-Prozeß und
aufgrund ihrer niedrigen Sublimationstemperaturen
für die MOCVD-Technik. Dadurch lassen sich extrem
reine Schichten herstellen.
Ein Anwendungsgebiet ist die Verwendung als III-
Komponente bei den "I, II, III-Supraleitern", die
aus dünnen Schichten supraleitenden Materials
bestehen, die auf ein keramisches Substrat mittels
MOCVD aufgetragen wird (Appl. Organometallic Chem.
1990, S. 439-449). Ein Beispiel ist der
YBa2Cu3O7- δ-Supraleiter.
Ein weiteres Anwendungsgebiet ist die Herstellung
dünner Oxidschichten auf metallischen Elektroden
zur Förderung der Elektronenemission. Für diese
Anwendung besonders geeignet ist La2O3 wegen der
geringen Elektronenaustrittsarbeit. Beispielsweise
wird es auf massive Wolfram-Elektroden für Hoch
druckentladungslampen aufgetragen. Insbesondere
handelt es sich dabei um Kurzbogenlampen mit Queck
silberdampf- bzw. Xenongasfüllung, bei denen eine
hohe Bogenstabilität und hohe Konstanz der Elektro
nenemission wesentlich ist. Der besondere Vorteil
dieser Art des Aufbringens eines Emitters (La2O3)
aus der Gasphase ist, daß er auf der Elektrode in
räumlicher Vorzugsrichtung orientiert werden kann,
so daß die Effektivität des Emitters erhöht wird.
Ein anderes Anwendungsgebiet sind Metallhalogenid-
Entladungslampen, bei denen lediglich der Schaft
der Elektrode mit dem Seltenerdmetall-Oxid be
schichtet ist, ähnlich der DE-OS 38 12 084. Hierfür
eignen sich insbesondere Oxide von Y und La. Das
dort angesprochene MOCVD-Verfahren für die Be
schichtung beruht offensichtlich auf der Verwendung
von β-Diketonaten.
Die erfindungsgemäßen Seltenerdmetall-Alkoxide
lassen sich besonders vorteilhaft in einem MOCVD-
Verfahren ohne zusätzliches reaktives Gas, d. h.
sauerstoffhaltiges Gas, als Oxide abscheiden.
Insbesondere wird dabei ein niedriger Druck ange
wendet. Die Abscheidung erfolgt dabei durch thermi
sche Zersetzung (bei ca. 400-500°C) im Vakuum. Die
Sublimationstemperatur des flüchtigen Alkoxids kann
dabei unter 150°C bleiben.
Besonderes Interesse verdienen hierbei Cer-Verbin
dungen. Lösliche Ce(IV)-Alkoxide, Ce(OR)4 lassen
sich als Precursor-Verbindung für CeO2-Keramiken
(Anwendung in Katalyse, optische Additive, Ionenlei
tung, Gegenelektroden für elektrochrome Geräte)
einsetzen. So werden seit geraumer Zeit dünne Filme
aus CeO2 als isolierendes und chemisch resistentes
Material für Silizium Wafer untersucht. Diese
Kombination ("buffer layer") eignet sich besonders
gut als Unterlage für das Wachstum von Hochtempera
tursupraleitern. Alternativ werden wiederum β-dike
tonato-Verbindungen diskutiert.
Bedingt durch die Vierwertigkeit des Cers werden
zur Ausbildung einer homoleptischen Verbindung vier
Alkohol-Liganden benötigt. Folglich bieten sich dem
Metallzentrum in Ce(OR)4 jetzt acht Koordinations
stellen. Dies entspricht dem folgenden Aufbau:
Folgende Alkoxide A und b zeigen eine besondere
Eignung als Liganden für dieses System:
CAN + 4 ROH + 4 NH3 → Ce(OR)4 + 6 NH4NO3
CAN + 6 NaOR → Ce(OR)4 + 2 NH3 + 6 NaNo3 + 2 ROH
(CAN = Ceramoniumnitrat, (NH4)2Ce(NO3)6).
Der Ionenradius von Cer(IV) beträgt bei 8-Koordina
tion 0.97 A und ist damit etwas kleiner als der von
Cer(III) bei 6-Koordination (1.01 A). Das heißt
jetzt, daß in der Oxidationsstufe vier der steri
sche Anspruch in den CHDo-Alkoholen nicht mehr so
groß sein muß wie bei den oben diskutierten
M(OR)3-Systemen. Dementsprechend sind daher CHDo-
Alkohole mit kleinerem Molekulargewicht (Beispiel
A: m = 104 und Beispiel B: m = 90) vorteilhaft.
Besonderes Interesse verdienen hierbei Verbindungen
von Samarium, Europium, Ytterbium oder Thulium.
Alkoxide zweiwertiger Lanthanoide sind in der
Literatur spärlich beschrieben. Es existiert erst
ein strukturchemisch charakterisiertes Derivat,
nämlich das Aryloxid-System Yb(OAr)2Lx (OAr =
C6H2 tBu2-2,6-Me-4, L = thf, OEt2, x = 2,3).
Zweiwertige Seltenerd-Alkoxide M(OR)2, als Vorstufe
für M(II)-Oxide, MO, sind neue Verbindungen, die
erst durch die Verwendung funktionalisierter Alko
hole realisierbar werden.
Die magnetischen Eigenschaften dieser "reduzierten
Oxide" (insbesondere SmO (goldgelb glänzend), Euo
(dunkelrot) und YbO (grünlich-weiß)) machen sie,
wie die entsprechenden homologen Monochalkogenide
interessant für die Verwendung in elektronischen
Speichereinheiten (z. B. Ferromagnetismus von EuO
bei tiefen Temperaturen). Die Systeme MO sind nur
unter extremen Bedingungen erhältlich (hohe Tempe
raturen, hohe Drucke). Ein gangbarer Weg zur Her
stellung dieser "Zwangsoxide" ist die plasmachemi
sche Abscheidung von flüchtigen zweiwertigen Vor
stufen wie M(OR)2. Auch bietet sich hier eine
Abscheidung der oben diskutierten M(OR)3-Vorstufen
unter reduzierenden Bedingungen an (z. B. H2-
Plasma).
Im System M(OR)2 stehen dem Metallzentrum nur zwei
Liganden zur Verfügung, um seine Koordinationssphä
re abzusättigen. Bei Verwendung der oben angeführ
ten CHDo-Alkohole entspräche dies, bei Anstreben
eines monomeren Alkoxid-Komplexes, einer Koordina
tionszahl von vier. Zweiwertige Lanthanoide sind um
ca. 0.2 A größer als die entsprechenden dreiwerti
gen, z. B. ist der effektive Ionenradius von Eu(II)
1.17 A, der von Eu(III) 0.947 A bei einer Koordina
tionszahl von sechs.
Die CHDo-Alkohole lassen sich entsprechend modifi
zieren und dem "neuen Metallzentrum" anpassen. Um
mindestens eine 6-Koordination zu gewährleisten,
müssen insgesamt zwei Donorfunktionalitäten in
einen Liganden eingebaut werden. Dies geschieht
vorteilhaft mit Hilfe des Ersatzes des organischen
Restes R1 am ersten Kohlenstoffatom durch einen
Donorarm CRaRb-DoRDo.
Das Metallzentrum ist nun gleichsam Teil von zwei
Doppelringen, die sich schematisch auch als vier
Fünfringe auffassen lassen, von denen jeweils zwei
miteinander verknüpft sind; denkbar sind auch
entsprechende Konfigurationen mit Sechsringen.
Dieses Prinzip läßt sich sogar dahingehend verall
gemeinern, daß auch der zweite organische Rest des
ersten Kohlenstoffatoms (α - C) oder ein Rest des
zweiten Kohlenstoffatoms (β - C) mit einer Donor
funktionalität ausgestattet wird. Dabei bietet der
Austausch eines weiteren organischen Restes durch
einen weiteren Donorarm dem Metallzentrum zwei
weitere Koordinationsstellen, womit letztendlich
eine 8-Koordination erreicht werden kann. Aus
sterischen Überlegungen sollte dieser zusätzliche
Arm - zumindest im Fall seiner Ankopplung an
das α - C - mindestens einen Sechsring, besser
einen Siebenring, mit dem Metallzentrum bilden.
Die erfindungsgemäßen Alkohole umfassen auch Alko
hole, die als solche nicht ausdrücklich erwähnt
sind, jedoch bei der Ligandenstruktur indirekt
diskutiert sind. Allgemein ist bei gegebenen Ligan
den der "zugehörige" Alkohol durch Hinzufügen des
H-Atoms am Gegenion 0 definiert. Obwohl hier nur
Seltenerdmetall-Alkoxide im Detail diskutiert
werden, ist der Anwendungsbereich der "zugehörigen"
Alkohole keineswegs darauf beschränkt.
Claims (25)
1. Seltenerdmetall-Alkoxide hoher Löslichkeit und
Flüchtigkeit, gekennzeichnet durch Liganden (OR),
die Donorfunktionalitäten mit einem Donoratom (Do)
enthalten, und - unter Einschluß des zentralen
Seltenerdmetallatoms (M) für den Liganden - einen
mindestens fünfteiligen Ring bilden, der das Me
tallatom (M), ein benachbartes Sauerstoffatom (O),
mindestens zwei Kohlenstoffatome (C) und ein Donor
atom (Do) umfaßt,
mit jeweils zwei organischen Resten (Rc) pro Koh lenstoffatom und organischen Resten RDo am Donor atom (Do),
wobei die organischen Reste (Rc) an den Kohlen stoffatomen (C) folgendermaßen besetzt sind:
mit jeweils zwei organischen Resten (Rc) pro Koh lenstoffatom und organischen Resten RDo am Donor atom (Do),
wobei die organischen Reste (Rc) an den Kohlen stoffatomen (C) folgendermaßen besetzt sind:
- - entweder durch H-Atome (H), Methylgruppen (Me), Ethylgruppen (Et), Isopropylgruppen (iPr) oder tert.-Butylgruppen (tBu), unter Ausschluß einer gleichzeitigen Besetzung aller Reste (Rc) durch H-Atome,
- - oder durch Alkyliden-Ketten, insbesondere (-CH2)n-Gruppen (n = ganze Zahl), wobei organi sche Reste verschiedener Kohlenstoffatome durch Bildung von cyclischen Ringen miteinander verbun den sind,
- - oder bis zu zwei der organischen Reste Rc eine weitere Donorfunktionalität enthalten (im folgen den "Donor-Arme" genannt)
wobei das jeweilige Donoratom (Do) entweder O oder
N ist und
wobei die organischen Reste (RDo) am jeweiligen Donoratom durch ein oder zwei Gruppen, ausgewählt aus Me, Et, i Pr oder Bu, besetzt sind.
wobei die organischen Reste (RDo) am jeweiligen Donoratom durch ein oder zwei Gruppen, ausgewählt aus Me, Et, i Pr oder Bu, besetzt sind.
2. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 1, ge
kennzeichnet durch einen homoleptischen Aufbau
entsprechend der Strukturformel M(OR)x, mit x =
2 bis 4, wobei ein einziges Seltenerdmetall M von
x gleichen Liganden OR umgeben ist.
3. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß x = 3.
4. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 3, da
durch gekennzeichnet, daß das Atomgewicht eines
Liganden 100-210 beträgt.
5. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß x = 4.
6. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 5, da
durch gekennzeichnet, daß das Atomgewicht eines
Liganden 90-210 beträgt.
7. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß x = 2.
8. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 7, da
durch gekennzeichnet, daß das Atomgewicht eines
Liganden 110-250 beträgt.
9. Seltenerdmetall-Alkoxide nach einem der vorher
gehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen oder
mehrere Liganden, die jeweils mit dem Metallatom
(M) einen fünfteiligen Ring bilden, mit folgendem
Aufbau:
10. Seltenerdmetall-Alkoxide nach einem der vorher
gehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen oder
mehrere Liganden, die jeweils mit dem Metallatom
(M) einen sechsteiligen Ring bilden mit folgendem
Aufbau:
11. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 9, da
durch gekennzeichnet, daß die organischen Reste
R3 und R4 jeweils H-Atome sind, wobei zumindest
einer der beiden organischen Reste R1 oder R2 durch
die Gruppe Et oder eine Gruppe mit höherem Atomge
wicht gebildet wird.
12. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß zumindest eines der am
Alkoxid-Ring beteiligten Kohlenstoffatome optisch
aktiv ist.
13. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß im Fall des Vorhanden
seins eines oder mehrerer cyclischer Ringe der Teil
der organischen Rc-Reste, der miteinander verbunden
ist, einen fünf- oder sechsteiligen Ring bildet.
14. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 3 oder
7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erhöhung der
Koordinationszahl zumindest einer der organischen
Reste Rc als "Donorarm" mit folgendem Aufbau ausge
führt ist:
CRaRb-Do-RDo, unter Verwendung der Nomenklatur von Anspruch 1, wobei Ra und Rb donorfreie organische Reste sind, die aus den Gruppen H, Me, Et, iPr oder tBu ausgewählt sind.
CRaRb-Do-RDo, unter Verwendung der Nomenklatur von Anspruch 1, wobei Ra und Rb donorfreie organische Reste sind, die aus den Gruppen H, Me, Et, iPr oder tBu ausgewählt sind.
15. Seltenerdmetall-Alkoxide nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet, daß zur zusätzlichen Erhö
hung der Koordinationszahl ein weiterer organischer
Rest Rc als "Donorarm" mit folgendem Aufbau ausge
führt ist:
- - (CH2)n-Do-RDo, wobei n 2.
16. Alkohole zum Synthetisieren von flüchtigen
Verbindungen, insbesondere von Alkoxiden, entspre
chend Tabelle 1, insbesondere gemäß einer der
folgenden Strukturformeln:
HOCHtBuCH2OEt
HOCHtBuCH2NEt2
HOCtBu2CH2OEt
HOCiPr2CH2OEt.
HOCHtBuCH2OEt
HOCHtBuCH2NEt2
HOCtBu2CH2OEt
HOCiPr2CH2OEt.
17. Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten
aus Oxiden der Seltenerdmetallen, gekennzeichnet
durch ein MOCVD-Verfahren ohne Reaktans unter
Verwendung flüchtiger Seltenerdmetall-Alkoxide
gemäß Anspruch 1 bis 15.
18. Verwendung eines Alkohols HOR zum Synthetisie
ren eines flüchtigen Metallalkoxides
- - wobei R ein organischer Rest ist
- - wobei der Alkohol Donorfunktionalitäten besitzt und eine fünf- bis siebenteilige Kette bildet
- - wobei die Kette neben der HO-Gruppe zumindest zwei Kohlenstoffatome und ein Donor-Atom (Do) umfaßt (HOCαCβ . . . Do)
- - wobei das Donor-Atom ein Sauerstoff- oder Stick stoff-Atom ist
- - wobei der Alkohol zwei organische Gruppen (Rc) an
jedem Kohlenstoffatom besitzt, die aus folgenden
Gruppen ausgewählt sein können:
- i) H-Atome, Methyl-Gruppen, Ethyl-Gruppen,
Isopropyl-Gruppen und tert-Butyl-Gruppen mit
folgender Einschränkung:
- a) die gleichzeitige Besetzung aller Reste (Rc) durch H-Atome ist ausgeschlossen
- (b) die Besetzung aller Reste (Rc) bis auf einen durch H-Atome und des einen Restes durch eine Methylgruppe ist ausgeschlossen
- ii) Alkyliden-Ketten, wobei organische Gruppen (Rc) verschiedener Kohlenstoffatome durch Bildung zyklischer Ringe miteinander verbunden sind
- iii) bis zu zwei der organischen Gruppen (Rc) enthalten eine weiteres Donor-Atom (diese organischen Gruppen werden im folgenden Donor-Arme genannt)
- i) H-Atome, Methyl-Gruppen, Ethyl-Gruppen,
Isopropyl-Gruppen und tert-Butyl-Gruppen mit
folgender Einschränkung:
- - ein oder zwei organische Gruppen (RDo) sind an
dem einen oder mehreren Donor-Atomen angekoppelt,
wobei diese Gruppen (RDo) aus folgenden Verbin
dungen ausgewählt sein können:
Methyl-Gruppe, Ethyl-Gruppe, Isopropyl-Gruppe, tert-Butyl-Gruppe
19. Verwendung von Alkoholen entsprechend Anspruch
18, wobei der Alkohol zum Synthetisieren von
Seltenerd-Metall-Alkoxiden verwendet wird.
20. Verwendung von Alkoholen entsprechend Anspruch
18 oder 19, wobei das Atomgewicht des Alkohols
90-250 und insbesondere 110-210 beträgt.
21. Verwendung von Alkoholen entsprechend Anspruch
18 bis 20, wobei der Aufbau des Alkohols dem der
Liganden in Anspruch 9 bis 15 entspricht unter
Hinzufügen des zur Vervollständigung des Alkohols
notwendigen H-Atoms.
22. Alkohole HOR, wobei R ein organischer Rest ist
- - wobei der Alkohol mindestens zwei Donorfunktiona litäten besitzt
- - wobei der Alkohol eine fünf- bis siebenteilige Kette bildet (HOCαCβ . . . Do), die neben der HO- Gruppe zumindest zwei Kohlenstoffatome und ein Donor-Atom (Do) umfaßt
- - wobei das Donor-Atom entweder ein Sauerstoff- oder Stickstoffatom ist
- - wobei an jedem Kohlenstoffatom zwei organische Reste (Rc) sitzen, wobei ein oder zwei der orga nischen Reste ein weiteres Donor-Atom umfas sen (im folgenden als Donor-Arme bezeichnet)
- - wobei die anderen organischen Reste (Rc) aus
folgenden Gruppen ausgewählt sein können
- i) H-Atome, Methyl-Gruppen, Ethyl-Gruppen, Isopropyl-Gruppen oder tert.-Butyl-Gruppen
- ii) Alkyliden-Ketten, wobei organische Gruppen Rc durch Bildung zyklischer Ringe miteinander verbunden sind
- - ein oder zwei organische Gruppen (RDo) sind mit den Donor-Atomen verknüpft, wobei diese Gruppen (RDo) aus den Verbindungen Methyl-, Ethyl-, Isopropyl-, tert-Butyl-Gruppen ausgewählt sind.
23. Alkohol gemäß Anspruch 22, wobei zumindest eine
der organischen Gruppen (Rc), bevorzugt R1, ein
Donor-Arm ist, der die Struktur CRaRbDoRDo besitzt,
wobei Ra und Rb donor-freie organische Gruppen
sind, die aus der Menge H, Me, Et, iPr, tBu ausge
wählt sind und Do und RDo wieder Atome und Gruppen
entsprechend Anspruch 22 sind.
24. Alkohol gemäß Anspruch 23, wobei eine weitere
organische Gruppe (Rc) ein Donor-Arm der Struktur
(CH2)n-Do-RDo ist mit n = 2 . . . 4.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934308695 DE4308695A1 (de) | 1992-03-18 | 1993-03-18 | Flüchtige Seltenerdmetall-Alkoxide, insbesondere zur Herstellung von Seltenerdmetall-Oxiden, sowie Alkohole zum Synthetisieren von flüchtigen Verbindungen |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4208689 | 1992-03-18 | ||
EP93102398A EP0563557B1 (de) | 1992-03-18 | 1993-02-16 | Flüchtige Seltenerdmetall Alkoxide, insbesondere zur Herstellung von Seltenerdmetall Oxiden, sowie Alkohole zum Synthetisieren von flüchtigen Verbindungen |
DE19934308695 DE4308695A1 (de) | 1992-03-18 | 1993-03-18 | Flüchtige Seltenerdmetall-Alkoxide, insbesondere zur Herstellung von Seltenerdmetall-Oxiden, sowie Alkohole zum Synthetisieren von flüchtigen Verbindungen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4308695A1 true DE4308695A1 (de) | 1993-10-14 |
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ID=27203537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19934308695 Withdrawn DE4308695A1 (de) | 1992-03-18 | 1993-03-18 | Flüchtige Seltenerdmetall-Alkoxide, insbesondere zur Herstellung von Seltenerdmetall-Oxiden, sowie Alkohole zum Synthetisieren von flüchtigen Verbindungen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4308695A1 (de) |
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1993
- 1993-03-18 DE DE19934308695 patent/DE4308695A1/de not_active Withdrawn
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