DE4236928A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Reihenprüfung von Bildinformationen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Reihenprüfung von BildinformationenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reihenprüfung von
Bildinformationen mit einem Gerät, bei dem
- a) die Bildinformation ausgewertet wird,
- b) eine Stellvorrichtung zur Variation von Geräteparametern betätigt wird, bis eine Optimierung der Darstellung der Bildinformation erreicht ist,
- c) die Prüfung bei so optimierter Darstellung der Bildinformation durchgeführt wird und
- d) nach Maßgabe der Prüfung eine Klassierung der Bildinformation erfolgt.
Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Durchführung
dieses Verfahrens.
Beispiele für solche Verfahren ist die Prüfung von optischen
Teilen wie Linsen oder Kontaktlinsen auf Fehler. Das zu
prüfende Objekt bildet dann die "Bildinformation". Das Objekt
wird in geeigneter Weise beleuchtet. Das beleuchtete Objekt
wird mittels eines bilderfassenden Sensors, z. B. einer
Videokamera oder eines zweidimensionalen Detektor-Arrays
beobachtet. Die so erhaltenen Sensorsignale bilden eine
"Darstellung der Bildinformation". Die Art der Beleuchtung,
vorzugsweise einer Dunkelfeldbeleuchtung, stellt einen
veränderlichen Geräteparameter dar. Durch Variation der
Beleuchtung, also des Geräteparameters, wird die Darstellung
der Bildinformation so verändert, daß ein
"Optimierungsparameter" einen optimalen Wert annimmt. Dieser
Wert kann beispielsweise der Kontrast oder Farbkontrast sein.
Die "Bildinformation" kann aber auch anderer Natur sein:
beispielsweise kann die Bildinformation von tomographischen
Schichtaufnahmen gebildet sein. Die "Darstellung der
Bildinformation" ist dann die Darstellung einer Schicht auf
dem Bildschirm. "Geräteparameter" kann die Ebene der jeweils
dargestellten Schichtaufnahme sein. "Optimierungsparameter"
kann der Kontrast einer speziellen darzustellenden Einzelheit
sein.
Die DE-A-34 32 002 zeigt eine Vorrichtung zur Bestimmung von
Ablagerungen an Kontaktlinsen, bei welcher die Kontaktlinsen
mit einer Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtet werden. Die
Auswertung erfolgt dabei visuell.
Die US-A-3 988 068 zeigt die Prüfung einer Linse, bei welcher
die Linse mittels Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtet und über
einen Spiegel mittels eines Sensors abgetastet wird. Die
Sensorsignale werden durch eine Signalverarbeitungs-Elektronik
verarbeitet.
Es ist auch bekannt, zu prüfende Objekte punktförmig über
bewegliche optische Glieder zu beleuchten und gestreutes Licht
durch photoelektrische Detektoren zu erfassen (EP-A-63 761;
DE-A-36 20 146).
Die DE-A-30 11 014 beschreibt eine Anordnung, bei welcher ein
zu prüfender Bauteil als Ganzes beleuchtet und mittels einer
Videokamera beobachtet wird.
Es ist auch eine Beleuchtungsvorrichtung zum Beleuchten
klartransparenter Prüfobjekte, insbesondere von Kontaktlinsen,
für die Untersuchung der Prüfobjekte auf Fehler bekannt, bei
der die Prüfobjekte auf einer transparenten Auflage in
Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtet werden und bei der eine zur
Anpassung an die Prüfobjekte einstellbare Beleuchtungsoptik
vorgesehen ist. Die Einstellung der Beleuchtungsoptik erfolgt
auch hier visuell (deutsche Patentanmeldung P 41 24 003.0).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Durchführung des
Verfahrens und die Bedienung der Vorrichtung der eingangs
genannten Art für den Benutzer zu erleichtern.
Der Erfindung liegt weiter die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren
und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art so
auszubilden, daß die Einstellung unabhängig von subjektiven
Beurteilungen ist.
Erfindungsgemäß ist das Verfahren so ausgestaltet, daß
- e) die Stellvorrichtung motorisch verstellt wird, wobei
- f) die Stellvorrichtung in Abhängigkeit von den bei den verschiedenen Geräteparametern erhaltenen Darstellungen der Bildinformation gesteuert wird.
Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist
gekennzeichnet durch
- a) ein Gerät zur Darstellung einer Bildinformation, wobei die Bildinformation von einem Geräteparameter beeinflußt ist,
- b) eine Bildverarbeitungs-Einrichtung zur Verarbeitung der dargestellten Bildinformation zur Bestimmung eines Optimierungsparameters,
- c) eine motorische Stellvorrichtung zur Verstellung des Geräteparameters, die nach Maßgabe des Optimierungsparameters gesteuert ist, so daß der Optimierungsparameter einen für die Reihenprüfung im wesentlichen optimalen Wert annimmt, und
- d) eine Einrichtung zum Auswerten der so optimierten Darstellung der Bildinformation und zur Klassifizierung der Bildinformation.
Die Einstellung der Geräteparameter erfolgt somit automatisch
mittels einer motorisch angetriebenen Stellvorrichtung unter
Ausnutzung der Darstellung der Bildinformation, also
beispielsweise der von einem bilderfassenden Sensor erzeugten,
die Bildinformation wiedergebenden Detektorsignale. Es kann
dann der Geräteparameter so lange variiert werden, bis ein
bestimmter Optimierungsparameter, z. B. der Kontrast, einen
optimalen Wert angenommen hat. Bei dem zugehörigen Wert des
Geräteparameters, z. B. der Beleuchtung eines Objekts, wird
dann die Bildinformation klassiert. Das geschieht automatisch
ohne menschliches Zutun. Damit wird die Einstellung
erleichtert. Vor allem aber wird die Einstellung unabhängig
von subjektiven Einflüssen, die bei einer visuellen
Einstellung nicht zu vermeiden sind.
Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der
Unteransprüche.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend unter
Bezugnahme auf die zugehörigen Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 zeigt den mechanischen Aufbau einer Einrichtung zur
Dunkelfeldbeleuchtung von durchsichtigen optischen Linsen,
die auf Fehler untersucht werden, wobei die so
beleuchteten Linsen die Bildinformation bilden, einen
bilderfassenden Sensor und als Blockdiagramm die
Signalverarbeitung.
Fig. 2 zeigt ein Flußdiagramm der Signalverarbeitung.
In Fig. 1 ist mit 10 ein zentraler erster Reflektorkörper
bezeichnet. Der erste Reflektorkörper 10 weist eine ebene,
obere Stirnfläche 12 auf. Die obere Stirnfläche 12 erstreckt
sich senkrecht zu einer Systemachse 14. Anschließend an die
Stirnfläche 12 weist der Reflektorkörper 10 eine zu der
Systemachse 14 koaxiale, zylindrische Mantelfläche 16 auf. Auf
der Unterseite bildet der Reflektorkörper 10 einen konvex
konischen ersten Reflektor 18. Die Konusachse des Reflektors
18 fällt mit der Systemachse 14 zusammen.
Unterhalb des Reflektorkörpers 10 ist auf der Systemachse 14
eine Lichtquelle 20 angeordnet. Von der Lichtquelle 20 fällt
ein zentrales Lichtbündel 22 auf den konvex-konischen
Reflektor 18. Das Lichtbündel 22 wird von dem ersten Reflektor
18 radial auseinandergefächert. In Fig. 1 sind die Randstrahlen
24 und der längs der Systemachse 14 verlaufende Zentralstrahl
26 des Lichtbündels 22 vor und nach der Reflexion an dem
ersten Reflektor 18 dargestellt.
Das radial auseinandergefächerte Lichtbündel 22 fällt auf
einen zweiten Reflektor 28. Der zweite Reflektor 28 ist
konkav-zylindrisch und koaxial zu der Systemachse 14. Der
zweite Reflektor 28 ist an einem zweiten Reflektorkörper 30
angebracht. Der zweite Reflektorkörper 30 weist eine
ringförmige, ebene Stirnfläche 32 auf. An die Stirnfläche 32
schließt sich innen der zylindrische, zweite Reflektor 28 an.
Auf der Außenseite weist der Reflektorkörper 30 anschließend
an die Stirnfläche 32 eine zylindrische Mantelfläche 34
koaxial zu dem Reflektor 28 auf. Anschließend an die
zylindrische Mantelfläche 34 bildet der Reflektorkörper 30
einen konischen Abschnitt 36. An den konischen Abschnitt 36
schließt sich ein zylindrischer, mit einem Außengewinde
versehener Abschnitt 38 an. Auf der Innenseite schließt sich
an den zylindrischen Reflektor 28 ein konischer Abschnitt 40
an. Unten bildet der Reflektorkörper 30 eine untere
Stirnfläche 42 mit einer zentralen Öffnung 44. Durch diese
Öffnung 44 ragt die Lichtquelle 20 in das Innere des
Reflektorkörpers 30.
Auf der oberen Stirnfläche 32 des Reflektorkörpers 30 liegt
eine klar-transparente Platte 46, welche mit ihrer planen
Oberseite eine Auflage 48 für die Prüfobjekte bildet. Die von
der Auflage 48 definierte Auflageebene ist senkrecht zu der
Systemachse 14 und dementsprechend parallel zu der Stirnfläche
12 des ersten Reflektorkörpers 10. Die Platte 48 ist oben und
unten mit reflexmindernden Schichten 50, 52 versehen. Der
konkav-zylindrische zweite Reflektor 28 reflektiert das radial
auseinandergefächerte Lichtbündel 22 so, daß es unter einem
kleinen Winkel in der Mitte der Auflage 48 in einem Lichtfleck
gesammelt wird.
Der zweite Reflektorkörper 30 ist mit dem mit Außengewinde
versehenen Abschnitt 38 in einen mit einem Innengewinde 54
versehenen, topfförmigen Gehäuseteil 56 eingeschraubt. Der
Gehäuseteil 56 trägt innen auf der Systemachse 14 einen Sockel
58 für die Lichtquelle 20.
Außerdem sind im Boden des topfförmigen Gehäuseteils 56
Tragstangen 60 gehaltert, welche den ersten Reflektorkörper 10
tragen. Die Tragstangen 60 sind durch fluchtende Durchbrüche
im Boden des Gehäuseteils 56 sowie durch eine Querbohrung 62
von Klemmschrauben 64 geführt. Die Klemmschrauben 64 sitzen in
radialen Gewindebohrungen 66 im Boden des Gehäuseteils 56
zwischen den besagten fluchtenden Durchbrüchen. Die
Klemmschrauben können gelöst werden. Dann sind die Tragstangen
60 und damit der erste Reflektorkörper 10 relativ zu dem
topfförmigen Gehäuseteil 56 höhenverstellbar. Auf diese Weise
ist eine Justage des Reflektorkörpers 10 relativ zu der
Lichtquelle 20 möglich. Der Gehäuseteil 56, die Lichtquelle 20
und der erste Reflektorkörper 10 bilden eine zusammenhängende
Baugruppe 70. Die Baugruppe 70 ist als Ganzes über das
Innengewinde 54 und den mit Außengewinde versehenen Abschnitt
38 des zweiten Reflektorkörpers 30 relativ zu dem zweiten
Reflektorkörper 30 in Richtung der Systemachse 14 verstellbar
(oder umgekehrt). Damit erfolgt auch eine Verstellung der
Baugruppe 70 relativ zu dem zweiten Reflektor 28 und zu der
Auflage 48 in Richtung der Systemachse 14. Diese Verstellung
erfolgt mittels eines Zahnkranzes 80. Der Zahnkranz 80 ist auf
dem Abschnitt 38 des zweiten Reflektorkörpers 30 fest
angebracht. Mit dem Zahnkranz 80 ist ein Ritzel 82 in
Eingriff. Das Ritzel 82 ist von einem Stellmotor 84
antreibbar. Der Stellmotor 84 sitzt an dem Gehäuseteil 56.
Auf der Auflage 48 sitzt eine in einer Reihenprüfung auf
Fehler zu kontrollierende Linse 86. Die Linse 86 kann
beispielsweise eine Kontaktlinse sein. Die Linse 86 auf der
Auflage 48 wird von einem bilderfassenden Sensor 88
betrachtet. Der bilderfassende Sensor 88 kann eine Videokamera
sein. Der bilderfassende Sensor liefert Sensorsignale, welche
ein Bild der Linse 86 wiedergeben. Die Linse 86 wird von der
Beleuchtungs-Einrichtung mit Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtet.
Das von der Lichtquelle 20 ausgehende, die Linse durchsetzende
Lichtbündel 90 tritt nicht direkt in die Apertur des
bilderfassenden Sensors 88. Der Sensor 88 erhält nur Licht,
das durch Streuung an der Linse 86 in die Apertur des Sensors
88 geleitet wird. Solche Streuung erfolgt an Fehlern oder an
den Rändern der Linse 86. Solche Fehler können Kratzer, Risse
oder Lunker sein. Es können auch Unregelmäßigkeiten am Rand
der Linse 86, z. B. Ausbrüche, auftreten. Solche Fehler werden
durch Bildverarbeitung erfaßt. Dementsprechend werden
fehlerhafte Linsen aussortiert. Allgemein gesagt: Die
Meßobjekte werden nach bestimmten, durch Bildverarbeitung
festgestellten Merkmalen klassiert. In Fig. 1 ist die
Bildverarbeitung durch einen Block 92 dargestellt. Die
Klassierung ist durch einen Block 94 dargestellt.
Im Sinne des Grundgedankens der vorliegenden Erfindung stellt
die durch Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtete Linse 86 auf der
Auflage 48 die "Bildinformation" dar. Die Sensorsignale, die
von dem bilderfassenden Sensor 88 in Form von Pixeln geliefert
werden, bilden die "Darstellung der Bildinformation".
Für eine einwandfreie Bildverarbeitung ist es wesentlich, daß
die Bildinformation optimal dargestellt wird. Zu einer solchen
optimalen Darstellung gehört im vorliegenden Fall ein
optimaler Kontrast, der Fehler der Linse deutlich hervortreten
läßt. Dieser Kontrast kann durch Höhenverstellung des
Reflektorkörpers 30 relativ zu der Lampe optimiert werden. Zu
diesem Zweck wird aus den Sensorsignalen des bilderfassenden
Sensors 88 ein Meßwert für den Kontrast gebildet. Der
Stellmotor 84 wird über eine Motor-Ansteuerung 96 angesteuert.
Damit wird der Reflektorkörper 30 über das Ritzel 82 und den
Zahnkranz 80 gegenüber dem Gehäuseteil 56 verdreht. Damit wird
der mit Außengewinde versehene Abschnitt 38 des
Reflektorkörpers 30 in dem Innengewinde 54 des Gehäuseteils 56
längs der Systemachse 14 verstellt. Dadurch wird die
Dunkelfeldbeleuchtung der Linse 86 verändert. Das führt zu
einer Veränderung des Kontrastes in der Bildinformation und in
der Darstellung der Bildinformation durch den bilderfassenden
Sensor 88.
Die Höhe des Reflektorkörpers 30 und damit die Art der
Dunkelfeldbeleuchtung der Linse 86 ist im Sinne der
vorliegenden Erfindung der "Geräteparameter". Der Kontrast ist
im Sinne der vorliegenden Erfindung ein
"Optimierungsparameter".
Der Reflektorkörper 30 wird nun in Abhängigkeit von dem durch
die Bildverarbeitung 92 ermittelten Kontrast so verstellt, daß
der Kontrast ein Maximum wird. Fig. 2 ist ein Flußdiagramm,
welches diese automatische Einstellung auf optimalen Kontrast
erläutert. Dabei ist vorausgesetzt, daß der Kontrast beim
Durchlaufen des Stellbereiches des Reflektorkörpers 30 ein
einziges Maximum durchläuft. Es ist weiter vorausgesetzt, daß
als Ausgangspunkt von einer Stellung des Reflektorkörpers 30
am Rande des Stellbereiches ausgegangen wird, bei welcher der
Optimierungsparameter "Kontrast" von dem Maximum entfernt ist
und durch eine Verstellung "vorwärts" sich bis zu dem Maximum
verbessert. Der Stellmotor 84 ist als Schrittmotor angenommen.
Nach dem "Start", dargestellt durch das Oval 100, wird durch
die Bildverarbeitung 92 aus den vom Sensor 88 gelieferten
Sensorsignalen, der "Darstellung der Bildinformation", der
Kontrast als "Optimierungsparameter" bestimmt. Das ist durch
das Rechteck 102 in Fig. 2 dargestellt. Anschließend wird gemäß
Rechteck 104 in Fig. 2 der Stellmotor 84 um einen Schritt in
einer "Vorwärts"-Richtung fortgeschaltet. Nach dieser
inkrementalen Verstellung wird erneut der Kontrast als
Optimierungsparameter bestimmt. Das ist in Fig. 2 durch
Rechteck 106 dargestellt. Es wird nun durch Vergleich mit der
Messung von Rechteck 104 geprüft, ob der Kontrast stärker
oder, allgemeiner, der Optimierungsparameter besser geworden
ist. Das ist durch die Raute 108 "BESSER ?" dargestellt. Wenn
dies der Fall ist ("JA"), wird die Schleife 110 durchlaufen.
Es erfolgt also eine weitere Verstellung um einen Schritt
"vorwärts", und ein erneuter Vergleich des aktuellen
Optimierungsparameters mit dem vorhergehenden. Das setzt sich
so lange "vorwärts" fort, bis der Vergleich von Raute 108
keine Verbesserung des Kontrastes mehr feststellt. Dann ist
das Maximum erreicht. Bei dem dann erhaltenen Kontrast wird
die Klassierung der Linse 86 nach bestimmten vorgegebenen
Kriterien durchgeführt. Wie das geschieht ist an sich bekannt
und daher hier nicht im einzelnen beschrieben. Die Klassierung
ist in Fig. 2 durch ein Rechteck 112 dargestellt.
Zur Klassierung weiterer, gleichartiger Linsen braucht nicht
jedesmal eine neue Optimierung des Kontrastes stattzufinden.
Diese Klassierung kann mit der einmal gefundenen Einstellung
des Kontrastes erfolgen.
Die Erfindung kann in vielfältiger Weise abgewandelt werden:
Als Optimierungsparameter können andere Größen dienen,
beispielsweise ein Farbkontrast. Wenn für die Klassierung die
Summe der an der Linse diffus reflektierenden und in der
Bildinformation daher hell erscheinenden Flächen herangezogen
wird, dann kann als Optimierungsparameter das Maximum der so
erfaßten Gesamtfläche dienen. Der Optimierungsparameter kann
auch von dem Grad der Übereinstimmung der Bildinformation mit
vorgegebenen Strukturen gebildet werden. Als Maß für den Grad
der Übereinstimmung kann eine Korrelation der Bildinformation
mit den vorgegebenen Strukturen dienen.
Auch die automatische Einstellung des Optimierungsparameters
kann auf verschiedene Weise erfolgen: Es ist möglich, zunächst
den gesamten Stellbereich zu durchfahren und für jede Stellung
aus der Darstellung der Bildinformation den
Optimierungsparameter zu bestimmen und in einem Speicher zu
speichern. Es kann dann aus dem Verlauf des
Optimierungsparameters als Funktion des Geräteparameters der
Wert des Geräteparameters, als z. B. der Stellung des
Reflektorkörpers 30, bestimmt werden, bei der sich ein
optimaler Optimierungsparameter, z. B. Kontrast, ergibt.
Claims (15)
1. Verfahren zur Reihenprüfung von Bildinformationen mit
einem Gerät, bei dem
- a) die Bildinformation ausgewertet wird,
- b) eine Stellvorrichtung zur Variation von Geräteparametern betätigt wird, bis eine Optimierung der Darstellung der Bildinformation erreicht ist,
- c) die Prüfung bei so optimierter Darstellung der Bildinformation durchgeführt wird und
- d) nach Maßgabe der Prüfung eine Klassierung der
Bildinformation erfolgt,
dadurch gekennzeichnet, daß - e) die Stellvorrichtung motorisch verstellt wird, wobei
- f) die Stellvorrichtung in Abhängigkeit von den bei den verschiedenen Geräteparametern erhaltenen Darstellungen der Bildinformation gesteuert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Stellvorrichtung verstellt wird, bis ein
Optimierungsparameter einen optimalen Wert annimmt.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Darstellung der Bildinformation durch Aufnahme eines einer
Reihenprüfung zu unterwerfenden Objektes mittels eines
bilderfassenden Sensors erzeugt und einer Bildverarbeitung
unterworfen wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
durch die Bildverarbeitung als Optimierungsparameter ein
Maß für die Erkennbarkeit von Eigenschaften des Objektes
gebildet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
durch die Bildverarbeitung als Optimierungsparameter der
Kontrast der Darstellung der Bildinformation ermittelt
wird.
6. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
durch die Bildverarbeitung als Optimierungsparameter der
Farbkontrast der Darstellung der Bildinformation ermittelt
wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß als Geräteparameter die Beleuchtung
des Objektes verändert wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß bei
Dunkelfeldbeleuchtung des Objekts durch die
Stellvorrichtung Lage und/oder Einfallsrichtung des
Beleuchtungs-Strahlenganges relativ zu dem Objekt
verändert wird.
9. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch
1, gekennzeichnet durch
- a) ein Gerät zur Darstellung einer Bildinformation, wobei die Bildinformation von einem Geräteparameter beeinflußt ist,
- b) eine Bildverarbeitungs-Einrichtung zur Verarbeitung der dargestellten Bildinformation zur Bestimmung eines Optimierungsparameters,
- c) eine motorische Stellvorrichtung zur Verstellung des Geräteparameters, die nach Maßgabe des Optimierungsparameters gesteuert ist, so daß der Optimierungsparameter einen für die Reihenprüfung im wesentlichen optimalen Wert annimmt, und
- d) eine Einrichtung zum Auswerten der so optimierten Darstellung der Bildinformation und zur Klassifizierung der Bildinformation.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch
- a) einen bilderfassenden Sensor, der als Bildinformation ein der Reihenprüfung zu unterwerfendes Objekt erfaßt und in Form von Sensorsignalen eine Darstellung dieser Bildinformation erzeugt, und
- b) von den Sensorsignalen beaufschlagte Bildverarbeitungs- Mittel.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bildverarbeitungs-Mittel zur Erzeugung eines Maßes für
die Erkennbarkeit von Eigenschaften des Objektes als
Optimierungsparameter eingerichtet sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bildverarbeitungs-Mittel zur Bestimmung des Kontrastes
der Darstellung der Bildinformation als
Optimierungsparameter eingerichtet sind.
13. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bildverarbeitungs-Mittel zur Bestimmung des
Farbkontrastes der Darstellung der Bildinformation als
Optimierungsparameter eingerichtet sind.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch
gekennzeichnet, daß als Geräteparameter die Beleuchtung
des Objektes verstellbar ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß
das Objekt durch Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtet ist und
durch die Stellvorrichtung Lage und/oder Einfallsrichtung
des Beleuchtungs-Strahlenganges relativ zu dem Objekt
veränderbar ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924236928 DE4236928A1 (de) | 1992-10-31 | 1992-10-31 | Verfahren und Vorrichtung zur Reihenprüfung von Bildinformationen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924236928 DE4236928A1 (de) | 1992-10-31 | 1992-10-31 | Verfahren und Vorrichtung zur Reihenprüfung von Bildinformationen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4236928A1 true DE4236928A1 (de) | 1994-05-05 |
Family
ID=6471886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19924236928 Withdrawn DE4236928A1 (de) | 1992-10-31 | 1992-10-31 | Verfahren und Vorrichtung zur Reihenprüfung von Bildinformationen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4236928A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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DE10331012A1 (de) * | 2003-07-09 | 2005-02-10 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und optisches Messsystem zum Erfassen einer geometrischen Form in bzw. auf einem Halbleiterwafer |
CN101793595B (zh) * | 2002-02-21 | 2012-05-16 | 庄臣及庄臣视力保护公司 | 用于检查光学设备的装置 |
JP2018059927A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-12 | 東海光学株式会社 | レンズ外観検査装置 |
-
1992
- 1992-10-31 DE DE19924236928 patent/DE4236928A1/de not_active Withdrawn
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GB2401941A (en) * | 2001-12-06 | 2004-11-24 | Bausch & Lomb | Illuminated vacuum picker for contact lens inspection |
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8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |